JP2005327979A - 半導体発光素子および半導体発光装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 発光波長に対して透光性を有する透明基板12と、透明基板12の第1主面の中央部に形成されたpn接合を有する発光層13と、外周部に発光層13を取り囲むように形成された粗面化領域16と、第2主面に第1主面側から第2主面側に向かって末広がりの傾斜面52を備え、透明基板12の一方の側面から相対向する他方の側面に達した溝53、54を有する。
発光層13からの光が透明基板12の内部で多重反射し、発光層13に吸収される割合を減少させる。
【選択図】 図12
Description
次に、GaAs基板21とGaAsバッファ層22をアンモニア系のエッチング液を用いて、選択的にエッチング除去し、更にInGaPエッチングストップ層23を塩酸により選択的にエッチング除去する。
溝53と溝54は透明基板12の中央部で互いにほぼ直角に交差し、溝53、54が形成されていない第2主面には第2電極55が形成されている。
12 透明基板
13、42a、42b 発光層
14、44 第1電極
15、55、65 第2電極
16、43 粗面化領域
21 n−GaAs基板
22 GaAsバッファ層
23 InGaPエッチングストップ層
24 n−GaAsコンタクト層
25 n−InAlPクラッド層
26 InGaAlP MQW層
27 p−InAlPクラッド層
28 p−InGaP接着層
31 レジスト膜
32、57 ウェーハ
33 スクライブペン
34a、34b リードフレーム
35 反射カップ
36 金線
37 透明樹脂
38 半導体発光装置
45 配線
52 傾斜面
53、54、63、64 溝
58 ダイシングブレード
62 湾曲面
Claims (5)
- 発光波長に対して透光性を有する透明基板と、
前記透明基板の第1主面の中央部に形成されたpn接合を備えた発光層と、
前記発光層表面に形成された第1電極と、
前記第1主面に相対向する前記透明基板の第2主面に形成された第2電極と、
前記第1主面の外周部に前記発光層を取り囲むように形成された粗面化領域と、
を有することを特徴とする半導体発光素子。 - 発光波長に対して透光性を有する透明基板と、
前記透明基板の第1主面の中央部に形成されたpn接合を備えた第1発光層と、
前記透明基板の外周部に前記第1発光層を取り囲むように形成されたpn接合を備えた第2発光層と、
前記第1発光層表面に形成された電極と前記第2発光層表面に前記第1発光層を取り囲むように形成された電極が互いに電気的接続された第1電極と、
前記第1主面に相対向する前記透明基板の第2主面に形成された第2電極と、
前記第1主面の前記第1発光層と前記第2発光層との間に前記第1発光層を取り囲むように形成された粗面化領域と、
を有することを特徴とする半導体発光素子。 - 発光波長に対して透光性を有する透明基板と、
前記透明基板の第1主面に形成されたpn接合を備えた発光層と、
前記発光層表面に形成された第1電極と、
前記第1主面に相対向する前記透明基板の第2主面に形成された第2電極と、
前記第2主面に前記第1主面側から前記第2主面側に向かって末広がりの傾斜面または前記第1主面側へ湾曲した湾曲面を備え、前記透明基板の一方の側面から相対向する他方の側面に達した溝と、
を有することを特徴とする半導体発光素子。 - 発光波長に対して透光性を有する透明基板と、
前記透明基板の第1主面の一部分に形成されたpn接合を備えた発光層と、
前記発光層表面に形成された第1電極と、
前記第1主面に相対向する前記透明基板の第2主面に形成された第2電極と、
前記第1主面の前記発光層が形成されていない表面に形成された粗面化領域と、
前記第2主面に前記第1主面側から前記第2主面側に向かって末広がりの傾斜面または前記第1主面側へ湾曲した湾曲面を備え、前記透明基板の一方の側面から相対向する他方の側面に達した溝と、
を有することを特徴とする半導体発光素子。 - 請求項1乃至請求項4のいずれか1項に記載の半導体発光素子と、
前記第1および第2電極と電気的接続されたリードフレームと、
前記半導体発光素子と前記リードフレームとを封止する手段と、
を有することを特徴とする半導体発光装置。
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