JP2005326222A - 電気的接続方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 電気的接続方法は、電気回路14に接続された接触子18を電子部品10の端子12に接触させ、前記接触子18を通して前記端子に通電して所望の処理を行い、しかる後に前記接触子と前記端子とを分離する電気的接続方法において、前記接触子或いは前記端子にエネルギーを印加することにより、前記端子12の前記接触子18への接触部を局部的に軟化せしめた状態にて、前記所望の処理を行う構成とする。
【選択図】 図1
Description
a.電磁誘導により接触子の内部に交番電流を発生せしめての電磁誘導加熱
b.接触子先端、及びあるいは当該接触子と端子との接触部位近傍へのレーザー光の照射
などの手段を執ることもできる。
接触子18を電子部品10の端子12に接触させ、LSIチップ10を電気回路14に対して、矢印Pで示されるように押圧する。
エネルギーの印加は、短時間に且つ局所的に行われ、接触子18が端子12に電気的に安定して接続された後は当該エネルギーの印加は停止される。
しかる後、接触子18を端子12から分離する。(ステップ53)
本発明にかかる、前記エネルギーの印加は、接触子18を電子部品10の端子12に物理的に接触させる前、又は接触子18を電子部品10の端子12に物理的に接触させた後であっても良い。
次いで、エネルギーの印加によって、電子部品10の端子12の試験用接触子18との接触部を局部的に軟化させ、両者の接触面積の実質的拡大を図る。(ステップ51a)
次いで、電子部品10の端子12と試験用接触子18に電圧及び/あるいは電流を印加して、電子部品10に対し所定の試験を行う。(ステップ52a)
当該試験の終了後、接触子18と端子12とを分離する。(ステップ53a)
前記接触子18の構成例を図4に示す。
[実施例1]
本発明の第1実施例による電子部品の試験方法と、かかる試験方法を実施する試験装置の概略の構成、及び当該試験装置に於ける被試験電子部品の端子と試験用接触子との接触方法を、図5乃至図8に示す。
本発明によれば、この時、前記ヒータ24により接触子18に対しエネルギーが与えられ、当該接触子18の昇温により、当該接触子18に接する端子12に局部的な軟化が生ずる。(ステップ61)
当該エネルギーの印加は、接触子18をヒータ24によって加熱することによりなされ、当該接触子18が接する電子部品10の端子12の被接触部が熱伝導により加熱され、軟化して、両者の接触面積が実質的に増加する。
一方、接触子18を予め加熱し、ヒータ24を切った後に、接触子18を電子部品10の端子12に接触させる手順をとった場合をステップ70〜ステップ73に示す。
しかる後、電子部品10を回路基板14に対して加圧し、電子部品10の端子12を接触子18に接触させ、接触部を局部的に軟化する。(ステップ73)
このように、接触子18のみを加熱し、ヒータ24を切った後に、当該接触子18と電子部品10の端子12とを接触させる場合は、接触子18の熱容量により端子12と接触子18の接触部を暖めることになるため、接触子18および端子12の構造・材料に対応して温度を予め調整する必要がある。
当該電気的試験においては、安定した低抵抗接触をもって試験を行うことができる。
この結果、図8に示されるように、電子部品10は受け台22のばね21により上方に押し上げられ、接触子18と電子部品10の端子12との接触は容易に分離・開放される。
[実施例2]
本発明の第2実施例による電子部品の試験方法の実施にかかる、試験用接触子と電子部品の端子との接触方法を、図10に示す。
電流制御回路28から2つの接触子18a,18bの間に電流を流し、発生するジュール熱を利用して、接触子18a,18bに接する端子12の被接触部を軟化せしめる。(ステップ81)
2つの接触子18a−18b間の抵抗が閾値以下となったかを検出(ステップ82)し、閾値以下となった場合、または温度検出素子25が検出した温度が規定値に達した場合(ステップ86)には電流供給を終了する。(ステップ83)
即ち、本実施例によれば、ジュール熱を利用して端子12の接触子18との接触部分を軟化させて当該接触子18との接触面積を増大させることにより、集中抵抗を低下せしめる。
この時、接触子18a,18bは、信号切換SWにより、電流制御回路28から試験信号発生回路26へ切替えられ接続される。即ち、当該試験時には、接触子18a,18bは並列に端子12へ接続され、接触抵抗は一層低下する。
前記電流制御回路28の構成を図12に示す。
[実施例3]
本発明の第3実施例による電子部品の試験方法と、かかる試験方法を実施する電子部品の端子と試験用接触子との接触方法を、図15に示す。
以上、第1乃至第3の実施例にあっては、電子部品の試験を対象として掲げたが、ここに説明した接触子の電子部品の端子への接触方法は、次の実施例に述べる半導体メモリ装置など電子部品への情報の書き込み・消去、あるいは読み出し処理などの際にも適用することができる。
[実施例4]
本発明の第4実施例による半導体記憶素子(メモリ)あるいは情報記憶用メモリを含むプロセッサー素子などの電子部品への情報の読出し・書き込み、あるいは消去処理と、かかる情報処理方法を実施するためになされる電子部品の端子と接触子との接触方法を、図17に示す。
当該エネルギーの印加は、ヒータ24によって接触子18を加熱することによりなされる。これにより、電子部品10の端子12の接触子18との接触部が局部的に軟化され、両者の接触面積が実質的に増加する。
上記本発明の実施例にあっては、CSPなど半導体チップ形態を有する個別の電子デバイスの試験、情報処理を対象としたが、本発明はこれに限られるものではなく、半導体基板(半導体ウエハ)に形成された複数の電子部品のそれぞれに対して試験などの処理を行う際にも適用することができる。
個々のプローブ106に対し順次レーザー光110を照射し、その終了をチェックする。(ステップ122、123)
レーザー光110が全ての接触子106に照射されたならば、レーザー照射による加熱は終了する。
即ち、レーザー光110によりプローブ106の先端近傍を加熱し、その熱により当該プローブ106に接する電極端子103の表面を軟化せしめ、両者の接触面積の実質的な拡大を図った後、所定の試験を実施する。
個々のプローブ106に巻回配置された電磁誘導コイル111に対し、順次或いは同時に高周波電流を印加し、その終了をチェックする。(ステップ142、143)
しかる後、電子部品102に対し所定の試験を行い、試験終了後、加圧を終了する。(ステップ144,145)
即ち、電磁誘導加熱法によりプローブ106の先端近傍を加熱し、その熱により当該プローブ106に接する電極端子103の表面を軟化せしめ、両者の接触面積の実質的な拡大を図った後、所定の試験を実施する。
12…端子
14…回路基板
18…接触子
20…ソケット
21…バネ
22…受け台
23…開口部
24…ヒータ
25…温度検出素子
26…試験信号発生回路
27…ヒータ制御回路
28…電流制御回路
29…直流電源
30…スイッチ
31…信号切換スイッチ
32…情報記録制御回路
33…絶縁性筒体
34a…内部(中心)接触子
34b…筒状接触子
35…バネ(プローブ内部)
36…配線基盤
37…環状絶縁体
38…開口部
39…パルスヒータ
40…パルスヒータ制御回路
41…電磁誘導コイル
42…電磁誘導制御装置
43…同軸型接触子
50…試験用接触子を電子部品の端子に接触させるステップ
51…エネルギーの印加により電子部品の端子の試験用接触子との接触領域を局部的に軟化させるステップ
52…電子部品の試験を行うステップ
53…試験用接触子を電子部品の端子から離すステップ
60…電子部品への加圧ステップ
61…接触子の加熱ステップ
62…温度確認ステップ
63…加熱終了ステップ
64…試験ステップ
65…電子部品への加圧終了ステップ
70…電子部品への加圧ステップ
71…温度確認ステップ
72…加熱終了ステップ
73…加熱終了ステップ
80…電子部品への加圧ステップ
81…ジュール熱による加熱ステップ
82…接触抵抗確認ステップ
83…電流供給終了ステップ
84…試験ステップ
85…電子部品への加圧終了ステップ
86…温度確認ステップ
90…電子部品への加圧ステップ
91…加熱ステップ
92…ジュール熱による加熱ステップ
93…接触抵抗確認ステップ
94…電流供給終了ステップ
95…試験ステップ
96…電子部品への加圧終了ステップ
97…温度確認ステップ
101…半導体ウエハ
102…電子部品
103…電極端子
104…試験回路基板
105…開口部
106…接触子(プローブ)
107…温度検出素子
108…レーザー装置
109…集光レンズ
110…レーザー光
111…電磁誘導コイル
112…電磁誘導制御装置
120…電子部品への加圧ステップ
121…レーザー照射ステップ
122…照射確認ステップ
123…次位置へ移動ステップ
124…試験ステップ
125…電子部品への加圧終了ステップ
126…電子部品への加圧終了ステップ
140…電子部品への加圧ステップ
141…電磁誘導加熱ステップ
142…誘導加熱確認ステップ
143…次位置へ切換ステップ
144…試験ステップ
145…電子部品への加圧終了ステップ
Claims (7)
- 電子回路に接続された接触子を電子部品の端子に接触させ、前記接触子を通して前記端子に通電して所望の処理を行い、しかる後前記接触子と前記端子とを分離する電気的接続方法に於いて、前記接触子或いは前記端子にエネルギーを印加することにより、前記端子の前記接触子への接触部を軟化せしめた状態にて、前記所望の処理を行うことを特徴とする電気的接続方法。
- 前記所望の処理が、当該電子部品の試験であることを特徴とする請求項1記載の電気的接続方法。
- 前記所望の処理が、当該電子部品への情報の書き込み、消去あるいは当該電子部品からの情報の読出しであることを特徴とする請求項1記載の電気的接続方法。
- 前記接触子へのエネルギーの印加は、当該接触子を加熱することに行われることを特徴とする請求項1記載の電気的接続方法。
- 前記接触子へのエネルギーの印加は、ヒータによる加熱、誘導加熱、或いはレーザー照射による加熱の何れか少なくとも1つによりなされることを特徴とする請求項1、4記載の電気的接続方法。
- 前記電子部品の端子へのエネルギーの印加は、前記接触子からの熱伝導によりなされることを特徴とする請求項1、4、5記載の電気的接続方法。
- 前記電子部品の端子へのエネルギーの印加は、当該端子に対して、当該端子に接する複数の接触子を通して電流を流すことによりなされることを特徴とする請求項1記載の電気的接続方法。
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