JP2005322792A - プリント配線基板、その製造方法および半導体装置 - Google Patents
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Abstract
本発明のプリント配線基板は、絶縁フィルムの少なくとも一方の面に、表面に金属メッキ層が形成された配線パターンを有し、該金属メッキ層が形成された配線パターンの端子部分を残し、かつ該金属メッキ層を介して配線パターン上に樹脂保護層が形成されたプリント配線基板であり、該配線パターンの金属メッキ層の表面粗度(Rz)が1.1μm以上
に調整されていることを特徴としており、本発明の半導体装置は、このプリント配線基板に電子部品が実装されてなる。本発明のプリント配線基板は、配線パターンを形成した後、金属メッキ層が形成される前に、配線パターン表面の金属メッキ層の表面粗度(Rz)が
、1.1μm以上になるように、配線パターンの表面を粗化処理することにより製造される。
【効果】
配線パターン表面を粗化処理することにより、例えば金メッキのように活性の低い金属からなるメッキ層を有する場合であっても、熱衝撃により樹脂保護層に発泡などの不具合が発生しにくい。
【選択図】 図4
Description
ングして、このマイクロエッチング面に直接ソルダーレジスト層を形成した場合のソルダーレジスト層の密着性であり、マイクロエッチングした銅の表面に金属メッキ層を形成した場合における金属メッキ層と樹脂保護層との密着性に関しては記載されていない。選択的エッチングにより配線パターンを形成する際には、形成された配線パターンの表面の金属酸化物の除去あるいは配線パターンの表面の粗化を目的として、配線パターンをマイクロエッチングする処理は行われていたが、通常の場合、形成された配線パターンの上には直接ソルダーレジスト層が形成され、このソルダーレジスト層との密着性を向上させるために、マイクロエッチングが行われているのであり、こうして形成された配線パターンの表面に金属メッキ層を形成した後、この金属メッキ層を介して樹脂保護層を形成する場合に、金属メッキ層の下地となる配線パターンの表面状態をどのように調整するかということに関しては、多層板の層間樹脂との接着強度を上げるために凹凸となるマイクロエッチングが行われていた。これは、従来のプリント配線基板においては、配線パターンのピッチ幅が広いために、ソルダーレジスト層の接着性に関しては、絶縁基材であるポリイミドフィルムなどとの接着性が支配的であり、配線パターン自体とソルダーレジスト層との接着性が仮に低かったとしても、ソルダーレジスト層自体は、絶縁フィルムと強固に接着しており、配線パターン上において配線パターンとソルダーレジスト層との接着強度が多少低くてもソルダーレジスト層全体から見れば、この部分的な接着強度の低下が問題になることはなかったからである。
キ層が形成された配線パターンを有し、該金属メッキ層が形成された配線パターンの端子部分を残し、かつ該金属メッキ層を介して配線パターン上に樹脂保護層が形成されたプリント配線基板であり、該配線パターンの金属メッキ層の表面粗度(Rz)が1.1μm以上
に調整されていることを特徴としている。
理した後、該配線パターン表面に金属メッキ層を形成し、次いでメッキ層が形成された配線パターンの金属メッキ層の上に端子部分を残して樹脂保護層を形成することを特徴としている。
図1は、本発明のプリント配線基板のうち、フレキシブルなTABテープの一例を模式的
に示す図であり、図2は、図1におけるA−A断面を模式的に示す断面図である。また、図3は、本発明で配線パターン上に貼着して樹脂保護層を形成するための樹脂保護フィルムを模式的に示す斜視図である。
このような絶縁フィルム11には、電子部品を実装するためのデバイスホール13が形成されていてもよいし、さらにこのフィルムの幅方向の縁部近傍には、このフィルムを搬送し、さらにこのフィルムの位置決め手段となるスプロケットホール12が形成されていてもよい。さらに、位置決め孔、出力用スリットなど、必要な貫通孔が形成されていてもよい。
た場合には、電解銅箔を製造する際に銅が析出し始める面(シャイニイ面)であり、その表面は非常に平滑であり、一般に、この配線パターンの表面は、電解銅箔のシャイニイ面に対応した表面粗度を有しており、その表面粗度(Rz)は、通常は0.5〜2.5μm、多くの場合0.5〜1.5μmの範囲内にある。このように非常に平滑な表面を有する配線パターンに金属メッキ層を形成すると、配線パターンの平滑度はさらに高くなる傾向がある。従って、上記のようにして形成された配線パターンに直接金属メッキ層を形成すると、形成された金属メッキ層の表面粗度(Rz)は、多くの場合、1.1μm未満になり、このようにほとんど鏡面に近い表面平滑性を有する配線パターンの表面に樹脂保護層を形成したとしても、配線パターン表面における樹脂保護層との間で有意義な密着強度は発現しない。また、圧延銅箔の表面粗度(Rz)は、通常は0.5〜1.0μmである。
助剤を配合した導電性金属、特に銅の表面エッチング剤を使用することができる。また、上記のようのエッチング剤では、酸化剤として過酸化水素を使用した組成の例を示したが、過酸化水素の代わりに、エッチング液内に空気や酸素を吹き込んで利用することもできる。さらに、この表面粗化処理を目的としたエッチング剤には、一度エッチング剤と接触した配線パターン表面の導電性金属は一定以上はエッチングされないようにエッチング液から保護し、配線パターンの表面より深い部分に新たに露出した導電性金属を溶出すると共に、過度の導電性金属の溶出を防止するためにエッチングされた導電性金属の表面において溶出と保護とのバランスを採る必要がある。このために、窒素、酸素、硫黄の少なくとも1つの元素を含む複素環式化合物を配合して、エッチング液の主剤によりエッチング
された導電性金属面にこうした複素環式化合物を配位させて保護する。このような複素環式化合物としては、例えば、窒素原子、硫黄原子、酸素原子などを有する複素環式化合物を使用することができ、例えば、チアゾール、ベンゾチアゾール、ベンゾトリアゾール、メルカプトベンゾトリアゾール、カルボキシベンゾトリアゾール、フェノキシテトラゾール、グアナミン、グアニン、インドール、スカトール、ピリジン類、ピリミジン類、チオバルビツール酸、グアニジン類、ピロール類などを挙げることができる。
本発明のプリント配線基板を製造するに際しては、選択的エッチングにより形成された配線パターンの表面を、例えば上記のような表面粗化用のエッチング液を使用して、配線パターンの表面の表面粗度(Rz)を1.1μm以上に調整することが好ましく、さらに、この表面粗度(Rz)を1.1〜2.0μmの範囲内に調整することが特に好ましく、さらに1.3〜1.8μmの範囲内に調整することがさらに好ましい。すなわち、本発明のプリント配線基板においては、導電性金属箔を選択的にエッチングして配線パターンを形成し、こうして形成された配線パターン14の表面に金属メッキ層19を形成し、さらに、この金属メッキ層19の表面に、端子部分15,16,17,18が露出するように樹脂保護層20を形成するのであるが、金属メッキ層19の表面が平滑すぎると樹脂保護層20との密着強度が充分に高くならずに、電子部品を実装する際の熱衝撃によって発泡などが生じてしまう。上記のようにして表面状態が調整された配線パターン14の表面には、通常の場合には、ソルダーレジスト層などの樹脂保護層が直接形成されるが、本発明のプリント配線基板においては、上記のように表面状態が調整された配線パターンの表面に金属メッキ層19を形成する。なお、樹脂保護層を形成する前に、配線パターンの表面に、配線パターンのえぐれ(孔蝕)などの発生を防止するために配線パターンを形成する金属(例えば銅)よりも卑金属(例えばスズ)などのメッキ層を形成することがあるが、このような防食を目的とするメッキ層を形成する場合には、形成された配線パターンの表面をメッキ処理前に粗化処理することは、通常の場合には行われていない。
ことがある。
このような平均厚さを有する金属メッキ層19の表面は、その表面粗度を測定すると、前述のようにして表面粗化処理をした配線パターン14の表面の表面粗度(Rz)と同等で
あるか、わずかに表面粗度(Rz)が低下する傾向があるが、その表面状態は、図4に示す
ように、表面粗化処理した配線パターンの表面には非常に微細な凹凸が多数形成されているのに対して、金属メッキ処理することにより、非常に微細な凹凸を含む凸部が全体とし
て金属メッキ層によって包括的に被覆されてある程度の大きさを有する凸部を形成し、非常に微細な凹凸を含む凹部が全体として金属メッキ層によって包括的に被覆されてある程度の大きさを有する凹部を形成し、微細凹凸は、ほとんど金属メッキ層によって被覆され、ある程度の大きさの凹部と凸部とが形成される。このようなある程度の大きさの凹部と凸部とを有する金属メッキ層には、樹脂保護層として樹脂保護フィルムを使用した場合に保護樹脂フィルムの接着剤層が非常に良好に侵入して一体化にするために、この金属メッキ層と樹脂保護フィルムとの密着強度が非常に高くなり、熱衝撃を加えても金属メッキ層と樹脂保護フィルムの接着剤層との間で発泡などの不具合が発生しにくくなる。
する前後における表面粗度(Rz)に著しい差はなく、その変動幅は、ほとんどないか、あるいは粗化処理された配線パターンについて求めた表面粗度(Rz)の20%以下、多くの場合15%以下であり、金属メッキ層を形成することにより、測定された表面粗度(Rz)の値からすれば、表面が若干平滑になる程度である。
測定した多数の値の平均値(例えば10点測定の平均値)であり、微細な構造変化が算術平均をすることにより均質化される傾向があること、および、触針の先端半径(R)より
も小さい凹部は検出が難しいことなどが考えられる。
の表面状態と形成された金属メッキ層の表面状態も明らかに異なるものとなる。
ッキ層19と樹脂フィルム26とが強固に接着する。特に金属メッキ層19が金メッキ層あるいは金を含む貴金属メッキ層である場合に、樹脂保護シートの密着強度は、配線パターンの表面を粗化処理しないで同様にメッキ処理された場合の3倍以上、多くの場合5倍
以上の密着強度を発現させることができる。
なお、熱衝撃時における発泡についての上記の説明は、樹脂保護シートを用いた場合の例であるが、ソルダーレジストインキを用いて樹脂保護層20を形成した場合にも生ずる問題でもある。
例えば、本発明のプリント配線基板は、プリント回路基板(PWB)、FPC(Flexible Printed Circuit)、フレキシブルで長尺状のTAB(Tape Automated Bonding)テープ、COF(Chip On Film)、CSP(Chip Size Package)、BGA (Ball Grid Array)、μ-BGA(μ- Ball Grid
Array)、プリンター用TABテープなどとして使用することができる。
[実施例]
次に本発明の実施例を示して本発明をさらに具体的に説明するが、本発明はこれらによって限定されるものではない。
0μmのシャイニイ面である。
樹脂を塗布して、露光・現像することにより、所望のパターンを形成した。
次いで、塩化第2銅を含有するエッチング液に上記基材フィルムを浸漬して、形成した
パターンをマスキング材として電解銅箔を選択的にエッチングして配線ピッチ80μm(配線パターン幅:40μm、配線パターン間幅:40μm)のマスキング材と相似形の配線パターンを形成した。こうして形成された配線パターンの表面は、使用した電解銅箔のシャイニイ面の表面粗度(Rz)がある程度保持されており、その表面粗度(Rz)は、1.3μmであった。なお、上記のように配線パターンを形成後、アルカリ洗浄水を用いてマスキング材として使用した樹脂パターンを除去した。
上記のようなエッチング装置には、水洗装置が隣接されており、エッチング装置から搬出されたテープは洗工程に付されるようにされている。
得られたプリント配線基板に貼着された樹脂保護シートの密着強度を測定したところ、420g/cmであった。
得られたプリント配線基板に貼着された樹脂保護シートの密着強度を測定したところ、430g/cmであった。
実施例1において、配線パターンの粗化処理を行わなかった以外は同様にしてプリント配線基板を製造した。この配線パターン表面の表面粗度(Rz)は、用いた電解銅箔のシャイニイ面の表面粗度(Rz)と同じ1.3μmである。なお、金メッキ層の表面粗度(Rz)
は1.0μmであった。
また、電子部品の実装を想定して、このプリント配線基板を260℃、および、370℃に加熱して熱衝撃をかけたところ、260℃では樹脂保護フィルムに発泡は生じなかったが、370℃に加熱したところ、多数の発泡が生じた。
12・・・スプロケットホール
13・・・デバイスホール
14・・・配線パターン
15・・・入力側アウターリード
16・・・入力側インナーリード
17・・・出力側インナーリード
18・・・出力側アウターリード
19・・・金属メッキ層
20・・・樹脂保護層
21・・・樹脂保護シート
23・・・デバイスホール相当打ち抜き
25・・・接着剤層
26・・・樹脂層
Claims (12)
- 絶縁フィルムの少なくとも一方の面に、表面に金属メッキ層が形成された配線パターンを有し、該金属メッキ層が形成された配線パターンの端子部分を残し、かつ該金属メッキ層を介して配線パターン上に樹脂保護層が形成されたプリント配線基板であり、該配線パターンの金属メッキ層の表面粗度(Rz)が1.1μm以上に調整されていることを特徴と
するプリント配線基板。 - 上記形成された配線パターン全面に金属メッキ層が形成されていることを特徴とする請求項第1項記載のプリント配線基板。
- 上記配線パターンの表面に形成された金属メッキ層が、貴金属を含有するメッキ層であることを特徴とする請求項第1項または第2項記載のプリント配線基板。
- 上記貴金属を含有するメッキ層が、金メッキ層であることを特徴とする請求項第3項記載のプリント配線基板。
- 上記配線パターンの金属メッキ層の表面粗度(Rz)が、1.1〜2.0μmの範囲内にあることを特徴とする請求項第1項記載のプリント配線基板。
- 上記樹脂保護層が、金属メッキ層が形成された配線パターンの表面に金属メッキ層を介して塗設されたソルダーレジスト層または金属メッキ層が形成された配線パターンの表面に金属メッキ層を介して貼着された保護樹脂フィルム層であることを特徴とする請求項第1項記載のプリント配線基板。
- 絶縁フィルムの少なくとも一方の表面に金属層を有する基材フィルムを選択的にエッチングして配線パターンを形成し、該配線パターン表面の金属メッキ層の表面粗度(Rz)が
、1.1μm以上になるように粗化処理した後、該配線パターン表面に金属メッキ層を形成し、次いでメッキ層が形成された配線パターンの金属メッキ層の上に端子部分を残して樹脂保護層を形成することを特徴とするプリント配線基板の製造方法。 - 上記配線パターンの表面に貴金属を含有する金属メッキ層を形成することを特徴とする請求項第7項記載のプリント配線基板の製造方法。
- 上記貴金属を含有するメッキ層が、金メッキ層であることを特徴とする請求項第8項記載のプリント配線基板の製造方法。
- 上記配線パターンの金属メッキ層を、表面粗度(Rz)が、1.1〜2.0μmの範囲内になるように表面粗化することを特徴とする請求項第7項記載のプリント配線基板の製造方法。
- 上記金属メッキ層が形成された配線パターンの表面に、端子部分を残して、金属メッキ層を介してソルダーレジストを塗布してソルダーレジスト層を形成するか、または、端子部分を残して、金属メッキ層を介して樹脂保護シートを貼着することを特徴とする請求項第7項記載のプリント配線基板の製造方法。
- 上記請求項第1項乃至第4項のいずれかの項記載のプリント配線基板に電子部品が実装されていることを特徴とする半導体装置。
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