JP2005317963A - 電子付着を用いて基材から物質を除去する方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 物質で表面がコーティングされている反応器を準備することと、第一電極及び第二電極を、目標領域内となるように、前記反応器に近接して設けることと、反応ガスを含むガス混合物を前記目標領域に通すことと、前記第一電極及び/又は第二電極にエネルギーを供給して、前記目標領域内に電子を生成するが、前記電子の少なくとも一部分が前記反応ガスの少なくとも一部分に結合することにより負に帯電した清浄ガスを形成することと、前記物質を前記負に帯電した清浄ガスと接触させ、前記負に帯電した清浄ガスを前記物質と反応させて揮発性生成物を形成することと、前記揮発性生成物を前記反応器から取り出すことと、を含む方法。
【選択図】 なし
Description
Claims (35)
- 反応器から物質を除去する方法であって、
前記物質で表面の少なくとも一部分がコーティングされている前記反応器を準備する工程と、
第一電極及び第二電極を、それらの電極が目標領域内に位置するように、前記反応器内又は前記反応器に近接して設ける工程と、
反応ガスを含むガス混合物を前記目標領域に通し、かつその際に前記反応ガスの電子親和力が0より大きいものである工程と、
前記第一電極又は第二電極のうちの少なくとも一つにエネルギーを供給して、前記目標領域内に電子を生成し、かつその際に前記電子の少なくとも一部分が前記反応ガスの少なくとも一部分に結合することにより負に帯電した清浄ガスを形成する工程と、
前記物質を前記負に帯電した清浄ガスと接触させ、前記負に帯電した清浄ガスを前記物質と反応させて少なくとも一種の揮発性生成物を形成する工程と、
前記少なくとも一種の揮発性生成物を前記反応器から取り出す工程と、
を含む方法。 - 前記反応ガスがハロゲンを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記反応ガスが、NF3、ClF3、ClF、SF6、パーフルオロカーボン、ハイドロフルオロカーボン、オキシフルオロカーボン、ハイポフルオライト、フルオロパーオキシド、フルオロトリオキシド、COF2、NOF、F2、式NFnCl3-n(式中、nは、1〜2の数である)で表される化合物、オキシハイドロフルオロカーボン、塩素含有化合物、臭素含有化合物、ヨウ素含有化合物、一般式CαHβXγYδOε(式中、X及びYは、ハロゲン原子F、Cl、BrおよびIのうちの一つであり、αは、1〜6の数であり、βは、0〜13の数であり、γ+δは、1〜14の数であり、εは、1〜6の数である)で表される酸素、水素及びハロゲン混合化合物、クロロカーボン、ヒドロクロロカーボン、窒素と水素とを含有する化合物、並びにそれらの混合物から選択された少なくとも一員である、請求項1又は2に記載の方法。
- 前記反応ガスがNF3である、請求項1〜3のいずれか1項に記載の方法。
- 前記ガス混合物が、リモートチャンバー内で活性化された反応種を含む、請求項1〜4のいずれか1項に記載の方法。
- 前記ガス混合物が不活性希釈ガスをさらに含む、請求項1〜5のいずれか1項に記載の方法。
- 前記不活性希釈ガスが、窒素、ヘリウム、アルゴン、ネオン、キセノン、クリプトン、ラドン及びこれらの混合物から選択された少なくとも一つを含む、請求項6に記載の方法。
- 前記不活性希釈ガスの電子親和力が、前記反応ガスの電子親和力より小さい、請求項5又は6に記載の方法。
- 前記供給工程におけるエネルギーが、電気エネルギーソース、電磁エネルギーソース、熱エネルギーソース、電気エネルギーソース、光エネルギーソース及びそれらの組み合わせからなる群から選択された少なくとも一つのソースである、請求項1〜8のいずれか1項に記載の方法。
- 前記エネルギーが電気エネルギーソースである、請求項1〜9のいずれか1項に記載の方法。
- 前記第一電極が接地されている、請求項1〜10のいずれか1項に記載の方法。
- 前記第二電極が接地されている、請求項1〜11のいずれか1項に記載の方法。
- 前記目標領域が、前記反応器の内側又は前記反応器の外側にある、請求項1〜12のいずれか1項に記載の方法。
- 前記電子を、カソード放出、ガス放電及びそれらの組み合わせからなる群から選択された少なくとも一つの方法により前記供給工程で発生させる、請求項1〜13のいずれか1項に記載の方法。
- 前記電子を、電界放出、熱放出、熱電界放出、光電子放出及び電子線放出からなる群から選択されたカソード放出法により発生させる、請求項1〜15のいずれか1項に記載の方法。
- 前記物質が、W、Ti、SiO2、TiO2、SiON、多結晶シリコン、非晶質シリコン、SiN、WN、Al2O3、HfO2、ZrO2、HfSiO4及びそれらの混合物から選択された少なくとも一種である、請求項1〜15のいずれか1項に記載の方法。
- 反応器の表面の少なくとも一部分から物質を除去する方法であって、
少なくとも一つの電極と、少なくとも一部分が接地されている表面とを含む前記反応器を準備する工程と、
反応ガスを含むガス混合物、又は反応ガスと不活性希釈ガスとを含むガス混合物を前記反応器に導入する工程と、
前記少なくとも一つの電極及び/又は前記表面に電圧を供給して電子を発生させ、その際、前記電子の少なくとも一部分が前記反応ガスの少なくとも一部分に結合することにより負に帯電した清浄ガスを形成する工程と、
前記物質を前記負に帯電した清浄ガスと接触させ、前記負に帯電した清浄ガスを前記物質と反応させて少なくとも一種の揮発性生成物を形成する工程と、
前記少なくとも一種の揮発性生成物を前記反応器から取り出す工程と、
を含む方法。 - 前記ガス混合物が反応性種をさらに含む、請求項17に記載の方法。
- 前記反応ガスが、NF3、ClF3、ClF、SF6、パーフルオロカーボン、ハイドロフルオロカーボン、オキシフルオロカーボン、ハイポフルオライト、フルオロパーオキシド、フルオロトリオキシド、COF2、NOF、F2、式NFnCl3-n(式中、nは、1〜2の数である)で表される化合物、オキシハイドロフルオロカーボン、塩素含有化合物、臭素含有化合物、ヨウ素含有化合物、一般式CαHβXγYδOε(式中、X及びYは、ハロゲン原子F、Cl、BrおよびIのうちの一つであり、αは、1〜6の数であり、βは、0〜13の数であり、γ+δは、1〜14の数であり、εは、1〜6の数である)で表される酸素、水素及びハロゲン混合化合物、クロロカーボン、ヒドロクロロカーボン、窒素と水素とを含有する化合物、並びにそれらの混合物から選択された少なくとも一員である、請求項17又は18に記載の方法。
- 前記反応ガスがNF3である、請求項17〜19のいずれか1項に記載の方法。
- 前記物質が、SiO2、TiO2、SiON、W、多結晶シリコン、非晶質シリコン、SiN、WN、Al2O3、HfO2、ZrO2、HfSiO4及びそれらの混合物から選択された少なくとも一種である、請求項17〜20のいずれか1項に記載の方法。
- 前記電圧が、0.01〜50kVの範囲である、請求項17〜21のいずれか1項に記載の方法。
- 前記電圧が、0.1〜30kVの範囲である、請求項17〜22のいずれか1項に記載の方法。
- 前記電圧がパルス化されている、請求項17〜23のいずれか1項に記載の方法。
- 前記ガス混合物の圧力が、1トール〜20psiaの範囲である、請求項17〜24のいずれか1項に記載の方法。
- 前記ガス混合物が不活性希釈ガスを含む、請求項17〜25のいずれか1項に記載の方法。
- 前記不活性希釈ガスの量が、1〜99容積%の範囲である、請求項17〜26のいずれか1項に記載の方法。
- 反応器の表面の少なくとも一部分から物質を除去する方法であって、
反応器の外側に位置するリモートチャンバーに反応性ガスを入れ、前記反応ガスを前記リモートチャンバーにおいて活性化させて反応性種を形成する工程と、
少なくとも一つの電極と、少なくとも一部分が接地されている表面とを含む反応器を準備する工程と、
反応ガス及び反応性種を含むガス混合物、又は反応ガス、反応性種及び不活性希釈ガスを含むガス混合物を前記反応器に導入する工程と、
前記少なくとも一つの電極及び/又は前記表面に電圧を供給して電子を発生させ、その際、前記電子の少なくとも一部分が前記反応ガスの少なくとも一部分に結合することにより負に帯電した清浄ガスを形成する工程と、
前記物質を前記負に帯電した清浄ガスと接触させ、前記負に帯電した清浄ガスを前記物質と反応させて少なくとも一種の揮発性生成物を形成する工程と、
前記少なくとも一種の揮発性生成物を前記反応器から取り出す工程と、
を含む方法。 - 前記活性化工程を、100〜14,000ワットの範囲のパワーを用いておこなう、請求項28に記載の方法。
- 半導体材料を含む基材から物質を除去する方法であって、
表面の少なくとも一部分に前記物質をコーティングした基材を用意する工程と、
第一電極及び第二電極を前記基材に隣接して準備し、その際前記第一電極及び前記第二電極が目標領域内にあるようにする工程と、
反応ガスを含むガス混合物を前記目標領域に通し、その際前記反応ガスの電子親和力が0より大きいものである工程と、
エネルギーを前記第一電極又は第二電極のうちの少なくとも一つに供給して前記目標領域内に電子を生成し、その際前記電子の少なくとも一部分が前記反応ガスの少なくとも一部分に結合することにより、負に帯電したエッチングガスを形成する工程と、
前記物質を前記負に帯電したエッチングガスと接触させ、その際前記負に帯電したエッチングガスを前記物質と反応させて少なくとも一種の揮発性生成物を形成する工程と、
前記少なくとも一種の揮発性生成物を前記目標領域から取り出す工程と、
を含む方法。 - 前記反応ガスが、NF3、ClF3、ClF、SF6、パーフルオロカーボン、ハイドロフルオロカーボン、オキシフルオロカーボン、ハイポフルオライト、フルオロパーオキシド、フルオロトリオキシド、COF2、NOF、F2、式NFnCl3-n(式中、nは、1〜2の数である)で表される化合物、オキシハイドロフルオロカーボン、塩素含有化合物、臭素含有化合物、ヨウ素含有化合物、一般式CαHβXγYδOε(式中、X及びYは、ハロゲン原子F、Cl、BrおよびIのうちの一つであり、αは、1〜6の数であり、βは、0〜13の数であり、γ+δは、1〜14の数であり、εは、1〜6の数である)で表される酸素、水素及びハロゲン混合化合物、クロロカーボン、ヒドロクロロカーボン、窒素と水素とを含有する化合物、並びにそれらの混合物から選択された少なくとも一つのものである、請求項30に記載の方法。
- 前記反応ガスが不活性希釈ガスをさらに含む、請求項30又は31に記載の方法。
- 前記不活性希釈ガスが、窒素、ヘリウム、アルゴン、ネオン、キセノン、クリプトン、ラドン及びこれらの混合物から選択された少なくとも一つを含む、請求項32に記載の方法。
- 前記反応ガスが添加ガスをさらに含む、請求項30〜33のいずれか1項に記載の方法。
- 前記添加ガスが、O2、O3、CO、CO2、NO、N2O、NO2及びそれらの混合物から選択された少なくとも一種を含む、請求項34に記載の方法。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011506119A (ja) * | 2007-12-21 | 2011-03-03 | ゾルファイ フルーオル ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 微小電気機械システムの生産方法 |
JP2011165769A (ja) * | 2010-02-05 | 2011-08-25 | Tokyo Electron Ltd | 半導体装置の製造方法及びプラズマエッチング装置 |
WO2012052858A1 (en) * | 2010-08-16 | 2012-04-26 | L'air Liquide Societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude | Etching of oxide materials |
Families Citing this family (29)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3381774B2 (ja) * | 1997-12-24 | 2003-03-04 | 東京エレクトロン株式会社 | CVD−Ti膜の成膜方法 |
US7166528B2 (en) | 2003-10-10 | 2007-01-23 | Applied Materials, Inc. | Methods of selective deposition of heavily doped epitaxial SiGe |
JP4447419B2 (ja) * | 2004-09-29 | 2010-04-07 | Necエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
DE602004026591D1 (de) * | 2004-10-12 | 2010-05-27 | Fosber Spa | Maschine zum Längsschneiden von bahnförmigen Material, insbesondere Wellpappebahnen |
US7682940B2 (en) | 2004-12-01 | 2010-03-23 | Applied Materials, Inc. | Use of Cl2 and/or HCl during silicon epitaxial film formation |
US7422983B2 (en) | 2005-02-24 | 2008-09-09 | International Business Machines Corporation | Ta-TaN selective removal process for integrated device fabrication |
KR20080050402A (ko) * | 2005-08-02 | 2008-06-05 | 매사추세츠 인스티튜트 오브 테크놀로지 | Nf₃를 사용한 표면 적층물 제거 방법 |
JP2009503905A (ja) * | 2005-08-02 | 2009-01-29 | マサチューセッツ インスティテュート オブ テクノロジー | 表面沈着物の除去および化学蒸着(cvd)チャンバーの内部の内部表面の不動態化方法 |
US20070131899A1 (en) * | 2005-12-13 | 2007-06-14 | Jinru Bian | Composition for polishing semiconductor layers |
KR100706810B1 (ko) * | 2006-02-07 | 2007-04-12 | 삼성전자주식회사 | 박박 형성 장치의 세정 방법 및 이를 이용한 박막 형성방법 |
US7674337B2 (en) | 2006-04-07 | 2010-03-09 | Applied Materials, Inc. | Gas manifolds for use during epitaxial film formation |
US20100012153A1 (en) * | 2006-07-27 | 2010-01-21 | Takamitsu Shigemoto | Method of cleaning film forming apparatus and film forming apparatus |
DE112007001814T5 (de) | 2006-07-31 | 2009-06-04 | Applied Materials, Inc., Santa Clara | Verfahren zum Bilden kohlenstoffhaltiger Siliziumepitaxieschichten |
US7718542B2 (en) * | 2006-08-25 | 2010-05-18 | Lam Research Corporation | Low-k damage avoidance during bevel etch processing |
US7789965B2 (en) * | 2006-09-19 | 2010-09-07 | Asm Japan K.K. | Method of cleaning UV irradiation chamber |
US7960236B2 (en) * | 2006-12-12 | 2011-06-14 | Applied Materials, Inc. | Phosphorus containing Si epitaxial layers in N-type source/drain junctions |
US8394196B2 (en) * | 2006-12-12 | 2013-03-12 | Applied Materials, Inc. | Formation of in-situ phosphorus doped epitaxial layer containing silicon and carbon |
KR100840646B1 (ko) * | 2006-12-29 | 2008-06-24 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | 시모스 이미지 센서의 제조 방법 |
JP5048352B2 (ja) * | 2007-01-31 | 2012-10-17 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理方法及び基板処理装置 |
KR101330707B1 (ko) * | 2007-07-19 | 2013-11-19 | 삼성전자주식회사 | 반도체 장치의 형성 방법 |
TW201044963A (en) * | 2010-06-25 | 2010-12-16 | Linco Technology Co Ltd | Method of forming EMI shield on plastic workpiece |
JP2012204644A (ja) * | 2011-03-25 | 2012-10-22 | Tokyo Electron Ltd | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 |
US20140166618A1 (en) | 2012-12-14 | 2014-06-19 | The Penn State Research Foundation | Ultra-high speed anisotropic reactive ion etching |
CN107112223B (zh) * | 2014-10-10 | 2021-05-07 | 关东电化工业株式会社 | 硅化合物用蚀刻气体组合物及蚀刻方法 |
US9673315B2 (en) * | 2015-03-24 | 2017-06-06 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Semiconductor device, inverter circuit, driving device, vehicle, and elevator |
KR20160123575A (ko) * | 2015-04-16 | 2016-10-26 | 삼성전자주식회사 | 전자 소자 제조 장치와 세정 방법 및 이를 이용한 전자 소자의 제조 방법 |
JP6600480B2 (ja) * | 2015-04-20 | 2019-10-30 | 東京エレクトロン株式会社 | 被処理体を処理する方法 |
US10607850B2 (en) * | 2016-12-30 | 2020-03-31 | American Air Liquide, Inc. | Iodine-containing compounds for etching semiconductor structures |
JP6896522B2 (ja) * | 2017-06-27 | 2021-06-30 | レール・リキード−ソシエテ・アノニム・プール・レテュード・エ・レクスプロワタシオン・デ・プロセデ・ジョルジュ・クロード | エッチング方法およびプラズマエッチング用材料 |
Family Cites Families (29)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE69217829T2 (de) * | 1991-11-08 | 1997-06-12 | Fujitsu Ltd | Feldemissionsanordnung und Reinigungsverfahren dafür |
JPH05291190A (ja) * | 1992-04-08 | 1993-11-05 | Tokyo Electron Ltd | プラズマ装置 |
JP3502096B2 (ja) * | 1992-06-22 | 2004-03-02 | ラム リサーチ コーポレイション | プラズマ処理装置内の残留物を除去するためのプラズマクリーニング方法 |
US5413670A (en) * | 1993-07-08 | 1995-05-09 | Air Products And Chemicals, Inc. | Method for plasma etching or cleaning with diluted NF3 |
US5454903A (en) * | 1993-10-29 | 1995-10-03 | Applied Materials, Inc. | Plasma cleaning of a CVD or etch reactor using helium for plasma stabilization |
US5779926A (en) * | 1994-09-16 | 1998-07-14 | Applied Materials, Inc. | Plasma process for etching multicomponent alloys |
US5647953A (en) * | 1995-12-22 | 1997-07-15 | Lam Research Corporation | Plasma cleaning method for removing residues in a plasma process chamber |
JP2882339B2 (ja) * | 1996-02-21 | 1999-04-12 | 日本電気株式会社 | タングステンcvd反応室内のエッチング方法 |
US5843239A (en) * | 1997-03-03 | 1998-12-01 | Applied Materials, Inc. | Two-step process for cleaning a substrate processing chamber |
US6379575B1 (en) * | 1997-10-21 | 2002-04-30 | Applied Materials, Inc. | Treatment of etching chambers using activated cleaning gas |
US6136211A (en) * | 1997-11-12 | 2000-10-24 | Applied Materials, Inc. | Self-cleaning etch process |
US6067999A (en) * | 1998-04-23 | 2000-05-30 | International Business Machines Corporation | Method for deposition tool cleaning |
US6217704B1 (en) * | 1998-09-22 | 2001-04-17 | Canon Kabushiki Kaisha | Plasma processing apparatus |
JP2000100790A (ja) * | 1998-09-22 | 2000-04-07 | Canon Inc | プラズマ処理装置及びそれを用いた処理方法 |
JP2000277496A (ja) | 1999-03-27 | 2000-10-06 | Sigma Meltec Ltd | 金属薄膜のエッチング方法 |
US6352081B1 (en) * | 1999-07-09 | 2002-03-05 | Applied Materials, Inc. | Method of cleaning a semiconductor device processing chamber after a copper etch process |
TW507256B (en) * | 2000-03-13 | 2002-10-21 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | Discharge plasma generating method, discharge plasma generating apparatus, semiconductor device fabrication method, and semiconductor device fabrication apparatus |
JP3920015B2 (ja) * | 2000-09-14 | 2007-05-30 | 東京エレクトロン株式会社 | Si基板の加工方法 |
US6828241B2 (en) * | 2002-01-07 | 2004-12-07 | Applied Materials, Inc. | Efficient cleaning by secondary in-situ activation of etch precursor from remote plasma source |
US6843858B2 (en) * | 2002-04-02 | 2005-01-18 | Applied Materials, Inc. | Method of cleaning a semiconductor processing chamber |
US20040014327A1 (en) * | 2002-07-18 | 2004-01-22 | Bing Ji | Method for etching high dielectric constant materials and for cleaning deposition chambers for high dielectric constant materials |
US20040011380A1 (en) * | 2002-07-18 | 2004-01-22 | Bing Ji | Method for etching high dielectric constant materials and for cleaning deposition chambers for high dielectric constant materials |
US7357138B2 (en) * | 2002-07-18 | 2008-04-15 | Air Products And Chemicals, Inc. | Method for etching high dielectric constant materials and for cleaning deposition chambers for high dielectric constant materials |
US6857433B2 (en) * | 2002-07-22 | 2005-02-22 | Air Products And Chemicals, Inc. | Process for cleaning a glass-coating reactor using a reactive gas |
US20040045577A1 (en) * | 2002-09-10 | 2004-03-11 | Bing Ji | Cleaning of processing chambers with dilute NF3 plasmas |
US7079370B2 (en) * | 2003-04-28 | 2006-07-18 | Air Products And Chemicals, Inc. | Apparatus and method for removal of surface oxides via fluxless technique electron attachment and remote ion generation |
US7387738B2 (en) * | 2003-04-28 | 2008-06-17 | Air Products And Chemicals, Inc. | Removal of surface oxides by electron attachment for wafer bumping applications |
CA2465195C (en) * | 2003-04-28 | 2012-06-19 | Air Products And Chemicals, Inc. | Electrode assembly for the removal of surface oxides by electron attachment |
US7055263B2 (en) * | 2003-11-25 | 2006-06-06 | Air Products And Chemicals, Inc. | Method for cleaning deposition chambers for high dielectric constant materials |
-
2005
- 2005-04-01 US US11/095,580 patent/US20050241671A1/en not_active Abandoned
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- 2005-04-28 EP EP05009316A patent/EP1598881A3/en not_active Withdrawn
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011506119A (ja) * | 2007-12-21 | 2011-03-03 | ゾルファイ フルーオル ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 微小電気機械システムの生産方法 |
JP2016086188A (ja) * | 2007-12-21 | 2016-05-19 | ゾルファイ フルーオル ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングSolvay Fluor GmbH | 微小電気機械システムの生産方法 |
JP2011165769A (ja) * | 2010-02-05 | 2011-08-25 | Tokyo Electron Ltd | 半導体装置の製造方法及びプラズマエッチング装置 |
US8772172B2 (en) | 2010-02-05 | 2014-07-08 | Tokyo Electron Limited | Semiconductor device manufacturing method and plasma etching apparatus |
WO2012052858A1 (en) * | 2010-08-16 | 2012-04-26 | L'air Liquide Societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude | Etching of oxide materials |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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