JP2005311380A - 半導体ウェーハのための発送の準備のできた包装、半導体ウェーハの発送の準備のできた包装法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】包装は、蓋4および本体3、蓋4と本体3の間のパッキング5および容器2の内部空間と容器2の外周の間のガス交換を可能にする、容器2に組み込まれた粒子フィルター6を有する、半導体ウェーハ1が積み込まれた、プラスチックからなる密閉可能な容器2、容器2を包囲し、低い圧力により容器に密着しているプラスチックからなる第1被膜7、湿分を結合する手段9、低い圧力により第1被膜および容器と密着している、湿分の通過を遮断する被覆を有する被覆されたプラスチックからなる第2被膜8、包囲された容器2を形状結合により組み込む、衝撃を吸収する部品10、および二重に被覆され、組み込まれた容器2を形状結合により包囲する外部包装11からなる。
【選択図】図1
Description
a)蓋および本体、蓋と本体の間のパッキングおよび容器の内部空間と容器の外周の間のガス交換を可能にする、容器に組み込まれた粒子フィルターを有する、半導体ウェーハが積み込まれた、プラスチックからなる密閉可能な容器、
b)容器を包囲し、低い圧力により容器に密着しているプラスチックからなる第1被膜、
c)湿分を結合する手段、
d)低い圧力により第1被膜および容器と密着している、湿分の通過を遮断する被覆を有する被覆されたプラスチックからなる第2被膜、
e)包囲された容器を形状結合により組み込む、衝撃を吸収する部品、および
f)二重に被覆され、組み込まれた容器を形状結合により包囲する外部包装
からなる半導体ウェーハのための発送の準備のできた包装により解決される。
a)複数の容器を洗浄し、乾燥し、その際容器がチャージを形成し、
b)チャージの容器の粒子、金属および有機物による不純物の存在を分析し、
c)チャージのその他の容器に半導体ウェーハを積み込み、分析でそれぞれの不純物が決められた限界値より低いことが得られた場合は、容器を蓋で閉鎖し、
d)容器を第1被膜で被覆し、第1被膜が容器に密着するまで、第1被膜の内部空間に低い圧力を生じ、
e)被覆された容器を第2被膜で被覆し、第2被膜が被覆された容器に密着するまで第2被膜の内部空間に低い圧力を生じ、
f)少なくとも容器と第1被膜(工程d)の間)の間または被覆された容器と第2被膜(工程e)の間)の間に湿分を結合する手段を導入し、
g)二重に被覆された容器を衝撃吸収部品に組み込み、
h)二重に被覆された、組み込まれた容器を外部包装に包装し、外部包装を閉鎖するかまたはb)による分析でそれぞれの不純物が完全に決められた限界値より低くないことが得られた場合は、工程a)を継続し、その際チャージのその他の容器が新しいチャージを形成する
ことを特徴とする。
容器2は少なくとも2個の被膜により包囲されている。第1の容器に直接接する被膜7は有利にプラスチックからなる透明なフィルムであり、その際ポリエチレン(PE)が有利である。フィルムは有利に引っ張り強度および耐貫通性を高める被覆により強化されている。ポリアミド(PA)またはポリエチレンテレフタレート(PET)からなる層または両方の層の組み合わせを有する被覆が特に有利である。第2被膜8は再び有利にPEである被覆されたプラスチックからなり、その際被覆は機械的強度、特に引っ張り強度および耐貫通性を高め、外部からの湿分に対するバリアを形成する。アルミニウムで被覆されたプラスチックフィルムが有利であり、付加的に引っ張り強度および耐貫通性を高めるために外層で強化されているフィルムが特に有利である。外層は有利にポリアミド(PA)またはポリエチレンテレフタレート(PET)またはこれらの両方の層の組み合わせからなる。内部の湿分に対する保護のために湿分を結合する手段9、有利に1個以上の水を吸い上げる物質を充填した紙袋または布袋が備えられている。湿分を結合する手段9は有利に第1被膜と第2被膜の間に配置され、第1被膜7を拡散する湿分を吸収する。前記手段による粒子の放出は無駄であり、半導体ウェーハ1が更に容器2および第1被膜7により保護されるからである。しかし湿分を結合する手段9を付加的にまたはその代りに容器2と第1被膜7の間に配置することも可能である。両方の被膜のそれぞれおよび容器はラベルが備えられていてもよい。
a)容器に粒子不含のきわめて純粋な水を充填し、振動し、引続き50mlの体積の試料を取り出し、市販のレーザー散乱光測定装置を使用して粒子の存在(LPC 液体粒子数)を検査する、LPC試験において、
1μmより大きい直径を有する粒子を測定する場合に、50未満、有利に10未満の粒子数、0.3μmより大きい直径を有する粒子を測定する場合に、1000未満、有利に100未満の粒子数、0.2μmより大きい直径を有する粒子を測定する場合に、2000未満、有利に200未満の粒子数、
b)容器にきわめて純粋な水50mlを充填し、振動し、水が不純物を含んでなく、試料をICP−MS(高周波誘導結合プラズマ−質量分析)またはCE(毛管電気泳動)を使用して分析する、微量の金属および金属イオンの試験において、ICP−MSによる測定の場合に、金属が多くても100ng、有利に多くても10ngの全質量を有する、
CEによる測定の場合に、イオンが多くても200ng、有利に100ngの全質量を有する、
c)容器材料を高温にし、ガスを出す有機不純物(例えばε−アミノカプロラクタム、テトラヒドロフラン)をガスクロマトグラフィーにより分析する有機不純物の試験において、ガスクロマトグラフィーによる測定の場合に、検査した容器材料の質量に対して有機不純物が50ppm未満、有利に5ppm未満の全濃度である。
Claims (6)
- 半導体ウェーハのための発送の準備のできた包装であり、
a)蓋および本体、蓋と本体の間のパッキングおよび容器の内部空間と容器の外周の間のガス交換を可能にする、容器に組み込まれた粒子フィルターを有する、半導体ウェーハが積み込まれた、プラスチックからなる密閉可能な容器、
b)容器を包囲し、低い圧力により容器に密着しているプラスチックからなる第1被膜、
c)湿分を結合する手段、
d)低い圧力により第1被膜および容器と密着している、湿分の通過を遮断する被覆を有する被覆されたプラスチックからなる第2被膜、
e)包囲された容器を形状結合により組み込む、衝撃を吸収する部品、および
f)二重に被覆され、組み込まれた容器を形状結合により包囲する外部包装
からなる半導体ウェーハのための発送の準備のできた包装。 - 第1被膜が透明である請求項1記載の包装。
- 第2被膜が耐亀裂性外部被覆を有する請求項1または2記載の包装。
- 第1被膜と第2被膜および第2被膜の外周の間の低い圧力が50ミリバールまでである請求項1から3までのいずれか1項記載の包装。
- 請求項1から4までのいずれかに記載の包装に半導体ウェーハを発送の準備のできた状態で包装する方法において、
a)複数の容器を洗浄し、乾燥し、その際容器が1つのチャージを形成し、
b)チャージの容器の粒子、金属および有機物による不純物の存在を分析し、
c)チャージのその他の容器に半導体ウェーハを積み込み、分析によりそれぞれの不純物が決められた限界値より低いことが得られた場合に、容器を蓋で閉鎖し、
d)容器を第1被膜で被覆し、第1被膜が容器に密着するまで、第1被膜の内部空間に低い圧力を生じ、
e)被覆された容器を第2被膜で被覆し、第2被膜が被覆された容器に密着するまで第2被膜の内部空間に低い圧力を生じ、
f)少なくとも容器と第1被膜(工程d)の間)の間または被覆された容器と第2被膜(工程e)の間)の間に湿分を結合する手段を導入し、
g)二重に被覆された容器を衝撃吸収部品に組み込み、
h)二重に被覆された、組み込まれた容器を外部包装に包装し、外部包装を閉鎖するかまたはb)による分析によりそれぞれの不純物が完全に決められた限界値より低くないことが得られた場合は、工程a)を継続し、その際チャージのその他の容器が新しいチャージを形成する
ことを特徴とする半導体ウェーハを発送の準備のできた状態で包装する方法。 - b)による分析のために以下の限界値が決定されている請求項5記載の方法:
a)LPC試験において、
1μmより大きい直径を有する粒子を測定する場合に、50未満の粒子数、
0.3μmより大きい直径を有する粒子を測定する場合に、1000未満の粒子数、
0.2μmより大きい直径を有する粒子を測定する場合に、2000未満の粒子数、
b)微量の金属および金属イオンの試験において、
ICP−MSによる測定の場合に、金属が多くても100ngの全質量を有する、
CEによる測定の場合に、イオンが多くても200ngの全質量を有する、
c)有機不純物の試験において、
ガスクロマトグラフィーによる測定の場合に、検査した容器材料の質量に対して有機不純物が50ppm未満の全濃度である。
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A521 | Request for written amendment filed |
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A912 | Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board |
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