JP2005294546A - メッキパターンの形成方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 柱状電極形成用のメッキレジスト膜を形成するためのネガ型のドライフォトレジストフィルムを露光するための露光マスク24には、柱状電極形成領域に対応する領域に円形状の遮光部25がマトリクス状に形成され、それ以外の領域にレジスト分断用溝形成用遮光部26が形成されている。レジスト分断用溝形成用遮光部26の幅は、ドライフォトレジストフィルムの厚さに依存する解像限界以下の大きさとなっている。この露光マスク24を用いて露光を行ない、次いで、現像を行なうと、メッキレジスト膜に柱状電極形成用開口部が形成されるとともに、この開口部の周囲におけるメッキレジスト膜の上面にレジスト分断用溝が放射状に形成される。このレジスト分断用溝の存在により、メッキレジスト膜を剥離した際に発生するレジスト残渣を大幅に低減することができる。
【選択図】 図5
Description
2 接続パッド
3 絶縁膜
5 保護膜
7 下地金属層
8 配線
9 柱状電極
10 封止膜
11 半田ボール
23 ドライフォトレジストフィルム
24 露光マスク
25 遮光部
26 レジスト分断用溝形成用遮光部
27 メッキレジスト膜
28 開口部
29 レジスト分断用溝
Claims (7)
- 形成すべきメッキパターンに対応する領域に遮光部を有し、且つ、少なくとも前記遮光部間の領域にレジスト分断用遮光部を有する露光マスクを用いてネガ型のフォトレジストフィルムに対して露光を行なう工程と、現像により、前記露光マスクの遮光部に対応する部分に開口部を有し、且つ、前記露光マスクのレジスト分断用遮光部に対応する部分にレジスト分断用溝を有するメッキレジスト膜を形成する工程と、前記メッキレジスト膜をマスクとして電解メッキを行なうことにより、前記メッキレジスト膜の開口部内にメッキパターンを形成する工程と、レジスト剥離液を用いて前記レジスト分断用溝を有する前記メッキレジスト膜を剥離する工程とを有することを特徴とするメッキパターンの形成方法。
- 請求項1に記載の発明において、前記露光マスクのレジスト分断用遮光部の幅は前記フォトレジストフィルムの厚さに依存する解像限界以下の大きさであることを特徴とするメッキパターンの形成方法。
- 請求項1に記載の発明において、前記露光マスクの遮光部は円形状でマトリクス状に配置されていることを特徴とするメッキパターンの形成方法。
- 請求項3に記載の発明において、前記露光マスクのレジスト分断用遮光部は、互いに隣接する前記遮光部を連結する線上に配置された直線部または破線部からなり、前記遮光部には接続されていないことを特徴とするメッキパターンの形成方法。
- 請求項1に記載の発明において、前記メッキパターン形成工程は、下地金属層上に形成された配線の接続パッド部上に柱状電極を形成する工程であることを特徴とするメッキパターンの形成方法。
- 請求項5に記載の発明において、前記露光工程および前記現像工程は、前記配線上または前記配線に沿う部分あるいは前記配線を横切る部分における前記メッキレジスト膜の上面にレジスト分断用溝を形成する工程を含むことを特徴とするメッキパターンの形成方法。
- 請求項6に記載の発明において、前記配線は狭い間隔で平行に配置された複数本の配線からなることを特徴とするメッキパターンの形成方法。
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JP2009177036A (ja) * | 2008-01-28 | 2009-08-06 | Casio Comput Co Ltd | 半導体装置の製造方法 |
JP2011018720A (ja) * | 2009-07-08 | 2011-01-27 | Casio Computer Co Ltd | 半導体装置の製造方法 |
CN104022085A (zh) * | 2013-03-01 | 2014-09-03 | 超威半导体(上海)有限公司 | 一种基板 |
Citations (1)
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JP2003338677A (ja) * | 2002-05-22 | 2003-11-28 | Dainippon Printing Co Ltd | めっき用レジストパタ−ン形成方法およびそれに用いるフォトマスク |
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2004
- 2004-03-31 JP JP2004107797A patent/JP2005294546A/ja active Pending
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