JP2011018720A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】 柱状電極および該柱状電極の周囲を覆う封止膜を有する半導体装置の製造に際し、封止膜の材料の使用量を少なくする。
【解決手段】 銅の電解メッキにより形成された柱状電極10の上部は、平坦ではなく、ドーム状となっており、このドーム状の部分の高さは30μm程度である。また、柱状電極10の高さは、メッキ異常成長等により、最大40μm程度のばらつきがある。したがって、最大高さの柱状電極10の高さは、最終的な高さ+30+40μm程度となる。次に、サーフェイスプレーナー27のバイト29で柱状電極10の上部を削り、柱状電極10の高さを揃える。これにより、柱状電極10の周囲を覆うための封止膜の材料の使用量を少なくすることができる。
【選択図】 図5

Description

この発明は半導体装置の製造方法に関する。
従来の半導体装置には、CSP(Chip Size Package)と呼ばれるものが知られている(例えば、特許文献1参照)。この半導体装置では、半導体基板上に設けられた絶縁膜の上面に、下地金属層と該下地金属層上に設けられた上部金属層とからなる2層構造の配線が設けられている。配線の接続パッド部上面には柱状電極が設けられている。配線を含む絶縁膜の上面において柱状電極の周囲には封止膜が設けられている。柱状電極の上面には半田ボールが設けられている。
特開2004−281614号公報
上記従来の半導体装置の製造方法では、まず、ウエハ状態の半導体基板(以下、半導体ウエハという)上に絶縁膜が形成されたものを準備する。次に、絶縁膜の上面全体に下地金属層を形成する。次に、下地金属層の上面に、上部金属層形成領域に対応する部分に開口部を有する上部金属層用メッキレジスト膜を形成する。次に、下地金属層をメッキ電流路とした電解メッキを行うことにより、上部金属層用メッキレジスト膜の開口部内の下地金属層の上面に上部金属層を形成する。次に、上部金属層用メッキレジスト膜を剥離する。
次に、上部金属層を含む下地金属層の上面に、上部金属層の接続パッド部つまり柱状電極形成領域に対応する部分に開口部を有する柱状電極用メッキレジスト膜を形成する。次に、下地金属層をメッキ電流路とした電解メッキを行なうことにより、柱状電極用メッキレジスト膜の開口部内の上部金属層の接続パッド部上面に柱状電極を形成する。次に、柱状電極用メッキレジスト膜を剥離する。
次に、上部金属層をマスクとして上部金属層下以外の領域における下地金属層をエッチングして除去し、上部金属層下にのみ下地金属層を残存させる。この状態では、上部金属層とその下に残存された下地金属層とにより、2層構造の配線が形成されている。次に、配線および柱状電極を含む絶縁膜の上面にエポキシ系樹脂等からなる封止膜をその厚さが柱状電極の高さよりもやや厚くなるように形成する。したがって、この状態では、柱状電極の上面は封止膜によって覆われている。
次に、封止膜の上面側を研削し、柱状電極の上面を露出させ、且つ、この露出された柱状電極の上面を含む封止膜の上面を平坦化する。次に、柱状電極の上面に半田ボールを形成する。次に、封止膜、絶縁膜および半導体ウエハをダイシングストリートに沿って切断すると、上記構造の半導体装置が複数個得られる。
ところで、電解メッキにより形成された直後における柱状電極の上部は、平坦ではなく、ドーム状となっており、このドーム状の部分の高さは30μm程度である。また、柱状電極の高さは、メッキ異常成長等により、最大40μm程度のばらつきがある。したがって、電解メッキにより形成された直後における最大高さの柱状電極の高さは、最終的な高さ+30+40μm程度となる。
一方、封止膜をスクリーン印刷法により形成する場合には、配線上における封止膜の厚さは電解メッキにより形成された直後における最大高さの柱状電極の高さよりも10〜20μm厚くしている。これは、10μm未満であると、スキージで柱状電極をなぎ倒すおそれがあり、20μm超であると、封止膜の材料を無駄に使用することになるからである。
しかしながら、上記従来の半導体装置の製造方法では、電解メッキにより形成された直後における最大高さの柱状電極の高さを最終的な高さ+30+40μm程度とし、スクリーン印刷法により形成された直後の配線上における封止膜の厚さを電解メッキにより形成された直後における最大高さの柱状電極の高さよりも10〜20μm厚くしているので、当該封止膜の厚さが柱状電極の最終的な高さよりも30+40+10〜20=80〜90μmとかなり厚くなり、封止膜の材料の使用量が多く、封止膜の材料費が嵩むという問題があった。
そこで、この発明は、封止膜の材料の使用量を少なくすることができる半導体装置の製造方法を提供することを目的とする。
請求項1に記載の発明は、半導体ウエハ上に電解メッキにより複数の柱状電極を形成する工程と、前記柱状電極の上部を削り、前記柱状電極の高さを揃える工程と、前記柱状電極を含む前記半導体ウエハ上に封止膜を形成する工程と、前記柱状電極を含む前記封止膜の上面側を削り、前記柱状電極の上面を露出させるとともに、この露出された前記柱状電極の上面を含む前記封止膜の上面を平坦化する工程と、前記封止膜および前記半導体ウエハを切断して半導体装置を複数個得る工程と、を有することを特徴とするものである。
請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の発明において、前記柱状電極を形成する工程は、前記半導体ウエハ上に、柱状電極形成用開口部を有する柱状電極形成用メッキレジスト膜を形成する工程を含み、前記柱状電極を形成する工程の後に、前記柱状電極形成用メッキレジスト膜を剥離する工程を有することを特徴とするものである。
請求項3に記載の発明は、請求項2に記載の発明において、前記柱状電極形成用メッキレジスト膜はネガ型のドライフィルムレジストで形成することを特徴とするものである。
請求項4に記載の発明は、請求項2に記載の発明において、前記柱状電極の上部を削る工程は、前記柱状電極形成用メッキレジスト膜を剥離する工程の後に行うことを特徴とするものである。
請求項5に記載の発明は、請求項2に記載の発明において、前記柱状電極の上部を削る工程は、前記柱状電極形成用メッキレジスト膜を剥離する工程の前に、前記柱状電極形成用メッキレジスト膜の上面側および前記柱状電極の上部を同時に削る工程であることを特徴とするものである。
請求項6に記載の発明は、請求項1に記載の発明において、前記柱状電極を形成する工程の前に、前記半導体ウエハ上に形成された絶縁膜上の全面に下地金属層を形成する工程と、前記下地金属層上に配線用上部金属層を形成する工程とを有し、前記柱状電極を形成する工程は、前記配線用上部金属層の接続パッド部上面に前記柱状電極を形成する工程であり、前記柱状電極の上部を削る工程の後に、前記配線用上部金属層をマスクとして該配線用上部金属層下以外の領域における前記下地金属層をエッチングして除去する工程を有することを特徴とするものである。
請求項7に記載の発明は、請求項1に記載の発明において、前記封止膜を形成する工程はスクリーン印刷法により行うことを特徴とするものである。
請求項8に記載の発明は、請求項7に記載の発明において、前記スクリーン印刷法により形成する前記封止膜の厚さは、上部を削られた後における前記柱状電極の高さよりも10〜20μm厚くすることを特徴とするものである。
請求項9に記載の発明は、請求項8に記載の発明において、前記柱状電極を含む前記封止膜の上面側を削る工程は、荒削り工程と、仕上げ削り工程とを含むことを特徴とするものである。
請求項10に記載の発明は、請求項9に記載の発明において、前記荒削り工程は10〜20μm荒削りする工程であり、前記仕上げ削り工程は20μm仕上げ削りする工程であることを特徴とするものである。
請求項11に記載の発明は、請求項1に記載の発明において、前記柱状電極の上面に半田ボールを形成する工程を有することを特徴とするものである。
請求項12に記載の発明は、請求項11に記載の発明において、前記半田ボールを形成する工程の前または後に、前記半導体ウエハの下面側を削り、前記半導体ウエハの厚さを薄くする工程を有することを特徴とするものである。
この発明によれば、柱状電極の上部を削り、柱状電極の高さを揃えた後に、柱状電極を含む半導体ウエハ上に封止膜を形成することにより、封止膜の材料の使用量を少なくすることができ、ひいては封止膜の材料費を低減することができる。
この発明の製造方法により製造された半導体装置の一例の断面図。 図1に示す半導体装置の製造方法の一例において、当初準備したものの断面図。 図2に続く工程の断面図。 図3に続く工程の断面図。 図4に続く工程の断面図。 図5に続く工程の断面図。 図6に続く工程の断面図。 図7に続く工程の断面図。 図8に続く工程の断面図。 図9に続く工程の断面図。 図10に続く工程の断面図。 図11に続く工程の断面図。 図12に続く工程の断面図。 図1に示す半導体装置の製造方法の他の例において、所定の工程の断面図。
図1はこの発明の製造方法により製造された半導体装置の一例の断面図を示す。この半導体装置は、一般的にはCSPと呼ばれるものであり、シリコン基板(半導体基板)1を備えている。シリコン基板1の上面には所定の機能の集積回路を構成する素子、例えば、トランジスタ、ダイオード、抵抗、コンデンサ等の素子(図示せず)が形成され、その上面周辺部には、上記集積回路の各素子に接続されたアルミニウム系金属等からなる接続パッド2が設けられている。接続パッド2は2個のみを図示するが、実際にはシリコン基板1の上面周辺部に多数配列されている。
接続パッド2の中央部を除くシリコン基板1の上面には酸化シリコン等からなるパッシベーション膜(絶縁膜)3が設けられ、接続パッド2の中央部はパッシベーション膜3に設けられた開口部4を介して露出されている。パッシベーション膜3の上面にはポリイミド系樹脂等からなる保護膜(絶縁膜)5が設けられている。パッシベーション膜3の開口部4に対応する部分における保護膜5には開口部6が設けられている。
保護膜5の上面には配線7が設けられている。配線7は、保護膜5の上面に設けられた銅等からなる下地金属層8と、下地金属層8の上面に設けられた銅からなる上部金属層9との2層構造となっている。配線7の一端部は、パッシベーション膜3および保護膜5の開口部4、6を介して接続パッド2に接続されている。
配線7の接続パッド部上面には銅からなる柱状電極10が設けられている。配線7を含む保護膜5の上面において柱状電極10の周囲にはエポキシ系樹脂等からなる封止膜11が設けられている。柱状電極10は、その上面が封止膜11の上面と面一乃至数μm低くなるように設けられている。柱状電極10の上面には半田ボール12が設けられている。
次に、この半導体装置の製造方法の一例について説明する。まず、図2に示すように、ウエハ状態のシリコン基板(以下、半導体ウエハ21という)の上面に接続パッド2、パッシベーション膜3および保護膜5が形成され、接続パッド2の中央部がパッシベーション膜3および保護膜5の開口部4、6を介して露出されたものを準備する。この場合、半導体ウエハ21の厚さは、図1に示すシリコン基板1の厚さよりも厚くなっている。なお、図2において、符号22で示す領域はダイシングストリートである。
次に、図3に示すように、パッシベーション膜3および保護膜5の開口部4、6を介して露出された接続パッド2の上面を含む保護膜5の上面全体に下地金属層8を形成する。この場合、下地金属層8は、無電解メッキにより形成された銅層のみであってもよく、またスパッタにより形成された銅層のみであってもよく、さらにスパッタにより形成されたチタン等の薄膜層上にスパッタにより銅層を形成したものであってもよい。
次に、下地金属層8の上面にポジ型の液状レジストからなる上部金属層用メッキレジスト膜23をパターン形成する。この場合、上部金属層9形成領域に対応する部分における上部金属層用メッキレジスト膜23には開口部24が形成されている。次に、下地金属層8をメッキ電流路とした銅の電解メッキを行なうと、上部金属層用メッキレジスト膜23の開口部24内の下地金属層8の上面に上部金属層9が形成される。次に、上部金属層用メッキレジスト膜23を剥離する。
次に、図4に示すように、上部金属層9を含む下地金属層8の上面にネガ型のドライフィルムレジストからなる柱状電極形成用メッキレジスト膜25をパターン形成する。この場合、上部金属層9の接続パッド部(柱状電極10形成領域)に対応する部分における柱状電極形成用メッキレジスト膜25には開口部26が形成されている。
次に、下地金属層8をメッキ電流路とした銅の電解メッキを行なうと、柱状電極形成用メッキレジスト膜25の開口部26内の上部金属層9の接続パッド部上面に柱状電極10が形成される。この場合、柱状電極10の上部は、平坦ではなく、ドーム状となっており、このドーム状の部分の高さは30μm程度である。また、柱状電極10の高さは、メッキ異常成長等により、最大40μm程度のばらつきがある。したがって、最大高さの柱状電極10の高さは、最終的な高さ+30+40μm程度となる。
次に、柱状電極形成用メッキレジスト膜25を剥離する。次に、図5に示すように、サーフェイスプレーナー27を準備する。このサーフェイスプレーナー27は、固定されて配置され、回転円板28の周辺部下面にバイト29が設けられたものを有し、駆動手段(図示せず)の駆動により、回転円板28と共にバイト29が回転されるようになっている。
そして、バイト29の刃先を柱状電極10の最終的な高さよりも後述する封止膜11の仕上げ削り代(20μm程度)だけ高い位置に位置させ、回転円板28と共にバイト29を回転させる。この状態において、柱状電極10等を有する半導体ウエハ21を水平方向に移動させると、図6に示すように、回転円板28と共に回転するバイト29により全ての柱状電極10の上部が削られ、柱状電極10の高さが揃えられる。この状態では、柱状電極10の高さは、最終的な高さよりも後述する封止膜11の仕上げ削り代(20μm程度)だけ高くなっている。
ここで、以上のように、柱状電極10の上部を削り、柱状電極10の高さを揃えているので、メッキ異常成長等に起因する柱状電極10の高さのばらつきを気にする必要がなくなり、メッキ速度等を中心にメッキ条件を設定することが可能となり、メッキ処理時間を短縮することも可能となる。
次に、上部金属層9をマスクとして上部金属層9下以外の領域における下地金属層8をエッチングして除去すると、図7に示すように、上部金属層9下にのみ下地金属層8が残存される。この状態では、上部金属層9とその下に残存された下地金属層8とにより、2層構造の配線7が形成されている。
次に、図8に示すように、配線7および柱状電極10を含む保護膜5の上面にスクリーン印刷法によりエポキシ系樹脂等からなる封止膜11をその厚さが柱状電極10の高さよりもやや厚くなるように形成する。したがって、この状態では、柱状電極10の上面は封止膜11によって覆われている。
この場合、配線7上における封止膜11の厚さは、この時点における柱状電極10の高さよりも10〜20μm厚くする。これは、10μm未満であると、スキージで柱状電極10をなぎ倒すおそれがあり、20μm超であると、封止膜11の材料を無駄に使用することになるからである。したがって、この状態では、配線7上における封止膜11の厚さは、柱状電極10の最終的な高さよりも封止膜11の仕上げ削り代(20μm)+10〜20=30〜40μmとなり、上記従来の場合(80〜90μm)よりもかなり薄くなり、その分、封止膜11の材料の使用量を少なくすることができ、ひいては封止膜11の材料費を低減することができる。
次に、封止膜11の上面側を荒削り砥石(図示せず)を用いて10〜20μm荒削りすると、図9に示すように、柱状電極10の上面が露出される。この状態では、柱状電極10の上面を含む封止膜11の上面は、荒削りのため、凸凹となっている。次に、露出された柱状電極10を含む封止膜11の上面側を仕上げ削り砥石(図示せず)を用いて20μm程度仕上げ削りすると、図10に示すように、柱状電極10の上面を含む封止膜11の上面が平坦化される。
次に、図11に示すように、柱状電極10の上面に半田ボール12を形成する。次に、図12に示すように、半導体ウエハ21の下面側を適宜に削り、半導体ウエハ21の厚さを薄くする。次に、図13に示すように、封止膜11、保護膜5、パッシベーション膜3および半導体ウエハ21をダイシングストリート22に沿って切断すると、図1に示す半導体装置が複数個得られる。
次に、図1に示す半導体装置の製造方法の他の例について説明する。この場合、図4に示す工程後に、図5に示すサーフェイスプレーナー27を用いて、回転円板28と共に回転するバイト29により、柱状電極用メッキレジスト膜25の上面側および柱状電極10の上部を同時に削り、図14に示すように、柱状電極10の高さを揃える。この後、柱状電極用メッキレジスト膜25を剥離すると、図6に示す場合と同様の状態となる。
この半導体装置の製造方法では、柱状電極用メッキレジスト膜25および柱状電極10の上面側を削っているので、その分、柱状電極用メッキレジスト膜25の厚さが薄くなり、また柱状電極用メッキレジスト膜25の上面が荒くなり、これによりドライフィルムレジストからなる柱状電極用メッキレジスト膜25の剥離がしやすくなり、レジスト残渣が発生しにくいようにすることができる。
なお、上記製造方法では、図11に示すように、半田ボール12を形成した後に、図12に示すように、半導体ウエハ21の下面側を削っているが、これに限らず、半田ボール12を形成する前に、半導体ウエハ21の下面側を削り、その後に、半田ボール12を形成するようにしてもよい。また、上記製造方法では、図11に示す封止膜11をスクリーン印刷法により形成しているが、これに限らず、トランスファモールド法やスピンコート法等により形成するようにしてもよい。
1 シリコン基板
2 接続パッド
3 パッシベーション膜
5 保護膜
7 配線
10 柱状電極
11 封止膜
12 半田ボール
21 半導体ウエハ
22 ダイシングストリート
23 上部金属層用メッキレジスト膜
24 開口部
25 柱状電極用メッキレジスト膜
26 開口部
27 サーフェイスプレーナー

Claims (12)

  1. 半導体ウエハ上に電解メッキにより複数の柱状電極を形成する工程と、
    前記柱状電極の上部を削り、前記柱状電極の高さを揃える工程と、
    前記柱状電極を含む前記半導体ウエハ上に封止膜を形成する工程と、
    前記柱状電極を含む前記封止膜の上面側を削り、前記柱状電極の上面を露出させるとともに、この露出された前記柱状電極の上面を含む前記封止膜の上面を平坦化する工程と、
    前記封止膜および前記半導体ウエハを切断して半導体装置を複数個得る工程と、
    を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
  2. 請求項1に記載の発明において、前記柱状電極を形成する工程は、前記半導体ウエハ上に、柱状電極形成用開口部を有する柱状電極形成用メッキレジスト膜を形成する工程を含み、前記柱状電極を形成する工程の後に、前記柱状電極形成用メッキレジスト膜を剥離する工程を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
  3. 請求項2に記載の発明において、前記柱状電極形成用メッキレジスト膜はネガ型のドライフィルムレジストで形成することを特徴とする半導体装置の製造方法。
  4. 請求項2に記載の発明において、前記柱状電極の上部を削る工程は、前記柱状電極形成用メッキレジスト膜を剥離する工程の後に行うことを特徴とする半導体装置の製造方法。
  5. 請求項2に記載の発明において、前記柱状電極の上部を削る工程は、前記柱状電極形成用メッキレジスト膜を剥離する工程の前に、前記柱状電極形成用メッキレジスト膜の上面側および前記柱状電極の上部を同時に削る工程であることを特徴とする半導体装置の製造方法。
  6. 請求項1に記載の発明において、前記柱状電極を形成する工程の前に、前記半導体ウエハ上に形成された絶縁膜上の全面に下地金属層を形成する工程と、前記下地金属層上に配線用上部金属層を形成する工程とを有し、前記柱状電極を形成する工程は、前記配線用上部金属層の接続パッド部上面に前記柱状電極を形成する工程であり、前記柱状電極の上部を削る工程の後に、前記配線用上部金属層をマスクとして該配線用上部金属層下以外の領域における前記下地金属層をエッチングして除去する工程を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
  7. 請求項1に記載の発明において、前記封止膜を形成する工程はスクリーン印刷法により行うことを特徴とする半導体装置の製造方法。
  8. 請求項7に記載の発明において、前記スクリーン印刷法により形成する前記封止膜の厚さは、上部を削られた後における前記柱状電極の高さよりも10〜20μm厚くすることを特徴とする半導体装置の製造方法。
  9. 請求項8に記載の発明において、前記柱状電極を含む前記封止膜の上面側を削る工程は、荒削り工程と、仕上げ削り工程とを含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。
  10. 請求項9に記載の発明において、前記荒削り工程は10〜20μm荒削りする工程であり、前記仕上げ削り工程は20μm仕上げ削りする工程であることを特徴とする半導体装置の製造方法。
  11. 請求項1に記載の発明において、前記柱状電極の上面に半田ボールを形成する工程を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
  12. 請求項11に記載の発明において、前記半田ボールを形成する工程の前または後に、前記半導体ウエハの下面側を削り、前記半導体ウエハの厚さを薄くする工程を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
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