JP2011018720A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 銅の電解メッキにより形成された柱状電極10の上部は、平坦ではなく、ドーム状となっており、このドーム状の部分の高さは30μm程度である。また、柱状電極10の高さは、メッキ異常成長等により、最大40μm程度のばらつきがある。したがって、最大高さの柱状電極10の高さは、最終的な高さ+30+40μm程度となる。次に、サーフェイスプレーナー27のバイト29で柱状電極10の上部を削り、柱状電極10の高さを揃える。これにより、柱状電極10の周囲を覆うための封止膜の材料の使用量を少なくすることができる。
【選択図】 図5
Description
請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の発明において、前記柱状電極を形成する工程は、前記半導体ウエハ上に、柱状電極形成用開口部を有する柱状電極形成用メッキレジスト膜を形成する工程を含み、前記柱状電極を形成する工程の後に、前記柱状電極形成用メッキレジスト膜を剥離する工程を有することを特徴とするものである。
請求項3に記載の発明は、請求項2に記載の発明において、前記柱状電極形成用メッキレジスト膜はネガ型のドライフィルムレジストで形成することを特徴とするものである。
請求項4に記載の発明は、請求項2に記載の発明において、前記柱状電極の上部を削る工程は、前記柱状電極形成用メッキレジスト膜を剥離する工程の後に行うことを特徴とするものである。
請求項5に記載の発明は、請求項2に記載の発明において、前記柱状電極の上部を削る工程は、前記柱状電極形成用メッキレジスト膜を剥離する工程の前に、前記柱状電極形成用メッキレジスト膜の上面側および前記柱状電極の上部を同時に削る工程であることを特徴とするものである。
請求項6に記載の発明は、請求項1に記載の発明において、前記柱状電極を形成する工程の前に、前記半導体ウエハ上に形成された絶縁膜上の全面に下地金属層を形成する工程と、前記下地金属層上に配線用上部金属層を形成する工程とを有し、前記柱状電極を形成する工程は、前記配線用上部金属層の接続パッド部上面に前記柱状電極を形成する工程であり、前記柱状電極の上部を削る工程の後に、前記配線用上部金属層をマスクとして該配線用上部金属層下以外の領域における前記下地金属層をエッチングして除去する工程を有することを特徴とするものである。
請求項7に記載の発明は、請求項1に記載の発明において、前記封止膜を形成する工程はスクリーン印刷法により行うことを特徴とするものである。
請求項8に記載の発明は、請求項7に記載の発明において、前記スクリーン印刷法により形成する前記封止膜の厚さは、上部を削られた後における前記柱状電極の高さよりも10〜20μm厚くすることを特徴とするものである。
請求項9に記載の発明は、請求項8に記載の発明において、前記柱状電極を含む前記封止膜の上面側を削る工程は、荒削り工程と、仕上げ削り工程とを含むことを特徴とするものである。
請求項10に記載の発明は、請求項9に記載の発明において、前記荒削り工程は10〜20μm荒削りする工程であり、前記仕上げ削り工程は20μm仕上げ削りする工程であることを特徴とするものである。
請求項11に記載の発明は、請求項1に記載の発明において、前記柱状電極の上面に半田ボールを形成する工程を有することを特徴とするものである。
請求項12に記載の発明は、請求項11に記載の発明において、前記半田ボールを形成する工程の前または後に、前記半導体ウエハの下面側を削り、前記半導体ウエハの厚さを薄くする工程を有することを特徴とするものである。
2 接続パッド
3 パッシベーション膜
5 保護膜
7 配線
10 柱状電極
11 封止膜
12 半田ボール
21 半導体ウエハ
22 ダイシングストリート
23 上部金属層用メッキレジスト膜
24 開口部
25 柱状電極用メッキレジスト膜
26 開口部
27 サーフェイスプレーナー
Claims (12)
- 半導体ウエハ上に電解メッキにより複数の柱状電極を形成する工程と、
前記柱状電極の上部を削り、前記柱状電極の高さを揃える工程と、
前記柱状電極を含む前記半導体ウエハ上に封止膜を形成する工程と、
前記柱状電極を含む前記封止膜の上面側を削り、前記柱状電極の上面を露出させるとともに、この露出された前記柱状電極の上面を含む前記封止膜の上面を平坦化する工程と、
前記封止膜および前記半導体ウエハを切断して半導体装置を複数個得る工程と、
を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項1に記載の発明において、前記柱状電極を形成する工程は、前記半導体ウエハ上に、柱状電極形成用開口部を有する柱状電極形成用メッキレジスト膜を形成する工程を含み、前記柱状電極を形成する工程の後に、前記柱状電極形成用メッキレジスト膜を剥離する工程を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 請求項2に記載の発明において、前記柱状電極形成用メッキレジスト膜はネガ型のドライフィルムレジストで形成することを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 請求項2に記載の発明において、前記柱状電極の上部を削る工程は、前記柱状電極形成用メッキレジスト膜を剥離する工程の後に行うことを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 請求項2に記載の発明において、前記柱状電極の上部を削る工程は、前記柱状電極形成用メッキレジスト膜を剥離する工程の前に、前記柱状電極形成用メッキレジスト膜の上面側および前記柱状電極の上部を同時に削る工程であることを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 請求項1に記載の発明において、前記柱状電極を形成する工程の前に、前記半導体ウエハ上に形成された絶縁膜上の全面に下地金属層を形成する工程と、前記下地金属層上に配線用上部金属層を形成する工程とを有し、前記柱状電極を形成する工程は、前記配線用上部金属層の接続パッド部上面に前記柱状電極を形成する工程であり、前記柱状電極の上部を削る工程の後に、前記配線用上部金属層をマスクとして該配線用上部金属層下以外の領域における前記下地金属層をエッチングして除去する工程を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 請求項1に記載の発明において、前記封止膜を形成する工程はスクリーン印刷法により行うことを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 請求項7に記載の発明において、前記スクリーン印刷法により形成する前記封止膜の厚さは、上部を削られた後における前記柱状電極の高さよりも10〜20μm厚くすることを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 請求項8に記載の発明において、前記柱状電極を含む前記封止膜の上面側を削る工程は、荒削り工程と、仕上げ削り工程とを含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 請求項9に記載の発明において、前記荒削り工程は10〜20μm荒削りする工程であり、前記仕上げ削り工程は20μm仕上げ削りする工程であることを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 請求項1に記載の発明において、前記柱状電極の上面に半田ボールを形成する工程を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 請求項11に記載の発明において、前記半田ボールを形成する工程の前または後に、前記半導体ウエハの下面側を削り、前記半導体ウエハの厚さを薄くする工程を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
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JP2009161515A JP2011018720A (ja) | 2009-07-08 | 2009-07-08 | 半導体装置の製造方法 |
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JP2009161515A JP2011018720A (ja) | 2009-07-08 | 2009-07-08 | 半導体装置の製造方法 |
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JP2009161515A Pending JP2011018720A (ja) | 2009-07-08 | 2009-07-08 | 半導体装置の製造方法 |
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Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2004061935A1 (ja) * | 2002-12-27 | 2004-07-22 | Fujitsu Limited | バンプの形成方法、半導体装置及びその製造方法、並びに基板処理装置及び半導体製造装置 |
JP2005294546A (ja) * | 2004-03-31 | 2005-10-20 | Casio Comput Co Ltd | メッキパターンの形成方法 |
JP2006210756A (ja) * | 2005-01-31 | 2006-08-10 | Fujitsu Ltd | 電子装置及びその製造方法 |
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-
2009
- 2009-07-08 JP JP2009161515A patent/JP2011018720A/ja active Pending
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