JP2009267122A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】半導体チップの種類に制約されず、量産性に優れると共に小型化が実現され、耐湿性も十分に確保される半導体装置、及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】半導体装置101は、光電変換素子を含む集積回路(図中、12で示される領域)が表面に形成されたセンサチップ10上に、パッド電極12から引き回した再配線層14と、再配線層14上にポスト電極15を形成し、集積回路面上を開口するように再配線層14及びポスト電極15周辺の少なくとも一部を封止樹脂16により封止して、封止されたセンサチップ10上に、光透過性基板20が配設させる。そして、光透過性基板20には、センサチップ10上に配設されたポスト電極15の位置に対応して貫通電極21を形成すると共に、貫通電極21と電気的に接続するように半田ボール等の外部端子22を形成する。
【選択図】図1
【解決手段】半導体装置101は、光電変換素子を含む集積回路(図中、12で示される領域)が表面に形成されたセンサチップ10上に、パッド電極12から引き回した再配線層14と、再配線層14上にポスト電極15を形成し、集積回路面上を開口するように再配線層14及びポスト電極15周辺の少なくとも一部を封止樹脂16により封止して、封止されたセンサチップ10上に、光透過性基板20が配設させる。そして、光透過性基板20には、センサチップ10上に配設されたポスト電極15の位置に対応して貫通電極21を形成すると共に、貫通電極21と電気的に接続するように半田ボール等の外部端子22を形成する。
【選択図】図1
Description
本発明は、例えば、光電変換素子(例えば、CCD(電荷結合素子),CMOS(相補性金属酸化膜半導体)センサなどの固体撮像素子、受光素子等)から構成される受光領域を集積回路や、その他集積回路に含む半導体装置に関する。
例えば、携帯用カメラモジュールは年々高画素対応、低背化が進んでおり、内蔵されるセンサ部品にも小型化が求められる。センサの実装には、ワイヤーボンド方式やフリップチップ方式などが採用されてきたが、センサをCSPとして実装する方式が登場している。この方式は、チップサイズで基板実装できるため、高密度化に有利な手法である。
このセンサCSPには、各種の方法があるが、ウエハ状態で製造するウエハレベルCSPには大きくわけて、パッケージ側面に配線を形成する方式とセンサチップに貫通孔を設けるTSV(Though Si via)方式がある。
ところで、特許文献1には、センサCSPとして、光透過性キャップを設けて、超小型実装を実現しつつ、高い耐久性を有するパッケージが提案されている。
特開2004−179495
しかしながら、特許文献1で示されるセンサCSPは、非常に優れたCSPであるが、センサチップ毎に光透過性キャップを設けなければならず、量産性に若干劣ってしまう。また、特許文献1で示されるセンサCSPは、柱状電極の段差に係合して設けられることから、別途封止樹脂で封止する領域を確保しなければならず、さらなる小型化が困難であると共に、センサエリアが小さいセンサチップ用のパッケージに限定されしまう一方で、小型化のために封止樹脂で封止する領域を狭めると耐湿性に劣ってしまう。
そこで、本発明の課題は、半導体チップの種類に制約されず、量産性に優れると共に小型化が実現され、耐湿性も十分に確保される半導体装置、及びその製造方法を提供することである。
上記課題は、以下の手段により解決される。即ち、
請求項1に係る発明は、
集積回路が第1主面に形成された第1半導体チップと、
前記第1半導体チップの第1主面側に配設されると共に、前記集積回路と電気的に接続される柱状電極と、
前記第1半導体チップの第1主面側に所定の間隙を持って配設される光透過性基板と、
前記光透過性基板を貫通して配設されると共に、前記柱状電極と電気的に接続される基板用貫通電極と、
前記第1半導体チップと前記光透過性基板との間隙の少なくとも一部を封止する封止樹脂と、
前記光透過性基板の前記第1半導体チップとの非対向面側に設けられると共に、前記貫通電極と電気的に接続される外部端子と、
を備えることを特徴とする半導体装置。
請求項1に係る発明は、
集積回路が第1主面に形成された第1半導体チップと、
前記第1半導体チップの第1主面側に配設されると共に、前記集積回路と電気的に接続される柱状電極と、
前記第1半導体チップの第1主面側に所定の間隙を持って配設される光透過性基板と、
前記光透過性基板を貫通して配設されると共に、前記柱状電極と電気的に接続される基板用貫通電極と、
前記第1半導体チップと前記光透過性基板との間隙の少なくとも一部を封止する封止樹脂と、
前記光透過性基板の前記第1半導体チップとの非対向面側に設けられると共に、前記貫通電極と電気的に接続される外部端子と、
を備えることを特徴とする半導体装置。
請求項2に係る発明は、
前記第1半導体チップを貫通して配設されるチップ用貫通電極と、
前記第1半導体チップの第2主面側に設けられると共に、前記チップ用貫通電極と電気的に接続される第2半導体チップと、
をさらに備えることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
前記第1半導体チップを貫通して配設されるチップ用貫通電極と、
前記第1半導体チップの第2主面側に設けられると共に、前記チップ用貫通電極と電気的に接続される第2半導体チップと、
をさらに備えることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
本発明によれば、半導体チップの種類に制約されず、量産性に優れると共に小型化が実現され、耐湿性も十分に確保される半導体装置、及びその製造方法を提供することができる。
以下、本発明の実施形態を図面を参照して説明する。なお、実質的に同様の機能を有するものには、全図面通して同じ符号を付して説明し、場合によってはその説明を省略することがある。
(第1実施形態)
図1は、第1実施形態に係る半導体装置の構造を示す概略構成図であり、(A)は平面図であり、(B)は(A)の1−1断面図である。
図1は、第1実施形態に係る半導体装置の構造を示す概略構成図であり、(A)は平面図であり、(B)は(A)の1−1断面図である。
第1実施形態に係る半導体装置101は、図1に示すように、例えば、光電変換素子(例えば、CCD(電荷結合素子),CMOS(相補性金属酸化膜半導体)センサなどの固体撮像素子、受光素子等)を含む集積回路(ここで集積回路は、光電変化素子を含むため、以降、受光領域ということがある:図中、11で示される領域)が第1主面(光透過性基板対向面)に形成されたセンサチップ10(第1半導体チップ)を有する。センサチップ10上には、集積回路と電気的に接続されたパッド電極12が形成されてると共に、集積回路面及びパッド電極12の一部を露出するよう絶縁膜13(例えばパッシベーション膜)が形成されている。
また、半導体装置101には、パッド電極12から引き回した再配線層14と、再配線層14上にポスト電極15(柱状電極)とが形成されている。ポスト電極15は、集積回路面周縁付近に形成されている。ポスト電極15は、集積回路面以外の領域であれば、パッド電極12に直上に形成されていてもよいし、引き回された再配線層14上の任意の領域上に形成されていてもよい。ポスト電極15は、センサチップ10上に、例えば集積回路面を中心として線対称や点対象などの対象系で形成されていてもよいし、例えば集積回路面の任意の一辺側に偏在させるなど非対称系で形成されていてもよい。
また、センサチップ10は、集積回路面上を開口するように再配線層14及びポスト電極15周辺を封止樹脂16により封止されている。封止樹脂16は、全ての再配線層14及びポスト電極15周辺を封止する必要はなく、一部の再配線層14及びポスト電極15周辺のみを封止してもよい。また、封止樹脂16は、集積回路により受光する光を透過させる材料(つまり、センサチップ10の光学特性に影響がない材料)であれば、センサチップ10上を全面封止してもよい。
そして、封止樹脂16により封止されたセンサチップ10上に、光透過性基板20が配設されている。つまり、光透過性基板20は、封止樹脂16を介してセンサチップ10と所定の間隙を持って配設されている。光透過性基板20は、センサチップ10と同等の大きさ形状の基板である。光透過性基板20は、ガラスやその他セラミック、透明樹脂、シリコンなどにより構成することができ、紫外線カットフィルター機能を持つ材料により構成されていてもよい。また、受光領域に焦点を合わせられれば、レンズとして機能させてもよい。
光透過性基板20には、センサチップ10上に配設されたポスト電極15の位置に対応して、厚み方向に貫く貫通孔21Aが形成されている。この貫通孔21Aには貫通電極21が埋め込まれている。貫通孔21Aに埋め込まれた貫通電極21は、光透過性基板20のセンサチップ10対向面側でポスト電極15頂面と電気的に接合されている。この貫通電極21とポスト電極15との電気的な接合は、導電性接合材を用いて接合してもよし、導電性接合材を用いない接合材レスでの接合であってもよい。なお、他の電極同士の接合も同様である。
また、光透過性基板20には、貫通孔21Aに埋め込まれた貫通電極21と電気的に接続するように、半田ボール等の外部端子22が形成されている。外部端子22は、直接貫通電極21上に配設しもてよいが、光透過性基板20上で貫通電極21から引き回して形成した最配線層上の任意に個所に配設してもよい。
以下、本実施形態に係る半導体装置101の製造方法について説明する。図2は、第1実施形態に係る半導体装置の製造方法を説明する工程図である。
まず、図2(A)に示すように、シリコンウエハの第1主面に、複数個の素子領域に区分し、当該領域ごとに、半導体プロセスにより集積回路11を形成し、センサチップ10の集合体であるシリコンウエハ10Aを準備する。
次に、図2(B)に示すように、例えば、レジストの塗布・露光・エッチングによりマスクを形成した後、スパッタ、メッキ等によりアルミからなるパッド電極12を形成して、レジストを除去して洗浄する。そして、シリコンウエハ10Aの第1主面上に、集積回路面及びパッド電極12を覆うように、窒化シリコン膜からなる絶縁膜13を形成すると共に、パッド電極12の一部及び集積回路面を露出するように絶縁膜13を除去して当該絶縁膜13に開口部を形成する。また、シリコンウエハ10Aのダイシングライン上も絶縁膜13を除去して当該絶縁膜13に開口部を形成する。絶縁膜13は、例えば、窒化シリコン膜をプラズマを用いた化学的気相堆積法(Plasma assisted chemicalvapor deposition:P−CVD)でSiH4、NH3及びN2を原料ガスとして用いて形成する。また、絶縁膜13の開口部は、例えば、絶縁膜13上にレジストの塗布・露光・エッチングによりマスクを形成した後、絶縁膜13をエッチングして形成する。
次に、図2(C)に示すように、例えば、シリコンウエハ10A上にレジストの塗布・露光・エッチングによりマスクを形成した後、スパッタ、メッキ等により銅からなる再配線層14を形成して、レジストを除去して洗浄する。そして、同様に、シリコンウエハ10A上に、レジストの塗布・露光・エッチングによりマスクを形成した後、スパッタ、メッキ等により銅からなるポスト電極15を形成して、レジストを除去して洗浄する。ここで、ポスト電極15を形成した後、機械的研磨によりポスト電極高さを均一にしてもよい。この研磨には、例えば、ディスコ社製:サーフェースプレーナー DFS8910等が好適に適用される。これにより、センサチップ10と光透過性基板との間隙が一定となりやすくなる。
次に、図2(D)に示すように、集積回路面上を開口するように再配線層14及びポスト電極15周辺を封止樹脂16により封止する。具体的には、例えば、液状の封止樹脂16(例えば住友ベークライト社製:CRX−2580P等)を、スピンコートなどによりシリコンウエハ10A上に塗布した後、一旦、封止樹脂16によりシリコンウエハ10A全面を封止し、その後、フォトリソグラフィ処理などにより、集積回路形成領域やその他該当領域をエッジングして開口させて、当該封止樹脂16によりシリコンウエハ10A表面を封止する。この封止樹脂16は、開口の形成前後に、その表面を機械的研磨(バイト、砥石、バフ等)などを施し、封止樹脂16厚みを均一にすると共に、封止樹脂16によって隠れたポスト電極15を露出させる。これにより、センサチップ10と光透過性基板との間隙が一定となりやすくなる。
次に、図2(E)に示すように、封止樹脂16により封止されたシリコンウエハ10A(センサチップ10)上に、接着剤(図示せず)を塗布した後、当該シリコンウエハ10Aと同等の大きさ・形状の光透過性ウエハ20Aを貼り合わせる。この光透過性ウエハは、光透過性基板20となるものである。光透過性ウエハ20Aを貼り合わせた後、光透過性ウエハ20Aに対してレーザなどによりポスト電極15の配設位置に応じた位置に貫通孔21Aを形成する。その後、貫通孔21Aに銀ペーストなどの導電材料を埋め込み貫通電極21を形成する。
ここで、光透過性ウエハ20Aを貼り合わせる際には、感光性の接着シートを適用してもよい。これにより、接着剤塗布工程が省略できる。また、光透過性ウエハ20A(光透過性基板20)には、貼り合わせる前に、予め貫通孔21Aを形成しておいてもよい。これにより、レーザによる貫通孔21Aの形成が容易となる。
そして、図2(F)に示すように、貫通電極21と電気的に接続するように半田ボールなどの外部端子22を形成した後、スクライブによりダイシングラインに沿って個片する。
上記工程を経て、本実施形態に係る半導体装置101が得られる。
以上説明した本実施形態に係る半導体装置101では、光透過性基板20に設けられた貫通電極21を通じて、センサチップ10の外部との信号等の送受信が行えるように構成している。このため、光透過性基板20は、これを構成する光透過性ウエハ20Aをセンサチップ10のウエハレベル(シリコンウエハ10A)から貼り合わせて配設できることから、センサチップ10毎に貼り合わせる必要がなくなる。
また、本実施形態に係る半導体装置101では、封止樹脂16上に光透過性基板20が貼り合わされる構成となっている。このため、別途、封止樹脂16で封止する領域を確保する必要はなく、センサチップ10に対して集積回路形成領域が大きくても、封止樹脂16で封止する領域を十分確保できる。また、封止樹脂16で封止する領域を十分確保しつつ、小型化も実現できる。
したがって、本実施形態に係る半導体装置101では、センサチップ10(第1半導体チップ)の種類に制約されず、量産性に優れると共に小型化が実現され、耐湿性も十分に確保される。
(第2実施形態)
図3は、第2実施形態に係る半導体装置101を示す概略断面図である。
図3は、第2実施形態に係る半導体装置101を示す概略断面図である。
第2実施形態に係る半導体装置102は、図3に示すように、第1実施形態において、センサチップ10の第2主面(光透過性基板非対向面)側に、センサチップ10とは異なる種類の半導体チップ30(第2半導体チップ)を配設した形態である。
具体的には、センサチップ10に、その厚み方向に貫く貫通孔21Aを設け、当該貫通孔17Aに貫通電極17を埋め込む。この貫通孔17Aは、例えば、センサチップ10の第2主面側からパッド電極12を露出するように設けられ、これに銀ペーストなどの導電材料を埋め込むことで、貫通電極17を形成すると共にパッド電極12との導通が図られる。また、センサチップ10の第2主面側に貫通電極17から引き回された配線層18が形成されている。この貫通孔17Aは、ドライエッチング加工や、ウエットエッチング加工、レーザ加工を利用して、パッド電極12が露出するまで切削を行うことで形成できる。
なお、センサチップ10の貫通孔17Aは、パッド電極12を介して再配線層14の直下に配設している。このため、この再配線層14によりパッド電極12が補強され、電極の割れや剥れが抑制される。
そして、センサチップ10と異なる半導体チップ30が、そのパッド電極31と配線層18とを半田などの導電性接合材32を介して電気的に接続しつつセンサチップ10の第2主面側に配設されている。
半導体チップ30は、光透過性基板20上に設けた外部端子22及び貫通電極17、そしてセンサチップ10に設けた貫通電極17及びポスト電極15等を通じて、外部との信号等の送受信が行われる。ここで、半導体チップ30としては、DSP(Digital signal processor)、メモリなどが挙げられる。また、半導体チップ30の大きさには、特に制限はなく、センサチップ10と同等の大きさであってもよいし、センサチップ10よりも大きくても小さくてもよい。
これら以外は、第1実施形態と同様であるため、説明を省略する。
以上説明した本実施形態に係る半導体装置101では、光透過性基板20に設けられた貫通電極21、そして外部端子22等を通じてセンサチップ10の外部との信号等の送受信を行う機能を担わせる一方で、センサチップ10の第2主面側に貫通電極21を通じて半導体チップ30を導通して実装している。このため、半導体チップ30は、貫通電極(貫通孔)や最配線層などを設けることなく、実装できる。したがって、複数のチップを実装する高密度実装を低コスト化が実現される。また、半導体チップ30は、センサチップ10の貫通電極21により電気的に接続されるため、配線距離を短くできる。
特に、半導体チップ30として、DSP(Digital signal processor)を適用した場合、半導体装置101をカメラモジュール等に利用する際、搭載基板に横置きをするなどしていることから高密度実装化の実用度が高く、配線が短くなることから高速処理、雑音対策に有利となる。
また、半導体チップ30としてメモリを適用する場合、CMOSセンサではCCDと比較し、高速シャッター機能で劣ることから、専用メモリをセンサチップ10の画像処理回路と3次元配線することにより、高速で画像データの取り込みが可能となり、高速シャッターや他の動画など取り込みなどの機能向上が図られる。
また、半導体チップ30としてメモリを適用する場合、CMOSセンサではCCDと比較し、高速シャッター機能で劣ることから、専用メモリをセンサチップ10の画像処理回路と3次元配線することにより、高速で画像データの取り込みが可能となり、高速シャッターや他の動画など取り込みなどの機能向上が図られる。
なお、本実施形態では、2つの半導体チップを実装した形態を説明したが、例えば、第2の半導体チップ30も半導体チップ30と同様に貫通電極21を設けて第3の半導体チップを実装するなど、3つ以上の半導体チップを実装する形態であってもよい。
なお、上記何れの実施形態においても、限定的に解釈されるものではなく、本発明の要件を満足する範囲内で実現可能であることは、言うまでもない。
10 センサチップ
10A シリコンウエハ
11 集積回路
12 パッド電極
13 絶縁膜
14 再配線層
15 ポスト電極
16 パッシベーション膜
16 封止樹脂
17 貫通電極
17A 貫通孔
17A 当該貫通孔
18 配線層
20 光透過性基板
20A 光透過性ウエハ
21 貫通電極
21A 貫通孔
22 外部端子
30 半導体チップ
31 パッド電極
32 導電性接合材
101 半導体装置
102 半導体装置
10A シリコンウエハ
11 集積回路
12 パッド電極
13 絶縁膜
14 再配線層
15 ポスト電極
16 パッシベーション膜
16 封止樹脂
17 貫通電極
17A 貫通孔
17A 当該貫通孔
18 配線層
20 光透過性基板
20A 光透過性ウエハ
21 貫通電極
21A 貫通孔
22 外部端子
30 半導体チップ
31 パッド電極
32 導電性接合材
101 半導体装置
102 半導体装置
Claims (2)
- 集積回路が第1主面に形成された第1半導体チップと、
前記第1半導体チップの第1主面側に配設されると共に、前記集積回路と電気的に接続される柱状電極と、
前記第1半導体チップの第1主面側に所定の間隙を持って配設される光透過性基板と、
前記光透過性基板を貫通して配設されると共に、前記柱状電極と電気的に接続される基板用貫通電極と、
前記第1半導体チップと前記光透過性基板との間隙の少なくとも一部を封止する封止樹脂と、
前記光透過性基板の前記第1半導体チップとの非対向面側に設けられると共に、前記貫通電極と電気的に接続される外部端子と、
を備えることを特徴とする半導体装置。 - 前記第1半導体チップを貫通して配設されるチップ用貫通電極と、
前記第1半導体チップの第2主面側に設けられると共に、前記チップ用貫通電極と電気的に接続される第2半導体チップと、
をさらに備えることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
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