JP2005288331A - 多結晶シリコンの洗浄脱水装置 - Google Patents
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Abstract
【手段】 脱水槽と、該脱水槽内に設けた回転自在な枠台と、該枠台の回転手段と、該枠台を囲む排水手段とを備え、該枠台には多結晶シリコンを収容した孔空きカゴが着脱自在に固定される脱水装置であって、好ましくは、孔空きカゴに向かって洗浄水を噴射する手段を有する脱水装置。
【選択図】 なし
Description
(1)脱水槽と、該脱水槽内に設けた回転自在な枠台と、該枠台の回転手段と、該枠台を囲む排水手段とを備え、該枠台には多結晶シリコンを収容した孔空きカゴが着脱自在に固定される脱水装置。
(2)回転枠台に固定した孔空きカゴに向かって洗浄水を噴射する手段が脱水槽内に設けられており、シャワー洗浄と脱水とを行う上記(1)の脱水装置。
(3)脱水槽の上蓋内側に洗浄水の噴射手段が取り付けられており、上蓋を閉じた状態でシャワー洗浄と脱水を行う上記(1)または(2)の脱水装置。
(4)回転枠台が回転自在な多孔質の筒体と、該筒体の底部に設けた回転自在な台座によって形成されており、該台座には孔空きカゴを収容する枠体が形成されており、該枠体に孔空きカゴが嵌合して着脱自在に固定される上記(1)〜(3)の何れかに記載する脱水装置。
(5)回転枠台の台座に孔空きカゴの底部に嵌合する凹部が形成されており、孔空きカゴの底部が該凹部に嵌合して着脱自在に固定される上記(1)〜(4)の何れかに記載する脱水装置。
(6)回転枠台に装着される孔空きカゴが槽外での洗浄カゴを兼用している上記(1)〜(5)の何れかに記載される脱水装置。
(7)回転枠台上方の脱水空間に対して回転軸回りが密封されており、脱水時の機器からの汚染を防止した上記(1)〜(6)の何れかに記載する脱水装置。
本発明の脱水装置の概略を図1に示す。図示するように、脱水装置は、脱水槽10と、該脱水槽内に設けた回転自在な枠台20と、該枠台20の回転手段21と、該枠台20を囲む排水手段30とを備えており、該枠台20には多結晶シリコンを収容した孔空きカゴ40が着脱自在に固定される。
Claims (7)
- 脱水槽と、該脱水槽内に設けた回転自在な枠台と、該枠台の回転手段と、該枠台を囲む排水手段とを備え、該枠台には多結晶シリコンを収容した孔空きカゴが着脱自在に固定される脱水装置。
- 回転枠台に固定した孔空きカゴに向かって洗浄水を噴射する手段が脱水槽内に設けられており、シャワー洗浄と脱水とを行う請求項1の脱水装置。
- 脱水槽の上蓋内側に洗浄水の噴射手段が取り付けられており、上蓋を閉じた状態でシャワー洗浄と脱水を行う請求項1または2の脱水装置。
- 回転枠台が回転自在な多孔質の筒体と、該筒体の底部に設けた回転自在な台座によって形成されており、該台座には孔空きカゴを収容する枠体が形成されており、該枠体に孔空きカゴが嵌合して着脱自在に固定される請求項1〜3の何れかに記載する脱水装置。
- 回転枠台の台座に孔空きカゴの底部に嵌合する凹部が形成されており、孔空きカゴの底部が該凹部に嵌合して着脱自在に固定される請求項1〜4の何れかに記載する脱水装置。
- 回転枠台に固定される孔空きカゴが槽外での洗浄カゴを兼用している請求項1〜5の何れかに記載される脱水装置。
- 回転枠台上方の脱水空間に対して回転軸回りが密封されており、脱水時の機器からの汚染を防止した請求項1〜6の何れかに記載する脱水装置。
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