JPH09283478A

JPH09283478A - ウエハキャリヤ洗浄装置

Info

Publication number: JPH09283478A
Application number: JP8089213A
Authority: JP
Inventors: Harumitsu Saito; 藤晴光斎; Masaaki Kanehara; 原正明金; Junichiro Yoshioka; 岡潤一郎吉
Original assignee: Ebara Corp
Current assignee: Ebara Corp
Priority date: 1996-04-11
Filing date: 1996-04-11
Publication date: 1997-10-31

Abstract

(57)【要約】【課題】コンパクトで乾燥効果を向上する装置を提供
する。【解決手段】純水を充満した洗浄槽（２）内の固定装
置（５）にウエハキャリヤ（４）を固定し、回転ブラシ
（６）でキャリヤ（４）を洗浄したのち、キャリヤ
（４）を引き上げて乾燥槽（１１）内のキャリヤホルダ
（１３）に固定し、回転ロータ（１４）で回転してキャ
リヤ（４）の表面に付着した比較的大きい水滴を飛散さ
せて乾燥する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体装置の製造
において、ウエハ処理用のウエハキャリヤを洗浄及び乾
燥するキャリヤ洗浄装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】かかる装置は、従来、図２に示すよう
に、ウエハキャリヤ４をシャワーノズル２１から噴出す
るシャワー２２と、回転しながらキャリヤ４の内面に沿
って走査するブラシ２３とによって洗浄する洗浄槽２０
と、その洗浄槽２０で洗浄したキャリヤ４を回転させ、
遠心力によって水滴を飛ばして乾燥させる乾燥槽３０と
を備えていた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】上記の洗浄槽２０によ
り洗浄したキャリヤ４は、表面に極めて微細な水滴が付
着しており、次の乾燥槽３０で回転しても、表面の比較
的大きい水滴は除くことができるが、上記の微細な水滴
は容易に除去することはできない。このため、乾燥槽３
０内のヒータ３１で加熱しなければ満足できる乾燥状態
に達せさせることはできなかった。

【０００４】これに対し、例えば実開昭６３−３２６８
９号において純水槽を設け、洗浄槽から取り出したキャ
リヤを前記純水槽に浸漬したのち、引き上げて乾燥槽に
移し、回転して脱水する技術を提案している。しかし、
この公知技術は、洗浄槽、純水槽及び乾燥槽の３槽の構
成であるため装置が大型になる。

【０００５】そして、本出願人は特開平３−１５６９２
５号において、洗浄槽中に洗浄液を充満し、液中でウエ
ハキャリヤを浸漬しながら回転ブラシで洗浄して洗浄効
果を向上する技術を提案している。

【０００６】本発明は、コンパクトで乾燥効果を向上し
たウエハキャリヤ洗浄装置を提供することを目的として
いる。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明によれば、複数の
ウエハ溝が刻設されているウエハキャリヤを洗浄及び乾
燥するためのウエハキャリヤ洗浄装置において、ウエハ
キャリヤを収容して純水中に浸漬するための洗浄槽を有
する洗浄部と、前記洗浄槽で洗浄したウエハキャリヤを
乾燥する乾燥槽を有する乾燥部とよりなり、前記洗浄槽
は前記ウエハキャリヤを固定する固定装置と、前記ウエ
ハ溝の底部と接触するように配置された回転ブラシとを
備え、前記乾燥槽は前記ウエハキャリヤを装着して回転
を与える回転ロータを有している。

【０００８】また本発明によれば、洗浄部は洗浄槽に壁
を介して画成された溢水槽を有し、洗浄槽と溢水槽とは
ポンプおよびフィルタを介装した環流管で互いに接続さ
れている。

【０００９】上記のように構成されたウエハキャリヤ洗
浄装置において、洗浄槽から引き上げたウエハキャリヤ
の表面には、周知のように純水の比較的大きな水滴だけ
が付着しており、乾燥槽でスピン回転することにより、
容易に飛散され、良く乾燥される。

【００１０】また、流水槽を設け、洗浄槽とフィルタお
よびポンプを介して接続したので純水の無駄がない。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下図面を参照して本発明の実施
例を説明する。図１において、本発明のウエハキャリヤ
洗浄装置は、全体をそれぞれ符号１及び１０で示す洗浄
槽部及び乾燥槽部で概略構成されている。

【００１２】その洗浄槽部１には、純水３を充満した洗
浄槽２と洗浄槽２からの溢水を１時的に貯える溢水槽７
と純水３を排水するための排水槽８とが壁Ｗ１、Ｗ２に
よってそれぞれ画成されている。その洗浄槽２の底部の
一部には、図示しない純水供給源に接続され開閉弁１５
が介装された給水管Ｌが接続されている。また洗浄槽２
と溢水槽７とは、溢水槽７側からポンプ１６、フィルタ
１７が介装された環流管Ｌ１で互いに接続されている。
排水槽８には、図示しない廃水処理設備に接続された排
水管Ｌ２が接続されている。

【００１３】この洗浄槽２の内部には、ウエハキャリヤ
４を固定するための公知の固定装置５が設けられてい
る。また、洗浄槽２の上方には、回転ブラシ６が図示し
ない昇降装置によって昇降自在に設けられている。そし
て、この回転ブラシ６はウエハキャリヤ４の内面に刻設
されている複数のウエハを保持する複数のウエハ溝の底
部と接触するようになっている。

【００１４】他方、乾燥槽部１０の乾燥槽１１は、上部
開口には、蓋１２が枢着されている。そして、乾燥槽１
１の内部には、ウエハキャリヤ４を固定するキャリヤホ
ルダ１３とそのキャリヤホルダ１３にスピン回転を与え
る回転ロータ１４が設けられている。

【００１５】次に作用について説明する。ウエハキャリ
ヤ４の洗浄に際し、洗浄槽２の固定装置５でウエハキャ
リヤ４を固定して回転ブラシ６をウエハキャリヤ４のウ
エハ溝の底部に接触させながら昇降して走査する。これ
によりウエハ溝の底部の不純物が好適に除去される。そ
して、洗浄が終った後に、ウエハキャリヤ４を引き上
げ、乾燥槽１１のキャリヤホルダ１３に固定する。この
状態において、純水３の中から引き上げられたウエハキ
ャリヤ４の表面には、周知のように比較的大きい純水の
水滴だけが付着している。したがって、回転ロータ１４
のスピン回転により、ウエハキャリヤ４の表面に付着し
た比較的大きい水滴は、好適に飛散され除去され、その
結果、従来装置に比べ大巾に乾燥効果が向上される。

【００１６】

【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、以下に記載されるような効果を奏する。（１）洗浄槽と乾燥槽の２槽により、従来の３槽式の
ものに比べ装置をコンパクト化することができる。（２）純水中で洗浄することにより従来のスプレー洗
浄のものに比べて洗浄効果を向上し、更に、引き上げた
ウエハキャリヤの表面に付着している比較的大きい水滴
をスピン回転で飛散させ、乾燥効果を大巾に向上するこ
とができる。（３）洗浄槽に充填した純水の無駄がない。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を示す正面図。

【図２】従来装置を示す正面図。

【符号の説明】

１・・・洗浄槽部２、２０・・・洗浄槽３・・・純水４・・・ウエハキャリヤ５・・・固定装置６・・・回転ブラシ７・・・溢水槽８・・・排水槽１０・・・乾燥槽部１１、３０・・・乾燥槽１２・・・蓋１３・・・キャリヤホルダ１４・・・回転ロ−タ１５・・・開閉弁１６・・・ポンプ１７・・・フィルタ２１・・・シャワーノズル２２・・・シャワー２３・・・ブラシ３１・・・ヒータ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】複数のウエハ溝が刻設されているウエハ
キャリヤを洗浄及び乾燥するためのウエハキャリヤ洗浄
装置において、ウエハキャリヤを収容して純水中に浸漬
するための洗浄槽を有する洗浄部と、前記洗浄槽で洗浄
したウエハキャリヤを乾燥する乾燥槽を有する乾燥部と
よりなり、前記洗浄槽は前記ウエハキャリヤを固定する
固定装置と、前記ウエハ溝の底部と接触するように配置
された回転ブラシとを備え、前記乾燥槽は前記ウエハキ
ャリヤを装着して回転を与える回転ロータを有すること
を特徴とするウエハキャリヤ洗浄装置。
【請求項２】洗浄部は洗浄槽に壁を介して画成された
溢水槽を有し、洗浄槽と溢水槽とはポンプおよびフィル
タを介装した環流管で互いに接続されている請求項１記
載のウエハキャリヤ洗浄装置。