JP2005285991A - 半導体装置及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ポリシリコン層104上にシリサイド層107を有するサリサイド構造のゲート電極を備えるトランジスタを形成し、層間絶縁膜110を形成し、ゲート電極に接続するためのコンタクトホール112を開口し、コンタクトホールの底面に露呈されたシリサイド層107を除去し、コンタクトホールを通してゲート電極に接続されるノード配線111(NL1,NL2)を形成し、シリサイド層が存在しないコンタクトを高抵抗化して付加抵抗とする。コンタクトホールを利用した自己整合法によってシリサイド層を除去しているので、高精度のリソグラフィ工程が不要で製造が容易になり、リソグラフィ工程でのマージンを低減し、メモリセルサイズを縮小化する。
【選択図】図3
Description
102 N型拡散層
103 P型拡散層
104 ポリシリコン層
105 素子分離絶縁膜
106 ゲート絶縁膜
107 シリサイド層
108 サイドウォール
110 層間絶縁膜
111 第1配線層
112 コンタクトホール
113 バリアメタル層
114 コンタクトプラグ
115 エッチングストッパ膜
121 第2配線層
131 レジストマスク
Q1〜Q6 MOSトランジスタ
N1,N2 ノード
NL1,NL2 ノード配線
R1,R2 付加抵抗
C(C11,C21) コンタクト
MC メモリセル
G1,G2,G3 ゲート電極
WL ワード線
DL1,DL2 デジット線
Claims (8)
- 半導体層上にシリサイド層を有するサリサイド構造の導体層を備える半導体装置であって、前記導体層は上層配線に接続するコンタクト接続領域にのみ前記シリサイド層が存在しないことを特徴とする半導体装置。
- 前記導体層はMOSトランジスタのゲート電極であり、前記コンタクトの底面においてのみ前記シリサイド層が存在しないことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 一対の駆動トランジスタを備え、一方の駆動トランジスタのゲート電極と他方の駆動トランジスタのドレインとをノード配線により接続するとともに、当該ノード配線に付加抵抗を接続したメモリセルを備えるSRAM構成の半導体装置であって、前記ゲート電極をサリサイド構造とし、前記ゲート電極の上層に配設される前記ノード配線を前記ゲート電極にコンタクトで接続し、当該コンタクトの接続領域にのみシリサイド層が存在しないことを特徴とする請求項2に記載の半導体装置。
- 前記導体層又は前記ゲート電極を覆う層間絶縁膜を備え、前記層間絶縁膜に開口されたコンタクトホールを通して前記上層配線又は前記ノード配線が前記導体層又は前記ゲート電極に接続する構成とされ、前記コンタクトホールの底面においてのみ前記シリサイド層が存在していないことを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の半導体装置。
- 半導体層上にシリサイド層を有するサリサイド構造の導体層を形成する工程と、前記導体層を被覆する層間絶縁膜を形成する工程と、前記層間絶縁膜に前記導体層のシリサイド層を露呈するコンタクトホールを開口する工程と、前記コンタクトホール内に露呈された前記シリサイド層を自己整合的に除去する工程と、前記コンタクトホールを通して上層配線を前記導体層に接続する工程とを含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 一対の駆動トランジスタを備え、一方の駆動トランジスタのゲート電極と他方の駆動トランジスタのドレインとをノード配線により接続するとともに、当該ノード配線に付加抵抗を接続したメモリセルを備えるSRAM構成の半導体装置の製造方法であって、半導体層上にシリサイド層を有するサリサイド構造のゲート電極と、ソース・ドレイン領域とを備える複数のMOSトランジスタを形成する工程と、前記MOSトランジスタを覆う層間絶縁膜を形成する工程と、少なくとも前記MOSトランジスタのうち前記駆動トランジスタのゲート電極に電気接続を行うためのコンタクトホールを前記層間絶縁膜に開口する工程と、前記駆動トランジスタのゲート電極に電気接続を行うコンタクトホールの底面に露呈された前記シリサイド層を除去する工程と、前記コンタクトホールを通して前記ゲート電極に電気接続されるノード配線を形成する工程を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 前記駆動トランジスタのゲート電極に電気接続を行うコンタクトホールと共に当該コンタクトホール以外の他のコンタクトホールを同時に開口した後、当該他のコンタクトホールをマスクで覆う工程を備え、前記マスクで覆われていないコンタクトホール内の前記シリサイド層を除去することを特徴とする請求項6に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記層間絶縁膜の表面に前記シリサイド層とのエッチング選択比の大きなエッチングストッパ層を形成する工程を備えることを特徴とする請求項6又は7に記載の半導体装置の製造方法。
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Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63149536U (ja) * | 1987-03-20 | 1988-10-03 | ||
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JPH043962A (ja) * | 1990-04-20 | 1992-01-08 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
JPH05102076A (ja) * | 1991-03-06 | 1993-04-23 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置の製造方法 |
JPH06283612A (ja) * | 1993-03-26 | 1994-10-07 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置および半導体装置の製造方法 |
JP2004013920A (ja) * | 2002-06-03 | 2004-01-15 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体記憶装置 |
JP2004200385A (ja) * | 2002-12-18 | 2004-07-15 | Renesas Technology Corp | 半導体装置および半導体装置の製造方法 |
JP2005026273A (ja) * | 2003-06-30 | 2005-01-27 | Fujitsu Ltd | 半導体装置及びその製造方法 |
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JP2003060087A (ja) * | 2001-08-10 | 2003-02-28 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体記憶装置 |
JP2003133525A (ja) * | 2001-10-23 | 2003-05-09 | Sharp Corp | 半導体メモリ素子及びその製造方法 |
US6670642B2 (en) * | 2002-01-22 | 2003-12-30 | Renesas Technology Corporation. | Semiconductor memory device using vertical-channel transistors |
US6982451B1 (en) * | 2003-03-27 | 2006-01-03 | Xilinx, Inc. | Single event upset in SRAM cells in FPGAs with high resistivity gate structures |
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Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63149536U (ja) * | 1987-03-20 | 1988-10-03 | ||
JPH02129915A (ja) * | 1988-11-09 | 1990-05-18 | Seiko Instr Inc | Mos半導体装置の製造方法 |
JPH043962A (ja) * | 1990-04-20 | 1992-01-08 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
JPH05102076A (ja) * | 1991-03-06 | 1993-04-23 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置の製造方法 |
JPH06283612A (ja) * | 1993-03-26 | 1994-10-07 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置および半導体装置の製造方法 |
JP2004013920A (ja) * | 2002-06-03 | 2004-01-15 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体記憶装置 |
JP2004200385A (ja) * | 2002-12-18 | 2004-07-15 | Renesas Technology Corp | 半導体装置および半導体装置の製造方法 |
JP2005026273A (ja) * | 2003-06-30 | 2005-01-27 | Fujitsu Ltd | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2005217246A (ja) * | 2004-01-30 | 2005-08-11 | Toshiba Corp | 半導体装置 |
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