JP2005268481A - 非単結晶太陽電池およびp型半導体材料を作製する作製装置 - Google Patents
非単結晶太陽電池およびp型半導体材料を作製する作製装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005268481A JP2005268481A JP2004077776A JP2004077776A JP2005268481A JP 2005268481 A JP2005268481 A JP 2005268481A JP 2004077776 A JP2004077776 A JP 2004077776A JP 2004077776 A JP2004077776 A JP 2004077776A JP 2005268481 A JP2005268481 A JP 2005268481A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- type semiconductor
- semiconductor layer
- solar cell
- doped
- gallium
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
- Y02E10/545—Microcrystalline silicon PV cells
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
- Y02E10/546—Polycrystalline silicon PV cells
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
- Y02E10/548—Amorphous silicon PV cells
Landscapes
- Photovoltaic Devices (AREA)
Abstract
【解決手段】シリコンもしくはゲルマニウムを主成分とするp型半導体層、実質的に真性なi型半導体層、n型半導体層を積層したpin接合を少なくとも一つ有する太陽電池において、少なくとも一つのp型半導体層がボロンドープp型半導体層とガリウムドープp型半導体層の積層物から構成されており、ガリウムドープp型半導体層がi型半導体層との界面側に積層されていることを特徴とする非単結晶太陽電池を提供する。また、ガリウム供給原料とボロン供給原料の双方が供給可能な請求項1記載のp型半導体材料を作製する作製装置を提供する。
【選択図】図1
Description
が求められていた。
ム供給原料とボロン供給原料の双方が供給可能な作製装置はこれらに限定されるものではない。
ン、ガラス繊維強化アクリル樹脂フィルム、ガラス繊維強化ポリカーボネート、ポリイミド、透明性ポリイミド、フッ素系樹脂、環状ポリオレフィン系樹脂、ポリアクリル系樹脂、SUS薄板、Alフォイルなどを使用することができるが、これらに限定されるわけではない。これらは単独の基材として使用してもよいが、二種以上を積層した複合基材を使用することもできる。
成膜後、残留ガスを排気し圧力が7×10-5Paまで下がったのを確認してからバルブ17を開き、キャリア水素用マスフロー14から水素用マスフロー15を10SCCM、シラン用マスフロー15からシランを0.5SCCM、水素用マスフロー16から水素を500SCCM流し圧力100Paになるように保持する。ドーパント用材料容器12内にはトリエチルガリウムが入っており、恒温漕13によって−20℃に保持している。ここで電源18から下部電極19に電力を供給し(投入電力15W、励起周波数54.24MHz)、プラズマCVD法によりp型ガリウムドープ微結晶シリコン薄膜を5nm作製する。
微結晶i層作製条件
SiH4流量:7SCCM、H2流量:500SCCM、動作圧力150Pa、投入電力15W、励起周波数54.24MHz、基板温度:250℃、膜厚300nm
n型アモルファス層作成条件
SiH4流量:10SCCM、H2で希釈したPH3ガス(H2:99%、PH3ガス:1%)流量:20SCCM、動作圧力20Pa、投入電力10W、励起周波数13.56MHz、基板温度:250℃、膜厚25nm
その後、真空漕から取り出して、スパッタ法でZnO膜を30nm成膜し、さらにAgを200nm真空蒸着法で設けた。
このように作製した本発明のp型半導体層を有する微結晶シリコン太陽電池とボロンをドープした微結晶p層を用いた微結晶シリコン太陽電池、ガリウムをドープした微結晶p層を用いた微結晶シリコン太陽電池の特性をそれぞれ後述の比較例1および2と比較した。
図2に従来のp型半導体層を含む非単結晶太陽電池の概略断面図を図4に本実施例の非単結晶貸与電池を作製するために用いた装置の概略断面図を示す。
SiH4流量:0.5SCCM、H2で希釈したB2H6ガス(H2:99%、B2H6ガス:1%)流量:1SCCM、H2流量:500SCCM、動作圧力100Pa、投入電力15W、励起周波数54.24MHz、基材温度:170℃
さらに、以下の条件で微結晶i層、アモルファスn層を作製した。
SiH4流量:7SCCM、H2流量:500SCCM、動作圧力150Pa、投入電力15W、励起周波数54.24MHz、基板温度:250℃、膜厚300nm
n型アモルファス層作成条件
SiH4流量:10SCCM、H2で希釈したPH3ガス(H2:99%、PH3ガス:1%)流量:20SCCM、動作圧力20Pa、投入電力10W、励起周波数13.56MHz、基板温度:250℃、膜厚25nm
その後、真空漕から取り出して、スパッタ法でZnO膜を30nm成膜し、さらにAgを200nm真空蒸着法で設けた。
図3に従来のp型半導体層を含む非単結晶太陽電池の概略断面図を図4に本実施例の非単結晶貸与電池を作製するために用いた装置の概略断面図を示す。
。ここで電源18から下部電極19に電力を供給し(投入電力15W、励起周波数54.24MHz)、プラズマCVD法によりp型ガリウムドープ微結晶シリコン薄膜を20nm作製する。
微結晶i層作製条件
SiH4流量:7SCCM、H2流量:500SCCM、動作圧力150Pa、投入電力15W、励起周波数54.24MHz、基板温度:250℃、膜厚300nm
n型アモルファス層作成条件
SiH4流量:10SCCM、H2で希釈したPH3ガス(H2:99%、PH3ガス:1%)流量:20SCCM、動作圧力20Pa、投入電力10W、励起周波数13.56MHz、基板温度:250℃、膜厚25nm
その後、真空漕から取り出して、スパッタ法でZnO膜を30nm成膜し、さらにAgを200nm真空蒸着法で設けた。
2. 透明導電膜
3. ボロンドープp型半導体層
4. ガリウムドープp型半導体層
5. i型微結晶薄膜
6. n型薄膜
7. 透明導電膜2
8. 金属電極
10. 真空漕
11. 試料
12. ドーパント原材料用容器
13. 高温漕
14. キャリア水素用マスフロー
15. シラン用マスフロー
16. 水素用マスフロー
17. ジボラン用マスフロー
18. 自動圧力制御装置
Claims (2)
- シリコンもしくはゲルマニウムを主成分とするp型半導体層、実質的に真性なi型半導体層、n型半導体層を積層したpin接合を少なくとも一つ有する太陽電池において、少なくとも一つのp型半導体層がボロンドープp型半導体層とガリウムドープp型半導体層の積層物から構成されており、ガリウムドープp型半導体層がi型半導体層との界面側に積層されていることを特徴とする非単結晶太陽電池。
- ガリウム供給原料とボロン供給原料の双方が供給可能な請求項1記載のp型半導体材料を作製する作製装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004077776A JP4691888B2 (ja) | 2004-03-18 | 2004-03-18 | 非単結晶太陽電池および非単結晶太陽電池の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004077776A JP4691888B2 (ja) | 2004-03-18 | 2004-03-18 | 非単結晶太陽電池および非単結晶太陽電池の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005268481A true JP2005268481A (ja) | 2005-09-29 |
JP4691888B2 JP4691888B2 (ja) | 2011-06-01 |
Family
ID=35092719
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004077776A Expired - Fee Related JP4691888B2 (ja) | 2004-03-18 | 2004-03-18 | 非単結晶太陽電池および非単結晶太陽電池の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4691888B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005268482A (ja) * | 2004-03-18 | 2005-09-29 | Toppan Printing Co Ltd | 非単結晶太陽電池およびp型半導体材料の製造方法および製造装置 |
CN111509082A (zh) * | 2020-03-20 | 2020-08-07 | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 | 掺镓多晶硅薄膜制备方法及其在太阳电池的应用 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS56169320A (en) * | 1981-04-15 | 1981-12-26 | Shunpei Yamazaki | Silicon carbide semiconductor |
JPS5710982A (en) * | 1980-06-24 | 1982-01-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Amorphous semiconductor thin film |
JPS58161381A (ja) * | 1982-03-19 | 1983-09-24 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置作製方法 |
JPS5976419A (ja) * | 1982-10-26 | 1984-05-01 | Agency Of Ind Science & Technol | p型シリコン膜の製造方法 |
JPH0370185A (ja) * | 1989-08-09 | 1991-03-26 | Sanyo Electric Co Ltd | 非晶質半導体装置 |
JPH0429371A (ja) * | 1990-05-25 | 1992-01-31 | Canon Inc | 光電変換装置 |
JPH10200139A (ja) * | 1997-01-13 | 1998-07-31 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 非晶質半導体太陽電池 |
JP2005268482A (ja) * | 2004-03-18 | 2005-09-29 | Toppan Printing Co Ltd | 非単結晶太陽電池およびp型半導体材料の製造方法および製造装置 |
-
2004
- 2004-03-18 JP JP2004077776A patent/JP4691888B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5710982A (en) * | 1980-06-24 | 1982-01-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Amorphous semiconductor thin film |
JPS56169320A (en) * | 1981-04-15 | 1981-12-26 | Shunpei Yamazaki | Silicon carbide semiconductor |
JPS58161381A (ja) * | 1982-03-19 | 1983-09-24 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置作製方法 |
JPS5976419A (ja) * | 1982-10-26 | 1984-05-01 | Agency Of Ind Science & Technol | p型シリコン膜の製造方法 |
JPH0370185A (ja) * | 1989-08-09 | 1991-03-26 | Sanyo Electric Co Ltd | 非晶質半導体装置 |
JPH0429371A (ja) * | 1990-05-25 | 1992-01-31 | Canon Inc | 光電変換装置 |
JPH10200139A (ja) * | 1997-01-13 | 1998-07-31 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 非晶質半導体太陽電池 |
JP2005268482A (ja) * | 2004-03-18 | 2005-09-29 | Toppan Printing Co Ltd | 非単結晶太陽電池およびp型半導体材料の製造方法および製造装置 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005268482A (ja) * | 2004-03-18 | 2005-09-29 | Toppan Printing Co Ltd | 非単結晶太陽電池およびp型半導体材料の製造方法および製造装置 |
JP4691889B2 (ja) * | 2004-03-18 | 2011-06-01 | 凸版印刷株式会社 | 非単結晶太陽電池および非単結晶太陽電池の製造方法 |
CN111509082A (zh) * | 2020-03-20 | 2020-08-07 | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 | 掺镓多晶硅薄膜制备方法及其在太阳电池的应用 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4691888B2 (ja) | 2011-06-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TW200950113A (en) | Thin film silicon solar cell and manufacturing method thereof | |
WO2003085746A1 (en) | Method for fabricating tandem thin film photoelectric converter | |
JP6125594B2 (ja) | 光電変換装置の作製方法 | |
AU2011219223B8 (en) | Thin-film photoelectric conversion device and method for production thereof | |
JP2010283161A (ja) | 太陽電池及びその製造方法 | |
CN101295743A (zh) | 薄膜、薄膜的形成方法和具有该薄膜的太阳能电池 | |
WO2012013428A2 (en) | Multiple-junction photoelectric device and its production process | |
WO2005109526A1 (ja) | 薄膜光電変換装置 | |
WO2008059857A1 (fr) | Dispositif de conversion photoélectrique en film mince | |
JP2009267222A (ja) | 薄膜光電変換装置用透明導電膜付き基板の製造方法 | |
JP4940554B2 (ja) | 非単結晶太陽電池およびその製造方法 | |
JP2006210559A (ja) | 非単結晶太陽電池およびその製造方法並びに非単結晶太陽電池製造装置 | |
JP5109230B2 (ja) | 非単結晶太陽電池の製造方法 | |
JP2008283075A (ja) | 光電変換装置の製造方法 | |
JP4691888B2 (ja) | 非単結晶太陽電池および非単結晶太陽電池の製造方法 | |
JP4691889B2 (ja) | 非単結晶太陽電池および非単結晶太陽電池の製造方法 | |
JPH07130661A (ja) | 非晶質酸化シリコン薄膜の生成方法 | |
JP2010267885A (ja) | シリコン系薄膜光電変換装置とその製造方法 | |
JP2011014618A (ja) | 太陽電池及びその製造方法 | |
JPWO2013031906A1 (ja) | 光電変換装置およびその製造方法 | |
CN217606831U (zh) | 一种高效异质结太阳能电池 | |
JP2010283162A (ja) | 太陽電池及びその製造方法 | |
TWI405343B (zh) | 具有高光電轉換效率之可撓式太陽能電池及其製備方法 | |
Wang et al. | Efficient 18 Å/s solar cells with all silicon layers deposited by hot-wire chemical vapor deposition | |
JP2004297008A (ja) | p型半導体材料、その作製方法、その作製装置、光電変換素子、発光素子、および薄膜トランジスタ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070223 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20091013 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20091013 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20091210 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110125 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110207 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140304 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4691888 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |