JP2005260002A - 半導体装置 - Google Patents
半導体装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005260002A JP2005260002A JP2004069658A JP2004069658A JP2005260002A JP 2005260002 A JP2005260002 A JP 2005260002A JP 2004069658 A JP2004069658 A JP 2004069658A JP 2004069658 A JP2004069658 A JP 2004069658A JP 2005260002 A JP2005260002 A JP 2005260002A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor
- layer
- gate electrode
- nitride semiconductor
- active layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Junction Field-Effect Transistors (AREA)
Abstract
【解決手段】半導体装置1では、活性層5は、第1の禁制帯幅を有する第1のIII族窒化物半導体から成る。窒化物半導体層7は、ゲート電極3と活性層5との間に設けられており、第1の禁制帯幅より大きな第2の禁制帯幅を有するIII族窒化物半導体からなる。窒化物半導体層7は、燐元素を含む半導体領域9を有している。ゲート電極3は半導体領域9上に設けられている。活性層5と窒化物半導体層7とは接合を形成している。ゲート電極3は、窒化物半導体層7に対するショットキ接合を形成している。ゲート電極3が、III族窒化物半導体から成り燐元素12を含む半導体領域9上に設けられている。これ故に、窒素の空孔に起因した表面準位の数が低減されるので、電流コラプスの影響が低減される。
【選択図】 図1
Description
図1(A)は半導体装置の構造を示す図面である。図1(B)は半導体装置のバンドダイアグラムを示す図面である。図1(C)は半導体装置を示す平面図である。
図3(A)は、第2の実施の形態に係る半導体装置の構造を示す図面である。図3(B)は半導体装置のバンドダイアグラムを示す図面である。半導体装置31は、ゲート電極3と、活性層35と、半導体領域37とを備える。活性層35は、第1の禁制帯幅を有する第1のIII族窒化物半導体から成る。半導体領域37は、ゲート電極3と活性層35との間に設けられており、第1の禁制帯幅より大きな第2の禁制帯幅を有するIII−V化合物半導体からなる。このIII−V化合物半導体は、燐元素および窒素元素を含んでおり、ゲート電極5は半導体領域37上に設けられている。燐濃度は、例えば1×1018cm−3以上1×1020cm−3以下である。
図5(A)、図5(B)および図5(C)は、第3の実施の形態に係る半導体装置を製造する方法を示す図面である。
エネルギ:50keV
ドーズ量:5×1012cm−2
である。このイオン注入により、燐を含む半導体領域73がIII族窒化物半導体膜67内に形成される。イオン注入の工程の後に、オーミック電極を形成する部分の絶縁膜を除去する。
図6(A)、図6(B)および図6(C)は、第4の実施の形態に係る半導体装置を製造する方法を示す図面である。
Claims (7)
- ゲート電極と、
第1の禁制帯幅を有する第1のIII族窒化物半導体から成る活性層と、
前記活性層と前記ゲート電極との間に設けられており、前記第1の禁制帯幅より大きな第2の禁制帯幅を有する第2のIII族窒化物半導体からなる窒化物半導体層と
を備え、
前記窒化物半導体層は、燐元素を含む半導体領域を有しており、
前記ゲート電極は前記半導体領域上に設けられている、ことを特徴とする半導体装置。 - ゲート電極と、
第1の禁制帯幅を有する第1のIII族窒化物半導体から成る活性層と、
前記ゲート電極と前記活性層との間に設けられており、前記第1の禁制帯幅より大きな第2の禁制帯幅を有するIII−V化合物半導体からなる半導体領域と
を備え、
前記III−V化合物半導体は、燐元素および窒素元素を含んでおり、
前記ゲート電極は前記半導体領域上に設けられている、ことを特徴とする半導体装置。 - 前記半導体領域は、GaN半導体層およびAlGaN半導体層を含んでおり、
前記GaN半導体層は、前記ゲート電極と前記AlGaN半導体層との間に設けられている、ことを特徴とする請求項1または請求項2に記載された半導体装置。 - 前記活性層はGaN半導体からなり、
前記半導体領域は、燐が添加されたAlGaN半導体からなる、ことを特徴とする請求項1または請求項2に記載された半導体装置。 - 前記活性層はInGaN半導体からなる、ことを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか一項に記載された半導体装置。
- 前記半導体領域の前記燐元素はイオン注入により導入される、ことを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか一項に記載された半導体装置。
- 前記半導体領域の前記燐元素は、該半導体領域を結晶成長する際に導入される、ことを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか一項に記載された半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004069658A JP4759923B2 (ja) | 2004-03-11 | 2004-03-11 | 半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004069658A JP4759923B2 (ja) | 2004-03-11 | 2004-03-11 | 半導体装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005260002A true JP2005260002A (ja) | 2005-09-22 |
JP4759923B2 JP4759923B2 (ja) | 2011-08-31 |
Family
ID=35085435
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004069658A Expired - Fee Related JP4759923B2 (ja) | 2004-03-11 | 2004-03-11 | 半導体装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4759923B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008258315A (ja) * | 2007-04-03 | 2008-10-23 | Mitsubishi Electric Corp | トランジスタ |
EP2003686A2 (en) * | 2006-03-29 | 2008-12-17 | NEC Corporation | Field effect transistor |
JP2012033656A (ja) * | 2010-07-29 | 2012-02-16 | Sumitomo Electric Device Innovations Inc | 半導体装置の製造方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10189944A (ja) * | 1996-12-24 | 1998-07-21 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 高電子移動度トランジスタ |
JP2000068497A (ja) * | 1998-08-20 | 2000-03-03 | Furukawa Electric Co Ltd:The | GaN系化合物半導体装置 |
JP2001085670A (ja) * | 1999-09-14 | 2001-03-30 | Nec Corp | 電界効果型トランジスタ及びその製造方法 |
JP2001230407A (ja) * | 1999-12-08 | 2001-08-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体装置 |
-
2004
- 2004-03-11 JP JP2004069658A patent/JP4759923B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10189944A (ja) * | 1996-12-24 | 1998-07-21 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 高電子移動度トランジスタ |
JP2000068497A (ja) * | 1998-08-20 | 2000-03-03 | Furukawa Electric Co Ltd:The | GaN系化合物半導体装置 |
JP2001085670A (ja) * | 1999-09-14 | 2001-03-30 | Nec Corp | 電界効果型トランジスタ及びその製造方法 |
JP2001230407A (ja) * | 1999-12-08 | 2001-08-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体装置 |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2003686A2 (en) * | 2006-03-29 | 2008-12-17 | NEC Corporation | Field effect transistor |
EP2003686A4 (en) * | 2006-03-29 | 2009-08-19 | Nec Corp | FIELD EFFECT TRANSISTOR |
US8198652B2 (en) | 2006-03-29 | 2012-06-12 | Nec Corporation | Field effect transistor with reduced gate leakage current |
US8466495B2 (en) | 2006-03-29 | 2013-06-18 | Nec Corporation | Field effect transistor with reduced gate leakage current |
JP2008258315A (ja) * | 2007-04-03 | 2008-10-23 | Mitsubishi Electric Corp | トランジスタ |
JP2012033656A (ja) * | 2010-07-29 | 2012-02-16 | Sumitomo Electric Device Innovations Inc | 半導体装置の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4759923B2 (ja) | 2011-08-31 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US11699748B2 (en) | Normally-off HEMT transistor with selective generation of 2DEG channel, and manufacturing method thereof | |
JP4022708B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP5032965B2 (ja) | 窒化物半導体トランジスタ及びその製造方法 | |
JP4663156B2 (ja) | 化合物半導体装置 | |
JP5813279B2 (ja) | 窒化物ベースのトランジスタのための窒化アルミニウムを含むキャップ層およびその作製方法 | |
KR101124937B1 (ko) | 질화물계 트랜지스터를 위한 캡층 및/또는 패시베이션층,트랜지스터 구조 및 그 제조방법 | |
JP5810293B2 (ja) | 窒化物半導体装置 | |
JP3733420B2 (ja) | 窒化物半導体材料を用いたヘテロ接合電界効果型トランジスタ | |
US20060220060A1 (en) | Semiconductor device and manufacturing method thereof | |
JP2007165431A (ja) | 電界効果型トランジスタおよびその製造方法 | |
JP7013710B2 (ja) | 窒化物半導体トランジスタの製造方法 | |
JP5546104B2 (ja) | GaN系電界効果トランジスタ | |
JP2006210725A (ja) | 半導体装置 | |
JP2009111204A (ja) | 電界効果トランジスタ及びその製造方法 | |
JP4038814B2 (ja) | 半導体装置および電界効果トランジスタ | |
JP2011210785A (ja) | 電界効果トランジスタ、およびその製造方法 | |
JP2005311029A (ja) | 窒化物半導体装置及びその製造方法 | |
JP5504660B2 (ja) | 化合物半導体装置及びその製造方法 | |
JP4759923B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP6166508B2 (ja) | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 | |
JP5418482B2 (ja) | 化合物半導体積層構造 | |
WO2019009111A1 (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
JP2009246307A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JP7069486B2 (ja) | 高電子移動度トランジスタ | |
JP5730505B2 (ja) | 化合物半導体装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070301 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100624 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100629 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100826 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20101214 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110208 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110510 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110523 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140617 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4759923 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |