JP2005259773A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 ポリシリコン膜の表面モホロジーの改善や結晶性制御により、シリサイド膜の抵抗値の高抵抗化を防止し低抵抗で信頼性の高いシリサイド膜を形成する。
【解決手段】 シリコン基板0上にゲート絶縁膜2を形成し、ゲート絶縁膜2上にポリシリコン膜3を堆積する工程と、ポリシリコン膜3をパターニングしてゲート絶縁膜2上にゲート電極4を形成する工程とを含み、ゲート電極4をシリサイド化してシリサイド膜9を形成する半導体装置の製造方法であって、ポリシリコン膜3の結晶サイズを小さくし、ポリシリコン膜3に含まれる結晶の数のばらつきの程度を低くすることで、シリサイド膜9の抵抗を安定する。表面モホロジーを改善することによりシリサイド抵抗を安定することができる。また、ポリシリコンのグレインサイズをコントロールすることにより、シリサイド膜9に生じる分断部分による高抵抗化を防止することができる。
【選択図】 図1
【解決手段】 シリコン基板0上にゲート絶縁膜2を形成し、ゲート絶縁膜2上にポリシリコン膜3を堆積する工程と、ポリシリコン膜3をパターニングしてゲート絶縁膜2上にゲート電極4を形成する工程とを含み、ゲート電極4をシリサイド化してシリサイド膜9を形成する半導体装置の製造方法であって、ポリシリコン膜3の結晶サイズを小さくし、ポリシリコン膜3に含まれる結晶の数のばらつきの程度を低くすることで、シリサイド膜9の抵抗を安定する。表面モホロジーを改善することによりシリサイド抵抗を安定することができる。また、ポリシリコンのグレインサイズをコントロールすることにより、シリサイド膜9に生じる分断部分による高抵抗化を防止することができる。
【選択図】 図1
Description
この発明は、半導体装置の製造方法に関し、素子のゲート絶縁膜が薄膜化した半導体装置および金属をシリサイド化させてなるシリサイド層を形成する半導体装置の製造方法に関する。
従来、LSI(Large Scale Integrated circuit)においては、チップの集積度を上げるために、構成する素子であるMOSFET(Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor)の微細化や動作電圧の低電圧化が進められている。一方、素子が高集積化されることにより、素子の速度を向上させるため、ゲート電極や拡散層の低抵抗化を図る方法として、コバルト(Co),チタン(Ti),タングステン(W)などの金属膜を用いて自己整合的にゲート電極や拡散層にシリサイド膜を形成する,いわゆるサリサイドプロセスがよく知られている(例えば、特許文献1参照)。以下、従来のサリサイドプロセスを用いた半導体装置の製造方法について説明する。
図6(a)〜図6(d)は、従来例の半導体装置の製造工程を示す断面図である。
まず、図6(a)に示す工程で、半導体基板100に活性領域を囲むトレンチ型の素子分離用絶縁膜101を形成した後、半導体基板100の活性領域上にシリコン酸窒化膜からなる1nmから3nmのゲート絶縁膜102を形成する。その後、基板上にLPCVD(Low Pressure Chemical Vapor Deposition)によるポリシリコン膜103を成膜温度600℃から620℃、成膜圧力20Paから50Pa、SiH4流量500sccmから1000sccm、で堆積する。
次に、図6(b)に示す工程で、リソグラフィ及びドライエッチングにより、ポリシリコン膜をパターニングして、ゲート絶縁膜102上にゲート電極104を形成する。その後、ゲート電極104および素子分離用絶縁膜101をマスクとして活性領域に低濃度の不純物イオンを注入して、LDD領域をゲート電極104に対して自己整合的に形成する。その後、基板上にCVD法によって酸化膜を堆積し、この酸化膜をエッチバックすることにより、ゲート電極104の側面上に酸化膜からなるサイドウォール105を形成する。その後、ゲート電極104、サイドウォール105および素子分離用絶縁膜101をマスクとして活性領域に高濃度の不純物イオンを注入して、高濃度ソース・ドレイン領域106をゲート電極104に対して自己整合的に形成する。
次に、図6(c)に示す工程で、スパッタリング法により、基板上に、コバルト膜107を堆積した後、コバルト膜107上に窒化チタン膜108を堆積する。次に、図6(d)に示す工程で、窒素ガス雰囲気中で、半導体基板100に400〜500℃程度の温度で第1の短時間熱処理(RTA)を施し、ゲート電極104及び高濃度ソース・ドレイン領域106の露出している部分においてシリコン(Si)とコバルト(Co)とを反応させてコバルトリッチな第1のコバルトシリサイド膜109を形成する。このとき、コバルト膜107のうちサイドウォール105及び素子分離用絶縁膜101などの絶縁膜上に位置する部分はシリサイド化されることはなく、未反応のままのコバルト膜107が残存する。次に、硫酸と過酸化水素水の混合液などの溶液を用いて、窒化チタン膜108及び未反応のまま残存するコバルト膜107を選択的に除去することによって、ゲート電極104及び高濃度ソース・ドレイン領域106上に多結晶体の第1のコバルトシリサイド膜109を選択的に残置させる。
次に、窒素ガス雰囲気中で、半導体基板100を800〜900℃程度の温度で第2の短時間熱処理(RTA)を行い、第1のコバルトシリサイド膜109を構造的に安定な第2のコバルトシリサイド膜(CoSi2膜)に変換する。この結果、第2のコバルトシリサイド膜のシート抵抗は第1のコバルトシリサイド膜109のシート抵抗よりも小さくなり、ゲート電極104及び高濃度ソース・ドレイン領域106の低抵抗化を図ることができる。
特開平2−45923号公報
しかしながら、上述のような従来の半導体装置の製造方法においては、ポリシリコン膜103の結晶サイズが大きく、シリサイド膜もポリシリコン膜103の影響をうけて凝集し、シリサイド膜の抵抗値が高抵抗化するという不具合があった。特に、ゲート長が0.1μm以下になるとポリシリコン膜103の影響をうけたシリサイド膜の抵抗値の高抵抗化が顕著になる。ここでシリサイド膜の抵抗値を左右する要因の一つとしてシリコン結晶のサイズが挙げられ、ポリシリコン膜が例え同じ結晶粒径の集合体であったとしても、ポリシリコン膜をゲート長に切るときに図7(a)、(b)に示すようにポリシリコン膜に含まれる結晶の数が異なってくる。そして、結晶の数のばらつきの程度は、結晶のサイズが大きい程、またゲート長が微細化されるほど高くなってくる。
したがって、この発明の目的は、ポリシリコン膜の表面モホロジーの改善や結晶性制御により、シリサイド膜の抵抗値の高抵抗化を防止し低抵抗で信頼性の高いシリサイド膜を有する半導体装置の製造方法を提供することである。
上記課題を解決するためにこの発明の請求項1記載の半導体装置の製造方法は、シリコン基板上にゲート絶縁膜を形成し、前記ゲート絶縁膜上にポリシリコン膜を堆積する工程と、前記ポリシリコン膜をパターニングして前記ゲート絶縁膜上にゲート電極を形成する工程とを含み、前記ゲート電極をシリサイド化してシリサイド膜を形成する半導体装置の製造方法であって、前記ポリシリコン膜の結晶サイズを小さくし、前記ポリシリコン膜に含まれる結晶の数のばらつきの程度を低くすることで、前記シリサイド膜の抵抗を安定する。
請求項2記載の半導体装置の製造方法は、請求項1記載の半導体装置の製造方法において、前記ポリシリコン膜を堆積する工程は、反応圧力を1Pa〜15Paの範囲に設定する。
請求項3記載の半導体装置の製造方法は、請求項1記載の半導体装置の製造方法において、前記ポリシリコン膜を堆積する工程は、SiH4分圧を1Pa〜15Paの範囲に設定する。
請求項4記載の半導体装置の製造方法は、請求項3記載の半導体装置の製造方法において、SiH4分圧をN2ガスで希釈する。
請求項5記載の半導体装置の製造方法は、請求項3記載の半導体装置の製造方法において、SiH4分圧をH2ガスで希釈する。
請求項6記載の半導体装置の製造方法は、請求項3記載の半導体装置の製造方法において、SiH4分圧を希ガスで希釈する。
請求項7記載の半導体装置の製造方法は、請求項1記載の半導体装置の製造方法において、ポリシリコン膜を堆積する工程は、反応温度を630℃〜650℃の範囲に設定する。
請求項8記載の半導体装置の製造方法は、請求項1記載の半導体装置の製造方法において、ポリシリコン膜を堆積後にイオン注入を行なう。
請求項9記載の半導体装置の製造方法は、請求項8記載の半導体装置の製造方法において、窒素イオンの注入を行なう。
この発明の請求項1記載の半導体装置の製造方法によれば、ポリシリコン膜の結晶サイズを小さくし、ポリシリコン膜に含まれる結晶の数のばらつきの程度を低くすることで、シリサイド膜の抵抗を安定するので、表面モホロジーを改善することによりシリサイド抵抗を安定することができる。また、ポリシリコン膜の結晶サイズが大きいと、シリサイド膜もポリシリコン膜の影響を受けて凝集し、シリサイド膜の抵抗値が高抵抗化するという不具合があるが、ポリシリコンのグレインサイズをコントロールすることにより、シリサイド膜に生じる分断部分による高抵抗化を防止することができ、ゲート電極やソース・ドレイン領域が微細化されても低抵抗なシリサイド膜を有する半導体装置を形成することができる。
請求項2では、ポリシリコン膜を堆積する工程は、反応圧力を1Pa〜15Paの範囲に設定するので、SiH4の分圧が低くなり、シリコン結晶のサイズが小さくなる。この結果ゲート長が0.1μm以下のシリサイド膜の抵抗を安定することができる。
請求項3では、ポリシリコン膜を堆積する工程は、SiH4分圧を1Pa〜15Paの範囲に設定するので、SiH4の分圧が低く、シリコン結晶のサイズが小さくなる。この結果ゲート長が0.1μm以下のシリサイド膜の抵抗を安定することができる。
請求項4では、SiH4分圧をN2ガスで希釈するので、SiH4の分圧が低くなり、シリコン結晶のサイズが小さくなる。この結果ゲート長が0.1μm以下のシリサイド膜の抵抗を安定することができる。
請求項5では、SiH4分圧をH2ガスで希釈するので、Hが膜中に取り込まれ、取り込まれたHがSiと結合しSiの結合手をふさぐため、シリコン結晶のサイズが小さくなる。この結果ゲート長が0.1μm以下のシリサイド膜の抵抗を安定することができる。
請求項6では、SiH4分圧を希ガスで希釈するので、SiH4と同時に流すガスはHe、Ar等の希ガスとすることで、SiH4の分圧が低くなり、シリコン結晶のサイズが小さくなる。この結果ゲート長が0.1μm以下のシリサイド膜の抵抗を安定することができる。
請求項7では、ポリシリコン膜を堆積する工程は、反応温度を630℃〜650℃の範囲に設定するので、結晶の小さい柱状ポリシリコンになり、シリコン結晶のサイズが小さくなる。この結果ゲート長が0.1μm以下のシリサイド膜の抵抗を安定することができる。
請求項8では、ポリシリコン膜を堆積後にイオン注入を行なうので、ポリシリコン又はシリコンをアモルファス化し、このアモルファスシリコンを再結晶化する際、膜中に取り込まれたイオンの原子が結晶化を阻害しシリコン結晶のサイズが小さくなる。この結果ゲート長が0.1μm以下のシリサイド膜の抵抗を安定することができる。
請求項9では、窒素イオンの注入を行なうので、ポリシリコン又はシリコンをアモルファス化し、このアモルファスシリコンを再結晶化する際、膜中に取り込まれた窒素が結晶化を阻害しシリコン結晶のサイズが小さくなる。
この発明の第1の実施の形態を図1〜図3に基づいて説明する。図1(a)〜図1(d)は、本発明の第1の実施形態の半導体装置の製造工程を示す断面図である。
まず、図1(a)に示す工程で、p型の半導体基板0に活性領域を囲むトレンチ型の素子分離用絶縁膜1を形成した後、半導体基板1の活性領域上にシリコン酸化膜からなるゲート絶縁膜2を形成する。その後、基板上にLPCVD(Low Pressure Chemical Vapor Deposition)によるポリシリコン膜3を成膜温度600℃から620℃、成膜圧力1Paから15Pa、SiH4流量500sccmから1000sccm、で堆積する。この工程において、ポリシリコン膜成長の成膜圧力を1Paから15Paと成膜圧力を低くすることで、SiH4の分圧が低くなり、シリコン結晶のサイズが小さくなる。この工程ではSiH4の分圧を低く設定するため、圧力はより低くするとよい。
次に、図1(b)に示す工程で、リソグラフィ及びドライエッチングにより、ポリシリコン膜をパターニングして、ゲート絶縁膜2上にゲート電極4を形成する。その後、ゲート電極4および素子分離用絶縁膜1をマスクとして活性領域に低濃度の不純物イオンを注入して、LDD領域をゲート電極4に対して自己整合的に形成する。その後、基板上にCVD法によって酸化膜を堆積し、この酸化膜をエッチバックすることにより、ゲート電極4の側面上に酸化膜からなるサイドウォール5を形成する。その後、ゲート電極4、サイドウォール5および素子分離用絶縁膜1をマスクとして活性領域に高濃度の不純物イオンを注入して、高濃度ソース・ドレイン領域6をゲート電極4に対して自己整合的に形成する。
次に、図1(c)に示す工程で、スパッタリング法により、基板上に、コバルト膜7を堆積した後、コバルト膜7上に窒化チタン膜8を堆積する。次に、図1(d)に示す工程で、窒素ガス雰囲気中で、半導体基板0に400〜500℃程度の温度で第1の短時間熱処理(RTA)を施し、ゲート電極4及び高濃度ソース・ドレイン領域6の露出している部分においてシリコン(Si)とコバルト(Co)とを反応させてコバルトリッチな第1のコバルトシリサイド膜9を形成する。このとき、コバルト膜7のうちサイドウォール5及び素子分離用絶縁膜1などの絶縁膜上に位置する部分はシリサイド化されることはなく、未反応のままのコバルト膜7が残存する。次に、硫酸と過酸化水素水の混合液などの溶液を用いて、窒化チタン膜8及び未反応のまま残存するコバルト膜7を選択的に除去することによって、ゲート電極4及び高濃度ソース・ドレイン領域6上に多結晶体の第1のコバルトシリサイド膜9を選択的に残置させる。
次に、窒素ガス雰囲気中で、半導体基板0を800〜900℃程度の温度で第2の短時間熱処理(RTA)を行い、第1のコバルトシリサイド膜9を構造的に安定な第2のコバルトシリサイド膜(CoSi2膜)に変換する(図示せず)。この結果、第2のコバルトシリサイド膜のシート抵抗は第1のコバルトシリサイド膜9のシート抵抗よりも小さくなり、ゲート電極4及び高濃度ソース・ドレイン領域6の低抵抗化を図ることができる。
図2はSiH4分圧を変化させたときの表面モホロジーを示すSEM像の説明図、図3はSiH4分圧を変化させたときのコバルトシリサイド抵抗を示す特性図である。図2および図3に示すように、SiH4の分圧が低くなると、シリコン結晶のサイズが小さくなり、シリサイド膜もポリシリコン膜の影響を受けて凝集して抵抗値が高抵抗化するという不具合がなく、表面モホロジーが改善される。また、ポリシリコン膜に含まれる結晶の数のばらつきの程度は、結晶のサイズが大きい程、またゲート長が微細化されるほど高くなってくるが、結晶のサイズを小さくしたことで、ゲート長が0.1μm以下のシリサイド膜の抵抗を安定することができる。
この発明の第2の実施の形態を説明する。第2の実施形態の半導体装置の製造工程の説明において、図1(a)〜図1(d)を用いる。
まず、図1(a)に示す工程で、p型の半導体基板0に活性領域を囲むトレンチ型の素子分離用絶縁膜1を形成した後、半導体基板0の活性領域上にシリコン酸化膜からなるゲート絶縁膜2を形成する。その後、基板上にLPCVD(Low Pressure Chemical Vapor Deposition)によるポリシリコン膜3を成膜温度600℃から620℃、成膜圧力20Paから50Pa、SiH4流量500sccmから2000sccm、N2流量300sccmから3000sccmで堆積する。この工程において、ポリシリコン膜成長時にN2ガスを300sccmから3000sccm同時に流すことで、SiH4の分圧が低くなり、シリコン結晶のサイズが小さくなる。この工程ではN2ガスを同時に流してSiH4の分圧を低く設定しているため、N2流量とSiH4流量の比をコントロールすることにより所望のグレインサイズにコントロールすることができる。
次に、図1(b)に示す工程で、リソグラフィ及びドライエッチングにより、ポリシリコン膜をパターニングして、ゲート絶縁膜2上にゲート電極4を形成する。その後、ゲート電極4および素子分離用絶縁膜1をマスクとして活性領域に低濃度の不純物イオンを注入して、LDD領域をゲート電極4に対して自己整合的に形成する。その後、基板上にCVD法によって酸化膜を堆積し、この酸化膜をエッチバックすることにより、ゲート電極4の側面上に酸化膜からなるサイドウォール5を形成する。その後、ゲート電極4、サイドウォール5および素子分離用絶縁膜1をマスクとして活性領域に高濃度の不純物イオンを注入して、高濃度ソース・ドレイン領域6をゲート電極4に対して自己整合的に形成する。
次に、図1(c)に示す工程で、スパッタリング法により、基板上に、コバルト膜7を堆積した後、コバルト膜7上に窒化チタン膜8を堆積する。次に、図1(d)に示す工程で、窒素ガス雰囲気中で、半導体基板0に400〜500℃程度の温度で第1の短時間熱処理(RTA)を施し、ゲート電極4及び高濃度ソース・ドレイン領域6の露出している部分においてシリコン(Si)とコバルト(Co)とを反応させてコバルトリッチな第1のコバルトシリサイド膜9を形成する。このとき、コバルト膜7のうちサイドウォール5及び素子分離用絶縁膜1などの絶縁膜上に位置する部分はシリサイド化されることはなく、未反応のままのコバルト膜7が残存する。次に、硫酸と過酸化水素水の混合液などの溶液を用いて、窒化チタン膜8及び未反応のまま残存するコバルト膜7を選択的に除去することによって、ゲート電極4及び高濃度ソース・ドレイン領域6上に多結晶体の第1のコバルトシリサイド膜9を選択的に残置させる。
次に、窒素ガス雰囲気中で、半導体基板0を800〜900℃程度の温度で第2の短時間熱処理(RTA)を行い、第1のコバルトシリサイド膜9を構造的に安定な第2のコバルトシリサイド膜(CoSi2膜)に変換する(図示せず)。この結果、第2のコバルトシリサイド膜のシート抵抗は第1のコバルトシリサイド膜9のシート抵抗よりも小さくなり、ゲート電極4及び高濃度ソース・ドレイン領域6の低抵抗化を図ることができる。
第1の実施形態と同様に、図2にSiH4分圧を変化させたときの表面モホロジーを図3にSiH4分圧を変化させたときのコバルトシリサイド抵抗を示す。SiH4の分圧が低くなると、シリコン結晶のサイズが小さくなり、表面モホロジーが改善される。また、ゲート長が0.1μm以下のシリサイド膜の抵抗を安定することができる。
この発明の第3の実施の形態を説明する。第3の実施形態の半導体装置の製造工程の説明において、図1(a)〜図1(d)を用いる。
まず、図1(a)に示す工程で、p型の半導体基板0に活性領域を囲むトレンチ型の素子分離用絶縁膜1を形成した後、半導体基板0の活性領域上にシリコン酸化膜からなるゲート絶縁膜2を形成する。その後、基板上にLPCVD(Low Pressure Chemical Vapor Deposition)によるポリシリコン膜3を成膜温度600℃から620℃、成膜圧力20Paから50Pa、SiH4流量500sccmから2000sccm、H2流量200sccmから500で堆積する。この工程において、ポリシリコン膜成長時にH2ガスを200sccmから500sccm同時に流すことで、Hが膜中に取り込まれ、取り込まれたHがSiと結合しSiの結合手をふさぐため、シリコン結晶のサイズが小さくなる。この工程ではH2ガスを同時に流してポリシリコン膜中にHを導入しSiの結合手をふさいでいるため、H2流量とSiH4流量の比をコントロールすることにより所望のグレインサイズにコントロールすることができる。
次に、図1(b)に示す工程で、リソグラフィ及びドライエッチングにより、ポリシリコン膜をパターニングして、ゲート絶縁膜2上にゲート電極4を形成する。その後、ゲート電極4および素子分離用絶縁膜1をマスクとして活性領域に低濃度の不純物イオンを注入して、LDD領域をゲート電極4に対して自己整合的に形成する。その後、基板上にCVD法によって酸化膜を堆積し、この酸化膜をエッチバックすることにより、ゲート電極4の側面上に酸化膜からなるサイドウォール5を形成する。その後、ゲート電極4、サイドウォール5および素子分離用絶縁膜1をマスクとして活性領域に高濃度の不純物イオンを注入して、高濃度ソース・ドレイン領域6をゲート電極4に対して自己整合的に形成する。
次に、図1(c)に示す工程で、スパッタリング法により、基板上に、コバルト膜7を堆積した後、コバルト膜7上に窒化チタン膜8を堆積する。次に、図1(d)に示す工程で、窒素ガス雰囲気中で、半導体基板0に400〜500℃程度の温度で第1の短時間熱処理(RTA)を施し、ゲート電極4及び高濃度ソース・ドレイン領域6の露出している部分においてシリコン(Si)とコバルト(Co)とを反応させてコバルトリッチな第1のコバルトシリサイド膜9を形成する。このとき、コバルト膜7のうちサイドウォール5及び素子分離用絶縁膜1などの絶縁膜上に位置する部分はシリサイド化されることはなく、未反応のままのコバルト膜7が残存する。次に、硫酸と過酸化水素水の混合液などの溶液を用いて、窒化チタン膜8及び未反応のまま残存するコバルト膜7を選択的に除去することによって、ゲート電極4及び高濃度ソース・ドレイン領域6上に多結晶体の第1のコバルトシリサイド膜9を選択的に残置させる。
次に、窒素ガス雰囲気中で、半導体基板0を800〜900℃程度の温度で第2の短時間熱処理(RTA)を行い、第1のコバルトシリサイド膜9を構造的に安定な第2のコバルトシリサイド膜(CoSi2膜)に変換する(図示せず)。この結果、第2のコバルトシリサイド膜のシート抵抗は第1のコバルトシリサイド膜9のシート抵抗よりも小さくなり、ゲート電極4及び高濃度ソース・ドレイン領域6の低抵抗化を図ることができる。
第1の実施形態と同様に、図2にSiH4分圧を変化させたときの表面モホロジーを図3にSiH4分圧を変化させたときのコバルトシリサイド抵抗を示す。SiH4の分圧が低くなると、シリコン結晶のサイズが小さくなり、表面モホロジーが改善される。また、ゲート長が0.1μm以下のシリサイド膜の抵抗を安定することができる。
この発明の第4の実施の形態を説明する。第4の実施形態の半導体装置の製造工程の説明において、図1(a)〜図1(d)を用いる。
まず、図1(a)に示す工程で、p型の半導体基板0に活性領域を囲むトレンチ型の素子分離用絶縁膜1を形成した後、半導体基板0の活性領域上にシリコン酸化膜からなるゲート絶縁膜2を形成する。その後、基板上にLPCVD(Low Pressure Chemical Vapor Deposition)によるポリシリコン膜3を成膜温度600℃から620℃、成膜圧力20Paから50Pa、SiH4流量500sccmから1000sccm、N2流量300sccmから3000で堆積する。ポリシリコンを成膜後、窒素イオン(N+又はN2+)の注入を加速エネルギー10keVから50keV、ドーズ量1×1013から1×1015で行い、ポリシリコン又はシリコンをアモルファス化する。このアモルファスシリコンを再結晶化する際、膜中に取り込まれたNが結晶化を阻害しシリコン結晶のサイズが小さくなる。この工程において、窒素イオン(N+又はN2+)の注入により、ポリシリコン膜がアモルファスシリコン化しているため、注入量や注入エネルギーをコントロールすることにより再結晶化時のグレインサイズにコントロールすることができる。なお、窒素イオンの代わりに注入するのはArでもよい。
次に、図1(b)に示す工程で、リソグラフィ及びドライエッチングにより、ポリシリコン膜をパターニングして、ゲート絶縁膜2上にゲート電極4を形成する。その後、ゲート電極4および素子分離用絶縁膜1をマスクとして活性領域に低濃度の不純物イオンを注入して、LDD領域をゲート電極4に対して自己整合的に形成する。その後、基板上にCVD法によって酸化膜を堆積し、この酸化膜をエッチバックすることにより、ゲート電極4の側面上に酸化膜からなるサイドウォール5を形成する。その後、ゲート電極4、サイドウォール5および素子分離用絶縁膜1をマスクとして活性領域に高濃度の不純物イオンを注入して、高濃度ソース・ドレイン領域6をゲート電極4に対して自己整合的に形成する。
次に、図1(c)に示す工程で、スパッタリング法により、基板上に、コバルト膜7を堆積した後、コバルト膜7上に窒化チタン膜8を堆積する。次に、図1(d)に示す工程で、窒素ガス雰囲気中で、半導体基板0に400〜500℃程度の温度で第1の短時間熱処理(RTA)を施し、ゲート電極4及び高濃度ソース・ドレイン領域6の露出している部分においてシリコン(Si)とコバルト(Co)とを反応させてコバルトリッチな第1のコバルトシリサイド膜9を形成する。このとき、コバルト膜7のうちサイドウォール5及び素子分離用絶縁膜1などの絶縁膜上に位置する部分はシリサイド化されることはなく、未反応のままのコバルト膜7が残存する。次に、硫酸と過酸化水素水の混合液などの溶液を用いて、窒化チタン膜8及び未反応のまま残存するコバルト膜7を選択的に除去することによって、ゲート電極4及び高濃度ソース・ドレイン領域6上に多結晶体の第1のコバルトシリサイド膜9を選択的に残置させる。
次に、窒素ガス雰囲気中で、半導体基板0を800〜900℃程度の温度で第2の短時間熱処理(RTA)を行い、第1のコバルトシリサイド膜9を構造的に安定な第2のコバルトシリサイド膜(CoSi2膜)に変換する(図示せず)。この結果、第2のコバルトシリサイド膜のシート抵抗は第1のコバルトシリサイド膜9のシート抵抗よりも小さくなり、ゲート電極4及び高濃度ソース・ドレイン領域6の低抵抗化を図ることができる。
第1の実施形態と同様に、図2にSiH4分圧を変化させたときの表面モホロジーを図3にSiH4分圧を変化させたときのコバルトシリサイド抵抗を示す。SiH4の分圧が低くなると、シリコン結晶のサイズが小さくなり、表面モホロジーが改善される。また、ゲート長が0.1μm以下のシリサイド膜の抵抗を安定することができる。
この発明の第5の実施の形態を図4および図5に基づいて説明する。第5の実施形態の半導体装置の製造工程の説明において、図1(a)〜図1(d)を用いる。
まず、図1(a)に示す工程で、p型の半導体基板0に活性領域を囲むトレンチ型の素子分離用絶縁膜1を形成した後、半導体基板0の活性領域上にシリコン酸化膜からなるゲート絶縁膜2を形成する。その後、基板上にLPCVD(Low Pressure Chemical Vapor Deposition)によるポリシリコン膜3を成膜温度630℃から650℃、成膜圧力10Paから20Pa、SiH4流量500sccmから1000sccm、で堆積する。この工程において、ポリシリコン膜成長の成膜温度を630℃から650℃と成膜温度を高くすることで、結晶の小さい柱状ポリシリコンになり、シリコン結晶のサイズが小さくなる。
次に、図1(b)に示す工程で、リソグラフィ及びドライエッチングにより、ポリシリコン膜をパターニングして、ゲート絶縁膜2上にゲート電極4を形成する。その後、ゲート電極4および素子分離用絶縁膜1をマスクとして活性領域に低濃度の不純物イオンを注入して、LDD領域をゲート電極4に対して自己整合的に形成する。その後、基板上にCVD法によって酸化膜を堆積し、この酸化膜をエッチバックすることにより、ゲート電極4の側面上に酸化膜からなるサイドウォール5を形成する。その後、ゲート電極4、サイドウォール5および素子分離用絶縁膜1をマスクとして活性領域に高濃度の不純物イオンを注入して、高濃度ソース・ドレイン領域6をゲート電極4に対して自己整合的に形成する。
次に、図1(c)に示す工程で、スパッタリング法により、基板上に、コバルト膜7を堆積した後、コバルト膜7上に窒化チタン膜8を堆積する。次に、図1(d)に示す工程で、窒素ガス雰囲気中で、半導体基板0に400〜500℃程度の温度で第1の短時間熱処理(RTA)を施し、ゲート電極4及び高濃度ソース・ドレイン領域6の露出している部分においてシリコン(Si)とコバルト(Co)とを反応させてコバルトリッチな第1のコバルトシリサイド膜9を形成する。このとき、コバルト膜7のうちサイドウォール5及び素子分離用絶縁膜1などの絶縁膜上に位置する部分はシリサイド化されることはなく、未反応のままのコバルト膜7が残存する。次に、硫酸と過酸化水素水の混合液などの溶液を用いて、窒化チタン膜8及び未反応のまま残存するコバルト膜7を選択的に除去することによって、ゲート電極4及び高濃度ソース・ドレイン領域6上に多結晶体の第1のコバルトシリサイド膜9を選択的に残置させる。
次に、窒素ガス雰囲気中で、半導体基板0を800〜900℃程度の温度で第2の短時間熱処理(RTA)を行い、第1のコバルトシリサイド膜9を構造的に安定な第2のコバルトシリサイド膜(CoSi2膜)に変換する(図示せず)。この結果、第2のコバルトシリサイド膜のシート抵抗は第1のコバルトシリサイド膜9のシート抵抗よりも小さくなり、ゲート電極4及び高濃度ソース・ドレイン領域6の低抵抗化を図ることができる。
図4は成膜温度を変化させたときの表面モホロジーを示すSEM像の説明図、図5は成膜温度を変化させたときのコバルトシリサイド抵抗を示す特性図である。図4および図5に示すように、成膜温度が高くなると、シリコン結晶のサイズが小さくなり、シリサイド膜もポリシリコン膜の影響を受けて凝集して抵抗値が高抵抗化するという不具合がなく、表面モホロジーが改善される。また、ポリシリコン膜に含まれる結晶の数のばらつきの程度は、結晶のサイズが大きい程、またゲート長が微細化されるほど高くなってくるが、結晶のサイズを小さくしたことで、ゲート長が0.1μm以下のシリサイド膜の抵抗を安定することができる。
本発明にかかる半導体装置の製造方法は、ポリシリコンのグレインサイズをコントロールすることにより、シリサイド膜に生じる分断部分による高抵抗化を防止することができ、ゲート電極やソース・ドレイン領域が微細化されても低抵抗なシリサイド膜を有するという効果を有し、半導体素子のゲート絶縁膜が薄膜化した半導体装置および金属をシリサイド化させてなるシリサイド層を形成する半導体装置の製造方法等に有用である。
0,100 半導体基板
1,101 素子分離用絶縁膜
2,102 ゲート絶縁膜
3,103 ポリシリコン膜
4,104 ゲート電極
5,105 サイドウォール
6,106 ソース・ドレイン領域
7,107 コバルト膜
8,108 窒化チタン膜
9,109 第1のコバルトシリサイド膜
1,101 素子分離用絶縁膜
2,102 ゲート絶縁膜
3,103 ポリシリコン膜
4,104 ゲート電極
5,105 サイドウォール
6,106 ソース・ドレイン領域
7,107 コバルト膜
8,108 窒化チタン膜
9,109 第1のコバルトシリサイド膜
Claims (9)
- シリコン基板上にゲート絶縁膜を形成し、前記ゲート絶縁膜上にポリシリコン膜を堆積する工程と、前記ポリシリコン膜をパターニングして前記ゲート絶縁膜上にゲート電極を形成する工程とを含み、前記ゲート電極をシリサイド化してシリサイド膜を形成する半導体装置の製造方法であって、前記ポリシリコン膜の結晶サイズを小さくし、前記ポリシリコン膜に含まれる結晶の数のばらつきの程度を低くすることで、前記シリサイド膜の抵抗を安定することを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 前記ポリシリコン膜を堆積する工程は、反応圧力を1Pa〜15Paの範囲に設定する請求項1記載の半導体装置の製造方法。
- 前記ポリシリコン膜を堆積する工程は、SiH4分圧を1Pa〜15Paの範囲に設定する請求項1記載の半導体装置の製造方法。
- SiH4分圧をN2ガスで希釈する請求項3記載の半導体装置の製造方法。
- SiH4分圧をH2ガスで希釈する請求項3記載の半導体装置の製造方法。
- SiH4分圧を希ガスで希釈する請求項3記載の半導体装置の製造方法。
- ポリシリコン膜を堆積する工程は、反応温度を630℃〜650℃の範囲に設定する請求項1記載の半導体装置の製造方法。
- ポリシリコン膜を堆積後にイオン注入を行なう請求項1記載の半導体装置の製造方法。
- 窒素イオンの注入を行なう請求項8記載の半導体装置の製造方法。
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