JP2005236203A - 半導体装置およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明の半導体装置100は、半導体層10と、
前記半導体層10の上方に設けられたゲート絶縁層20と、
前記ゲート絶縁層22の上方に設けられたゲート電極22と、
前記半導体層10の所定の領域に設けられたシリサイド化反応抑制層30と、
前記半導体層10およびシリサイド化反応抑制層30に設けられたソース領域またはドレイン領域26と、
前記ソース領域またはドレイン領域26の上方に設けられたシリサイド層40と、を含む。
【選択図】 図1
Description
前記半導体層の上方に設けられたゲート絶縁層と、
前記ゲート絶縁層の上方に設けられたゲート電極と、
前記半導体層の所定の領域に設けられたシリサイド化反応抑制層と、
前記半導体層およびシリサイド化反応抑制層に設けられたソース領域またはドレイン領域と、
前記ソース領域またはドレイン領域の上方に設けられたシリサイド層と、を含む。
半導体層の上に、ゲート絶縁層を形成する工程と、
前記ゲート絶縁層の上に、ゲート電極を形成する工程と、
前記半導体層の所定の領域にシリサイド化反応抑制層を形成する工程と、
前記シリサイド化反応抑制層および半導体層にソース領域またはドレイン領域を形成する工程と、
前記ソース領域またはドレイン領域の上方にシリコン層を形成する工程と、
前記シリコン層をシリサイド化することによりシリサイド層を形成する工程と、を含む。
本実施の形態にかかる半導体装置100について、図1を参照しながら説明する。図1は、本実施の形態にかかる半導体装置100を模式的に示す断面図である。本実施の形態では、SOI基板10Aを用いた例について説明する。
次に、変形例にかかる半導体装置110について、図2を参照しながら説明する。図2は、変形例にかかる半導体装置を模式的に示す断面図である。本変形例では、バルク状の半導体層10を用いた場合について説明する。変形例にかかる半導体装置110は、ソース/ドレイン領域26の構造が上述の実施の形態と異なる例である。
次に、本実施の形態にかかる半導体装置の製造方法について図3〜6を参照しながら説明する。本実施の形態では、SOI基板10Aを用いた場合を例として説明する。
次に、変形例にかかる半導体装置110の製造方法について図8〜10を参照しながら説明する。本変形例では、バルク状の半導体層10を用いる場合について説明する。なお、上述の実施の形態と同様に行なうことができる工程については、詳細な説明を省略する。
Claims (12)
- 半導体層と、
前記半導体層の上方に設けられたゲート絶縁層と、
前記ゲート絶縁層の上方に設けられたゲート電極と、
前記半導体層の所定の領域に設けられたシリサイド化反応抑制層と、
前記半導体層およびシリサイド化反応抑制層に設けられたソース領域またはドレイン領域と、
前記ソース領域またはドレイン領域の上方に設けられたシリサイド層と、を含む半導体装置。 - 請求項1において、
前記シリサイド化反応抑制層は、シリコンゲルマニウム層である、半導体装置。 - 請求項1または2において、
前記シリサイド層は、前記ソース領域またはドレイン領域と比して不純物濃度が低い層である、半導体装置。 - 請求項1〜3のいずれかにおいて、
前記シリサイド化反応抑制層は、前記半導体層の上方に形成されている、半導体装置。 - 請求項1〜3のいずれかにおいて、
前記シリサイド化反応抑制層の上面は、前記半導体層の表面と同じ高さである、半導体装置。 - 請求項1〜5のいずれかにおいて、
前記半導体層は、SOI層である、半導体装置。 - 半導体層の上に、ゲート絶縁層を形成する工程と、
前記ゲート絶縁層の上に、ゲート電極を形成する工程と、
前記半導体層の所定の領域にシリサイド化反応抑制層を形成する工程と、
前記シリサイド化反応抑制層および半導体層にソース領域またはドレイン領域を形成する工程と、
前記ソース領域またはドレイン領域の上方にシリコン層を形成する工程と、
前記シリコン層をシリサイド化することによりシリサイド層を形成する工程と、を含む、半導体装置の製造方法。 - 請求項7において、
前記シリサイドか反応抑制層は、前記半導体層の上方にエピタキシャル成長法により形成される、半導体装置の製造方法。 - 請求項7において、
前記シリサイド化反応抑制層は、前記半導体層にシリサイド化を抑制することができるイオン種を導入することにより行われる、半導体装置の製造方法。 - 請求項7〜9のいずれかにおいて、
前記ソース領域またはドレイン領域の形成は、
前記半導体層およびシリサイド化反応抑制層に不純物を導入した後、拡散処理を施すことで形成される、半導体装置の製造方法。 - 請求項7〜10のいずれかにおいて、
前記シリコン層の形成は、エピタキシャル成長法により行われる、半導体装置の製造方法。 - 請求項7〜10のいずれかにおいて、
前記シリコン層の形成は、前記半導体層の上方の全面に堆積シリコン層を形成した後、該堆積シリコン層をパターニングすることにより行われる、半導体装置の製造方法。
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