JP4855419B2 - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
本発明は半導体装置の製造方法に関し、特にメタルゲート電極を備えた相補型の半導体装置の製造方法に関する。
従来、MOS(Metal Oxide Semiconductor)デバイスは、そのゲート電極材料にポリシリコンが広く用いられてきた。しかし、このようなMOSデバイスにおいては、その微細化が進むにつれ、ポリシリコンゲート電極の高抵抗化や空乏層の発生による駆動電流の低下が懸念されはじめている。このような問題に対し、近年、ポリシリコンに替えて、メタル材料を用いてゲート電極を形成する試みがなされている。
メタル材料を用いて形成されるメタルゲート電極では、閾値電圧を制御するために、その仕事関数を制御する必要がある。そのため、従来は、nチャネル型MOSトランジスタ(「nMOSトランジスタ」という。)とpチャネル型MOSトランジスタ(「pMOSトランジスタ」という。)にそれぞれ異なるメタル材料のメタルゲート電極を形成する等の方法が採られてきた。
また、近年では、メタル材料に窒素(N)を添加することによってその仕事関数を変調させる方法も提案されている(非特許文献1参照)。このほかにも、例えば、メタルゲート電極を用いてCMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)トランジスタを形成する際、nMOSトランジスタとpMOSトランジスタに同じメタル材料からなる層を形成し、その一方の領域をマスクしてからNを添加することによって、nMOSトランジスタとpMOSトランジスタのメタルゲート電極の仕事関数を異ならせるようにした方法が提案されている(特許文献1参照)。また、nMOSトランジスタとpMOSトランジスタに同じメタル材料からなる層を形成して、その全体にNを添加した後、一方の領域からはそのNを外方拡散させ、他方の領域からはそのNを外方拡散させないようにカバーすることによって、nMOSトランジスタとpMOSトランジスタのメタルゲート電極の仕事関数を異ならせるようにした方法も提案されている(特許文献2参照)。
「アイ・イー・イー・イー・エレクトロン・デバイス・レターズ(IEEE Electron Device Letters)」、2004年2月、Vol.25、No.2、p.70 特開2000−31296号公報
特開2005−79512号公報
「アイ・イー・イー・イー・エレクトロン・デバイス・レターズ(IEEE Electron Device Letters)」、2004年2月、Vol.25、No.2、p.70
しかし、nMOSトランジスタとpMOSトランジスタのメタルゲート電極をそれぞれ違うメタル材料で形成する場合には、nMOSトランジスタとpMOSトランジスタのメタルゲート電極を別個に形成する必要があるため、従来のデバイス製造に比べ、製造工程やデバイス構造が複雑化し、また、製造コストの増加を招いてしまう。
また、nMOSトランジスタとpMOSトランジスタのメタルゲート電極を同じメタル材料から形成しN添加量を調整することによって両者の仕事関数を制御しようとした場合には、その構造によってはメタルゲート電極の抵抗が高くなってしまったり、やはり製造工程が複雑になってしまったりする等の課題が残されている。さらに、nMOSトランジスタとpMOSトランジスタのメタルゲート電極の間にCMOSトランジスタに実用し得る良好な仕事関数差が得られているとは言い難く、そのための方法も未だ解明されてはいない。
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、工程数の増加を抑えつつ、適切な仕事関数を有しかつ低抵抗なメタルゲート電極を形成することのできる半導体装置の製造方法を提供することを目的とする。
本発明では上記課題を解決するために、メタルゲート電極を備える相補型の半導体装置の製造方法において、nMOSトランジスタ形成領域とpMOSトランジスタ形成領域の半導体層上にゲート絶縁膜を形成する工程と、前記ゲート絶縁膜上に前記nMOSトランジスタ形成領域と前記pMOSトランジスタ形成領域とでN濃度が異なる仕事関数制御層を形成する工程と、前記仕事関数制御層上にNを含有する低抵抗層を形成する工程と、前記低抵抗層から前記仕事関数制御層へNを拡散させるための熱処理を行う工程と、を有することを特徴とする半導体装置の製造方法が提供される。
このような半導体装置の製造方法によれば、nMOSトランジスタ形成領域の仕事関数制御層とpMOSトランジスタ形成領域の仕事関数制御層が、異なるN濃度で形成され、そこに熱処理によってその上層の低抵抗層からNを拡散させる。例えば、nMOSトランジスタ形成領域とpMOSトランジスタ形成領域それぞれについて、仕事関数制御層のN含有量と低抵抗層からのN拡散量を適切に調整すれば、各領域に所定の仕事関数を有するメタルゲート電極が形成されるようになる。
本発明では、nMOSトランジスタ形成領域とpMOSトランジスタ形成領域に異なるN濃度の仕事関数制御層を形成し、その上にNを含有する低抵抗層を形成して、熱処理を行うようにした。これにより、nMOSトランジスタ形成領域とpMOSトランジスタ形成領域にそれぞれ所定の仕事関数を有するメタルゲート電極を形成することができるようになる。したがって、適切な仕事関数を有しかつ低抵抗なメタルゲート電極を備えた相補型の半導体装置が実現可能になる。また、そのような半導体装置を少ない工程数で効率的に製造することが可能になる。
本発明の上記および他の目的、特徴および利点は本発明の例として好ましい実施の形態を表す添付の図面と関連した以下の説明により明らかになるであろう。
以下、本発明の実施の形態を、図面を参照して詳細に説明する。
図1はメタルゲート電極を用いたMOS構造の構成例を示す図である。
図1に示すMOS構造は、シリコン(Si)基板1上にゲート絶縁膜2を介して窒化ハフニウム(HfN)層3が形成され、さらに、その上に窒化モリブデン(MoN)層4が形成されている。このように、この図1に示したMOS構造には、下層のHfN層3と上層のMoN層4からなる積層メタルゲート電極が用いられている。
図1はメタルゲート電極を用いたMOS構造の構成例を示す図である。
図1に示すMOS構造は、シリコン(Si)基板1上にゲート絶縁膜2を介して窒化ハフニウム(HfN)層3が形成され、さらに、その上に窒化モリブデン(MoN)層4が形成されている。このように、この図1に示したMOS構造には、下層のHfN層3と上層のMoN層4からなる積層メタルゲート電極が用いられている。
この積層メタルゲート電極において、下層のHfN層3は仕事関数を制御するための層(「仕事関数制御層」という。)としての役割を果たし、また、上層のMoN層4は、メタルゲート電極の低抵抗化を図るための層(「低抵抗層」という。)としての役割を果たす。なお、ゲート絶縁膜2には、酸化シリコン(SiO2)のほか、酸化ハフニウム(HfO2)やハフニウムシリケート(HfSiO)等の高誘電率(High−k)材料も用いることができる。
ここで、図1に示したようなMOS構造を用いてCMOSトランジスタを形成する場合を想定する。
この場合、従来法に従えば、nMOSトランジスタとpMOSトランジスタのHfN層3のN濃度を異ならせることによって、双方の仕事関数をそれぞれ制御することになる。しかし、この方法をそのまま適用すると、その後の熱処理、例えばソース・ドレイン領域形成時の不純物活性化アニール等の際に、HfN層3内のN濃度が変動してしまう場合がある。
この場合、従来法に従えば、nMOSトランジスタとpMOSトランジスタのHfN層3のN濃度を異ならせることによって、双方の仕事関数をそれぞれ制御することになる。しかし、この方法をそのまま適用すると、その後の熱処理、例えばソース・ドレイン領域形成時の不純物活性化アニール等の際に、HfN層3内のN濃度が変動してしまう場合がある。
図2はHfN層内のN濃度と仕事関数の関係の一例を示す図である。図2において、横軸はHfN層内のN濃度(cm−3)を表し、縦軸はHfN層の仕事関数(eV)を表している。なお、図2には、n型ポリシリコンゲート電極の仕事関数およびp型ポリシリコンゲート電極の仕事関数も併せて図示している。
図2に示すように、HfN層3は、そのN濃度の増加に伴い仕事関数が増加する傾向があり、特にN濃度が約5×1021cm−3から約1×1022cm−3の間で仕事関数が大きく変化する。そして、上記図1に示したMOS構造をCMOSトランジスタのメタルゲート電極に用いたときには、nMOSトランジスタのメタルゲート電極のHfN層3に濃度約5×1021cm−3以下のNが含有され、pMOSトランジスタのメタルゲート電極のHfN層3に濃度約1×1022cm−3以上のNが含有されている場合に、nMOSトランジスタとpMOSトランジスタでポリシリコンゲート電極を用いたときと同等の仕事関数差を得ることができるようになる。
上記図1に示したMOS構造をCMOSトランジスタのメタルゲート電極に用いる場合、HfN層3のN濃度は、仕事関数のほか、Nの添加による層の安定性や抵抗値も考慮し、例えば、nMOSトランジスタの場合にはHfN層3のN濃度を約5×1021cm−3に、pMOSトランジスタの場合にはHfN層3のN濃度を約1×1022cm−3に、それぞれ設定する。
しかしながら、あらかじめこのようにnMOSトランジスタ、pMOSトランジスタにそれぞれN濃度約5×1021cm−3、約1×1022cm−3のHfN層3を形成して、それらの上に共に同じ組成のMoN層4を形成すると、上記のような熱処理時に、特にNの含有量が少ないnMOSトランジスタのHfN層3のN濃度が大きく変動し、その仕事関数が変化してしまうようになる。
例えば、図2に点線で示したように、N濃度が約5×1021cm−3であったHfN層3が、所定の熱処理によってそのN濃度を1×1022cm−3付近まで増加させると、その仕事関数は大きく上昇する。一方、N濃度が約1×1022cm−3であったHfN層3は、たとえN濃度が増加したとしても、その仕事関数はほとんど変化しない。その結果、nMOSトランジスタとpMOSトランジスタのメタルゲート電極の仕事関数に有意差が認められなくなってしまう。
図3および図4は熱処理前後のSIMS(Secondary Ion Mass Spectrometry)によるN濃度プロファイルの測定結果の一例であって、図3はnMOSトランジスタのN濃度プロファイル、図4はpMOSトランジスタのN濃度プロファイルである。図3および図4において、横軸は深さを表し、縦軸はN濃度(cm−3)を表している。
上記図1に示したMOS構造を適用した場合、まず、nMOSトランジスタでは、図3に示すように、熱処理前のHfN層3におけるN濃度が約5×1021cm−3であると、所定の熱処理後にはそのN濃度が上昇し、N濃度プロファイルが大幅に変化してしまう。これに対し、pMOSトランジスタでは、図4に示すように、同条件での熱処理前後でHfN層3のN濃度プロファイルにほとんど変化が見られない。
図5は熱処理前後の容量−電圧特性の測定結果を示す図である。図5において、横軸はゲート電圧Vg(V)を表し、縦軸は容量C(F)を表している。
所定の熱処理前後でHfN層3のN濃度が大きく変化するnMOSトランジスタの場合、図5に示すように、そのCVカーブはプラス側へ大きくシフトしてしまう。換言すれば、nMOSトランジスタでは、このような熱処理によってそのフラットバンド電圧VFBが変化し、その結果、その閾値電圧Vthが変化してしまうようになる。一方、pMOSトランジスタの場合には、図5に示したように、所定の熱処理前後でそのCVカーブはほとんど変化せず、したがって、熱処理を行ってもそのフラットバンド電圧VFBすなわち閾値電圧Vthがほとんど変化しないということができる。
所定の熱処理前後でHfN層3のN濃度が大きく変化するnMOSトランジスタの場合、図5に示すように、そのCVカーブはプラス側へ大きくシフトしてしまう。換言すれば、nMOSトランジスタでは、このような熱処理によってそのフラットバンド電圧VFBが変化し、その結果、その閾値電圧Vthが変化してしまうようになる。一方、pMOSトランジスタの場合には、図5に示したように、所定の熱処理前後でそのCVカーブはほとんど変化せず、したがって、熱処理を行ってもそのフラットバンド電圧VFBすなわち閾値電圧Vthがほとんど変化しないということができる。
以上述べたようなnMOSトランジスタのHfN層3におけるN濃度の変動は、その上層に設けられたMoN層4からNが熱拡散することによって発生する。すなわち、nMOSトランジスタでは、熱処理によってMoN層4のNが下層のHfN層3に拡散してHfN層3のN濃度が上昇し、その結果、仕事関数の変動が引き起こされる。これに対し、pMOSトランジスタでは、熱処理前からすでに一定量のNがHfN層に含有されているため、その上層にMoN層4を形成して熱処理を行っても、そのN濃度の変動は起こりにくく、したがって、その仕事関数にほとんど変化が現れない。
このようなことから、HfN層3とMoN層4が積層された積層メタルゲート電極を備えたCMOSトランジスタを精度良くかつ効率的に形成するためには、各工程における各層のN濃度を最適化する必要がある。
図6は積層メタルゲート電極を備えたCMOSトランジスタの形成方法の原理説明図である。
図6には、CMOSトランジスタを形成する過程での要部断面を模式的に図示しており、Si基板10に素子分離領域11が形成されてnMOSトランジスタ形成領域12とpMOSトランジスタ形成領域13が隔離されている。nMOSトランジスタ形成領域12、pMOSトランジスタ形成領域13にはそれぞれ、ゲート絶縁膜14a,14bを介してHfN層15a,15bおよびMoN層16a,16bが積層され、メタルゲート電極が形成されている。
図6には、CMOSトランジスタを形成する過程での要部断面を模式的に図示しており、Si基板10に素子分離領域11が形成されてnMOSトランジスタ形成領域12とpMOSトランジスタ形成領域13が隔離されている。nMOSトランジスタ形成領域12、pMOSトランジスタ形成領域13にはそれぞれ、ゲート絶縁膜14a,14bを介してHfN層15a,15bおよびMoN層16a,16bが積層され、メタルゲート電極が形成されている。
ここでは、このような積層メタルゲート電極を形成した場合に、仕事関数の制御上、N濃度が低くなるnMOSトランジスタ形成領域12のHfN層15aには熱処理時に上層のMoN層16aからNが拡散するが、N濃度が高くすでに一定量のNが含有されているpMOSトランジスタ形成領域13のHfN層15bには熱処理時に上層のMoN層16bからのNの拡散が起こりにくいという現象を利用する。
すなわち、nMOSトランジスタ形成領域12のHfN層15aは、あらかじめn型ポリシリコンゲート電極を用いたときと同程度の仕事関数を得るのに必要なN濃度よりも低いN濃度で形成しておく。一方、pMOSトランジスタ形成領域13のHfN層15bは、p型ポリシリコンゲート電極を用いたときと同程度の仕事関数を得るのに必要なN濃度、換言すればMoN層16bからのNの拡散が起こりにくいN濃度で形成しておく。
そして、その後の熱処理によって、nMOSトランジスタ形成領域12ではMoN層16aからHfN層15aへとNが拡散して、熱処理前のHfN層15aのN含有量とMoN層16aからのN拡散量によって決まるN濃度に応じた仕事関数が得られるようになる。このとき、pMOSトランジスタ形成領域13では、HfN層15bにMoN層16bからのNの拡散が起こりにくい量のNがあらかじめ含有されているため、熱処理前後でHfN層15bのN含有量がほとんど変動せず、熱処理前のHfN層15bのN濃度にほぼ応じた仕事関数が得られるようになる。
なお、熱処理前のHfN層15aのN濃度は、その後に行われる熱処理の条件を考慮して設定する。
例えば、nMOSトランジスタ形成領域12のHfN層15aをそのN濃度が約1×1021cm−3になるように形成し、pMOSトランジスタ形成領域13のHfN層15bをそのN濃度が約1×1022cm−3になるように形成する。そして、これらHfN層15a,15bの上層にN濃度が約4×1021cm−3のMoN層16a,16bを形成し、所定の熱処理行う。このときのHfN層15a,15b内のN濃度と仕事関数の関係を次の図7に示す。
例えば、nMOSトランジスタ形成領域12のHfN層15aをそのN濃度が約1×1021cm−3になるように形成し、pMOSトランジスタ形成領域13のHfN層15bをそのN濃度が約1×1022cm−3になるように形成する。そして、これらHfN層15a,15bの上層にN濃度が約4×1021cm−3のMoN層16a,16bを形成し、所定の熱処理行う。このときのHfN層15a,15b内のN濃度と仕事関数の関係を次の図7に示す。
図7は熱処理前のHfN層内のN濃度を調整した場合のHfN層内のN濃度と仕事関数の関係の一例を示す図である。図7において、横軸はHfN層内のN濃度(cm−3)を表し、縦軸はHfN層の仕事関数(eV)を表している。なお、上記図2同様、この図7には、n型ポリシリコンゲート電極の仕事関数およびp型ポリシリコンゲート電極の仕事関数も併せて図示している。
熱処理前のN濃度が約1×1021cm−3であったnMOSトランジスタ形成領域12のHfN層15aは、図7に示すように、熱処理後のN濃度が約5×1021cm−3になり、その仕事関数は約4.1eVであって、熱処理後でもn型ポリシリコンゲート電極を用いたときと同程度の仕事関数を維持するようになる。なお、pMOSトランジスタ形成領域13では熱処理によるNの拡散が起きにくいため、そのHfN層15bのN濃度および仕事関数はほとんど変化しない。
したがって、このような方法を用いることにより、nMOSトランジスタ形成領域12、pMOSトランジスタ形成領域13のメタルゲート電極を同種の金属を用いて形成することができる。また、各層の熱処理前のN濃度を適切に制御すれば、nMOSトランジスタ形成領域12とpMOSトランジスタ形成領域13とで所定の有意な仕事関数差を有しかつ低抵抗なメタルゲート電極を形成することができる。
具体的には、図7に基づき、nMOSトランジスタ形成領域12のHfN層15aのN濃度を約1×1021cm−3以下とし、pMOSトランジスタ形成領域13のHfN層15bのN濃度を約1×1022cm−3以上とし、MoN層16a,16bのN濃度を約4×1021cm−3以下として、所定の熱処理を行うようにすれば、nMOSトランジスタ形成領域12とpMOSトランジスタ形成領域13とで有意な仕事関数差を有するメタルゲート電極を得ることが可能になる。それにより、メタルゲート電極を備えた高性能のCMOSトランジスタが実現可能になる。
なお、熱処理前には、nMOSトランジスタ形成領域12のメタルゲート電極の仕事関数制御層として、HfN層15aに替えて、Nを含まないHf層を用いることも可能である。ただし、その場合、ゲート絶縁膜2の材質やその後の熱処理条件等によっては、Hf層とゲート絶縁膜2とが反応してしまう可能性がある点に留意する必要がある。Hf層とゲート絶縁膜2との反応が起こらない場合や反応が起こっても支障がない場合には、仕事関数制御層としてHf層を用いることも可能である。
また、pMOSトランジスタ形成領域13のメタルゲート電極の仕事関数制御層であるHfN層15bは、そのN濃度が少なくとも約1×1022cm−3以上であれば、p型ポリシリコンゲート電極を用いたときと同等の仕事関数を得ることが可能である。ただし、その場合、N濃度の増加に伴うHfN層15bの抵抗増加にも留意する必要がある。
以下に上記原理を用いたCMOSトランジスタの形成方法をより具体的に説明する。
図8から図12はCMOSトランジスタの形成方法の説明図であって、図8はHfN層形成工程の要部断面模式図、図9はN導入工程の要部断面模式図、図10はMoN層形成工程の要部断面模式図、図11はサイドウォール形成工程の要部断面模式図、図12は活性化アニール工程の要部断面模式図である。
図8から図12はCMOSトランジスタの形成方法の説明図であって、図8はHfN層形成工程の要部断面模式図、図9はN導入工程の要部断面模式図、図10はMoN層形成工程の要部断面模式図、図11はサイドウォール形成工程の要部断面模式図、図12は活性化アニール工程の要部断面模式図である。
まず、図8に示すように、常法に従い、Si基板20にSTI(Shallow Trench Isolation)法等により素子分離領域21を形成してnMOSトランジスタ形成領域22とpMOSトランジスタ形成領域23とを画定した後、ウェル領域(図示せず。)、ゲート絶縁膜24を形成する。ゲート絶縁膜24は、SiO2,HfO2,HfSiO等を用いて形成することができ、その材質に応じて熱酸化法やCVD(Chemical Vapor Deposition)法等を用いてSi基板20上に形成すればよい。
続いて、Si基板20の全面にHfN層25を、例えばスパッタ法やCVD法を用い、膜厚約20nmで、そのN濃度が約1×1021cm−3になるように形成する。スパッタ法の場合には、Hfをスパッタする際の雰囲気中のN濃度を制御することにより、所望のN濃度のHfN層25を形成することができる。CVD法の場合には、Hf原料と共にチャンバに導入するN2ガスの流量を制御することにより、所望のN濃度のHfN層25を形成することができる。
HfN層25は、ここでは膜厚約20nmとしたが、その膜厚は20nm以上に設定することが好ましい。これは、膜厚が20nmを下回る場合には、後述するNのイオン注入過程において、そのイオン注入条件にもよるが、注入したNがHfN層25を突き抜けてしまう可能性が高まるためである。
HfN層25の形成後は、nMOSトランジスタ形成領域22のHfN層25をレジスト26で被覆し、pMOSトランジスタ形成領域23のHfN層25のみを露出させる。
次いで、図9に示すように、レジスト26をマスクにして、pMOSトランジスタ形成領域23のHfN層25にのみNのイオン注入を行って、より高濃度のHfN層25aを形成する。その際は、pMOSトランジスタ形成領域23のイオン注入後に形成されるHfN層25aのN濃度が約1×1022cm−3になるよう、図8に示したHfN層25に対してNのイオン注入量を制御する。Nのイオン注入後は、nMOSトランジスタ形成領域22のレジスト26を除去する。
次いで、図9に示すように、レジスト26をマスクにして、pMOSトランジスタ形成領域23のHfN層25にのみNのイオン注入を行って、より高濃度のHfN層25aを形成する。その際は、pMOSトランジスタ形成領域23のイオン注入後に形成されるHfN層25aのN濃度が約1×1022cm−3になるよう、図8に示したHfN層25に対してNのイオン注入量を制御する。Nのイオン注入後は、nMOSトランジスタ形成領域22のレジスト26を除去する。
ここまでの工程で、nMOSトランジスタ形成領域22には、N濃度約1×1021cm−3のHfN層25が残り、pMOSトランジスタ形成領域23には、N濃度約1×1022cm−3のHfN層25aが形成される。
次いで、図10に示すように、全面にMoN層27を、例えばスパッタ法やCVD法を用い、膜厚約80nmで、そのN濃度が約4×1021cm−3になるように形成する。スパッタ法の場合には、Moをスパッタする際の雰囲気中のN濃度を制御することにより、所望のN濃度のMoN層27を形成することができる。CVD法の場合には、Mo原料と共にチャンバに導入するN2ガスの流量を制御することにより、所望のN濃度のMoN層27を形成することができる。
さらに、このようにして形成されたMoN層27上にSi膜28を、例えばスパッタ法やCVD法を用い、膜厚約10nmで形成する。このSi膜28は、先に形成したMoN層27の酸化を防止してその抵抗値の増加を抑える役割を果たす。
Si膜28の形成後は、まず、nMOSトランジスタ形成領域22およびpMOSトランジスタ形成領域23のメタルゲート電極となる部分のSi膜28、MoN層27およびHfN層25,25aを残してエッチング加工を行う。その後、全面に窒化シリコン(SiN)膜を形成し、エッチバックを行って、図11に示すように、nMOSトランジスタ形成領域22およびpMOSトランジスタ形成領域23の各メタルゲート電極の側壁にサイドウォール29を形成し、露出するゲート絶縁膜24を併せて除去する。
そして、サイドウォール29の形成後は、常法に従い、露出するSi基板20に対して所定条件のイオン注入を行い、nMOSトランジスタ形成領域22およびpMOSトランジスタ形成領域23の各メタルゲート電極両側のSi基板20内にそれぞれ、ソース・ドレイン領域30,31を形成する。
最後に、ソース・ドレイン領域30,31に注入された不純物の活性化アニールを行う。例えば、活性化アニールとして、不活性ガス雰囲気中、温度約1000℃で約10秒間のRTA(Rapid Thermal Anneal)を行う。
このような活性化アニールにより、nMOSトランジスタ形成領域22のHfN層25には、その上層のMoN層27のNが熱拡散して導入され、図12に示すように、より高濃度のHfN層25bが形成されるようになる。このとき、HfN層25bのN濃度は、N濃度約1×1021cm−3のHfN層25にN濃度約4×1021cm−3のMoN層27からNが熱拡散することにより、最終的に約5×1021cm−3になる。一方、pMOSトランジスタ形成領域23のHfN層25aには、その上層のMoN層27からのNの熱拡散がほとんど起こらず、そのN濃度は約1×1022cm−3からほとんど変動しない。なお、この結果、nMOSトランジスタ形成領域22のMoN層27のN濃度は、2×1021cm−3となり、pMOSトランジスタ形成領域23のMoN層27のN濃度は、4×1021cm−3とほとんど変動はなく、nMOSトランジスタ形成領域22のMoN層27とpMOSトランジスタ形成領域23のMoN層27との間には、そのN濃度に約2×1021cm−3の差が生じるようになる。
ここまでの工程により、nMOSトランジスタ形成領域22には、N濃度約5×1021cm−3のHfN層25bが形成され、pMOSトランジスタ形成領域23には、N濃度約1×1022cm−3のHfN層25aが形成される。
CMOSトランジスタのnMOSトランジスタ、pMOSトランジスタのメタルゲート電極のHfN層25b,25aがこのような濃度関係を有している場合には、上記図7に示したように、nMOSトランジスタ、pMOSトランジスタのメタルゲート電極の仕事関数差として有意な差を確保することができる。したがって、所定の仕事関数を有しかつ低抵抗なメタルゲート電極を形成することができ、高性能のCMOSトランジスタを実現することが可能になる。
なお、nMOSトランジスタ、pMOSトランジスタのメタルゲート電極の仕事関数差は0.8V以上であることが好ましい。仕事関数差が0.8V以上である場合、種々の機器、特にハイエンドモデル機器に適用することのできるCMOSトランジスタを形成しやすいというメリットがある。ただし、仕事関数差が0.8Vを下回るような場合であっても、種々の機器に適用することのできるCMOSトランジスタを形成することは勿論可能である。
上記のような形成方法によれば、0.8V以上といった仕事関数差を有するCMOSトランジスタの形成が可能である。さらに、nMOSトランジスタ形成領域とpMOSトランジスタ形成領域に同種のメタル材料を用いてメタルゲート電極を形成することができるため、それぞれの領域に異なるメタル材料を用いてメタルゲート電極を形成する場合に比べ、工程が複雑化することがなく、工程数が増加することもない。したがって、メタルゲート電極を備えた高性能のCMOSトランジスタを効率的に形成することが可能になる。
なお、上記の形成方法において、熱処理前のnMOSトランジスタの仕事関数制御層としては前述のようにHf層を用いることも可能であり、その場合は、例えば次のような手順でCMOSトランジスタの形成を行うことができる。
すなわち、まず、素子分離領域21を形成したSi基板20上にゲート絶縁膜24を形成し、その上に、上記HfN層25に替えて、Hf層を形成する(図8参照)。ただし、その際、ゲート絶縁膜24は、Hf層のHfと反応しないかあるいは反応しにくい材質、例えば、酸窒化シリコン(SiON)膜や窒化ハフニウムシリケート(HfSiON)膜等のNを含む絶縁膜とする。以降は、上記HfN層25を用いた場合と同様であり、nMOSトランジスタ形成領域22をレジスト26で被覆した後(図8参照)、pMOSトランジスタ形成領域23に露出するHf層にNのイオン注入を行い(図9参照)、MoN層27、Si膜28、サイドウォール29およびソース・ドレイン領域30,31の形成を行って(図10および図11参照)、活性化アニールを行う(図12参照)。
ただし、Hf層へのNのイオン注入の際には、上記HfN層25にNのイオン注入を行う場合に比べ、より多くのNをイオン注入し、所定のN濃度のHfN層25aを形成することを要する。また、MoN層27を形成する際には、Nを含まない下層のHf層から活性化アニール後に所定のN濃度のHfN層25bが得られるように、そのN濃度を設定することを要する。
また、上記の形成方法において、熱処理前のnMOSトランジスタの仕事関数制御層がHfN層25である場合とHf層である場合とを問わず、低抵抗層としてのMoN層27上に設けた酸化防止用のSi膜28は、最終的には除去するようにしても構わない。ただし、このSi膜28は、通常ソース・ドレイン領域30,31の活性化アニールの際にMoN層27と反応してシリサイド化されるため、たとえ除去されない場合であっても導通は確保される。
また、以上の説明では、主に低抵抗層からnMOSトランジスタ形成領域の仕事関数制御層にNを熱拡散させることを目的とした場合を例にして述べたが、形成過程でのN濃度を調整し、低抵抗層からnMOSトランジスタ形成領域とpMOSトランジスタ形成領域の両方の仕事関数制御層にNを熱拡散させ、最終的に所定の仕事関数差を得るようにしても構わない。
また、以上の説明では、仕事関数制御層にHfNやHfを用いた場合を例にして述べたが、仕事関数制御層にはHfNやHfのほか、窒化ジルコニウム(ZrN)やジルコニウム(Zr)を用いることもできる。このようなZrNやZrもHfNやHfを用いたときと同様の挙動を示し、また、ZrNやZrを用いることによってHfNやHfを用いたときと同様の効果を得ることが可能である。
また、以上の説明では、低抵抗層にMoNを用いた場合を例にして述べたが、低抵抗層にはMoNのほか、窒化タングステン(WN)を用いることもできる。このようなWNもMoNを用いたときと同様の挙動を示し、また、WNを用いることによってMoNを用いたときと同様の効果を得ることが可能である。
また、以上の説明では、Si基板を用いたMOSトランジスタを例にして述べたが、SOI(Silicon On Insulator)基板等を用いた場合でも、当然、上記同様の効果を得ることができる。
また、以上の説明では、イオン注入後の不純物の活性化アニールとして、温度約1000℃で約10秒間のRTAを例に挙げたが、活性化アニール条件はこれに限定されるものではなく、例えば、温度約900℃で約1分〜2分の条件や、温度約600℃で約10時間の条件等であってもよく、上記原理に従い、同様の効果を得ることが可能である。また、当然、熱処理は、このような不純物の活性化アニールに限定されるものではない。
なお、以上の説明において、CMOSトランジスタの形成条件は一例であって、形成するCMOSトランジスタの要求特性等に応じて任意に変更可能である。
上記については単に本発明の原理を示すものである。さらに、多数の変形、変更が当業者にとって可能であり、本発明は上記に示し、説明した正確な構成および応用例に限定されるものではなく、対応するすべての変形例および均等物は、添付の請求項およびその均等物による本発明の範囲とみなされる。
上記については単に本発明の原理を示すものである。さらに、多数の変形、変更が当業者にとって可能であり、本発明は上記に示し、説明した正確な構成および応用例に限定されるものではなく、対応するすべての変形例および均等物は、添付の請求項およびその均等物による本発明の範囲とみなされる。
1,10,20 Si基板
2 ゲート絶縁膜
3,15a,15b,25,25a,25b HfN層
4,16a,16b,27 MoN層
11,21 素子分離領域
12,22 nMOSトランジスタ形成領域
13,23 pMOSトランジスタ形成領域
14a,14b,24 ゲート絶縁膜
26 レジスト
28 Si膜
29 サイドウォール
30,31 ソース・ドレイン領域
2 ゲート絶縁膜
3,15a,15b,25,25a,25b HfN層
4,16a,16b,27 MoN層
11,21 素子分離領域
12,22 nMOSトランジスタ形成領域
13,23 pMOSトランジスタ形成領域
14a,14b,24 ゲート絶縁膜
26 レジスト
28 Si膜
29 サイドウォール
30,31 ソース・ドレイン領域
Claims (5)
- メタルゲート電極を備える相補型の半導体装置の製造方法において、
nMOSトランジスタ形成領域とpMOSトランジスタ形成領域の半導体層上にゲート絶縁膜を形成する工程と、
前記ゲート絶縁膜上に前記nMOSトランジスタ形成領域と前記pMOSトランジスタ形成領域とで窒素濃度が異なる仕事関数制御層を形成する工程と、
前記仕事関数制御層上に窒素を含有する低抵抗層を形成する工程と、
前記低抵抗層から前記仕事関数制御層へ窒素を拡散させるための熱処理を行う工程と、
を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記仕事関数制御層は、窒化ハフニウムまたはハフニウムであることを特徴とする請求項1記載の半導体装置の製造方法。
- 前記低抵抗層は、窒化モリブデンまたは窒化タングステンであることを特徴とする請求項1記載の半導体装置の製造方法。
- 前記ゲート絶縁膜上に前記nMOSトランジスタ形成領域と前記pMOSトランジスタ形成領域とで窒素濃度が異なる前記仕事関数制御層を形成する工程においては、
後に、前記仕事関数制御層上に窒素を含有する前記低抵抗層を形成して、前記低抵抗層から前記仕事関数制御層へ窒素を拡散させるための前記熱処理を行ったときに、
前記熱処理後に前記nMOSトランジスタ形成領域と前記pMOSトランジスタ形成領域の前記仕事関数制御層がそれぞれ所定の仕事関数を示すこととなるよう、前記nMOSトランジスタ形成領域と前記pMOSトランジスタ形成領域に異なる窒素濃度の前記仕事関数制御層を形成することを特徴とする請求項1記載の半導体装置の製造方法。 - 前記ゲート絶縁膜上に前記nMOSトランジスタ形成領域と前記pMOSトランジスタ形成領域とで窒素濃度が異なる前記仕事関数制御層を形成する工程においては、
前記pMOSトランジスタ形成領域の前記仕事関数制御層の窒素濃度を、後に、前記仕事関数制御層上に窒素を含有する前記低抵抗層を形成して、前記低抵抗層から前記仕事関数制御層へ窒素を拡散させるための前記熱処理を行ったときに、前記熱処理後にも前記熱処理前の前記pMOSトランジスタ形成領域の前記仕事関数制御層が示す仕事関数がほぼ維持されるような窒素濃度とし、
前記nMOSトランジスタ形成領域の前記仕事関数制御層の窒素濃度を、後に、前記仕事関数制御層上に窒素を含有する前記低抵抗層を形成して、前記低抵抗層から前記仕事関数制御層へ窒素を拡散させるための前記熱処理を行ったときに、前記熱処理後に前記nMOSトランジスタ形成領域の前記仕事関数制御層が所定の仕事関数を示すこととなるような窒素濃度とすることを特徴とする請求項1記載の半導体装置の製造方法。
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