JP2005205592A - 硬質皮膜被覆工具 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基体表面に硬質皮膜を有する被覆工具で、該硬質皮膜は、少なくともB及び/又はNb含有量の相対的に大きい層をA層と、B及び/又はNb含有量の相対的に小さい層をC層とを含み、該A層、C層のB及び/又はNb含有量の差が、原子比率で、0.2以上、5以下であることを特徴とする硬質皮膜被覆工具である。
【選択図】図1
Description
上記構成を採用することにより、硬質皮膜の密着性を改善し、耐酸化性、耐摩耗性を著しく向上させ、更に高温状態での耐溶着性並びに硬質膜中への被削材元素の拡散を抑制し、切削加工の乾式化、高速化、高送り化に対応する硬質皮膜被覆工具を提供することができる。ここでの高送り加工とは、切削条件における1刃当たりの送り量が0.3mm/刃を越えるような切削と定義する。
更に、該硬質皮膜と基体との界面近傍で、界面から該平均層厚の1〜30%に相当する領域に亘る硬質皮膜内に含有される酸素含有量Mと、該硬質皮膜の表面近傍で、表面側から該平均層厚の1〜30%に相当する深さに亘る領域に含有される酸素含有量Nとの差をN−Mとした時、N−M≧0.3であり、該硬質皮膜の表面近傍には、ESCA分析においてBと酸素との結合状態を示すピークが検出され、該BとOとの結合状態を示すピーク位置が188eVから195eVの範囲内にある。
更に、該硬質皮膜の基体の直上面にTiの窒化物、炭窒化物、硼窒化物、TiAl合金、Cr金属、W金属から選ばれる少なくとも1種以上の中間層を設け、該硬質皮膜を被覆後に、硬質皮膜表面の凸部を機械的処理により、平滑化したことを特徴とする硬質皮膜工具である。該硬質皮膜は物理蒸着方式で被覆され、金属成分のAl、Ti、Nb、Bはプラズマ密度、放電出力の異なる複数の蒸発源により被覆されることが好ましい。
本願発明の硬質皮膜は、B及び/又はNb含有濃度を成膜時に意図的に制御し濃度差を発生させ、膜厚に沿って含有される元素量が原子%で変化していることが好ましい。これは、真空装置に2種以上の蒸発源を設置し、その蒸発源には同一組成の金属蒸発源を取り付けた場合に、高密度プラズマでの被覆が優先される領域と低密度プラズマ領域での被覆が優先される領域で組成を意図的に変化させるためである。このことにより、優れた潤滑特性を維持しながら耐衝撃性を向上させ、硬質皮膜そのものに高い靭性を与えることが可能となった。
更に、高硬度、低硬度の皮膜を連続的に交互に形成することから、耐衝撃特性を向上させる。第1の層は、高密度プラズマの蒸発源近傍で、硬質結晶が主体に層をなし、第2の層は、低密度プラズマの蒸発源近傍で、軟質結晶が主体の層をなして多層構造を有する。第1の層と第2の層とが混在して基体表面で層として堆積する。その際に、第2の層が第1の層の結晶間に存在すると、いわばクッション効果を示し、その結果、皮膜全体として靭性に富むようになる。この効果によって、被覆工具の耐衝撃特性が向上する。この事の他にも、密着性に影響を及ぼす残留圧縮応力の抑制にも効果があることを確認した。
図2は、後述の本発明例3の皮膜断面観察結果を示す。観察には、透過型電子顕微鏡を用いて行った。図2の本発明例3は、高密度プラズマによるAIPにより被覆した層と、低密度プラズマによるマグネトロンスパッタにより被覆した層とが多層構造をなし、各層が連続的に分断されることなく成長していることを確認した。また硬質皮膜の元素組成を確認した。透過電子顕微鏡による解析の結果、皮膜断面で明暗を示す各層毎に組成差が観察された。更に、所定の組成の硬質膜を被覆する際に結晶が分断されることなく成長させることが、皮膜に靭性を与えるために重要である。
一方、例えば物理的蒸着法により、成膜初期よりO元素を多量に添加することは、基体表面や処理装置の内壁が絶縁化するため好ましくない。金属元素の合計量A(Al+Ti+Nb+B)に対する非金属元素の合計量B(O+N)の比B/A>1.0であり、1.02以上であるのが好ましい。この比の上限は1.7であるのが好ましい。
本願発明の硬質皮膜が更に強固な密着性を有するためには、硬質皮膜の格子定数λの制御を行うことである。λは残留応力値に影響を及ぼす。残留応力値が大きくなると、密着性を維持することが困難になる。そこで、密着性を維持するための最適な(200)面のλを求め、0.4155≦λ≦0.422を得た。λが0.4220nmを超えて大きい場合、硬質皮膜中に残留する圧縮応力は10GPaを越える為、大きな応力が基体と硬質皮膜との界面に負荷される。たとえ両者の間にヘテロエピタキシャル関係が成立していても皮膜剥離が発生し、工具として優位性が損なわれる。従って、λは0.4220nmを超えてはならない。一方、λの下限値は0.4155nmである。λは0.4155nm未満では、硬質皮膜の潤滑特性の低下が目立つようになり、好ましくない。硬質皮膜の優れた特徴を十分に引き出すことのできる範囲は、0.4155≦λ≦0.4220である。λを規定範囲内に制御し、残留応力を制御するためには、本願発明の構成元素上、Al含有量の制御によって調整が可能であり、生産的にも安定性のあることが確認された。λはAlを多くした場合、或いはBを多く添加した場合、元素の原子半径の影響を受けて低下する。一方、Al添加を抑えることや被覆時にプラズマ密度が大きくなるような成膜条件を設定した時に増大し、同時に残留圧縮応力も増大する傾向にある。
硬質皮膜を被覆後に該硬質皮膜表面の凸部を機械的処理により、平滑化することにより、硬質皮膜被覆工具の摩擦特性が安定し好ましい。切削寿命のばらつきを低減することができ、好ましい工具を得ることができる。以下、本願発明を実施例に基づいて説明する。
工具:正面フライス
インサート形状:SDE53タイプ特殊形状
切削方法:センターカット方式
被削材形状:巾100mm×長さ250mm
被削材:S50C(HRC30)、Φ6ドリル穴多孔面在り
切り込み量:2.0mm
切削速度:120m/min
1刃送り量:1.0mm/刃
切削油:なし
(切削条件2)
工具:正面フライス
インサート形状:SDE53タイプ特殊形状
切削方法:センターカット方式
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被削材:S50C(HRC30)
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切削速度:120m/min
1刃送り量:1.0mm/刃
切削油:なし
表2に切削加工におけるインサートの耐欠損性について、切削条件1による切削評価結果を示した。切削条件1で用いた被削材は、表面に予めドリルにて等間隔に穴をあけたものを使用した。この被削材表面を高能率加工条件にて切削を行う事により断続加工を想定し、インサートが衝撃を受けて欠損に至るまでの切削可能長を評価した。
比較例17、24、26は単一の蒸発源を用いて、組成差が発生しないように被覆した場合である。比較例17は、マグネトロンスパッタによる被覆であるが、AIPに比べ、プラズマ密度を高めることができないため、皮膜の高硬度化ができなかった。そのため、耐摩耗性が十分ではなく、初期欠損に至ってしまった。比較例24、26は硬質皮膜が高硬度化する傾向にあったが、靭性が乏しくなり、断続切削性能を向上させることができなかった。
比較例18、19、21〜23はAIPを使用し、硬質膜に組成差が発生するように被覆した場合である。組成差は発生しているが、目標とする切削性能は得られなかった。AIPのみの被覆の場合、ターゲット組成によらず放電時に発生するプラズマ密度が大きいため、硬質皮膜は高硬度化しやすい傾向にある。従って靭性が不足する。
比較例に示したように皮膜に組成差を発生させても残留応力の増大を招いてしまうため、耐欠損性、密着性に悪影響となる。比較例の中には皮膜硬度がHvで33(GPa)を越えるような物も得られたが、皮膜の靭性が低い為に断続切削状況下で欠損が発生し、工具は短寿命であった。比較例27、28はAIPとマグネトロンスパッタとを併用することにより、硬質皮膜内に組成差を発生させた。しかし、組成差が目標の範囲を越えてしまったため、硬質皮膜の破断面組織形態が連続した柱状形態を示さず、組成の異なる層が断続的に連なり成長していた。そのため層間の接合力が弱く膜破壊が発生し、目標の切削性能が得られなかった。しかし、比較例27、28はプラズマ密度の異なる手法を併用することにより、耐欠損性が向上することを確認できた。
以上の様に、AIPとマグネトロンスパッタを被覆時に併用した様に、プラズマ密度の異なる方式を併用した時に、硬質皮膜のB組成差を制御することができ、硬質皮膜を被覆したインサートは、優れた耐欠損特性を発揮させることができた。
本発明例1〜16は、硬質皮膜の硬度を改善し耐摩耗特性を向上させ、優れた切削特性を有すること示した。本発明例は密着性、潤滑性、耐摩耗特性の課題を改善し、性能を大幅に改善することで満足のいく結果を得ることができた。本発明例7、12は、今回の切削評価において長い切削寿命を示し、従来例30、41に対し、切削寿命の改善を得ることがでた。本発明例12は、切削初期の被加工物の刃先への溶着現象が低減し、比較例31〜40の切削評価結果に見られる切削距離では、ほとんど摩耗の発生していないことが観察された。これより本発明の効果を確認できた。本発明例12は、従来例の中で最も寿命の長かった従来例42に対し、2.4倍の長寿命を得ることができた。
本発明例に記載の金属成分組成と切削寿命の相関関係は、O添加や表層酸化物の有無、ヘテロエピタキシャルの有無にも影響を受けている。更にNbとBの添加量のバランスも大切である。今回の試験で、平均的に切削特性が優れ、工具寿命が上位にあるものは、Nb>Bの傾向を示した。本発明例のB添加量が規定量の範囲内でNb添加量よりも多くなっても、従来例や比較例と比べた場合、十分な切削性能を発揮することが認められた。しかし、切削性能を考慮すると、Nb>Bの硬質皮膜が望ましい。
本発明の硬質皮膜はO添加により潤滑特性が大幅に向上した。例えば、比較例31は、金属成分組成は本発明の範囲内にあるが、切削性能は従来例とほとんど変わらない結果となった。
比較例34の様に、金属成分が本発明の範囲内でも、O添加量が非金属成分に対し5at%を越えると、潤滑特性は認められが、動的な切削に対し早期摩耗が発生する。これは、Oを多量添加することで硬質皮膜の破断面組織形態が柱状から微細組織状に変化し、高硬度が得られずに低硬度化してしまったためと考えられる。比較例34は、密着性が考慮されているため初期欠損は発生せずに摩耗寿命に到達したが、比較例34の場合は密着性も考慮されていないため、インサートすくい面の硬質皮膜の剥離が顕著に現われた。本発明の硬質皮膜組成の範囲内で被覆しても、密着性が考慮されていない場合は、今回の切削条件下において剥離を発生し、安定した加工を行うことがでなかった。
比較例36は、Al成分が規定範囲外であり、密着性も考慮していない場合である。比較例40は、Nb成分が規定範囲外である場合である。硬質皮膜の金属成分が規定範囲外となると破断面組織形態が微細化し、この状態で切削加工を行うと、インサートすくい面での摩耗が急速に発生し、その結果短寿命となるのである。
O添加方法によっても切削性能に影響を及ぼすことが明らかとなった。比較例32、35、38は成膜開始時から所定量のO添加を開始して被覆終了時までその量を変化させずに均等に添加して被覆した場合である。これに対し、本発明例並びに比較例33、34、36、37、39、40は被覆開始から終了までO添加量が基体と硬質皮膜界面から表面に向かって勾配を示すように傾斜して添加したものである。切削試験結果は、O添加が勾配を示すよう傾斜して添加する被覆が望ましいと言う結果が得られた。比較例37、39、40はNb、B添加量が規定範囲外にあることによって、残留圧縮応力が増大し、切削初期の皮膜剥離が発生することが明らかとなった。
以上の試験結果より、本発明の硬質皮膜の改善効果は、第1の金属成分の組成範囲設定による効果、第2のO添加効果、第3の硬質膜表面に緻密なBの酸化物を形成させる効果により得られ、潤滑特性が大幅に向上し、寿命向上が実現できることが確認できた。
比較例17〜26、43〜47はO添加もなされていたが、X線回折における結晶配向が規定範囲外であったため、容易にクレータ摩耗や剥離が発生した。また、λの調整も必要であることが確認された。比較例18、22〜25、43〜47のように(200)面のλが0.4230nmを越えるような硬質皮膜の場合、硬質皮膜の金属成分組成並びにO添加量とは無関係に、早期に切削寿命に到達した。λの値は硬質皮膜の内部応力の大小に影響を与える。λが大きい場合には、たとえ基体と硬質皮膜との界面でヘテロエピタキシャルを成立させても、残留圧縮応力が増大し界面での応力増大により硬質皮膜が容易に破壊、或いは剥離が発生し、その結果工具寿命が安定せず短寿命になる。従って、本発明の様に切削性能を改善させ安定した切削性能を示すためには、金属成分の規定やO添加量、添加手法以外に、結晶配向も適切に制御することにより、密着性良く成膜することも重要である。
2:AIP蒸発源
3:マグネトロンスパッタ蒸発源
4:基体保持治具
5:回転方向
Claims (7)
- 基体表面に硬質皮膜を有する被覆工具で、該硬質皮膜は、少なくともB及び/又はNb含有量の相対的に大きい層をA層と、B及び/又はNb含有量の相対的に小さい層をC層とを含み、該A層、C層のB及び/又はNb含有量の差が、原子比率で、0.2以上、5以下であることを特徴とする硬質皮膜被覆工具。
- 請求項1記載の硬質皮膜被覆工具において、該硬質皮膜の組成はAlwTixNbyBz、但し、w、x、y、zは原子比率で、20≦w≦50、25≦x≦75、2≦y≦20、0.1≦z≦15、w+x+y+z=100、w≦x+y+zで表される金属成分と、OaN100−a、但し、0.3≦a≦5で表される非金属成分であり、該硬質皮膜の総膜厚は、平均で0.5〜10μmであることを特徴とする硬質皮膜被覆工具。
- 請求項1又は2記載の硬質皮膜被覆工具において、該硬質皮膜の(200)面と、基体の(100)面とがヘテロエピタキシャル関係を有し、該硬質皮膜の破断面組織形態が、基体との界面から表面まで連続した柱状組織をなすことを特徴とする硬質皮膜被覆工具。
- 請求項1乃至3いずれかに記載の硬質皮膜被覆工具において、該硬質皮膜はX線回折における面心立方構造の(111)面に検出されるピーク強度値をIa、(200)面に検出されるピーク強度値をIbとした時に、Ib/Ia≧2.0であり、(200)面の格子定数λ(nm)が0.4155≦λ≦0.4220の範囲にあることを特徴とした硬質皮膜被覆超硬工具。
- 請求項1乃至4いずれかに記載の硬質皮膜被覆工具において、該硬質皮膜と基体との界面近傍で、界面から該平均層厚の1〜30%に相当する領域に亘る硬質皮膜内に含有される酸素含有量Mと、該硬質皮膜の表面近傍で、表面側から該平均層厚の1〜30%に相当する深さに亘る領域に含有される酸素含有量Nとの差をN−Mとした時、N−M≧0.3であり、該硬質皮膜の表面近傍には、ESCA分析においてBと酸素との結合状態を示すピークが検出され、該BとOとの結合状態を示すピーク位置が188eVから195eVの範囲内にあることを特徴とした硬質皮膜被覆工具。
- 請求項1乃至5いずれかに記載の硬質皮膜被覆工具において、基体の直上面にTiの窒化物、炭窒化物、硼窒化物、TiAl合金、Cr金属、W金属から選ばれる少なくとも1種以上の中間層を設けたことを特徴とする硬質皮膜被覆工具。
- 請求項1乃至請求項6のいずれかに記載の硬質皮膜被覆工具において、硬質皮膜を被覆後に硬質皮膜表面の凸部を機械的処理により、平滑化したことを特徴とする硬質皮膜工具。
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