JP2005205322A - 脱泡処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 真空容器1内に配設される回転可能な回転体2に処理液を供給し、回転体2の回転による遠心力の作用により処理液中の気泡を脱泡する脱泡処理装置において、回転体2の外周側に、遠心力の作用により処理液の真空との接触面積を漸次増大させて処理液中の気泡を脱泡する脱泡促進部3を設ける。回転体2を有底円筒状体20にて形成すると共に、該有底円筒状体20の側壁部21に複数の微細小孔22を設ける。脱泡促進部3を、微細小孔22に一端が接続されて放射方向に突出する複数の線状部材30にて形成する。
【選択図】 図1
Description
図1は、この発明に係る脱泡処理装置の第1実施形態の全体を示す概略断面図である。
図5は、この発明に係る脱泡処理装置の第2実施形態における回転体2Aと脱泡促進部3Aを示す斜視図、図6は、図5の断面図である。
図7は、この発明に係る脱泡処理装置の第3実施形態における回転体2Bと脱泡促進部3Bを示す斜視図、図8は、第3実施形態における回転体2Bと脱泡促進部3Bの分解斜視図である。
図9は、この発明に係る脱泡処理装置の第4実施形態における回転体2Cと脱泡促進部3Cを示す斜視図、図10は、第4実施形態における回転体2Cと脱泡促進部3Cの分解斜視図である。
図11は、この発明に係る脱泡処理装置の第5実施形態における回転体2Dと脱泡促進部3Dを示す斜視図、図11は、図10の要部拡大断面図である。
上記実施形態では、回転体2,2B,2Cに設けられた孔部が微細小孔22にて形成される場合について説明したが、孔部を微細小孔22に代えてスリット状に形成してもよい。
ここで、E0は、脱泡前の処理液の真空中での膨張率、E1は、脱泡後の処理液の真空中での膨張率である。また、膨張率は、常圧から真空{常圧を0(ゼロ)とした計測器において、−0.1MPa(具体的には、−0.095MPa)に減圧}にしたときの見掛け上の体積増加率をいう。
ここで、V0は、処理液の真空中での体積、V1は、処理液の常圧での体積である。
2,2A,2B,2C,2D 回転体
3,3A,3B,3C,3D 脱泡促進部
4 モータ
20 有底円筒状体(有底筒状体)
21 側壁部
22 微細小孔(孔部)
24 円板
30,30D 線状部材
31,31B 連続気泡発泡体
40 二重有底円筒状体(二重有底筒状体)
41 内筒
42 外筒
50 綿状物
Claims (6)
- 真空容器内に配設される回転可能な回転体に処理液を供給し、回転体の回転による遠心力の作用により処理液中の気泡を脱泡する脱泡処理装置において、
上記回転体の外周側に、遠心力の作用により上記処理液の真空との接触面積を漸次増大させて処理液中の気泡を脱泡する脱泡促進部を設けた、ことを特徴とする脱泡処理装置。 - 請求項1記載の脱泡処理装置において、
上記回転体を有底筒状体にて形成すると共に、該有底筒状体の側壁部に複数の孔部を設け、
上記脱泡促進部を、上記孔部に一端が接続されて放射方向に突出する複数の線状部材にて形成してなる、ことを特徴とする脱泡処理装置。 - 請求項1記載の脱泡処理装置において、
上記回転体を有底筒状体にて形成し、
上記脱泡促進部を、上記有底筒状体の側壁部を構成する連続気泡発泡体にて形成してなる、ことを特徴とする脱泡処理装置。 - 請求項1記載の脱泡処理装置において、
上記回転体を、同心円状の内筒と外筒を有する二重有底筒状体にて形成すると共に、内筒及び外筒に複数の孔部を設け、
上記脱泡促進部を、上記内筒と外筒の間に配設される連続気泡発泡体にて形成してなる、ことを特徴とする脱泡処理装置。 - 請求項1記載の脱泡処理装置において、
上記回転体を、同心円状の内筒と外筒を有する二重有底筒状体にて形成すると共に、内筒及び外筒に複数の孔部を設け、
上記脱泡促進部を、上記内筒と外筒の間に配設され、多数の可撓性細片を絡み合わせた綿状物にて形成してなる、ことを特徴とする脱泡処理装置。 - 請求項1記載の脱泡処理装置において、
上記回転体を円板にて形成し、
上記脱泡促進部を、上記円板の外周に一端が連結されて放射状に突出する複数の線状部材にて形成してなる、ことを特徴とする脱泡処理装置。
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