JP2005200734A - フレーク状銅粉およびその製造法 - Google Patents

フレーク状銅粉およびその製造法 Download PDF

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Abstract

【課題】 導電ペーストのフイラーに適したフレーク状銅粉を得る。
【解決手段】 平均厚さ(D)が0.2μm以上のフレーク形状の銅粒子からなるフレーク状銅粉であって,粒度分布における50%径(D50):1〜30μm,アスペクト比(D50/平均厚さD):5〜70,下式のA値が0.1以下,下式のB値が0.5以下のフレーク状銅粉である。A値=SD/(D90/D10),B値=SD/D。ただし,D:電子顕微鏡観察で測定した粒子100個の平均厚さ,SD:電子顕微鏡観察で測定した粒子100個の厚さの標準偏差,D90:粒度分布における90%径(D90),D10:粒度分布における10%径(D10)を表す。
【選択図】 なし

Description

本発明は,導電ペーストの導電フイラーに適したフレーク形状の銅粒子からなるフレーク状銅粉に関する。
樹脂に銅粉を分散させた導電ペーストは,絶縁基板の意図する位置に導電回路を接合または配属したり,チップ部品に外部電極を付与したりするのに使用されているが,最近では,積層セラミックコンデンサーの外部電極としても適用されるようになってきた。後者の場合には,セラミックス素体の意図する外部電極形成部分に導電ペーストを付着させた後,加熱処理し,その加熱中においてペースト中のビヒクル分を蒸発または分解除去( 脱バインダー処理と呼ばれている) したうえ,銅粉をお互いに焼結させることによって外部電極を形成するのが通常である。
このような外部電極の場合,電極の外観形状保持,表面平滑化及び前述した脱バインダー処理でのビヒクル分の蒸発・気化促進,更にはペースト焼成時の焼結密度向上のためには,導電ペースト中の銅粉は球形の粒状のものよりも扁平な(フレーク状) のもののほうが良いとされている。特に,導電ペーストとして安定した粘度を持ち,セラミックス素体へ適切な塗布性を持たせるには,粒径・厚みが均一であるフレーク状銅粉末であるのが望ましい。また,電極として優れた電気伝導性を有するためには,フレーク状銅粉中の不純物量が少ないことが望ましく,さらにはペーストの焼結性や接着強度を制御する上で,またはそれらの変動をなくす上で,粒径・厚みの揃ったフレーク状銅粉は不可欠であり,そのために,このような特性を持つフレーク状銅粉を精度・再現性良く作製することが望まれている。
前記の要望を満たすべく,これまで例えば特許文献1において,粒径10μm以下,レーザー回折散乱式粒度分布測定法による重量累積粒径D10,D50,D90と,レーザー回折散乱測定式粒度分布測定法により測定した粒度分布の標準偏差SDとを用いて表されるSD/D50の値が0.5以下,D90/D10で表される値が4.0以下であり,アスペクト比(厚さ/D50) の値が0.3〜0.7のフレーク銅粉およびその製法が提案されている。また特許文献2には平均粒径7〜12μm,タップ密度3.5〜4.5g/cm3,BET法による比表面積値が3500〜5000cm2/gの円盤形状の導電ペースト用銅粉およびその製法が記載されている。
特開2003-119501 公報 特開2002-15622公報
特許文献1および2に提案されたフレーク状または円盤状の銅粉は,それなりに,前記の要望を満たすことができると考えられる。しかし,樹脂に分散させてペーストにしたときの粘度,印刷性や,電気的接合部等に応用されたときの電気的抵抗値の安定性,導電回路のファインパターン化,プリント配線のビアホールの充填性等の特性向上のために要求される粒子の形状・粒径・厚み・不純物量・などの相互関係において,必ずしも完全なものとは言えず,製造面においても,再現良く目的の厚み・粒度分布を持つフレーク状銅粉に加工処理できるか否かは判然とはしていない。したがって本発明は,一層優れた粘度,印刷性,導電性をもつ導電ペーストを得ることができるフレーク状銅粉を得ることを課題としたものである。
本発明によれば,平均厚さ(D)が0.2μm以上のフレーク形状の銅粒子からなるフレーク状銅粉において,
粒度分布における50%径(D50):1〜30μm,
アスペクト比(D50/平均厚さD):5〜70,
下式(1) に従うA値:0.1以下,
場合によってはさらに 下式(2) に従うB値:0.5以下,
であることを特徴とするフレーク状銅粉を提供する。
A値=SD/(D90/D10) ・・(1)
B値=SD/D ・・(2)
ただし,
D:電子顕微鏡観察で測定した粒子100個の平均厚さ
SD:電子顕微鏡観察で測定した粒子100個の厚さの標準偏差,
D90:粒度分布における90%径(D90),
D10:粒度分布における10%径(D10)
を表す。
本銅粉は,さらに式(3) で表される関数のaとbの値が,a:0.05〜0.2,b:0.01〜0.2の範囲にあるのがよい。
Y=aX+b ・・(3)
ただし,Yは式(2) のB値,XはD90/D10の値とする。
好ましくは本銅粉は,酸素含有量が1重量%以下で炭素含有量が2重量%以下であり,BET法で測定した比表面積が0.2〜1.2m2/g,タップ密度が3〜5g/cm3,そしてD90/D10の値が2〜5である。
本発明に従うフレーク状銅粉を製造するには,平均粒径0.5〜10μmでD90/D10が1〜3の球状銅粉に潤滑剤を0.1〜3重量%添加したうえ,機械的エネルギーにより塑性変形・圧延してフレーク状の銅粉に加工するのがよい。
フレーク状銅粉は,導電ペースト用フィラーとして使用すると,このペーストを塗布した場合に,粒子同士が大きな接触面積をもって互いに重なり合った状態となるので,導電性,表面平滑性,形状保持性などの点で球状粉などでは得られない特異な効果を示す。しかし,そのためには,フレークの形状(厚み・粒径・その比など)と粒度分布が適切であることが第一に必要であり,それらが適正に制御されていないと,形状が特異なだけに,逆に特性が劣化することにもなる。
本発明は,このようなフレーク状銅粉の形状特性を適正に制御することによって,前記の課題を解決するものであり,基本的なフレークの形状・寸法および粒度分布が次のとおりのものである。
平均厚さ(D):0.2μm以上,
粒度分布における50%径(D50):1〜30μm,
アスペクト比(D50/平均厚さD):5〜70,
厚さの標準偏差をSDとしたとき式(1) に従うA値:0.1以下,
A値=SD/(D90/D10) ・・(1)
好ましくは,式(2) に従うB値:0.5以下,
B値=SD/D ・・(2)
ここで,粒度分布の10%径(D10),50%径(D50)および90%径(D90)は累積粒度曲線で求められる値であり,本明細書では後記実施例で用いた粒度分布測定装置による値を用いている。また,平均厚さ(D)および厚さの標準偏差(SD)については,:電子顕微鏡(SEM像)観察でランダムに選んだ粒子100個についての計測値に基いている。
本発明のフレーク状銅粉は,基本的な粒子の形状・寸法としてとして,Dが0.2μm以上好ましくは0.3〜1.5μmで,D(50)が1〜30μm好ましくは2〜22の範囲にある。そして,この条件において,アスペクト比(D50/D)を5〜70好ましくは2〜65,A値を0.1以下,B値を0.5以下に規定する。
アスペクト比が5未満では,ペーストとして加工・塗布した際,外観形状の保持性および表面平滑性が球状粉の場合に比べて有意な差が見られない。他方,アスペクト比が70を超えると,ペーストに加工した際の増粘による粘度調整が困難になり,ペースト塗布時の外観形状の保持性および表面平滑性が劣化するようになる。このため,アスペクト比は5〜70の範囲とする必要がある。A値は粒度分布と厚みの均一性を表す尺度となるが,このA値が0.1を超えるとその均一性が損なわれ,ペーストにしたときに,粘度・焼け・焼成後の平面性などのバラツキが高くなるので好ましくない。B値は厚みのバラツキを表す尺度となるが,このB値が0.5を超えると,ペーストにしたときに,銅粉同士の接触面積が少なくなり焼結後の電気伝導性,及び表面平滑性の劣化につながるので好ましくない。なお,(1) および(2) 式中のSDの値は0.5未満であるのがよい。SDが0.5以上であると,厚みのバラツキにより,ペーストにしたときに銅粉同士の接触面積が少なくなって焼結後の電気伝導性,及び表面平滑性の劣化につながる。したがって,SDは0.5未満,好ましくは0.4以下,より好ましくは0.2以下であるのがよい。
また,式(2) のB値をY,D90/D10の値をXとしたときに,
Y=aX+b ・・(3)
で表される関数式(3) のaとbの値が,a:0.05〜0.2,b:0.01〜0.2の範囲にあるのが好ましい。すなわち,B値とD90/D10の間には一定の相関があり,式3に従う係数aが0.05〜0.2の値,係数bが0.01〜0.2の値をとるときに良好なフレークの形状(厚み・粒径・その比)と粒度分布示す。この場合,Xの値(すなわちD90/D10の値)は2〜5の範囲にあるのが好ましい。D90/D10の値(X)が5を超えると,粒径のバラツキが高くなって,ペーストとして目的とするレオロジー,チキソ性の調整が困難となる。すなわち,目的とするレオロジーおよびチキソ性を持つペーストを有利に製造する上で,D90/D10の値(X)は2〜5の範囲,好ましくは2〜4であるのがよい。
このように規定される形状・寸法・分布のフレーク状銅粉において,BET法で測定した比表面積が0.2〜1.2m2/gでタップ密度が3〜5g/cm3であるのが望ましく,さらに,このフレーク状銅粉は酸素含有量が1重量%以下で炭素含有量が2重量%以下であるのがよい。酸素含有量が1重量%を超えると,電極中に酸化銅が残留することによる耐候性の劣化や信頼性が低下することになり,また炭素含有量が2重量%を超えると,ペーストとして使用時の焼け特性の劣化(焼ムラ・難焼成)をもたらすので好ましくない。
本発明に従うフレーク状銅粉をフィラーとして使用した導電ペーストでは,フレーク状銅粉の粒子同士の接触面積が大きく且つ互いに重なり合った状態で塗布されるため,導電性の点・表面の平滑さの点・形状保持の点で従来のものにない良好な導電回路や外部電極を形成する事ができる。ペーストを製作するさいに,本発明に従うフレーク状銅粉だけを樹脂に分散させても良いが,粒径が0.5〜10μmの球状銅粉と適切な割合で混合して樹脂に分散させても良い。0.5μm未満の球状銅粉を用いたのでは,粒子同士の凝集が激しくなって均一な分散が得られずペーストとして適度な特性を保てず,10μmを超える球状銅粉を用いると通常の電子部品や配線導体に要求される精密な電極や焼成パターンを形成することが困難となり,また焼結性が悪化するので好ましくない。なお,本発明に従うフレーク状銅粉は,前記の球状銅粉と複合してまたは単独に他の形状の銅粉を適量混合して樹脂に分散させることもできる。
本発明のフレーク状銅粉は,平均粒径0.5〜10μmでD90/D10が1〜3の球状銅粉,好ましくは湿式法で製造された球状銅粉に,潤滑剤を0.1〜3重量%添加したうえ,機械的エネルギーによりフレーク状の銅粉に加工することによって製造することができる。
導電ペースト用の銅粉の製造には,粒径制御の点や純度,製造安定性等の点から湿式還元法を採用するのが適切である。湿式還元法は,銅塩水溶液とアルカリ剤を反応させて水酸化銅を析出させ,この水酸化銅を亜酸化銅に液中で一次還元し,得られた亜酸化銅を金属銅に液中で二次還元することを要旨とする方法であり,粒径の揃った球状銅粉を得ることができる。本発明では,まず湿式還元法で粒径の揃った球状銅粉を製造し,これをフレーク状銅粉に機械的加工する。湿式還元法以外方法で得られた銅粉,例えば電解銅粉では粒度分布が広く,粒子形状が樹枝状等一定の形状ではないのでフレーク状に加工する際,導電ペースト用として優れた特性を持つ銅粉を得る事が出来ない。アトマイズ法でも得られる銅粉の粒度分布幅が非常に広く,粒度幅のシャープな銅粉を得るには分級を何度も繰り返す必要が有り歩留りにおいて不利である。
したがって,本発明では湿式還元法で合成された球状銅粉を用いてフレーク状銅粉を製造するが,その球状銅粉としては,平均粒径0.5〜10μmで粒度分布におけるD90/D10の比率が1〜3のものを使用する。この比率が3を超えるものでは粒径が十分に揃っていないために,機械加工しても本発明に従うフレーク状銅粉を得ることが困難である。
球状からフレーク状に機械加工するには,球状銅粉に潤滑剤を混合した後,ボールミルや振動ミルを用いて,ミル内に装填したメディアの機械的エネルギーにより扁平な形に変形(圧伸延または展伸)するのがよい。このフレーク加工処理は湿式・乾式のどちらでも良いが,乾燥工程が不要な乾式法が簡便である。このフレーク加工処理において,他の条件が一定であれば処理時間が長いほどアスペクト比の大きなフレーク状銅粉を得ることができ,通常は30分〜4時間程度の処理時間であれば充分である。また,この加工処理は窒素やアルゴンガスなどの非酸化性雰囲気で実施することにより,粉体表面の酸化を防止でき,酸素濃度の低いフレーク状銅粉を得ることができる。
ボールミルや振動ミルに装填するメディアとしては,セラミックス,ガラス,金属等材質に制限はないが,強度があり,粉砕工程で破壊・磨耗による不純物源とならないセラミックスが好ましく,強度・コスト面から材質はジルコニアがより好ましい。使用するメディアは径が1〜5mm好ましく1.3〜2.5mmのものを用いることが望ましい。
フレーク加工処理時に添加する潤滑剤については,この加工処理時に銅粉同士の凝集や凝集成長を抑制できる潤滑剤を用いる。例えばオレイン酸,ラウリン酸,ミリスチン酸,パルミチン酸,ステアリン酸,ベヘン酸等の脂肪酸が好ましい。その添加量は極力少ないに越した事はないが銅重量に対し0.1重量%より少ないと,銅粉末同士の凝集が発生してしまう。他方,余り多いと導電ペースト用銅粉末としての不純物が増加して導電性の劣化につながる。このため,銅重量に対して0.1〜1.0重量%の潤滑剤を添加するのがよい。
〔実施例1〕
湿式還元法で製造された平均粒径3.25μm,粒度分布における90%径(D90)
と10%径(D10) の比率(D90/D10)が1.58である銅粉840gと,潤滑剤として銅粉重量に対し1.0重量%のステアリン酸とを混合し,2.3mm径のジルコニアボール11.7Kg(ポット容量に対しジルコニアボール充填量90%とした) とともに振動ミル(中央化工機株式会社製の型式MB−1) に投入し,該ボールによる圧延伸処理を60分間連続して行なった。
得られたフレーク状銅粉の粒径・粒度分布,厚み(平均厚み・標準偏差) ,比表面積,タップ密度,酸素濃度,炭素濃度を測定した。各測定において,粒径・粒度分布はベックマンコールター社製の粒度分布測定装置(LS230)により,厚みは走査型電子顕微鏡(SEM)により,比表面積はBET一点法により,酸素濃度はJIS H1067 ,炭素濃度はJIS Z2615 により測定した。平均厚み(D)については,走査型電子顕微鏡(SEM)像から粒子100個をランダムに選択して計測すると共に,それら100個の各粒子の厚みから厚みの標準偏差(SD)を計算により求めた。各測定結果を表1に総括して示した。また粒子のSEM像を図1の例1に示した。
さらに,本例で得られたフレーク状銅粉1.14gと,湿式還元法より得た平均粒径3.0μmの球状銅粉2.67gと,旭ガラス株式会社製のガラスフリット(商品名ASF-1891) 0.15gを,三菱レーヨン株式会社製のアクリル樹脂ビヒクル(商品名LR-983) に混合した後,三本ロールで混錬して導電性ペーストを作成した。得られた導電性ペーストを積層セラミックコンデンサチップに塗布し,840℃の窒素雰囲気中で30分焼成して外部電極を形成した。焼成後の外部電極表面を電子顕微鏡で観察したところピンホールが見られず,良好な表面形状を有していた。また形成した外部電極部の断面を電子顕微鏡で観察したところ内部まで高密度に焼結されていることが確認された。
〔実施例2〕
ボールミルでの圧延伸処理を200分間連続して行なった以外は,実施例1を繰り返した。得られたフレーク状銅粉について実施例1と同様の測定を行なった結果を表1に,粒子のSEM像を図1の例2に示した。本例のフレーク状銅粉を用いて実施例1と同様にして導電性ペーストを作製し,外部電極を形成して評価を行った結果,実施例1と同じく焼成後の表面にはピンホールは見られず,断面観察でも内部まで高密度に焼結されていることが確認された。
〔実施例3〕
潤滑剤として,ステアリン酸に代えてパルミチン酸を銅粉重量に対し1.0重量%の量で使用し,且つジルコニアボールとして3.0mm径のものを使用した以外は,実施例1を繰り返した。得られたフレーク状銅粉について実施例1と同様の測定を行なった結果を表1に,粒子のSEM像を図1の例3に示した。本例のフレーク状銅粉を用いて実施例1と同様にして導電性ペーストを作製し,外部電極を形成して評価を行った結果,実施例1と同じく焼成後の表面にはピンホールは見られず,断面観察でも内部まで高密度に焼結されていることが確認された。
〔実施例4〕
潤滑剤として,ステアリン酸に代えてベヘン酸を銅粉重量に対し1.0重量%の量で使用し,ジルコニアボールとして3.0mm径のものを使用し,且つボールミルでの圧延伸処理を200分間連続して行なった以外は,実施例1を繰り返した。得られたフレーク状銅粉について実施例1と同様の測定を行なった結果を表1に,粒子のSEM像を図1の例4に示した。本例のフレーク状銅粉を用いて実施例1と同様にして導電性ペーストを作製し,外部電極を形成して評価を行った結果,実施例1と同じく焼成後の表面にはピンホールは見られず,断面観察でも内部まで高密度に焼結されていることが確認された。
〔実施例5〕
湿式還元法で製造された平均粒径5.50μm,粒度分布における90%径(D90)
と10%径(D10) の比率(D90/D10)が1.91である銅粉840gと,潤滑剤として銅粉重量に対し0.5重量%のステアリン酸とを混合し,2.3mm径のジルコニアボール11.7Kg(ポット容量に対しジルコニアボール充填量90%) とともに振動ミル(中央化工機株式会社製の型式MB−1) に投入し,該ボールによる圧延伸処理を120分間連続して行なった。
得られたフレーク状銅粉について実施例1と同様の測定を行なった結果を表1に,粒子のSEM像を図1の例5に示した。本例のフレーク状銅粉を用いて実施例1と同様にして導電性ペーストを作製し,外部電極を形成して評価を行った結果,実施例1と同じく焼成後の表面にはピンホールは見られず,断面観察でも内部まで高密度に焼結されていることが確認された。
〔実施例6〕
潤滑剤として,ステアリン酸に代えてパルミチン酸を銅粉重量に対し0.5重量%の量で使用し,ジルコニアボールとして3.0mm径のものを使用した以外は,実施例5を繰り返した。得られたフレーク状銅粉について実施例1と同様の測定を行なった結果を表1に,粒子のSEM像を図1の例6に示した。本例のフレーク状銅粉を用いて実施例1と同様にして導電性ペーストを作製し,外部電極を形成して評価を行った結果,実施例1と同じく焼成後の表面にはピンホールは見られず,断面観察でも内部まで高密度に焼結されていることが確認された。
〔実施例7〕
湿式還元法で製造された平均粒径6.80μm,粒度分布における90%径(D90)
と10%径(D10) の比率(D90/D10)が1.83である銅粉840gと,潤滑剤として銅粉重量に対し0.5重量%のステアリン酸とを混合し,2.3mm径のジルコニアボール11.7Kg(ポット容量に対しジルコニアボール充填量90%) とともに振動ミル(中央化工機株式会社製の型式MB−1) に投入し,該ボールによる圧延伸処理を185分間連続して行なった。
得られたフレーク状銅粉について実施例1と同様の測定を行なった結果を表1に,粒子のSEM像を図1の例7に示した。本例のフレーク状銅粉を用いて実施例1と同様にして導電性ペーストを作製し,外部電極を形成して評価を行った結果,実施例1と同じく焼成後の表面にはピンホールは見られず,断面観察でも内部まで高密度に焼結されていることが確認された。
〔実施例8〕
潤滑剤として,ステアリン酸に代えてパルミチン酸を銅粉重量に対し0.5重量%の量で使用し,ジルコニアボールとして3.0mm径のものを使用した以外は,実施例7を繰り返した。得られたフレーク状銅粉について実施例1と同様の測定を行なった結果を表1に,粒子のSEM像を図1の例8に示した。本例のフレーク状銅粉を用いて実施例1と同様にして導電性ペーストを作製し,外部電極を形成して評価を行った結果,実施例1と同じく焼成後の表面にはピンホールは見られず,断面観察でも内部まで高密度に焼結されていることが確認された。
〔比較例1〕
湿式還元法で製造された平均粒径7.00μm,粒度分布における90%径(D90)
と10%径(D10) の比率(D90/D10)が3.50である銅粉用いた以外は実施例4を繰り返した。
得られたフレーク状銅粉について実施例1と同様の測定を行なった結果を表1に示した。本例のフレーク状銅粉を用いて実施例1と同様にして導電性ペーストを作製し,外部電極を形成して評価を行った結果,焼成後の電極表面は凹凸が激しくにはピンホールが発生していた。また電極の断面観察でも内部に空洞が見られ充分な焼結密度が得られていないことが確認された。
本発明に従うフレーク状の銅粒子の形状例を示す電子顕微鏡写真である。

Claims (9)

  1. 平均厚さ(D)が0.2μm以上のフレーク形状の銅粒子からなるフレーク状銅粉において,
    粒度分布における50%径(D50):1〜30μm,
    アスペクト比(D50/平均厚さD):5〜70,
    下式(1) に従うA値:0.1以下,
    であることを特徴とするフレーク状銅粉。
    A値=SD/(D90/D10) ・・(1)
    ただし,
    SD:電子顕微鏡観察で測定した粒子100個の厚さの標準偏差,
    D90:粒度分布における90%径(D90),
    D10:粒度分布における10%径(D10)
    を表す。
  2. 下式(2) に従うB値が0.5以下である請求項1に記載のフレーク状銅粉。
    B値=SD/D ・・(2)
    ただし,
    SD:電子顕微鏡観察で測定した粒子100個の厚さの標準偏差,
    D:電子顕微鏡観察で測定した粒子100個の平均厚さ
    を表す。
  3. 式(3) で表される関数のaとbの値が,a:0.05〜0.2,b:0.01〜0.2の範囲にある請求項1または2に記載のフレーク状銅粉。
    Y=aX+b ・・(3)
    ただし,
    Y:式(2) のB値
    X:D90/D10の値
    とする。
  4. 酸素含有量が1重量%以下で炭素含有量が2重量%以下である請求項1ないし3のいずれかに記載のフレーク状銅粉。
  5. BET法で測定した比表面積が0.2〜1.2m2/g, タップ密度が3〜5g/cm3である請求項1ないし4のいずれかに記載のフレーク状銅粉。
  6. D90/D10の値が2〜5である請求項1ないし5のいずれかに記載のフレーク状銅粉。
  7. 請求項1ないし6のいずれかに記載のフレーク状銅粉の製造にさいし,平均粒径0.5〜10μmでD90/D10が1〜3の球状銅粉に潤滑剤を0.1〜3重量%添加したうえ,機械的エネルギーによりフレーク状の銅粉に加工することを特徴とするフレーク状銅粉の製造法。
  8. 請求項1ないし6のいずれかに記載の銅粉を樹脂に分散してなる導電ペースト。
  9. 平均粒径が0.5〜10μmの球状銅粉と請求項1ないし6のいずれかに記載のフレーク状銅粉を樹脂に分散させてなる導電ペースト。
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