JP2005197525A - Soiウェーハの作製方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】
スマートカット法によるSOIウェーハの作製で、剥離後の表面を平坦化し、SOI層を薄膜化して、SOI層の膜厚を均一化する。
【解決手段】
活性層用シリコンウェーハに酸化膜を介して水素ガスをイオン注入し、シリコンバルク中にイオン注入層を形成する。次いで、この活性層用ウェーハを絶縁膜を介して支持ウェーハに貼り合わせる。この貼り合わせウェーハを加熱することにより、イオン注入層を境界にその一部を剥離し、SOIウェーハを作製する。このイオン注入層を境界として剥離した後、SOIウェーハを酸化処理し、所定厚さの酸化膜を形成する。この後、SOIウェーハをHClガスと不活性ガスとの混合ガス雰囲気にさらす。この結果、SOI層の表面に形成された酸化膜は完全に除去される。また、SOIウェーハのSOI層が剥離後よりも均一化され、かつ薄膜化が可能となる。
【選択図】図1
スマートカット法によるSOIウェーハの作製で、剥離後の表面を平坦化し、SOI層を薄膜化して、SOI層の膜厚を均一化する。
【解決手段】
活性層用シリコンウェーハに酸化膜を介して水素ガスをイオン注入し、シリコンバルク中にイオン注入層を形成する。次いで、この活性層用ウェーハを絶縁膜を介して支持ウェーハに貼り合わせる。この貼り合わせウェーハを加熱することにより、イオン注入層を境界にその一部を剥離し、SOIウェーハを作製する。このイオン注入層を境界として剥離した後、SOIウェーハを酸化処理し、所定厚さの酸化膜を形成する。この後、SOIウェーハをHClガスと不活性ガスとの混合ガス雰囲気にさらす。この結果、SOI層の表面に形成された酸化膜は完全に除去される。また、SOIウェーハのSOI層が剥離後よりも均一化され、かつ薄膜化が可能となる。
【選択図】図1
Description
この発明はSOIウェーハの作製方法、詳しくはSOIウェーハの表面を平坦化するSOIウェーハの作製方法に関する。
SOIウェーハは、従来のシリコンウェーハに比べ、素子間の分離、素子と基板間の寄生容量の低減、3次元構造が可能といった優越性があり、高速・低消費電力のLSIに使用されている。
SOIウェーハの作製方法の1つに、シリコンウェーハ表面に水素イオンを注入した後、剥離熱処理により、イオン注入層を境界として剥離するスマートカット法がある。しかし、剥離した時のダメージにより、剥離後のSOIウェーハの表面(剥離面)が粗くなってしまう。この問題に対して、例えば、特許文献1に記載のSOIウェーハの作製方法には、剥離後のウェーハの表面を酸化処理して酸化膜を形成する。そして、HFを含む水溶液を用いて酸化膜を除去し、この後、水素を含む還元性雰囲気下で熱処理して、表面を平坦化する技術が提案されている。
SOIウェーハの作製方法の1つに、シリコンウェーハ表面に水素イオンを注入した後、剥離熱処理により、イオン注入層を境界として剥離するスマートカット法がある。しかし、剥離した時のダメージにより、剥離後のSOIウェーハの表面(剥離面)が粗くなってしまう。この問題に対して、例えば、特許文献1に記載のSOIウェーハの作製方法には、剥離後のウェーハの表面を酸化処理して酸化膜を形成する。そして、HFを含む水溶液を用いて酸化膜を除去し、この後、水素を含む還元性雰囲気下で熱処理して、表面を平坦化する技術が提案されている。
特許文献1に記載のSOIウェーハの作製方法においては、酸化膜はHF液を用いて除去されるのが一般的である。しかし、HF液を使用して酸化膜を除去すると、微小欠陥が生じてしまう。微小欠陥が発生する理由は、SOI層の表面に結晶欠陥に起因するピットの存在である。このピットを通して、HF溶液が埋め込み酸化膜に浸透する。この浸透したHF溶液により、直下の埋め込み酸化膜が部分的にエッチングされて微小欠陥が発生してしまう。
また、シリコンウェーハのエッジ部は埋め込み酸化膜が露出している。この露出部分からHF液が浸透して、エッジ部の埋め込み酸化膜がエッチングされる問題が生じていた。
また、シリコンウェーハのエッジ部は埋め込み酸化膜が露出している。この露出部分からHF液が浸透して、エッジ部の埋め込み酸化膜がエッチングされる問題が生じていた。
この発明は、スマートカット法によるSOIウェーハの作製において、SOIウェーハの表面に酸化膜を形成し、これをHF溶液を使用しないで酸化膜を除去して剥離後の剥離面を平坦化するSOIウェーハの作製方法を提供することを目的とする。
請求項1に記載の発明は、活性層用ウェーハに絶縁膜を介して水素または希ガスをイオン注入して、この活性層用ウェーハにイオン注入層を形成し、次いで、この活性層用ウェーハを絶縁膜を介して支持ウェーハに貼り合わせて貼り合わせウェーハを形成し、この後、この貼り合わせウェーハを熱処理して、イオン注入層を境界として剥離するSOIウェーハの作製方法であって、貼り合わせウェーハを熱処理することにより、イオン注入層を境界として剥離した後、このSOIウェーハのSOI層表面に酸化膜を形成し、この後、このSOIウェーハを所定のガス雰囲気にさらすことによりそのSOI層表面から酸化膜を除去するSOIウェーハの作製方法である。
SOI層表面に酸化膜を形成する方法は、限定されない。例えば、HClガス酸化、ドライ酸化、ウェット酸化などである。
SOI層表面から酸化膜を除去するためのガス雰囲気は限定されない。例えば、HClガス、SF6ガス、CF4ガス、HFガスなどがある。
また、アルゴンガスや水素ガス雰囲気中での高温熱処理によっても酸化膜を除去するこが可能である。
SOI層表面に酸化膜を形成する方法は、限定されない。例えば、HClガス酸化、ドライ酸化、ウェット酸化などである。
SOI層表面から酸化膜を除去するためのガス雰囲気は限定されない。例えば、HClガス、SF6ガス、CF4ガス、HFガスなどがある。
また、アルゴンガスや水素ガス雰囲気中での高温熱処理によっても酸化膜を除去するこが可能である。
請求項1に記載のSOIウェーハの作製方法にあっては、スマートカット法によるSOIウェーハの作製方法において、活性層用ウェーハにイオン注入層を形成する。次いで、この活性層用ウェーハを絶縁膜を介して支持ウェーハに貼り合わせる。この結果、絶縁膜を介して2枚のウェーハが貼り合わされた貼り合わせウェーハが作製される。この後、この貼り合わせウェーハを剥離熱処理することにより、イオン注入層を境界として剥離する。
そして、このSOIウェーハを、例えば、HClガスと酸素ガスとの混合ガス雰囲気で酸化処理をする。この結果、SOI層表面に所定厚さの酸化膜が形成される。
この後、SOIウェーハを、例えば、HClガスと不活性ガスとの混合ガス雰囲気にさらす。これにより、SOI層の表面に形成された酸化膜は完全に除去される。また、SOIウェーハのSOI層が剥離後よりも均一化され、かつ、薄膜化が可能となる。さらに、HF液を使用しないため、HF液による微小欠陥が発生したり、シリコンウェーハのエッジ部の埋め込み酸化膜をエッチングしない。
そして、このSOIウェーハを、例えば、HClガスと酸素ガスとの混合ガス雰囲気で酸化処理をする。この結果、SOI層表面に所定厚さの酸化膜が形成される。
この後、SOIウェーハを、例えば、HClガスと不活性ガスとの混合ガス雰囲気にさらす。これにより、SOI層の表面に形成された酸化膜は完全に除去される。また、SOIウェーハのSOI層が剥離後よりも均一化され、かつ、薄膜化が可能となる。さらに、HF液を使用しないため、HF液による微小欠陥が発生したり、シリコンウェーハのエッジ部の埋め込み酸化膜をエッチングしない。
請求項2に記載の発明は、上記酸化膜の除去は、SOIウェーハをHClガス雰囲気にさらすことにより行う請求項1に記載のSOIウェーハの作製方法である。
酸化膜を除去するときのHClガス雰囲気は、例えば、HClガスと不活性ガスとの混合ガス雰囲気である。不活性ガスは、例えば、窒素ガス、アルゴンガスなどである。
酸化膜を除去するときのHClガス雰囲気は、例えば、HClガスと不活性ガスとの混合ガス雰囲気である。不活性ガスは、例えば、窒素ガス、アルゴンガスなどである。
請求項2に記載のSOIウェーハの作製方法にあっては、HClガス雰囲気は、SOIウェーハをHClガスと不活性ガスとの雰囲気である。HClガスが酸化膜をエッチングする。よって、HF液を使用しないため、HF液により発生する微小欠陥が発生することもない。
請求項3に記載の発明は、上記酸化膜の除去は、1100℃以上の温度で処理する請求項1または請求項2に記載のSOIウェーハの作製方法である。
請求項3に記載のSOIウェーハの作製方法にあっては、HClガス雰囲気は、1100℃以上の温度で酸化膜を除去する。1100℃未満では、十分な酸化膜を除去させることが困難である。
請求項4に記載の発明は、上記酸化膜の形成は、SOIウェーハをドライ酸化雰囲気、ウェット酸化雰囲気またはHClガスと酸素ガスとの混合ガス雰囲気のいずれか1つにさらすことで行う請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載のSOIウェーハの作製方法である。
請求項4に記載のSOIウェーハの作製方法にあっては、例えば、上記酸化膜の形成は、SOIウェーハをHClガスと酸素ガスとの混合ガス雰囲気にさらす。これにより、シリコンウェーハの表面に酸化膜が形成される。
この後、シリコンウェーハを、HClガスと不活性ガスとの混合ガス雰囲気にさらすことにより、SOI層表面の酸化膜が除去される。すなわち、酸化膜形成時の酸素ガスを、不活性ガスに切り換えることで酸化膜除去が行われる。したがって、酸化処理および酸化膜除去は、同一炉内で連続して行うことができる。
この後、シリコンウェーハを、HClガスと不活性ガスとの混合ガス雰囲気にさらすことにより、SOI層表面の酸化膜が除去される。すなわち、酸化膜形成時の酸素ガスを、不活性ガスに切り換えることで酸化膜除去が行われる。したがって、酸化処理および酸化膜除去は、同一炉内で連続して行うことができる。
この発明によれば、スマートカット法によるSOIウェーハの作製方法において、剥離後のSOIウェーハを、例えば、HClガスと酸素ガスとの混合ガス雰囲気で酸化処理をする。これにより、SOI層表面に所定厚さの酸化膜が形成される。
この後、酸化膜が形成されたSOIウェーハを、例えば、HClガスと不活性ガスとの雰囲気にさらす。これにより、SOI層の表面に形成された酸化膜は完全に除去される。また、SOIウェーハのSOI層が剥離後よりも均一化され、かつ、薄膜化が可能となる。 さらに、HF液を使用しないので、HF液による微小欠陥も発生しない。
この後、酸化膜が形成されたSOIウェーハを、例えば、HClガスと不活性ガスとの雰囲気にさらす。これにより、SOI層の表面に形成された酸化膜は完全に除去される。また、SOIウェーハのSOI層が剥離後よりも均一化され、かつ、薄膜化が可能となる。 さらに、HF液を使用しないので、HF液による微小欠陥も発生しない。
以下、この発明の一実施例を、図1および図2を参照して説明する。
ここでは、スマートカット法を用いて、SOI層を形成するSOIウェーハの作製方法について説明する。
本実施例に係るスマートカット法によるSOIウェーハの作製は、図1に示すような工程で行われる。
まず、CZ法により育成され、ボロンがドーパントとされたシリコンインゴットからスライスしたシリコンウェーハを2枚準備する。これらのシリコンウェーハを、一方を活性層用ウェーハとして、他方を支持用ウェーハとする。そして、図1(a)に示すように、活性層用ウェーハとなるシリコンウェーハの表面に酸化膜を形成する。酸化膜の形成は、酸化炉内にシリコンウェーハを挿入し、これを所定時間、所定温度に加熱することにより行われる。このとき、形成される酸化膜の厚さは150nmである。
ここでは、スマートカット法を用いて、SOI層を形成するSOIウェーハの作製方法について説明する。
本実施例に係るスマートカット法によるSOIウェーハの作製は、図1に示すような工程で行われる。
まず、CZ法により育成され、ボロンがドーパントとされたシリコンインゴットからスライスしたシリコンウェーハを2枚準備する。これらのシリコンウェーハを、一方を活性層用ウェーハとして、他方を支持用ウェーハとする。そして、図1(a)に示すように、活性層用ウェーハとなるシリコンウェーハの表面に酸化膜を形成する。酸化膜の形成は、酸化炉内にシリコンウェーハを挿入し、これを所定時間、所定温度に加熱することにより行われる。このとき、形成される酸化膜の厚さは150nmである。
次に、酸化膜が形成された活性層用ウェーハを、イオン注入装置の真空チャンバの中にセットする。そして、図1(b)に示すように、活性層用ウェーハの表面より酸化膜を介して加速電圧=50keV、ドーズ量=1.0E16atoms/cm2の水素イオンを注入する。水素イオンは、活性層用ウェーハの表面から所定深さの位置まで注入され、この結果、活性層用ウェーハの所定深さ位置(シリコン基板中の所定深さ範囲)にイオン注入層が形成される。
次に、図1(c)に示すように、水素イオンが注入された活性層用ウェーハを、そのイオンが注入された面(酸化膜表面)を貼り合わせ面として、支持用ウェーハに貼り合わせる。この結果、貼り合わせ界面に絶縁膜(酸化膜)が介在された貼り合わせウェーハが形成される。
そして、図1(d)に示すように、貼り合わせウェーハを略500℃、窒素ガス雰囲気で熱処理する。すると、貼り合わせウェーハのイオン注入層において水素ガスのバブルが形成され、このバブルが形成されたイオン注入層を境界として、活性層用ウェーハの一部(貼り合わせウェーハの一部)が剥離する。すなわち、貼り合わせウェーハは、支持ウェーハに酸化膜を介してSOI層(活性層用ウェーハの一部)が積層されたSOIウェーハと、残りの活性層用ウェーハとに分離される。
ここまでの工程は、一般的なスマートカット法によるSOIウェーハの作製方法の工程と同じである。
次に、図1(c)に示すように、水素イオンが注入された活性層用ウェーハを、そのイオンが注入された面(酸化膜表面)を貼り合わせ面として、支持用ウェーハに貼り合わせる。この結果、貼り合わせ界面に絶縁膜(酸化膜)が介在された貼り合わせウェーハが形成される。
そして、図1(d)に示すように、貼り合わせウェーハを略500℃、窒素ガス雰囲気で熱処理する。すると、貼り合わせウェーハのイオン注入層において水素ガスのバブルが形成され、このバブルが形成されたイオン注入層を境界として、活性層用ウェーハの一部(貼り合わせウェーハの一部)が剥離する。すなわち、貼り合わせウェーハは、支持ウェーハに酸化膜を介してSOI層(活性層用ウェーハの一部)が積層されたSOIウェーハと、残りの活性層用ウェーハとに分離される。
ここまでの工程は、一般的なスマートカット法によるSOIウェーハの作製方法の工程と同じである。
次に、図1(e)および図2に示すように、SOIウェーハについて、酸化処理を行う。このときの条件は、温度が1100℃でHClガス雰囲気(5%HClガスと希釈酸素ガスとの混合ガス雰囲気)である。この結果、SOI層表面に3000Åの酸化膜が形成される。
そして、図1(f)に示すように、この酸化膜をHClガス雰囲気でエッチングする。このときの条件は、温度が1100℃、HClガス雰囲気(10%HClガスと希釈窒素ガスとの混合ガス雰囲気)である。また、このときの反応式は以下の通りとなる。
4HCl+SiO2→SiCl4+2H2O
これにより、SOI層の表面に形成された酸化膜は完全に除去される。また、SOIウェーハのSOI層が剥離後よりも均一化され、かつ、薄膜化が可能となる。
なお、上記HClガス雰囲気でのエッチングに関しては、事前に形成された酸化膜を除去することを目的としている。これは、HClガス雰囲気でのエッチングにより、酸化膜が完全に除去できない場合、再度HClガスでのエッチングを行うため、スループットが悪化し生産性が低下する。したがって、HClガスのエッチング量は、事前に形成した酸化膜厚を完全に除去する量よりも多めに設定する必要がある。しかし、エッチング量を多めに設定すると、SOI層の均一性を悪化させるとともに、この表面を粗してしまう。よって、事前に形成した酸化膜の厚さに、略300Åの厚さを加えた酸化膜がエッチングできる量であればよい。
上記一連の工程(酸化処理および酸化膜除去)は、複数回行ってもよい。これにより、平坦化された粗さを維持したままで、SOI層の薄膜化がより可能である。すなわち、SOI層の取り代が大きい場合は、酸化処理で酸化膜を形成した後、HClエッチングにより酸化膜を除去する工程を繰り返すことにより、SOI層がより薄膜化される。
そして、図1(f)に示すように、この酸化膜をHClガス雰囲気でエッチングする。このときの条件は、温度が1100℃、HClガス雰囲気(10%HClガスと希釈窒素ガスとの混合ガス雰囲気)である。また、このときの反応式は以下の通りとなる。
4HCl+SiO2→SiCl4+2H2O
これにより、SOI層の表面に形成された酸化膜は完全に除去される。また、SOIウェーハのSOI層が剥離後よりも均一化され、かつ、薄膜化が可能となる。
なお、上記HClガス雰囲気でのエッチングに関しては、事前に形成された酸化膜を除去することを目的としている。これは、HClガス雰囲気でのエッチングにより、酸化膜が完全に除去できない場合、再度HClガスでのエッチングを行うため、スループットが悪化し生産性が低下する。したがって、HClガスのエッチング量は、事前に形成した酸化膜厚を完全に除去する量よりも多めに設定する必要がある。しかし、エッチング量を多めに設定すると、SOI層の均一性を悪化させるとともに、この表面を粗してしまう。よって、事前に形成した酸化膜の厚さに、略300Åの厚さを加えた酸化膜がエッチングできる量であればよい。
上記一連の工程(酸化処理および酸化膜除去)は、複数回行ってもよい。これにより、平坦化された粗さを維持したままで、SOI層の薄膜化がより可能である。すなわち、SOI層の取り代が大きい場合は、酸化処理で酸化膜を形成した後、HClエッチングにより酸化膜を除去する工程を繰り返すことにより、SOI層がより薄膜化される。
次に、図1(g)に示すように、剥離熱処理した後のSOIウェーハについて平坦化熱処理を行う。この平坦化熱処理は、SOIウェーハをアルゴンガス雰囲気中で1100℃以上の温度に略3時間保持することである。また、この平坦化熱処理は、図2に示すように、酸化膜形成および除去処理と連続して行える。また、剥離熱処理でイオン注入層を境界として貼り合わせウェーハが完全に分離した場合、同じ炉を用いて剥離熱処理から連続して行うことができる。
上述の図1(a)〜(g)の工程を経て完成されたSOIウェーハの表面は、酸化膜が完全に除去されていることが確認された。一方、上述の図1(a)〜(g)の工程の内、図1(f)に示す酸化膜除去をHF洗浄を使用して実施する。すると、SOIウェーハ表面を集光灯下にて外観検査を行った場合、結晶欠陥要因に基点(ピット)が観察され、また、このピットを通して、埋め込み酸化膜がエッチングされた微小欠陥が観察された。
Claims (4)
- 活性層用ウェーハに絶縁膜を介して水素または希ガスをイオン注入して、この活性層用ウェーハにイオン注入層を形成し、次いで、この活性層用ウェーハを絶縁膜を介して支持ウェーハに貼り合わせて貼り合わせウェーハを形成し、この後、この貼り合わせウェーハを熱処理して、イオン注入層を境界として剥離するSOIウェーハの作製方法であって、
貼り合わせウェーハを熱処理することにより、イオン注入層を境界として剥離した後、このSOIウェーハのSOI層表面に酸化膜を形成し、この後、このSOIウェーハを所定のガス雰囲気にさらすことによりそのSOI層表面から酸化膜を除去するSOIウェーハの作製方法。 - 上記酸化膜の除去は、SOIウェーハをHClガス雰囲気にさらすことにより行う請求項1に記載のSOIウェーハの作製方法。
- 上記酸化膜の除去は、1100℃以上の温度で処理する請求項1または請求項2に記載のSOIウェーハの作製方法。
- 上記酸化膜の形成は、SOIウェーハをドライ酸化雰囲気、ウェット酸化雰囲気またはHClガスと酸素ガスとの混合ガス雰囲気のいずれか1つにさらすことで行う請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載のSOIウェーハの作製方法。
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JP2004003348A JP2005197525A (ja) | 2004-01-08 | 2004-01-08 | Soiウェーハの作製方法 |
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