JP2005174974A - 積層圧電体部品の製造方法 - Google Patents
積層圧電体部品の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005174974A JP2005174974A JP2003408610A JP2003408610A JP2005174974A JP 2005174974 A JP2005174974 A JP 2005174974A JP 2003408610 A JP2003408610 A JP 2003408610A JP 2003408610 A JP2003408610 A JP 2003408610A JP 2005174974 A JP2005174974 A JP 2005174974A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- internal electrode
- laminated
- piezoelectric
- ceramic composition
- piezoelectric ceramic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 14
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims abstract description 44
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims abstract description 40
- 239000002003 electrode paste Substances 0.000 claims abstract description 27
- 230000000930 thermomechanical effect Effects 0.000 claims abstract description 13
- YEXPOXQUZXUXJW-UHFFFAOYSA-N oxolead Chemical compound [Pb]=O YEXPOXQUZXUXJW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 10
- 229910000464 lead oxide Inorganic materials 0.000 claims abstract description 9
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims abstract description 6
- 238000010304 firing Methods 0.000 claims description 22
- 238000002844 melting Methods 0.000 claims description 19
- 230000008018 melting Effects 0.000 claims description 19
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 10
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 26
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 23
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 3
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 3
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 3
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 3
- 230000001737 promoting effect Effects 0.000 description 3
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 3
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 2
- AMWRITDGCCNYAT-UHFFFAOYSA-L hydroxy(oxo)manganese;manganese Chemical compound [Mn].O[Mn]=O.O[Mn]=O AMWRITDGCCNYAT-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 2
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 2
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OAYXUHPQHDHDDZ-UHFFFAOYSA-N 2-(2-butoxyethoxy)ethanol Chemical compound CCCCOCCOCCO OAYXUHPQHDHDDZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WUOACPNHFRMFPN-UHFFFAOYSA-N alpha-terpineol Chemical compound CC1=CCC(C(C)(C)O)CC1 WUOACPNHFRMFPN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000410 antimony oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 238000001354 calcination Methods 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000005238 degreasing Methods 0.000 description 1
- SQIFACVGCPWBQZ-UHFFFAOYSA-N delta-terpineol Natural products CC(C)(O)C1CCC(=C)CC1 SQIFACVGCPWBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000007606 doctor blade method Methods 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N magnesium oxide Inorganic materials [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000395 magnesium oxide Substances 0.000 description 1
- AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N magnesium;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[Mg+2] AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000011268 mixed slurry Substances 0.000 description 1
- 239000004570 mortar (masonry) Substances 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 229910000480 nickel oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010955 niobium Substances 0.000 description 1
- 229910000484 niobium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- URLJKFSTXLNXLG-UHFFFAOYSA-N niobium(5+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Nb+5].[Nb+5] URLJKFSTXLNXLG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000510 noble metal Inorganic materials 0.000 description 1
- VTRUBDSFZJNXHI-UHFFFAOYSA-N oxoantimony Chemical compound [Sb]=O VTRUBDSFZJNXHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GNRSAWUEBMWBQH-UHFFFAOYSA-N oxonickel Chemical compound [Ni]=O GNRSAWUEBMWBQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910002077 partially stabilized zirconia Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004014 plasticizer Substances 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 229910052573 porcelain Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007573 shrinkage measurement Methods 0.000 description 1
- 229920002545 silicone oil Polymers 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 239000007858 starting material Substances 0.000 description 1
- 229940116411 terpineol Drugs 0.000 description 1
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 1
- 229910001928 zirconium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/85—Piezoelectric or electrostrictive active materials
- H10N30/853—Ceramic compositions
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B06—GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
- B06B—METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
- B06B1/00—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
- B06B1/02—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
- B06B1/06—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction
- B06B1/0607—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using multiple elements
- B06B1/0611—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using multiple elements in a pile
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/01—Manufacture or treatment
- H10N30/05—Manufacture of multilayered piezoelectric or electrostrictive devices, or parts thereof, e.g. by stacking piezoelectric bodies and electrodes
- H10N30/053—Manufacture of multilayered piezoelectric or electrostrictive devices, or parts thereof, e.g. by stacking piezoelectric bodies and electrodes by integrally sintering piezoelectric or electrostrictive bodies and electrodes
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/40—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and electrical output, e.g. functioning as transformers
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/87—Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
- H10N30/877—Conductive materials
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/42—Piezoelectric device making
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/43—Electric condenser making
- Y10T29/435—Solid dielectric type
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
【課題】従来の積層圧電体部品の製造方法においては、内部電極とグリーンシートとの積層構造形成部分と、非形成部分との焼成時の収縮差により、変形やクラックが生じるという課題があった。
【解決手段】鉛酸化物を主成分の一つとする圧電磁器組成物のグリーンシートと、Ａｇを主成分とする内部電極ペーストとを、交互に積層して得られる積層圧電体部品において、前記内部電極ペーストに、圧電磁器組成物および高融点酸化物を添加することによって、積層構造の形成部分と非形成部分との焼成収縮差を８％以下にし、変形やクラックの生じることのない積層圧電体部品を提供する。
【選択図】図２
【解決手段】鉛酸化物を主成分の一つとする圧電磁器組成物のグリーンシートと、Ａｇを主成分とする内部電極ペーストとを、交互に積層して得られる積層圧電体部品において、前記内部電極ペーストに、圧電磁器組成物および高融点酸化物を添加することによって、積層構造の形成部分と非形成部分との焼成収縮差を８％以下にし、変形やクラックの生じることのない積層圧電体部品を提供する。
【選択図】図２
Description
本発明は、積層圧電アクチュエータや積層圧電トランス等のように、Ａｇを主成分とする内部電極と圧電磁器組成物との積層構造を持ち、内部電極と圧電磁器組成物とを同時に焼成することにより得られる圧電製品の製造方法に関するものである。
近年の小型化や薄型化あるいは高性能化の要望にともない積層型の圧電発振子、圧電フィルタ、圧電アクチュエータ、圧電トランスあるいは圧電ブザー等の圧電磁器デバイスの開発も盛んになってきている。
また、コストダウンのために、Ａｇを主成分とする内部電極を用いる必要があるが、鉛酸化物を主成分の一つとする圧電磁器組成物において、圧電磁器組成物で作製されたグリーンシートと、Ａｇを主成分とする内部電極とを交互に積層、印刷した後に、内部電極と圧電磁器組成物を同時に焼成する際に、内部電極の主成分であるＡｇが圧電磁器組成物の焼結を促進し、積層構造を形成している形成部分と、積層構造を形成していない非形成部分との焼成収縮挙動に違いが生じ、積層構造形成部分と非形成部分との境界において変形やクラックが発生し、信頼性が低下するという課題があった。
その課題を解決するために、従来の技術として、特許文献１は、積層構造の非形成部分（本発明における不活性部）を積層構造の形成部分（本発明における活性部）で用いる圧電磁器粉末よりも低い温度で合成した粉末を加圧成形することにより作製し、非形成部分（本発明における不活性部）の収縮を大きくして、内部電極の影響により収縮の大きくなる積層構造の形成部分（本発明における活性部）との収縮率を合わせている。
また、特許文献２は、通常は積層構造を形成する必要のない箇所にも、内部電極とグリーンシートとの積層構造を形成し、積層構造の形成部分と非形成部分ともに、内部電極の主成分であるＡｇの影響により収縮を大きくすることで収縮率を合わせている。
また、特許文献３は、積層構造の形成部分（本発明における変位発生部）の圧電磁器組成よりも、非形成部分（本発明における保護部）の鉛含有量を多くし、過剰に添加した鉛の効果により非形成部分の焼成収縮を促進し、内部電極の影響により収縮の大きくなる積層構造の形成部分との焼成収縮率を合わせている。
特許第２８８３８９６号公報
特開平９−２７０５４０号公報
特許第２６６６７５８号公報
特許文献１〜３では、鉛酸化物を主成分の一つとする圧電磁器組成物を用いて積層圧電体部品を製造する際に、内部電極に含有される導電性金属成分の圧電層への拡散による焼結促進効果により、積層構造の形成部分の方が、非形成部分よりも収縮率が大きくなると記載している。
また、特許文献１〜３における構成では、例えば積層圧電トランスのような、内部電極とグリーンシートとの積層構造形成部分と、非形成部分とを同一グリーンシート平面内にあわせもつ構造の積層圧電体部品を作製する際に適応することは困難であり、その結果、内部電極に含有される貴金属成分の圧電層への焼結促進効果により、積層構造の形成部の方が、非形成部よりも収縮率が大きくなり、変形やクラックが生じるという課題があった。
本発明は、熱機械分析装置により測定したある温度における積層構造の形成部分と非形成部分の焼成収縮差を８％以下とし、それにより、変形やクラックの生じることのない積層圧電体部品を提供するものである。
上記目的を達成するために、本発明の請求項１に記載の発明は、特に、鉛酸化物を主成分の一つとする圧電磁器組成物のグリーンシートと、Ａｇを主成分とする内部電極ペーストとを、交互に積層、印刷して得られる積層圧電体部品において、前記内部電極ペーストは、圧電磁器組成物および高融点酸化物を添加することによって、熱機械分析装置により測定した所定の温度における積層構造の形成部分と非形成部分の焼成収縮差を８％以下とすることを特徴とする積層圧電体部品の製造方法であり、圧電磁器組成物および高融点酸化物を添加することにより、Ａｇの圧電層への拡散を抑制することができるので、積層構造の形成部分と非形成部分の焼成収縮差を８％以下とすることができ、変形やクラックを抑制できるものである。
本発明の請求項２に記載の発明は、特に、高融点酸化物として、ＺｒＯ2，Ｎｂ2Ｏ5のうち少なくとも１種類を添加した内部電極ペーストを用いることを特徴とする請求項１に記載の積層圧電体部品の製造方法であり、高融点酸化物ＺｒＯ2，Ｎｂ2Ｏ5を添加することによって、請求項１の発明よりも効果的にＡｇの圧電層への拡散を抑制することができるので、より変形やクラックを抑制できるものである。
本発明の請求項３に記載の発明は、特に、内部電極ペースト中に含有される導電性金属の重量１００に対し、圧電磁器組成物を３０〜７０の割合で添加し、かつＺｒＯ2，Ｎｂ2Ｏ5のうち少なくとも１種類を添加したことを特徴とする請求項２に記載の積層圧電体部品の製造方法であり、これにより、請求項２の発明よりも更に効果的にＡｇの圧電層への拡散を抑制することができるので、変形やクラックを抑制できるものである。
本発明の請求項４に記載の発明は、特に、ＺｒＯ2，Ｎｂ2Ｏ5の添加量は、導電性金属１００に対して５〜２０の割合の重量であることを特徴とする請求項３に記載の積層圧電体部品の製造方法であり、これにより、請求項３の発明よりもさらに効果的にＡｇの圧電層への拡散を抑制することができるので、変形やクラックを抑制できるものである。
鉛酸化物を主成分の一つとする圧電磁器組成物のグリーンシートと、Ａｇを主成分とする内部電極とを、交互に積層して得られる積層圧電体部品において、内部電極に、圧電磁器組成物および高融点酸化物を添加することにより、積層構造の形成部分の焼成収縮促進を抑制し、積層構造の形成部と非形成部分との熱機械分析装置の焼成収縮差が８％以下となるので、変形やクラックを抑制することができ、高い信頼性を有する積層圧電体部品を製造することができる。
（実施の形態）
実施の形態を用いて、本発明の請求項１〜４に記載の発明について図面を参照しながら説明する。
実施の形態を用いて、本発明の請求項１〜４に記載の発明について図面を参照しながら説明する。
図１は、本発明の実施の形態における積層圧電トランスの内部構造図、図２は、本発明の実施の形態における積層圧電トランスの斜視図、図３は、本発明の実施の形態における積層圧電トランスの製造工程図である。
まず出発原料として、酸化鉛（ＰｂＯ）、酸化チタン（ＴｉＯ2）、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ2）の粉末を用いて、各原料を秤量配合する。
次に、これらの原料を、水およびメディアとして部分安定化ジルコニアボールとともにポットミルに投入し、ポットミルを２０時間回転させ湿式混合する（図３（ａ））。
この時、原料と水の重量比率が１：１となるようにし、メディアのジルコニアボールの径としては５ｍｍ以下のものを用いた。
次に、上記の湿式混合したスラリーをステンレスバッド等に移し、２００℃の乾燥機中で一昼夜乾燥して、この乾燥粉を乳鉢等で粗粉砕した後、アルミナ材質の坩堝に移し、最高温度８５０℃で２時間（昇降温速度は２００℃／時間）仮焼し、仮焼粉を得る（図３（ｂ））。
次に、仮焼粉をロータミルやディスクミル等の粗砕機を用いて粗粉砕後、上記の混合時と同様にポットミルを用いて、この粗粉砕粉を１０時間湿式粉砕して、その後、粉砕スラリーをステンレスバッドなどに移し、２００℃の乾燥機中で一昼夜乾燥し、圧電セラミック粉体を得る（図３（ｃ））。
得られた圧電セラミック粉体を有機結合材、可塑剤、有機溶媒と共に所定量配合してからスラリー混合を行い、シート成形用スラリーを作製し、その後、ドクターブレード法によってシート成形を行い、圧電層となる所定厚みの圧電磁器組成物のグリーンシートを得る（図３（ｄ））。
次に、銀（Ａｇ）を主成分とする内部電極ペーストに含まれる導電用金属の重量を１００として、図３（ｃ）で得られる鉛酸化物を主成分の一つとする圧電磁器組成物の仮焼粉末と、高融点酸化物粉末を（表１）のとおり配合し、内部電極ペーストに添加する。圧電磁器組成物の仮焼粉末と高融点酸化物粉末を添加させた内部電極ペーストを三本ロールにて混練し、均一にペースト中に分散させ、ブチルカルビトールやターピネオール等の有機溶媒にて希釈し、ペースト粘度を１００００〜２５０００ｍＰａ・ｓｅｃとなるように調整し、圧電磁器組成物の仮焼粉末と高融点酸化物粉末を添加したＡｇを主成分とする内部電極ペースト（以下、内部電極ペーストという）を得る（図３（ｅ））。
次に、圧電磁器組成物のグリーンシート１上に、内部電極ペーストで、乾燥後の厚みが１０μｍ程度になるように、図１に示すような内部電極パターン２ａ，２ｂ，２ｃを印刷し、次いで、内部電極ペーストを印刷していないグリーンシート１を上に積層して仮加圧を施し、再度印刷する。以降同様に所望の特性を得るように図１のように積層、仮加圧、印刷を繰り返し行い、最後のグリーンシート１のみ内部電極ペーストを印刷せずに積層、仮加圧を施し、最後に本加圧として１８ＭＰａの圧力を加え、切断機を用いて所定の寸法になるよう切り出しほぼ直方体状の積層体を得る（図３（ｆ））。
次に、この積層体中の有機成分を焼成よりも低い温度で、脱脂を施すことにより除去する（図３（ｇ））。
次に、図３（ｇ）で得られた脱脂済みの積層体の内部電極２ａ，２ｂ，２ｃとグリーンシート１との積層構造の形成部分３と非形成部分４に切断し、島津製作所製の熱機械分析装置（ＴＭＡ）を用いて、１時間あたり２００℃の速度で昇温し、圧電磁器組成物が焼成可能な温度にて２時間保持し、積層構造の形成部分３と非形成部分４の焼成時の熱収縮挙動を各々測定し、図４のような熱機械分析による焼成収縮挙動曲線を得る。その昇温過程および保持温度過程において、所定の温度における内部電極と圧電層との積層構造の形成部分３と非形成部分４の最大収縮差（ΔＬｍａｘ）を評価する（図３（ｈ））。
ここで、熱機械分析装置による収縮挙動の一例を図４に、変形量の測定方法の断面図を図５に示す。
変形量の測定は図５に示す積層圧電トランス素子の積層構造の形成部分３と非形成部分４との境界付近に存在する最も幅の大きくなる箇所の幅方向の厚みを測定して、変形量６を測定する。変形量６は３０μｍ以下であれば、内部にクラックも存在せず、外観的にも問題とならないことが確認できているため、変形量３０μｍ以下とすることを目標とした。
次に、図３（ｇ）で得られた脱脂済みの積層体を焼結させるため、焼成を実施し、積層圧電トランス用素子を得る（図３（ｉ））。
その後、得られた積層圧電トランス用素子に加工を施し内部電極２ａ，２ｂ，２ｃを積層圧電トランス素子の幅方向の側面においてバレル研磨を施し露出させる（図３（ｊ））。
そしてガラスフリットを含有したＡｇペーストを所定の外部電極の位置に印刷し乾燥させる。その後積層圧電トランス用素子を約７００℃−１０分の条件で外部電極の焼き付けを行い、積層圧電トランス用素子に図２のような外部電極５ａ，５ｂ，５ｃを形成する（図３（ｋ））。
次に、１００℃のシリコーンオイル中で内部電極２ａと２ｂとの間に３ｋＶ／ｍｍの電界を３０分間印加し、次に２ａ，２ｂと２ｃとの間に２ｋＶ／ｍｍの電界を３０分間印加し、図２に示す積層圧電トランスを得る（図３（ｌ））。
この工程で得られた積層圧電トランスの長さは３０ｍｍ、厚み２．４ｍｍ、幅５．８ｍｍであった。また内部電極長さ１８ｍｍ、圧電層厚み約０．１５ｍｍ、圧電セラミック層１７層、内部電極層１６層である。
ここで、図３（ｈ）の工程で測定した最大収縮差と、熱機械分析装置による焼成収縮測定時と同条件で焼成を実施した時の内部電極と圧電層との積層構造の形成部分３と非形成部分４の焼成収縮による変形量６との関係を（表１）にまとめて記載した。
（表１）の結果から、試料３〜５，９〜１１のように、内部電極ペーストに含まれる導電性金属の重量１００ｇに対して圧電磁器組成物の仮焼粉体を３０〜７０ｇ添加し、更に高融点酸化物（ＺｒＯ2，Ｎｂ2Ｏ5）１０ｇを添加したＡｇを主成分とする内部電極を用いた場合には、積層構造の形成部分３と非形成部分４との熱機械分析装置での収縮差が全て８％以下である。よって積層構造の形成部分３と非形成部分４との境界部分に発生する変形量６が目標とする３０μｍ以下となり、変形および内部にクラックもなく、目標とする結果が得られた。
また、試料１４〜１６，２０〜２２のように、内部電極ペーストに含まれる導電性金属の重量１００ｇに対して圧電磁器組成物の仮焼粉体を４０ｇ添加し、更に高融点酸化物（ＺｒＯ2，Ｎｂ2Ｏ5）５〜２０ｇ添加したＡｇを主成分とする内部電極ペーストを用いた場合には、積層構造形成部分３と非形成部分４との熱機械分析装置での収縮差が全て８％以下となる。よって内部電極形成部分３と非形成部分４との境界部分に発生する変形量６が目標とする３０μｍ以下となり変形および内部にクラックもなく、目標とする結果が得られた。
一方、試料１，７のように、圧電磁器組成物の仮焼粉体を添加せずに、高融点酸化物のみを添加したＡｇを主成分とする内部電極ペーストを用いた場合には、積層構造の形成部分３の焼成収縮が促進され、積層構造の形成部分３と非形成部分４との収縮差が８％以上となり、かつ変形量６が３０μｍ以上と変形が大きいため、目的とする特性が得られなかった。
また、試料１３，１９のように、高融点酸化物を添加せずに、圧電磁器組成物の仮焼粉体のみを添加したＡｇを主成分とする内部電極ペーストを用いた場合には、積層構造の形成部分３の焼成収縮が促進され、積層構造の形成部分３と非形成部分４との収縮差が８％以上となり、かつ変形量が３０μｍ以上と変形が大きいため、目的とする特性が得られなかった。
また、試料２，８のように、高融点酸化物を１０ｇ添加し、更に圧電磁器組成物の仮焼粉体を２０ｇ添加したＡｇを主成分とする内部電極ペーストを用いた場合には、圧電磁器組成物の仮焼粉体の添加量が不十分であったため、積層構造の形成部分３の焼成収縮が促進され、積層構造の形成部分３と非形成部分４との収縮差が８％以上となり、かつ変形量が３０μｍ以上と変形が大きいため、目的とする特性が得られなかった。
また、試料６，１２，１７，１８，２３，２４は全て、Ａｇを主成分とする内部電極ペーストに含まれる導電性金属の重量に対して、圧電磁器組成物の仮焼粉体および高融点酸化物の占める割合が多くなりすぎ、Ａｇを主成分とする内部電極ペーストに含まれる導電性金属が孤立し、導通が取れずに電極としての機能を果たすことができなかった。
Ａｇを主成分とする内部電極ペーストに、圧電磁器組成物の仮焼粉体および高融点酸化物を添加しない場合には、焼成の際に内部電極層２ａ，２ｂからグリーンシート１へ、Ａｇが圧電層の結晶粒界を経路として拡散し、液相焼結化するために、積層構造の形成部分３は非形成部４と比較して、焼結が促進される。しかし、Ａｇを主成分とする内部電極材料中に高融点酸化物と圧電磁器組成物が添加されることにより、内部電極に添加された高融点酸化物と圧電磁器組成物の焼結のためにＡｇが必要となるため、Ａｇがグリーンシート１へ拡散されるのを抑制し、結果として、積層構造形成部分３の焼結が促進されることなく、積層構造の形成部分３と非形成部分４との熱機械分析装置収縮差が小さくなると考えられる。
本実施の形態においては、鉛酸化物を主成分の一つとする圧電磁器組成物の一例として、チタン酸ジルコン酸鉛を用いたが、チタン酸ジルコン酸鉛に酸化ニオブ、酸化亜鉛、酸化マンガン、酸化錫、酸化アンチモン、酸化ニッケル、酸化マグネシウム等を加えた三成分、四成分系の複合酸化物の圧電磁器組成物を使用しても、同様の効果が認められる。
本実施の形態においては、同一平面状に内部電極と圧電層との積層構造の形成部分３と非形成部分４とが存在する積層圧電体部品の一例として積層圧電トランスを用いたが、その他の積層圧電アクチュエータ、積層圧電モータ、積層圧電発振子などの積層圧電体部品にも同様な効果が認められる。また、内部電極と圧電層との積層構造の形成部分３と非形成部分４とを同一平面状に形成せずに、積層構造の形成部分３と非形成部分４とが同一厚み方向に積まれる積層圧電アクチュエータ等の積層圧電体部品にも同様な効果が認められる。
本発明の積層圧電体部品の製造方法は、鉛酸化物を主成分の一つとする圧電磁器組成物のグリーンシートと、Ａｇを主成分とする内部電極とを、交互に積層して得られる積層圧電体部品において、圧電磁器組成物および高融点酸化物を添加した内部電極を使用することにより、積層構造の形成部分と非形成部分との焼成収縮差を８％以下として変形やクラックを抑制することができ、高い信頼性を有する積層圧電体部品の製造方法として有用である。
１ グリーンシート
２ａ 第１の入力用内部電極層
２ｂ 第２の入力用内部電極層
２ｃ 出力用内部電極層
３ 積層構造の形成部分
４ 積層構造の非形成部分
５ａ 第１の入力用外部電極
５ｂ 第２の入力用外部電極
５ｃ 出力用外部電極
６ 素子の変形量
２ａ 第１の入力用内部電極層
２ｂ 第２の入力用内部電極層
２ｃ 出力用内部電極層
３ 積層構造の形成部分
４ 積層構造の非形成部分
５ａ 第１の入力用外部電極
５ｂ 第２の入力用外部電極
５ｃ 出力用外部電極
６ 素子の変形量
Claims (4)
- 鉛酸化物を主成分の一つとする圧電磁器組成物のグリーンシートと、Ａｇを主成分とする内部電極ペーストとを、交互に積層、印刷して得られる積層圧電体部品において、前記内部電極ペーストに、圧電磁器組成物および高融点酸化物を添加することによって、熱機械分析装置により測定した所定の温度における積層構造の形成部分と非形成部分の焼成収縮差を８％以下とすることを特徴とする積層圧電体部品の製造方法。
- 高融点酸化物として、ＺｒＯ2，Ｎｂ2Ｏ5のうち少なくとも１種類を添加した内部電極ペーストを用いることを特徴とする請求項１に記載の積層圧電体部品の製造方法。
- 内部電極ペースト中に含有される導電性金属１００に対し、圧電磁器組成物を３０〜７０の割合の重量を添加し、かつＺｒＯ2，Ｎｂ2Ｏ5のうち少なくとも１種類を添加したことを特徴とする請求項２に記載の積層圧電体部品の製造方法。
- ＺｒＯ2，Ｎｂ2Ｏ5の添加量は、導電性金属１００に対して、５〜２０の割合の重量であることを特徴とする請求項３に記載の積層圧電体部品の製造方法。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2003408610A JP2005174974A (ja) | 2003-12-08 | 2003-12-08 | 積層圧電体部品の製造方法 |
| US10/998,034 US20050120528A1 (en) | 2003-12-08 | 2004-11-29 | Method of manufacturing piezoelectric ceramic device |
| CNA2004100969897A CN1627545A (zh) | 2003-12-08 | 2004-12-07 | 压电陶瓷器件的制造方法 |
| TW93137756A TW200525792A (en) | 2003-12-08 | 2004-12-07 | Method of manufacturing piezoelectric ceramic device |
| KR1020040102105A KR20050055596A (ko) | 2003-12-08 | 2004-12-07 | 압전 자기 디바이스의 제조방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2003408610A JP2005174974A (ja) | 2003-12-08 | 2003-12-08 | 積層圧電体部品の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2005174974A true JP2005174974A (ja) | 2005-06-30 |
Family
ID=34631786
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2003408610A Pending JP2005174974A (ja) | 2003-12-08 | 2003-12-08 | 積層圧電体部品の製造方法 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20050120528A1 (ja) |
| JP (1) | JP2005174974A (ja) |
| KR (1) | KR20050055596A (ja) |
| CN (1) | CN1627545A (ja) |
| TW (1) | TW200525792A (ja) |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007258370A (ja) * | 2006-03-22 | 2007-10-04 | Tdk Corp | 積層型圧電素子の製造方法 |
| JP2009522793A (ja) * | 2006-01-02 | 2009-06-11 | セラムテック アクチエンゲゼルシャフト | 一体型曲げ部材 |
| WO2009082006A1 (ja) | 2007-12-26 | 2009-07-02 | Kyocera Corporation | 積層型圧電素子、これを用いた噴射装置及び燃料噴射システム |
| WO2010013670A1 (ja) | 2008-07-29 | 2010-02-04 | 京セラ株式会社 | 積層型圧電素子およびこれを用いた噴射装置ならびに燃料噴射システム |
| WO2010024199A1 (ja) | 2008-08-26 | 2010-03-04 | 京セラ株式会社 | 積層型圧電素子およびこれを用いた噴射装置ならびに燃料噴射システム |
| WO2012114874A1 (ja) * | 2011-02-24 | 2012-08-30 | 株式会社村田製作所 | 電子部品の実装構造 |
| US8339017B2 (en) | 2005-08-29 | 2012-12-25 | Kyocera Corporation | Multi-layer piezoelectric element and injection apparatus using the same |
| US8378554B2 (en) | 2005-10-28 | 2013-02-19 | Kyocera Corporation | Multi-layer piezoelectric element and injection apparatus using the same |
| US8714141B2 (en) | 2009-03-04 | 2014-05-06 | Kyocera Corporation | Multi-layer piezoelectric element, and injection device and fuel injection system comprising the same |
| US9455079B2 (en) | 2012-09-21 | 2016-09-27 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. | Multilayered power inductor and method for preparing the same |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100365889C (zh) * | 2006-05-18 | 2008-01-30 | 中微光电子(潍坊)有限公司 | 一种防止垂直腔面发射半导体激光器在湿法氧化时开裂的方法 |
| JP4888853B2 (ja) | 2009-11-12 | 2012-02-29 | 学校法人慶應義塾 | 液晶表示装置の視認性改善方法、及びそれを用いた液晶表示装置 |
| CN101767994B (zh) * | 2010-01-18 | 2012-05-09 | 哈尔滨理工大学 | 一种改性锆钛酸铅压电陶瓷粉体的制备方法 |
| EP2587304B1 (en) | 2010-06-22 | 2019-12-18 | Toyobo Co., Ltd. | Liquid crystal display device, polarizer and protective film |
| DE102011001359A1 (de) | 2011-03-17 | 2012-09-20 | Gottfried Wilhelm Leibniz Universität Hannover | Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung einer Piezoaktorenkomponente |
| JPWO2014185322A1 (ja) * | 2013-05-14 | 2017-02-23 | 東洋紡株式会社 | 液晶表示装置、偏光板及び偏光子保護フィルム |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04324610A (ja) * | 1991-04-24 | 1992-11-13 | Taiyo Yuden Co Ltd | 希土類入り銀導電ペーストおよびこれを用いた電子部品 |
| JPH0878267A (ja) * | 1994-09-08 | 1996-03-22 | Murata Mfg Co Ltd | 内部電極ペーストおよびそれを用いた積層セラミックコンデンサ |
| JPH11232927A (ja) * | 1998-02-13 | 1999-08-27 | Murata Mfg Co Ltd | 導電ペースト |
| JPH11302072A (ja) * | 1998-02-17 | 1999-11-02 | Murata Mfg Co Ltd | 誘電体セラミック、積層セラミックコンデンサおよび積層セラミックコンデンサの製造方法 |
| JP2002270916A (ja) * | 2001-03-13 | 2002-09-20 | Taiheiyo Cement Corp | 圧電トランス |
| JP2003174206A (ja) * | 2001-12-04 | 2003-06-20 | Denso Corp | 積層型圧電体素子 |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4426356A (en) * | 1982-09-30 | 1984-01-17 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Method for making capacitors with noble metal electrodes |
| JPH0461293A (ja) * | 1990-06-29 | 1992-02-27 | Toshiba Corp | 回路基板及びその製造方法 |
| TW340957B (en) * | 1996-02-01 | 1998-09-21 | Canon Hanbai Kk | Plasma processor and gas release device |
| US6798959B2 (en) * | 2001-09-03 | 2004-09-28 | Ngk Insulators, Ltd. | Display device and method for producing the same |
| US6749706B2 (en) * | 2001-12-26 | 2004-06-15 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Method of manufacturing monolithic piezoelectric ceramic device |
| JP3982267B2 (ja) * | 2002-01-16 | 2007-09-26 | 株式会社村田製作所 | 積層型圧電セラミック素子の製造方法 |
| US7067965B2 (en) * | 2002-09-18 | 2006-06-27 | Tdk Corporation | Piezoelectric porcelain composition, piezoelectric device, and methods of making thereof |
| JP4438321B2 (ja) * | 2003-06-02 | 2010-03-24 | 株式会社デンソー | 積層型圧電体素子の製造方法 |
-
2003
- 2003-12-08 JP JP2003408610A patent/JP2005174974A/ja active Pending
-
2004
- 2004-11-29 US US10/998,034 patent/US20050120528A1/en not_active Abandoned
- 2004-12-07 TW TW93137756A patent/TW200525792A/zh unknown
- 2004-12-07 CN CNA2004100969897A patent/CN1627545A/zh active Pending
- 2004-12-07 KR KR1020040102105A patent/KR20050055596A/ko not_active Application Discontinuation
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04324610A (ja) * | 1991-04-24 | 1992-11-13 | Taiyo Yuden Co Ltd | 希土類入り銀導電ペーストおよびこれを用いた電子部品 |
| JPH0878267A (ja) * | 1994-09-08 | 1996-03-22 | Murata Mfg Co Ltd | 内部電極ペーストおよびそれを用いた積層セラミックコンデンサ |
| JPH11232927A (ja) * | 1998-02-13 | 1999-08-27 | Murata Mfg Co Ltd | 導電ペースト |
| JPH11302072A (ja) * | 1998-02-17 | 1999-11-02 | Murata Mfg Co Ltd | 誘電体セラミック、積層セラミックコンデンサおよび積層セラミックコンデンサの製造方法 |
| JP2002270916A (ja) * | 2001-03-13 | 2002-09-20 | Taiheiyo Cement Corp | 圧電トランス |
| JP2003174206A (ja) * | 2001-12-04 | 2003-06-20 | Denso Corp | 積層型圧電体素子 |
Cited By (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8339017B2 (en) | 2005-08-29 | 2012-12-25 | Kyocera Corporation | Multi-layer piezoelectric element and injection apparatus using the same |
| EP2587563A2 (en) | 2005-10-28 | 2013-05-01 | Kyocera Corporation | Multi-layer piezoelectric element and injection apparatus using the same |
| US8378554B2 (en) | 2005-10-28 | 2013-02-19 | Kyocera Corporation | Multi-layer piezoelectric element and injection apparatus using the same |
| JP2009522793A (ja) * | 2006-01-02 | 2009-06-11 | セラムテック アクチエンゲゼルシャフト | 一体型曲げ部材 |
| JP2007258370A (ja) * | 2006-03-22 | 2007-10-04 | Tdk Corp | 積層型圧電素子の製造方法 |
| US8276567B2 (en) | 2007-12-26 | 2012-10-02 | Kyocera Corporation | Multi-layer piezoelectric element, and injection apparatus and fuel injection system that employ the same |
| WO2009082006A1 (ja) | 2007-12-26 | 2009-07-02 | Kyocera Corporation | 積層型圧電素子、これを用いた噴射装置及び燃料噴射システム |
| WO2010013670A1 (ja) | 2008-07-29 | 2010-02-04 | 京セラ株式会社 | 積層型圧電素子およびこれを用いた噴射装置ならびに燃料噴射システム |
| US8578911B2 (en) | 2008-07-29 | 2013-11-12 | Kyocera Corporation | Multi-layer piezoelectric element, and injection device and fuel injection system using the same |
| WO2010024199A1 (ja) | 2008-08-26 | 2010-03-04 | 京セラ株式会社 | 積層型圧電素子およびこれを用いた噴射装置ならびに燃料噴射システム |
| US8714141B2 (en) | 2009-03-04 | 2014-05-06 | Kyocera Corporation | Multi-layer piezoelectric element, and injection device and fuel injection system comprising the same |
| WO2012114874A1 (ja) * | 2011-02-24 | 2012-08-30 | 株式会社村田製作所 | 電子部品の実装構造 |
| JP5668837B2 (ja) * | 2011-02-24 | 2015-02-12 | 株式会社村田製作所 | 電子部品の実装構造 |
| US9153762B2 (en) | 2011-02-24 | 2015-10-06 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Electronic component package structure |
| US9455079B2 (en) | 2012-09-21 | 2016-09-27 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. | Multilayered power inductor and method for preparing the same |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US20050120528A1 (en) | 2005-06-09 |
| TW200525792A (en) | 2005-08-01 |
| CN1627545A (zh) | 2005-06-15 |
| KR20050055596A (ko) | 2005-06-13 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP7227690B2 (ja) | 積層セラミックコンデンサおよびその製造方法 | |
| JP2005174974A (ja) | 積層圧電体部品の製造方法 | |
| JPWO2006100807A1 (ja) | 圧電素子、及び圧電素子の製造方法 | |
| JP3958668B2 (ja) | 圧電磁器組成物、圧電素子および圧電素子の製造方法 | |
| JP6624473B2 (ja) | 積層セラミックコンデンサ | |
| JP2018032788A (ja) | 積層セラミックコンデンサおよびその製造方法 | |
| JPWO2017094882A1 (ja) | 誘電体磁器組成物、積層セラミックコンデンサ、及び積層セラミックコンデンサの製造方法 | |
| JP5192737B2 (ja) | 非鉛系圧電セラミックス用焼結助剤、非鉛系圧電セラミックスおよび非鉛系圧電セラミックスの製造方法 | |
| JP5527404B2 (ja) | 積層セラミック電子部品 | |
| JP4066432B2 (ja) | 積層型圧電セラミックス素子の製造方法 | |
| JP5641139B2 (ja) | 積層セラミック電子部品、および積層セラミック電子部品の製造方法 | |
| JP4992192B2 (ja) | 圧電磁器の製造方法及び圧電素子 | |
| JP5527405B2 (ja) | 積層セラミック電子部品 | |
| JP2003209304A (ja) | 積層型圧電セラミック素子の製造方法 | |
| KR20210045925A (ko) | 세라믹 전자 부품 및 그 제조 방법 | |
| JP5527403B2 (ja) | 積層セラミック電子部品 | |
| JP5527400B2 (ja) | 積層セラミック電子部品 | |
| JP5527401B2 (ja) | 積層セラミック電子部品 | |
| JP4882778B2 (ja) | 積層セラミック電子部品の製造方法 | |
| JP5303823B2 (ja) | 圧電素子 | |
| JP2006036578A (ja) | 圧電材料の製造方法およびこれを用いた圧電材料 | |
| JP2019067827A (ja) | 積層電子部品 | |
| JP5000088B2 (ja) | 誘電体磁器組成物の製造方法と磁器コンデンサの製造方法 | |
| JP2006096626A (ja) | 圧電磁器の製造方法、圧電素子の製造方法、圧電素子 | |
| JP5429393B2 (ja) | 積層セラミック電子部品、および積層セラミック電子部品の製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20061003 |
|
| RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20061114 |
|
| RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20091120 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100723 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100803 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20101130 |