JP2005164741A5 - - Google Patents
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- マトリクス状に配列するとともにそれぞれが表示素子及び多結晶シリコン薄膜トランジスタを備えた複数の画素を具備し、
マトリクス状に配列した前記複数の画素が形成する各列において、それに含まれる複数の前記画素は、前記複数の画素が形成する行に平行な方向についての前記表示素子の位置が互いに等しくなるように配列するとともに、それら画素のうち、前記多結晶シリコン薄膜トランジスタが前記列と平行な第１直線上で配列したものからなる第１画素群と、前記多結晶シリコン薄膜トランジスタが前記列と平行であり且つ前記第１直線から離間した第２直線上で配列したものからなる第２画素群とを構成し、前記第１及び第２画素群のそれぞれにおける前記多結晶シリコン薄膜トランジスタの移動度のばらつきは、各列における前記多結晶シリコン薄膜トランジスタの移動度のばらつきと比較してより小さいことを特徴とするアクティブマトリクス型表示装置。 - 前記複数の画素のそれぞれにおいて、前記表示素子はそれに流れる電流の大きさに応じて光学特性が変化する素子であり、前記多結晶シリコン薄膜トランジスタは第１電源端子と第２電源端子との間で前記表示素子と直列に接続された駆動トランジスタであることを特徴とする請求項１に記載のアクティブマトリクス型表示装置。
- 前記複数の画素のそれぞれは、映像信号線と前記駆動トランジスタのゲートとの間に接続されるとともにそれらの間の導通／非導通を走査信号線から供給される走査信号に基づいて制御する画素スイッチと、前記駆動トランジスタのゲートと前記第１電源端子との間に接続されたキャパシタとをさらに備えたことを特徴とする請求項２に記載のアクティブマトリクス型表示装置。
- 各列において、前記第１画素群を構成した前記画素と前記第２画素群を構成した前記画素とは前記列に平行な方向に交互に配列したことを特徴とする請求項１乃至請求項３の何れか１項に記載のアクティブマトリクス型表示装置。
- マトリクス状に配列するとともにそれぞれが表示素子及び多結晶シリコン薄膜トランジスタを備えた複数の画素を具備し、マトリクス状に配列した前記複数の画素が形成する各列において、それに含まれる複数の前記画素は、前記複数の画素が形成する行に平行な方向についての前記表示素子の位置が互いに等しくなるように配列するとともに、それら画素のうち、前記多結晶シリコン薄膜トランジスタが前記列と平行な第１直線上で配列したものからなる第１画素群と、前記多結晶シリコン薄膜トランジスタが前記列と平行であり且つ前記第１直線から離間した第２直線上で配列したものからなる第２画素群とを構成したアクティブマトリクス型表示装置の製造方法であって、
非晶質シリコン層にレーザ光を線状ビームとして照射するとともに前記線状ビームの照射位置を段階的にずらすことにより前記多結晶シリコン薄膜トランジスタの多結晶シリコン層を形成する工程を含み、
前記線状ビームが照射される領域の長手方向と前記列とを互いに平行とすることにより、前記第１及び第２画素群のそれぞれにおける前記多結晶シリコン薄膜トランジスタの移動度のばらつきを、各列における前記多結晶シリコン薄膜トランジスタの移動度のばらつきと比較してより小さくすることを特徴とするアクティブマトリクス型表示装置の製造方法。
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