JP2005149755A - 電子部品の端子とバスバーとの接合方法および装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ＬＥＤ本体から導出する複数の端子とバスバー間のそれぞれの重ね合わせ部を同時に接合できる接合方法および装置の提供。
【解決手段】ＬＥＤ本体１５から導出する複数の接続端子１６をバスバー１２表面所定位置にそれぞれ重ね合わせ、振動伝達部材（ホーン）３０を介して、重ね合わせ部を加圧しつつ超音波振動を与えて拡散接合するＬＥＤ１４の端子１６とバスバー１２との接合方法で、ホーン３０の先端部に、ＬＥＤ本体１５を収容できる凹部３１を設け、該凹部３１にＬＥＤ本体１５を収容するようにして、複数の重ね合わせ部を同時に加圧しつつ超音波振動を与えて拡散接合する。バスバー１２へのＬＥＤ搭載作業が効率化し、ＬＥＤ１４の熱損傷の惧れもなく、ＬＥＤ１４ユニット１０の生産効率が上がる。
【選択図】 図６

Description

本発明は、電子部品の端子とバスバーとの接合方法に係り、特に端子とバスバーとの重ね合わせ部に振動伝達部材（ホーン）を介して超音波を作用させてその重ね合わせ部を拡散接合させる接合方法および装置に関する。

この種の従来技術としては種々の提案があり、下記特許文献１には、図１１に示すように、プリント基板１の導体回路２の表面に端子３を密着させ、ホーン（振動伝達部材）４で加圧しつつ超音波振動を与えることで、導体回路２と端子３を拡散接合させる方法が開示されている。

また、下記特許文献２には、図１２に示すように、Ａｌ電極６ａを表面に設けたＳｉチップ６を加熱ブロック５の上に載置し、モリブデン円板７をそのＡｕめっき面７ａがＡｌ電極６ａに密着するようにＳｉチップ６上に重ね合わせ、ホーン（振動伝達部材）８で超音波振動（回転往復振動）を与えた後、加熱および加圧することで、モリブデン円板７のＡｕめっき面７ａとＳｉチップ６のＡｌ電極６ａを拡散接合させる方法が開示されている。
特開平６-３６８５２号 特開平１１-３０７５９６号

しかし、前記した第１，第２の従来技術（特許文献１，２）では、接合しようとする部位毎にそれぞれホーン（振動伝達部材）で加圧しつつ超音波振動を与える必要があり、端子の接合作業効率が非常に悪い。

また、第２の従来技術（特許文献２）では、超音波振動（回転往復振動）を与えた後に１５０〜４００℃に加熱するため、この方法を電子部品の端子とバスバーとの接合に適用した場合には、電子部品が熱により損傷する惧れがあるし、加熱手段を必要とする分、装置構造が複雑となる。

本発明は、前記従来技術の問題点に鑑みてなされたもので、その目的は、電子部部品本体から導出する複数の端子とバスバー間のそれぞれの重ね合わせ部を同時に接合できる接合方法および装置を提供することにある。

前記目的を達成するために、請求項１に係る電子部品の端子とバスバーとの接合方法においては、電子部品本体から導出する複数の接続端子をバスバー表面所定位置にそれぞれ重ね合わせ、振動伝達部材であるホーンを介して、前記重ね合わせ部を加圧しつつ超音波振動を与えて拡散接合する電子部品の端子とバスバーとの接合方法であって、前記ホーンの先端部に、前記電子部品本体を収容できる凹部を設け、該凹部に前記電子部品本体を収容するようにして、前記複数の重ね合わせ部を同時に加圧しつつ超音波振動を与えて拡散接合するように構成した。

また、請求項４に係る電子部品の端子とバスバーとの接合装置においては、バスバー載置用のバスバー支持台と、前記バスバー支持台上のバスバー表面所定位置に配された電子部品をその先端部に設けた凹部内に収容することで電子部品本体から導出する複数の接続端子のバスバーとのそれぞれの重ね合わせ部に該凹部周りのその先端部端面が当接する振動伝達部材であるホーンと、前記ホーンを介して前記複数の接続端子とバスバーとの重ね合わせ部を加圧する加圧手段と、前記ホーンに超音波振動を作用させる超音波発生手段とを備え、前記ホーンにより、前記複数の重ね合わせ部を同時に加圧しつつ超音波振動を与えて、該重ね合わせ部を拡散接合するように構成した。

また、請求項７に係る電子部品モジュールにおいては、バスバー表面に電子部品を搭載した電子部品モジュールであって、前記電子部品本体から導出する複数の接続端子とバスバーとのそれぞれの重ね合わせ部を、先端部に前記電子部品本体を収容できる凹部を設けた振動伝達部材であるホーンにより、同時に加圧されつつ超音波振動が与えられることで拡散接合するように構成した。

（作用）バスバーにおける電子部品搭載予定位置に配した電子部品をその先端部の凹部内に収容する形態で振動伝達部材(ホーン)をバスバー側に押し付けると、電子部品本体から導出しバスバー表面に密着する複数の接続端子にホーン先端部端面が当たるので、ホーン（の先端部端面）を介して、複数の接続端子それぞれのバスバーとの重ね合わせ部を同時に加圧しつつ超音波振動を与えることで、複数の重ね合わせ部を同時に拡散接合することができる。なお、先端部に電子部品本体を収容できる凹部を設けた振動伝達部材(ホーン)としては、例えば、カップ型または門型ホーンが考えられる。また、ホーン先端部の凹部内に電子部品本体を収容してホーンの先端部端面が複数の接続端子のバスバーとの重ね合わせ部に当たる形態にする方法としては、例えば、ホーン先端部の凹部内に予め電子部品本体を収容保持させておき、この電子部品を収容保持したホーンをバスバーにおける電子部品搭載予定位置に上方から下降させる方法と、バスバーの所定位置に予め配した電子部品の上方からホーンを下降させて、ホーン先端部の凹部内に電子部品本体を収容した形態とする方法が考えられる。

また、請求項２，５，８では、請求項１，４，７において、前記超音波振動を超音波ねじれ振動（回転往復振動）で構成した。

（作用）ホーンを介して重ね合わせ部に与える超音波振動としては、直線往復振動であってもよいが、直線往復振動では、接続端子が振動方向にずれて、電子部品が搭載予定位置からずれる惧れがあるのに対し、ねじれ振動（回転往復振動）では、接続端子が振動方向にずれたとしても、電子部品本体の中心位置は搭載予定位置に一致して、電子部品は設計どおりの位置に保持される。特に、電子部品が発光ダイオード等の発光体で構成されている場合に、搭載作業によって発光体の中心位置がずれないので、車両用灯具の光源ユニットを構成する上で、有効である。

請求項３，６，９では、請求項２，５，８において、前記ホーンの先端部を円筒型に形成するように構成した。

（作用）ホーンに超音波ねじれ振動（回転往復振動）が作用すると、円環状のホーン先端部端面が円周方向に振動するが、ホーン先端部端と接触端子との接触面積が変化しないので、接続端子とバスバーとの重ね合わせ部に作用する加圧力および振動エネルギーが一定に保持されて、各重ね合わせ部における接合強度が均一となる。

請求項１、４，７によれば、電子部品から導出する複数の接続端子のバスバーとのそれぞれの重ね合わせ部を同時に拡散接合できるので、バスバーへの電子部品搭載作業の効率化が図られて、バスバーに電子部品を搭載した電子部品モジュールの生産効率が上がる。

また、接合する重ね合わせ部を加熱しないので、熱により電子部品が損傷する惧れもなく、それだけバスバーに電子部品を搭載した電子部品モジュールの不良品発生率も低下する。

また、請求項４によれば、加熱手段が不要な分、装置構造が簡潔となる。

請求項２，５，８によれば、バスバーにおける電子部品搭載予定位置に正確に電子部品を搭載できるので、バスバーに電子部品を搭載した電子部品モジュールの不良品発生率がさらに低下する。

請求項３，６，９によれば、複数の接続端子のバスバーとの重ね合わせ部それぞれが均一の接合強度をもつように拡散接合されて、バスバーに電子部品を搭載した電子部品モジュールの耐久性が保証される。

次に、本発明の実施の形態を実施例に基づいて説明する。

図１〜図７は本発明の一実施例を示し、図１は本発明の実施例である自動車用灯具（標識灯）用の電子部品モジュール（ＬＥＤユニット）の正面図、図２はＬＥＤとバスバーの拡大斜視図、図３はＬＥＤユニットを収容した灯具（標識灯）の水平断面図、図４は本発明の実施例である端子接合装置の全体概要図、図５（ａ）は振動伝達部材であるホーンの側面図、図５（ｂ）はホーン先端部の斜視図、図６はＬＥＤの接続端子とバスバーとの重ね合わせ部を加圧するホーン先端部周辺の拡大斜視図、図７はホーンと接続端子との接触面積を示す図である。

図１〜３において、符号１０（図３参照）は、導電性金属板で構成されたバスバー１２の所定位置に電子部品である赤色発光ＬＥＤ１４を搭載した電子モジュールであるＬＥＤユニットで、カシメやねじ止め等の適宜固定手段によって合成樹脂製の補強プレート１１の表面に一体化されており、例えば標識灯であるテールアンアドストップランプ１００のレンズカバー１０２に臨む灯室Ｓ内に配設され、ＬＥＤユニット１０の前面側には、開口部１０５から各ＬＥＤ１４が突出するようにリフレクター１０４が配設されるようになっている。

ＬＥＤ１４は、矩形状の合成樹脂成形体であるＬＥＤ本体１５の裏側から一対の舌片状の金属製接続端子１６，１６がＬ字状に導出する構造で、接続端子１６，１６の屈曲された先端側がバスバー１２に拡散接合されることで、ＬＥＤユニット１０として一体化されている。

一方、バスバー１２は、所定形状に形成された導電性金属板に多数のスリット１３が設けられて、複数のプレート状の給電路１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄ，１２ｅで構成されているが、当初においては、隣接する給電路同士がスリット１３を横切る所定幅の連結部（図１において斜線で示す。）１３ａでそれぞれ繋がった構造となっている。そして、隣接する給電路に跨るようにＬＥＤ１４を搭載し、補強プレート１１に一体化した後に、連結部１３ａを切り落とすことで、分割された給電路１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄ，１２ｅにより複数のＬＥＤ１４が直列に接続された給電回路を構成することになる。

また、図４〜７には、ＬＥＤ１４の接続端子１６をバスバー１２に接合する端子接合装置が図示されている。この端子接合装置は、金属板で構成されたアンビル２２を備えたバスバー支持台２０と、バスバー支持台２０上方において上下方向昇降可能に配設された振動伝達部材であるホーン３０と、ホーン３０に連結一体化された振動子３５に超音波振動を発生させる発振機３４と、フレーム２４に支持されてホーン３０を昇降動作させるとともに、ホーン３０を介してＬＥＤ１４の接続端子１６のバスバー１２との重ね合わせ部に加圧力を作用させるエアシリンダ２６とを備えて構成されている。

バスバー支持台２０は、水平方向に移動できるＸＹテーブルで構成されて、載置したバスバー１２における所定位置（ＬＥＤ搭載予定位置）が順次ホーン３０の真下に来るように制御される。

ホーン３０は、図５，６に示すように、振動子３５連結側となる断面矩形状基端部３０ａに先端側の丸棒部３０ｂが同軸状に形成されている。丸棒部３０ｂの先端部中央には、ＬＥＤ本体１５を遊嵌状態に収容できる円柱型凹部３１が設けられて、凹部３１の外周には、ＬＥＤ本体１５から導出する一対の接続端子１６，１６に当接する円環状の端面３２が設けられている。ホーン３０の内部には、凹部３１の頂面と基端部３０ａ外側面に開口する吸気通路３３が穿設されるとともに、基端部３０ａ側の開口３３ａには吸引ポンプ等の負圧発生器３６から延びるホース３７が接続されている。このため、負圧発生器３６を作動させて凹部３１内に負圧を発生させることで、端子１６，１６が先端部端面３２に引っ掛かりＬＥＤ本体１５が凹部３１内に収容された形態にＬＥＤ１４を吸着保持することができる。

振動子３５およびホーン３０は、下向きに配設されたエアシリンダ２６のシリンダロッド２６ａに連結一体化されて、エアシリンダ２６の作動によって昇降動作できるとともに、ホーン３０の先端面３２を介して接続端子１６とバスバー１２との重ね合わせ部を所定の加圧力で加圧できるようになっている。

また、発信機３４の作動により振動子３５およびホーン３０がその軸心周りにねじれ振動（往復回転振動）し、この超音波ねじれ振動（往復回転振動）がホーン先端面３２を介して、接続端子１６のバスバー１２との重ね合わせ部に伝達される。

接続端子１６、１６とバスバー１２とのそれぞれの重ね合わせ部には、ホーン先端面３２を介して所定の加圧力が作用しており、この両重ね合わせ部に超音波ねじれ振動（往復回転振動）が作用すると、接続端子１６とバスバー１２との接合界面が摩擦され、酸化皮膜や付着した不純物が機械的にクリーニングされるとともに、急激な塑性流動が生じて拡散接合（固相接合ともいう。）される。特に、重ね合わせ部を挟持するアンビル２２の表面およびホーン３０の先端面３２は、それぞれローレット加工された凹凸面で構成されているので、重ね合わせ部に超音波ねじれ振動（往復回転振動）が作用する際に、アンビル２２とバスバー１２間および接続端子１６とホーン先端面３２間でそれぞれ滑りが発生せず、接続端子１６とバスバー１２との接合界面が効率よく摩擦されることとなって、機械的クリーニングおよび拡散接合が極短時間で終了し、ＬＥＤ本体１５に熱的衝撃を与えることなく、ＬＥＤ１４がバスバー１２に接合固定される。このようにして、バスバー１２のＬＥＤ搭載予定位置にＬＥＤ１４を順次搭載することができる。

また、本実施例では、接続端子１６とバスバー１２との重ね合わせ部に作用する超音波振動はねじれ振動（回転往復振動）であり、接続端子１６，１６が振動方向である円周方向にずれるおそれがあるが、ＬＥＤ１４がその周方向に多少ずれたとしてもＬＥＤ１４の発光中心位置はＬＥＤ搭載予定位置に対してずれないので、配光上は何ら問題がない。

また、伝達される超音波ねじれ振動（回転往復振動）によりホーン先端部端面３２が円周方向に振動するが、ホーン先端部端面３２は真円環状であるため、図７に示すように、端面３２と接触端子１６との接触面積は全く変化せず、接続端子１６、１６とバスバー１２とのそれぞれの重ね合わせ部に作用する加圧力および振動エネルギーが常に一定に保持されて、両重ね合わせ部における接合強度が均一となって、それだけ接合部が剥がれにくい耐久性に優れていたＬＥＤユニット１０を製造できる。

次に、本実施例の端子接合装置を用いて、ＬＥＤ１４の接続端子１６をバスバー１２に接合する方法を説明する。

まず、ホーン３０をバスバー支持台２０の上方所定位置とし、負圧発生器３６を作動させてホーン３０の先端凹部３１にＬＥＤ１４を吸着保持させる。一方、ＸＹテーブルで構成した支持台２０上にバスバー１２を載置固定し、バスバー１２のＬＥＤ搭載予定位置がホーン３０の軸芯の真下となるように、支持台（ＸＹテーブル）２０をセットする。なお、ホーン３０の先端凹部３１へのＬＥＤ１４の吸着保持と、バスバー１２の支持台２０上への載置固定とは、いずれを先に行ってもよい。次に、予め所定のシリンダ設定圧となるように設定されているエアシリンダ２６を作動させることでホーン３０が下降し、接続端子１６、１６のバスバー１２とのそれぞれの重ね合わせ部にホーン３０を介して所定の加圧力が作用する。同時に、発振機３４が動作して振動子３５が振動し、ホーン３０を介して接続端子１６、１６のバスバー１２とのそれぞれの重ね合わせ部に超音波ねじれ振動（往復回転振動）が作用する。これにより、接続端子１６、１６のバスバー１２とのそれぞれの重ね合わせ部が拡散接合される。

第１の接合予定位置での接合が終了すると、支持台（ＸＹテーブル）２０が駆動して、バスバー１２の第２の接合予定位置がホーン３０の真下となる。この間にホーン３０の凹部３１には新たなＬＥＤ１４を保持させておき、ホーン３０が下降し、端子１６とバスバー１２との重ね合わせ部を加圧しつつ超音波ねじり振動が作用することで、重ね合わせ部が拡散接合される。

このようにして、すべての接合予定位置へのＬＥＤ１４の搭載が完了すると、ＬＥＤユニット１０を支持台２０から取り外し、補強プレート１１に一体化した後、連結部１３ａを切断除去することで、補強プレート１１に一体化されたＬＥＤユニット１０が完成する。

なお、前記実施例では、所定のホーン３０の先端凹部３１が円柱型に形成されていたが、本実施例では図８に示すように、凹部３１は矩形状ＬＥＤ本体１５の外形に略整合する矩形状に形成されて、凹部３１Ａ内に発生するＬＥＤ１４の吸着保持力を高めた構造としてもよい。

図９は本発明の第２の実施例である端子接合装置の要部であるホーン先端部を示し、（ａ）はホーン先端部の側面図、（ｂ）はホーン先端部の斜視図、（ｃ）はホーン先端部の断面図である。

前記した第１の実施例では、ホーン３０の先端部が円筒型に形成されていたが、この実施例では、ホーン３０Ａの先端部が二股状に形成されている。即ち、丸棒部３０ｂの先端に丸棒部を横切る矩形状凹部３１Ａが形成されている。そして、矩形状凹部３１Ａには、一対の弾性把持部３５ａ，３５ａを有する略コ字型板ばね部材３５が収容固定されており、端子１６，１６がホーン端面３２Ａに引っ掛かりＬＥＤ本体１５がこの板ばね部材３５で把持されて凹部３１Ａ内に収容された形態にＬＥＤ１４が弾性保持されるようになっている。

図１０は本発明の第３の実施例である端子接合装置の要部であるホーン先端部を示している。

前記した第１，第２の実施例では、ホーン３０Ｂの先端側が丸棒部３０ｂで構成されているが、この第３の実施例では、ホーン３０Ｂの先端側全体３０ｃが矩形状の門型に構成されて、ホーン先端部にＬＥＤ本体１５を収容できる凹部３１Ｂが設けられている。符号３２Ｂは、ローレット加工の施されたホーン先端面で、接続端子１６とバスバー１２との重ね合わせ部に加圧力を作用させつつ超音波振動を作用させるように機能する。

その他は、前記した実施例と同一であり、同一の符号を付すことで、その説明は省略する。

また、前記した第１〜第３の実施例では、ホーン３０（３０Ａ、３０Ｂ）の先端凹部３１（３１Ａ，３１ｂ）にＬＥＤ本体１５を収容してホーン３０（３０Ａ，３０Ｂ）先端部に予めＬＥＤ１４を保持させておき、ＬＥＤ１４を保持するホーン３０（３０Ａ，３０Ｂ）を下降させることで、バスバー１２の所定位置（ＬＥＤ搭載予定位置）にＬＥＤ１４の接続端子１６，１６を密着させ、かつホーン３０（３０Ａ，３０Ｂ）先端部端面３２（３２Ａ，３２Ｂ）が接続端子１６，１６のバスバー１２との重ね合わせ部を加圧できるように構成されているが、ＬＥＤ搭載予定位置におけるＬＥＤ周方向の位置決めには限界がある。

そこで、例えば、エアシリンダ２６により昇降動作できるホーン３０の近傍であって、バスバー支持台２０のＸＹテーブルの駆動の邪魔にならない所定位置に設置した６軸ロボットのアームによって、矩形状のＬＥＤ本体１５を把持させて、ＬＥＤ本体１５の直交外側面をＸＹテーブルのＸＹ方向と一致するようにホーン３０の真下に移載させるように構成することで、バスバー１２におけるＬＥＤ搭載予定位置にＬＥＤ１４をその周方向の向きも含めて正確に位置決めされた状態に載置でき、後は真上にある円筒型ホーン３０を下降させれば、ＬＥＤ本体１５は凹部３１内に収容され、ホーン先端部端面が接続端子１６，１６のバスバー１２との重ね合わせ部を加圧する形態となる。即ち、ＬＥＤ搭載予定位置に正確にＬＥＤ１４を搭載したＬＥＤユニット１０を製造できる。

また、前記した実施例では、昇降動作するホーン３０の真下にバスバー１２のＬＥＤ搭載予定位置がくるようにバスバー支持台（ＸＹテーブル）２０を駆動する構成となっているが、ホーン３０を６軸ロボットのアームに取付、６軸ロボットによってホーン３０の移動および加圧を行うように構成してもよい。

また、前記した実施例では、ＬＥＤ１４の接続端子１６のバスバー１２への接合方法および接合装置について説明したが、ＬＥＤ以外の電子部品の端子とバスバーとの接合方法および接合装置にも適用できる。

本発明の実施例である自動車用灯具（標識灯）用の電子部品モジュール（ＬＥＤユニット）の平面図である。 ＬＥＤとバスバーの拡大斜視図である。 ＬＥＤユニットを収容した灯具（標識灯）の水平断面図である。 本発明の実施例である端子接合装置の全体概要図である。 （ａ）振動伝達部材であるホーンの側面図である。 （ｂ）ホーン先端部の斜視図である。 ＬＥＤの接続端子とバスバーとの重ね合わせ部を加圧するホーン先端部周辺の拡大斜視図である。 ホーンと接続端子との接触面積を示す図である。 ホーン先端部の凹部の変形例を示す斜視図である。 （ａ）本発明の第２の実施例である端子接合装置の要部であるホーン先端部の側面図である。 （ｂ）同ホーン先端部の斜視図である。 （ｃ）同ホーン先端部の縦断面図である。 本発明の第３の実施例である端子接合装置の要部であるホーン先端部の斜視図である。 従来技術（特許文献１）の概要図である。 従来技術（特許文献２）の概要図である。

符号の説明

１０ 電子部品モジュールであるＬＥＤユニット
１１ 補強部材
１２ バスバー
１２ａ〜１２ｅ バスバーを構成するプレート状の給電路
１４ 電子部品であるＬＥＤ
１５ ＬＥＤ本体
１６ 接続端子
２０ バスバー支持台
２２ アンビル
２６ 加圧手段であるエアシリンダ
３０ 振動伝達部材であるカップ型ホーン
３０Ａ，３０Ｂ 振動伝達部材である門型ホーン
３１，３１Ａ，３１Ｂ ＬＥＤ収容用の凹部
３２，３２Ａ，３２Ｂ ホーン先端部端面
３３ ＬＥＤ吸着保持手段である吸気通路
３４ 超音波発生機である発信機
３６ ＬＥＤ吸着保持手段である負圧発生器

Claims (9)

1. 電子部品本体から導出する複数の接続端子をバスバー表面所定位置にそれぞれ重ね合わせ、振動伝達部材であるホーンを介して、前記重ね合わせ部を加圧しつつ超音波振動を与えて拡散接合する電子部品の端子とバスバーとの接合方法であって、前記ホーンの先端部には、前記電子部品本体を収容できる凹部が設けられており、該凹部に前記電子部品本体を収容するようにして、前記複数の重ね合わせ部を同時に加圧しつつ超音波振動を与えて拡散接合することを特徴とする電子部品の端子とバスバーとの接合方法。
2. 前記超音波振動は、超音波ねじれ振動（回転往復振動）であることを特徴とする請求項１に記載の電子部品の端子とバスバーとの接合方法。
3. 前記ホーンの先端部が円筒型に形成されたことを特徴とする請求項２に記載の電子部品の端子とバスバーとの接合方法。
4. バスバー載置用のバスバー支持台と、前記バスバー支持台上のバスバー表面所定位置に配された電子部品をその先端部に設けた凹部内に収容することで電子部品本体から導出する複数の接続端子のバスバーとのそれぞれの重ね合わせ部に該凹部周りのその先端部端面が当接する振動伝達部材であるホーンと、前記ホーンを介して前記複数の接続端子とバスバーとの重ね合わせ部を加圧する加圧手段と、前記ホーンに超音波振動を作用させる超音波発生手段とを備え、前記ホーンにより、前記複数の重ね合わせ部を同時に加圧しつつ超音波振動を与えて、該重ね合わせ部を拡散接合するように構成されたことを特徴とする電子部品の端子とバスバーとの接合装置。
5. 前記超音波振動が超音波ねじれ振動（回転往復振動）であることを特徴とする請求項４に記載の電子部品の端子とバスバーとの接合方法。
6. 前記ホーンの先端部は、円筒型に形成されたことを特徴とする請求項５に記載の電子部品の端子とバスバーとの接合方法。
7. バスバー表面に電子部品を搭載した電子部品モジュールであって、前記電子部品本体から導出する複数の接続端子とバスバーとのそれぞれの重ね合わせ部が、先端部に前記電子部品本体を収容できる凹部を設けた振動伝達部材であるホーンにより、同時に加圧されつつ超音波振動が与えられることで拡散接合されたことを特徴とする電子部品モジュール。
8. 前記超音波振動は、超音波ねじれ振動（回転往復振動）であることを特徴とする請求項７に記載の電子部品モジュール。
9. 前記ホーンの先端部が円筒型に形成されたことを特徴とする請求項８に記載の電子部品モジュール。

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