JP2005141066A - 光デバイスおよびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 光ファイバ14を支持する第1の支持基板16を有する光ファイバユニット11、光学素子15を支持する第2の支持基板17を有する光学ユニット12を支持する第3の支持基板18に対して、光ファイバユニット11および光学ユニット12を位置決めするための位置決め機構20を備える。位置決め機構20は、第3の支持基板18の基準面18aに対向する光ファイバユニット11の対向面16a、基準面18aに対向する光学ユニット12の対向面17aおよび基準面18aに設けられた位置決め用凹部26,27,28と、これら位置決め用凹部26,27,28に係合される位置決め用ボール29とを有する。第1の支持基板16の対向面16a側には、光ファイバ14が支持され、第2の支持基板17の対向面17a側には、光学素子15が支持される。
【選択図】 図2
Description
第1の支持基板の対向面側に光ファイバまたは第1の光学素子が支持された第1のユニット、および第2の支持基板の対向面側に第2の光学素子が支持された第2のユニットを、第3の支持板に組み立てる第2の工程を有する。
図1および図2に示すように、第1の実施形態に係る光デバイス1は、光ファイバ14およびこの光ファイバ14を支持する第1の支持基板16を有する光ファイバユニット11と、この光ファイバユニット11に対してビーム光の授受を行う光学素子15およびこの光学素子15を支持する第2の支持基板17を有する光学ユニット12と、これら光ファイバユニット11および光学ユニット12を支持する第3の支持基板18とを備えている。
各寸法a,bは、
a=R1cosθ、b=R1sinθ
となる。
c=(W1−b)tanθ=(W1sinθ−R1sin2θ)/cosθ
となる。
H1=a−c
=R1cos2θ−(W1sinθ×R1sin2θ)/cosθ
=(R1−W1sinθ)/cosθ
によって算出される。
c=(W2−K)tanθ
によって算出される。
D=Esinθ
によって算出される。
HOPT1=2HBAL1−HFIB1
によって算出される。
HOPT1=HBAL1+HBAL2−HFIB2
HBAL2=HBAL1−Esinθ,HFIB2=HFIB1−Esinθ
となる。
HOPT1=HBAL1+(HBAL1−Esinθ)−(HFIB1−Esinθ)
=2HBAL1−HFIB1
となる。
上述した光デバイス1は、各位置決め用ボール29を介して、第3の支持基板18の基準面18aに対して、光ファイバユニット11の対向面16aおよび光学ユニット12の対向面17aがそれぞれ平行に位置決めされるように構成されたが、光ファイバユニットおよび光学ユニットの少なくとも一方が、第3の支持基板の基準面に対して傾斜された状態に位置決めされるように構成された第2の実施形態の光デバイスについて説明する。なお、第2の実施形態の光デバイスは、上述した光デバイス1と基本構成が同様であるため、同一部材には同一符号を付して説明を省略する。
上述した光デバイス1は、第3の支持基板18上に、光ファイバユニット11および光学ユニット12が、各位置決め用ボール29を介して支持されることで、X軸、Y軸、Z軸方向に対して位置決めされるように構成されたが、必要に応じてX軸方向およびZ軸方向に対して光ファイバユニットおよび光学ユニットが調動可能に構成された第3の実施形態の光デバイスについて説明する。なお、第3の実施形態の光デバイスは、上述した光デバイス1と基本構成が同様であるため、同一部材には同一符号を付して説明を省略する。
上述した光デバイス1は、光ファイバユニット11および光学ユニット12のみを備える構成にされたが、更に他の光学ユニットを備える第4の実施形態の光デバイスについて図面を参照して説明する。なお、第4の実施形態の光デバイスは、上述した光デバイス1と基本構成が同一であるため、同一部材、同一箇所には同一符号を付して説明を省略する。
上述した光デバイス1は、四角錐状のファイバ支持溝21、四角錐台状の素子支持溝22および位置決め用凹部26,27,28を備える構成にされたが、他の形状の位置決め用凹部が設けられた第4の実施形態の光デバイスについて説明する。なお、第4の実施形態の光デバイスは、上述した光デバイス1と基本構成が同一であるため、同一部材には同一符号を付して説明を省略する。
H2=√(R2 2−M2)
によって算出される。
本発明に係る光デバイスが適用された光スイッチについて、図面を参照して説明する。光スイッチにおいて、上述した光デバイス1と同一部材には同一符号を付して説明を省略する。
11 光ファイバユニット
12 光学ユニット
14 光ファイバ
15 光学素子
16 第1の支持基板
16a 対向面
17 第2の支持基板
17a 対向面
18 第3の支持基板
18a 基準面
20 位置決め機構
21 ファイバ支持溝
22 素子支持溝
26,27,28 位置決め用凹部
29 位置決め用ボール
Claims (12)
- 光ファイバまたは第1の光学素子を支持する第1の支持基板を有する第1のユニットと、
第2の光学素子を支持する第2の支持基板を有する第2のユニットと、
前記第1のユニットおよび前記第2のユニットを支持する第3の支持基板と、
前記第3の支持基板に対して、前記第1のユニットおよび前記第2のユニットを位置決めするための位置決め手段とを備え、
前記位置決め手段は、前記第3の支持基板の主面に対向する前記第1のユニットの対向面または前記主面の該対向面に対向する領域、および、前記第3の支持基板の前記主面に対向する前記第2のユニットの対向面または前記主面の該対向面に対向する領域にそれぞれ設けられた位置決め用凹部と、該位置決め用凹部に係合される位置決め部材とを有し、
前記第1の支持基板の前記対向面側には、前記光ファイバまたは前記第1の光学素子が支持され、
前記第2の支持基板の前記対向面側には、前記第2の光学素子が支持されていることを特徴とする光デバイス。 - 前記位置決め部材は、ボール状またはロッド状に形成されている請求項1に記載の光デバイス。
- 前記位置決め手段は、大きさが互いに異なる複数の前記位置決め部材、または大きさが互いに異なる複数の前記位置決め用凹部を有する請求項1または2に記載の光デバイス。
- 前記位置決め部材は、前記第1、第2の支持基板の前記対向面、第3の支持基板の前記主面の少なくとも1つに一体に突出形成されている請求項1に記載の光デバイス。
- 前記位置決め用凹部は、前記位置決め部材が、前記光ファイバまたは前記第1の光学素子の光軸に平行または直交し、且つ前記対向面に平行な方向に調動可能に設けられている請求項1ないし4のいずれか1項に記載の光デバイス。
- 前記第1、第2、第3の支持基板の少なくとも1つは、シリコンからなる請求項1ないし5のいずれか1項に記載の光デバイス。
- 前記位置決め用凹部は、エッチング処理によって形成されている請求項1ないし6のいずれか1項に記載の光デバイス。
- 前記位置決め用凹部は、前記第1、第2の支持基板の前記対向面、第3の支持基板の前記主面の少なくとも1つに、内周面が直交されて設けられている請求項1ないし7のいずれか1項に記載の光デバイス。
- 前記第1のユニットは、複数の前記光ファイバを有する請求項1ないし8のいずれか1項に記載の光デバイス。
- 前記第1のユニットは、4本の前記光ファイバを有し、
前記第2のユニットの前記第2の光学素子は、前記各光ファイバの光路を切り換える光スイッチ素子である請求項1ないし9のいずれか1項に記載の光デバイス。 - 前記第3の支持基板には、他の光学素子を支持する他の支持基板を有する更に他のユニットが、前記位置決め手段を介して支持されている請求項1ないし10のいずれか1項に記載の光デバイス。
- 光ファイバまたは第1の光学素子を支持する第1の支持基板を有する第1のユニット、および第2の光学素子を支持する第2の支持基板を有する第2のユニットを組み立てる第1の工程と、
前記第1のユニットおよび前記第2のユニットを支持する第3の支持基板の主面に対向する前記第1のユニットの対向面または前記主面の該対向面に対向する領域、および、前記第3の支持基板の前記主面に対向する前記第2のユニットの対向面または前記主面の該対向面に対向する領域にそれぞれ設けられた位置決め用凹部と、該位置決め用凹部に係合される位置決め部材とを有し、前記第3の支持基板に対して前記第1のユニットおよび前記第2のユニットを位置決めするための位置決め手段を介して、
前記第1の支持基板の前記対向面側に前記光ファイバまたは第1の光学素子が支持された前記第1のユニット、および前記第2の支持基板の前記対向面側に前記第2の光学素子が支持された前記第2のユニットを、前記第3の支持板に組み立てる第2の工程とを有することを特徴とする光デバイスの製造方法。
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