JP4364594B2 - 光デバイスおよびその製造方法 - Google Patents
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Description
図1に本発明に係る第1の実施形態の光デバイスの斜視図、図2に前記光デバイスの要部の斜視図、図3に前記光デバイスの要部の平面図、図4に前記光デバイスの要部の断面図を示す。
θx=tan-1(ΔG/L) ・・・式1
によって求められる。
上述した第1の実施形態の光デバイス1は、調整機構8によって、光ファイバ11の光軸に対して光学ユニット6を、X軸回りの傾斜角θxのみを調整することが可能であるため、軸数である自由度が「1」であったが、他の軸方向の位置や他の傾斜角を調整可能に構成して、必要に応じて任意の方向の自由度が増やされてもよい。他の自由度が確保された調整機構を備える第2の実施形態の光デバイスについて説明する。なお、第2の実施形態の光デバイスにおいて、上述した光デバイス1と同一部材には同一符号を付して説明を省略する。
上述した光学デバイス2と異なる他の自由度が確保された他の調整機構を備える第3の実施形態の光デバイスについて説明する。なお、第3の実施形態の光デバイスにおいて、上述した光デバイス1,2と同一部材には同一符号を付して説明を省略する。
他の調整機構を備える第4の実施形態の光デバイスについて説明する。なお、この第4の実施形態の光デバイスは、基本構成が上述した各光デバイス1,2,3と同一であるため、調整機構以外の説明を省略する。
他の調整機構を備える第5の実施形態の光デバイスについて説明する。なお、この第5の実施形態の光デバイスは、基本構成が上述した各光デバイス1,2,3と同一であるため、調整機構以外の説明を省略する。
5 光ファイバユニット
6 光学ユニット
7 筐体
8 調整機構
11 光ファイバ
12 光学素子
13 ケース
14 リッド
16 第1の支持基板
17 第2の支持基板
18 第3の支持基板
21a,21b 調整用ボール
22 調整用ロッド
23a,23b 支持溝
24a,24b 支持溝
26 ガイド溝
Claims (21)
- 第1の光ファイバあるいは第1の光学素子を有する第1のユニットと、
第2の光ファイバあるいは第2の光学素子を有する第2のユニットと、
前記第1のユニットおよび前記第2のユニットを支持する支持基板と、
前記第1のユニットあるいは前記第2のユニットを前記支持基板に対して回動自在に支持する調整用手段と、前記第1のユニットあるいは前記第2のユニットと前記支持基板との間に移動自在に設けられた調整用スペーサとを有し、前記支持基板上に前記第1のユニットあるいは前記第2のユニットを、前記調整用手段および前記調整用スペーサを介して少なくとも3点で支持し、前記調整用スペーサの端部を前記第1のユニットおよび前記第2のユニットのいずれか一方に当接させて前記調整用スペーサを移動させながら、前記調整用手段を中心に前記第1のユニットあるいは前記第2のユニットを回動させることで、前記第1の光ファイバあるいは前記第1の光学素子の光軸の傾斜角に対して、前記第2の光ファイバあるいは前記第2の光学素子の光軸の傾斜角を調整するための調整機構と
を備える光デバイス。 - 前記調整機構は、前記第1の光ファイバまたは第1の光学素子の光軸もしくは前記第2の光ファイバまたは第2の光学素子の光軸に直交し、且つ前記支持基板の主面に平行な軸回りの傾斜角を調整する請求項1に記載の光デバイス。
- 前記第1のユニットあるいは前記第2のユニットは、2つの前記調整用手段および1つ以上の前記調整用スペーサによって前記支持基板上に移動可能に支持されている請求項1または2に記載の光デバイス。
- 前記第1のユニットあるいは前記第2のユニットは、1つ以上の前記調整用手段および2つの前記調整用スペーサによって前記支持基板上に移動可能に支持されている請求項1または2に記載の光デバイス。
- 前記調整用手段は、前記第1のユニットあるいは前記第2のユニットと前記支持基板との間に回動自在に設けられた調整用ボールと、前記調整用ボールを支持する支持穴とを有する請求項1ないし4のいずれか1項に記載の光デバイス。
- 前記調整用手段は、前記第1のユニットあるいは前記第2のユニット、または前記支持基板に設けられた調整用突部と、前記調整用突部を支持する支持穴とを有する請求項1ないし4のいずれか1項に記載の光デバイス。
- 前記調整用スペーサは、円柱状または円筒状に形成されている請求項1ないし6のいずれか1項に記載の光デバイス。
- 前記支持穴は、円形または三角形に形成されている請求項5ないし7のいずれか1項に記載の光デバイス。
- 前記調整用突部は、略半球状に形成されている請求項6ないし8のいずれか1項に記載の光デバイス。
- 前記支持穴は、前記調整用ボールまたは前記調整用突部が、前記第1の光ファイバまたは第1の光学素子の光軸もしくは前記第2の光ファイバまたは第2の光学素子の光軸に平行または直交し、且つ前記支持基板の主面に平行な方向に調動可能に設けられている請求項5ないし7のいずれか1項に記載の光デバイス。
- 前記調整用スペーサを移動するための移動手段を備える請求項1ないし10のいずれか1項に記載の光デバイス。
- 前記第1のユニット、前記第2のユニット、および前記支持基板の少なくともいずれかには、前記調整用スペーサを移動自在に案内するガイド手段が設けられている請求項1ないし11のいずれか1項に記載の光デバイス。
- 前記ガイド手段は、前記調整用スペーサの移動方向に直交する幅が、前記移動方向に沿って変化するガイド溝を有する請求項12に記載の光デバイス。
- 前記ガイド溝は、前記幅が、前記第1のユニットあるいは前記第2のユニット側に向かって次第に小さくされている請求項13に記載の光デバイス。
- 前記調整用スペーサは、前記ガイド手段によって、前記第1の光ファイバまたは第1の光学素子の光軸もしくは前記第2の光ファイバまたは第2の光学素子の光軸に平行または直交にされ、且つ前記支持基板の主面に平行な方向に移動可能に設けられている請求項11ないし14のいずれか1項に記載の光デバイス。
- 前記第1の光学素子あるいは前記第2の光学素子は、前記第1のユニットあるいは前記第2のユニットに対向する素子面が、前記第1のユニットあるいは前記第2のユニットが回動される軸線上に位置されている請求項1ないし15のいずれか1項に記載の光デバイス。
- 前記第1のユニット、前記第2のユニットおよび前記支持基板の少なくともいずれかがシリコンからなる請求項1ないし16のいずれか1項に記載の光デバイス。
- 前記ガイド溝および前記支持穴の少なくとも一方は、エッチング処理によって形成されている請求項5ないし17のいずれか1項に記載の光デバイス。
- 第1の光ファイバあるいは第1の光学素子が固定された第1のユニットと、第2の光ファイバあるいは第2の光学素子が固定された第2のユニットとをそれぞれ組み立てる工程と、
支持基板上に前記第1のユニットおよび前記第2のユニットのいずれか一方を位置決めして固定する工程と、
前記第1のユニットおよび前記第2のユニットの他方を前記支持基板に対して回動自在に支持する調整用手段と、前記第1のユニットおよび前記第2のユニットの他方と前記支持基板との間に移動自在に設けられた調整用スペーサとを有し、前記支持基板上に前記第1のユニットあるいは前記第2のユニットを、前記調整用手段および前記調整用スペーサを介して少なくとも3点で支持する調整機構を用いて、前記調整用スペーサの端部を前記第1のユニットおよび前記第2のユニットのいずれか一方に当接させて前記調整用スペーサを移動させながら、前記調整用手段を中心に前記第1のユニットあるいは前記第2のユニットを回動させることによって、前記第1の光ファイバあるいは前記第1の光学素子の光軸の傾斜角に対して、前記第2の光ファイバあるいは前記第2の光学素子の光軸の傾斜角を調整し、前記支持基板上に前記第1のユニットあるいは前記第2のユニットを固定する工程とを有する光デバイスの製造方法。 - 前記調整機構によって、前記第1の光ファイバまたは第1の光学素子の光軸もしくは前記第2の光ファイバまたは第2の光学素子の光軸に直交し、且つ前記支持基板の主面に平行な軸回りの傾斜角を調整する請求項19に記載の光デバイスの製造方法。
- 前記第1の光ファイバあるいは前記第1の光学素子からの出力に基づいて、前記第1の光ファイバあるいは前記第1の光学素子の光軸の傾斜角に対して、前記第2の光ファイバあるいは前記第2の光学素子の光軸の傾斜角を調整する請求項19または20に記載の光デバイスの製造方法。
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