JP2004302411A - 光デバイスおよびその製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 光ファイバの光軸に対して光学素子を容易且つ確実に調整し、光学特性の劣化を防止し、動作信頼性の向上を図る。
【解決手段】 光ファイバ１１とこの光ファイバ１１を支持する第１の支持基板１６とを有する光ファイバユニット５と、光学素子１２とこの光学素子１２を支持する第２の支持基板１７とを有する光学ユニット６と、光ファイバユニット５および光学ユニット６を支持する第３の支持基板１８とを備える。そして、第２の支持基板１７と第３の支持基板１８との間に回動自在に設けられた調整用ボール２１ａ，２１ｂと、第２の支持基板１７と第３の支持基板１８との間に移動自在に設けられた調整用ロッド２２とを有し、第３の支持基板１８上に第２の支持基板１７を、調整用ボール２１ａ，２１ｂおよび調整用ロッド２２を介して３点で支持し、光ファイバ１１の光軸に対する光学素子１２の光軸の傾斜角θｘを調整するための調整機構８を備える。
【選択図】 図２

Description

本発明は、例えば光受発光モジュールや光スイッチ、光アッテネータ等の光デバイスに関し、特に、光ファイバを有する光ファイバユニットと、光学素子を有する光学ユニットとを備える光デバイスに関する。

従来、光ファイバを用いた光通信では、例えば光信号を発信あるいは受信するための光受発光モジュールや、情報伝送路である光路を切り替えるための光スイッチ、信号光を減衰させて光量を調整するための光アッテネータ等の光デバイスが用いられている。

一般に、光受光モジュールや光発光モジュール等の光デバイスとしては、例えば図１５に示すように、光ファイバ１１１を有する光ファイバユニット１０５と、この光ファイバユニット１０５に対してビーム光の授受を行う光学素子１１２を有する光学ユニット１０６と、これら光ファイバユニット１０５および光学ユニット１０６を支持する支持基板１１８と、これらを収容するための筐体（不図示）とを備えているものがある（例えば、特許文献１参照。）。

光ファイバユニット１０５は、光ファイバ１１１と、この光ファイバ１１１を支持する支持ブロック１１５と、この支持ブロック１１５を支持する第１の支持基板１１６とを有している。光学ユニット１０６は、光学素子１１２と、この光学素子１１２を支持する第２の支持基板１１７とを有している。そして、光ファイバユニット１０５および光学ユニット１０６は、第３の支持基板１１８上に固定されて、筐体内に収容されている。

以上のように構成された従来の光デバイスの製造方法では、第３の支持基板１１８上に光学ユニット１０６を固定された後に、第３の支持基板１１８上に第１の支持基板１１６を位置決めして固定し、この第１の支持基板１１６上で支持ブロック１１５の傾斜角を調整することによって、光ファイバ１１１の光軸と、光学素子１１２との相対的な位置を高精度に位置決めして、接着材等によって固定されている。

すなわち、光学素子１１２に対して光ファイバ１１１の光軸を位置決めする場合には、光ファイバ１１１の光軸のＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸方向の各位置と、これら各軸回りの傾斜角θｘ、θｙ、θｚをそれぞれ調整する必要がある。

また、一般的な光スイッチや光アッテネータ等の光デバイスにおいては、ここでは図示しないが、光ファイバの先端に出射光を平行にするためのレンズ等を備えた第１のコリメータユニットと、この第１のコリメータユニットに対向するように配置された第２のコリメータユニットと、これら第１および第２のコリメータユニットを支持する支持基板と、これらを収容する筐体とを備えているものがある（例えば、特許文献２参照。）。

このように構成された従来の光デバイスにおいても同様に、第１のコリメータユニットの光軸に対して第２のコリメータユニットの光軸を位置決めする場合には、第２のコリメータユニットの光軸のＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸方向の各位置と、これら各軸回りの傾斜角θｘ、θｙ、θｚをそれぞれ調整する必要がある。
特開平７−２１８７７５号公報（第３頁、図１） 特開平９−１５４４７号公報（第３頁、図２）

上述したように、従来の光デバイスの製造方法では、第３の支持基板上に光ファイバユニットを位置決めする際に、支持ブロックを調整するための調整用ステージのがたつき、振動等や、支持ブロックを保持するホルダ等の変形による影響を受けるため、光ファイバの光軸に位置ずれが生じる問題があった。また、従来の光デバイスの製造方法では、第１の支持基板上に支持ブロックを位置決めした調整後に、第１の支持基板と支持ブロックとを接着や溶接等で固定するときに、接着材や溶接材の膨張や収縮によって位置ずれが生じる問題があった。このため、このように光ファイバの光軸に位置ずれが生じた光デバイスは、光損失の増加により光学特性が劣化してしまうという問題があった。

また、上述した製造方法で製造された従来の光デバイスは、温度変化による接着材の膨張および収縮によって、固定後に、光ファイバの光軸に位置ずれが生じ、光学特性が劣化しやすいという不都合があった。

そこで、本発明は、光ファイバの光軸に対して光学素子を容易且つ確実に調整するとともに、光学特性の劣化を防止し、動作信頼性を向上することができる光デバイスおよびその製造方法を提供することを目的とする。

上述した目的を達成するため、本発明に係る光デバイスは、第１の光ファイバあるいは第１の光学素子を有する第１のユニットと、第２の光ファイバあるいは第２の光学素子を有する第２のユニットと、第１のユニットおよび第２のユニットを支持する支持基板とを備える。そして、本発明の光デバイスは、第１のユニットあるいは第２のユニットを支持基板に対して回動自在に支持する調整用手段と、第１のユニットあるいは第２のユニットと支持基板との間に移動自在に設けられた調整用スペーサとを有し、支持基板上に第１のユニットあるいは第２のユニットを、調整用手段および調整用スペーサを介して少なくとも３点で支持し、第１の光ファイバあるいは第１の光学素子の光軸の傾斜角に対して、第２の光ファイバあるいは第２の光学素子の光軸の傾斜角を調整するための調整機構を備える。

以上のように構成した本発明に係る光デバイスによれば、調整用スペーサを移動することで、調整用手段を回動中心として、支持基板に対して第１のユニットあるいは第２のユニットが回動されて、第１の光ファイバあるいは第１の光学素子の光軸の傾斜角に対して、第２の光ファイバあるいは第２の光学素子の光軸の傾斜角が容易且つ確実に調整される。また、本発明の光デバイスでは、傾斜角の調整後、支持基板に第１のユニットあるいは第２のユニットを接着、溶接やろう付け等により固定する場合においても、第１のユニットあるいは第２のユニットが、調整用手段および調整用スペーサによって支持されているため、接着材やろう材等の熱収縮によって第１の光ファイバあるいは第１の光学素子の光軸に対して第２の光ファイバあるいは第２の光学素子の光軸が位置ずれすることが抑えられる。また、本発明の光デバイスは、使用する環境において温度変化が生じて接着材、溶接材やろう材等が熱収縮した場合であっても、第１のユニットあるいは第２のユニットが、調整用手段および調整用スペーサによって支持されているため、第１の光ファイバあるいは第１の光学素子の光軸の傾斜角に対して、第２の光ファイバあるいは第２の光学素子の光軸が位置ずれすることが抑えられる。

また、本発明に係る光デバイスが備える第１のユニットあるいは第２のユニットは、１つ以上の調整用手段および２つの調整用スペーサによって移動可能に支持される。これによって、２軸方向の各軸回りに対して傾斜角をそれぞれ調整することが可能になる。

また、本発明に係る光デバイスの調整機構が備える支持穴は、調整用ボールまたは調整用突部が、第１の光ファイバまたは第１の光学素子の光軸もしくは第２の光ファイバまたは第２の光学素子の光軸に平行または直交し、且つ支持基板の主面に平行な方向に調整可能に設けられる。これによって、第１のユニットの第１の光ファイバあるいは第１の光学素子の光軸の傾斜角に対して、第２のユニットの第２の光ファイバあるいは第２の光学素子の光軸の傾斜角を調整するとともに、第１のユニットおよび第２のユニットの一方に対して他方を、第１の光ファイバまたは第１の光学素子の光軸もしくは第２の光ファイバまたは第２の光学素子の光軸に平行または直交し、且つ支持基板の主面に平行な方向に調整することが可能になる。

また、本発明に係る光デバイスの調整機構が備える支持穴は、円形または三角形に形成されることが好ましい。これによって、調整用ボールあるいは調整用突部を支持穴で位置決めする位置決め精度が向上されるため、支持基板に対して、第１のユニットあるいは第２のユニットが高精度に位置決めされる。また、調整用ボールあるいは調整用突部が、円形の支持穴で支持されることで、支持穴から作用される圧力が支持穴の円周に亘って分散されるため、支持基板に対する第１のユニットあるいは第２のユニットの回動動作が安定する。

また、本発明に係る光デバイスは、調整用スペーサを移動するための移動手段を備える。これによって、光デバイスの使用時等に、必要に応じて光学素子の傾斜角を調整することが可能になる。

また、本発明に係る光デバイスの製造方法は、第１の光ファイバあるいは第１の光学素子が固定された第１のユニットと、第２の光ファイバあるいは第２の光学素子が固定された第２のユニットとをそれぞれ組み立てる工程と、支持基板上に第１のユニットおよび第２のユニットのいずれか一方を位置決めして固定する工程とを有する。そして、本発明の光デバイスの製造方法は、第１のユニットおよび第２のユニットの他方を支持基板に対して回動自在に支持する調整用手段と、第１のユニットおよび第２のユニットの他方と支持基板との間に移動自在に設けられた調整用スペーサとを有し、支持基板上に第１のユニットあるいは第２のユニットを、調整用手段および調整用スペーサを介して少なくとも３点で支持する調整機構を用いて、調整用スペーサを移動することによって、第１の光ファイバあるいは第１の光学素子の光軸の傾斜角に対して、第２の光ファイバの光軸あるいは第２の光学素子の光軸の傾斜角を調整し、支持基板上に第１のユニットあるいは第２のユニットを固定する工程を有する。

以上のように構成した本発明に係る光デバイスの製造方法によれば、例えば調整用ステージやホルダ等を使用することなく、第１の光ファイバあるいは第１の光学素子の光軸の傾斜角に対して、第２の光ファイバあるいは第２の光学素子の光軸の傾斜角を容易且つ確実に調整することが可能になる。

なお、本発明において、調整用手段が有する支持穴とは、凹状の溝および貫通穴を含めて指している。また、本発明において、光学素子の素子面とは、光学素子の光学機能箇所であって、具体的には、例えば受光素子の受光面、発光素子の発光面（レーザ光源の出射面）、ミラーの反射面、フィルタの入射面等を指している。

上述したように本発明に係る光デバイスによれば、第１のユニットあるいは第２のユニットを支持基板に対して回動自在に支持する調整用手段と、第１のユニットあるいは第２のユニットと支持基板との間に移動自在に設けられた調整用スペーサとを有し、支持基板上に第１のユニットあるいは第２のユニットを、調整用手段および調整用スペーサを介して少なくとも３点で支持し、第１の光ファイバあるいは第１の光学素子の光軸の傾斜角に対して、第２の光ファイバあるいは第２の光学素子の光軸の傾斜角を調整するための調整機構とを備えることによって、第１の光ファイバあるいは第１の光学素子の光軸の傾斜角に対して、第２の光ファイバあるいは第２の光学素子の光軸の傾斜角を容易且つ確実に調整することを可能にし、温度変化によって第１のユニットあるいは第２のユニットに位置ズレが生じることを抑えることができる。

また、本発明に係る光デバイスの製造方法によれば、第１の光ファイバあるいは第１の光学素子の光軸の傾斜角に対して、第２の光ファイバあるいは第２の光学素子の光軸の傾斜角を容易且つ確実に調整することが可能になるため、光デバイスの生産性を向上することができる。

以下、本発明の具体的な実施形態について、図面を参照して説明する。

（第１の実施形態）
図１に本発明に係る第１の実施形態の光デバイスの斜視図、図２に前記光デバイスの要部の斜視図、図３に前記光デバイスの要部の平面図、図４に前記光デバイスの要部の断面図を示す。

図１〜図４に示すように、第１の実施形態に係る光デバイス１は、光ファイバ１１を有する光ファイバユニット５と、この光ファイバユニット５に対してビーム光の授受を行う光学素子１２を有する光学ユニット６と、これら光ファイバユニット５および光学ユニット６を収容するための筐体７とを備えている。

また、光デバイス１は、光ファイバ１１の光軸に対して光学素子１２の傾斜角を調整するための調整機構８を備えている。

光ファイバユニット５は、光ファイバ１１と、この光ファイバ１１を支持する第１の支持基板１６とを有している。光ファイバ１１は、図示しないが、シングルモード型光ファイバ（以下、ＳＭＦと称する。）が用いられており、光学ユニット６側に臨む端部に、ビーム光を平行光に変換するためのレンズが配置されている。また、光ファイバ１１は、樹脂等によって被覆されており、光学ユニット６側に臨む端部の被覆が除去されている。第１の支持基板１６は、例えばシリコンによって形成されている。

光学ユニット６は、光ファイバ１１の一端に対応する位置に設けられる光学素子１２と、この光学素子１２を支持する第２の支持基板１７とを有している。

光学素子１２としては、例えば、受光素子、発光素子、減衰フィルタ、波長フィルタ、ミラー、レンズ、導波路等が挙げられる。第２の支持基板１７は、例えばシリコンによって形成されている。

また、光学素子１２には、図示しないが、第２の支持基板１７上の所定の位置に位置決めするための位置決め手段が設けられており、第２の支持基板１７側に設けられたガイド部によって所定の位置に位置決めされる。なお、位置決め手段としては、例えば、基準線等のマーカーや、溝等が挙げられる。また、光学ユニットは、例えば、半導体プロセスにより、第２の支持基板上に、薄膜を積層してなる光学素子が一体に形成されることが好ましく、第２の支持基板に対する光学素子の位置精度、加工精度を高精度に確保することができる。

筐体７は、図１に示すように、例えば金属材料によって形成されており、光ファイバユニット５および光学ユニット６を収容する略有底箱状のケース１３と、このケース１３の開口を気密に閉塞するリッド１４とを有している。

ケース１３内には、底面に、光ファイバユニット５の第１の支持基板１６および光学ユニット６の第２の支持基板１７をそれぞれ支持する第３の支持基板１８が、例えば接着、溶接やろう付け等により接合されている。第３の支持基板１８は、例えばシリコンによって形成されており、主面上に、例えば、光ファイバユニット５の第１の支持基板１６が接着、溶接やろう付け等によって接合され、光学ユニット６の第２の支持基板１７が例えば接着材、溶接材やろう材等によって接合されている。

また、ケース１３の外周部には、ファイバ導出部１３ａが設けられており、このファイバ導出部１３ａを介して光ファイバユニット５の光ファイバ１１が外方に引き出されている。

調整機構８は、第２の支持基板１７を回動自在に支持する調整用ボール２１ａ，２１ｂと、これら調整用ボール２１ａ，２１ｂを回動中心として第２の支持基板１７を回動操作するための調整用スペーサである調整用ロッド２２とを有している。

調整用ボール２１ａ，２１ｂは、例えば、金属材や樹脂材、ガラス材、セラミック等によって球形状に形成されている。これら調整用ボール２１ａ，２１ｂは、第２の支持基板１７と第３の支持基板１８との間に回転自在に設けられている。

第２の支持基板１７には、調整用ボール２１ａ，２１ｂの上側周面を回転自在に支持する四角錐状の支持溝２３ａ，２３ｂがそれぞれ設けられている。第３の支持基板１８の主面上には、調整用ボール２１ａ，２１ｂの下側周面を回転自在に支持する四角錐状の支持溝２４ａ，２４ｂがそれぞれ設けられている。そして、第２の支持基板１７は、各支持溝２３ａ，２３ｂ，２４ａ，２４ｂに各調整用ボール２１ａ，２１ｂが係合されることによって、第３の支持基板１８に対してＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸方向の各位置および傾斜角θｙ、θｚが高精度にそれぞれ位置決めされる。

調整用ロッド２２は、例えば、金属材や樹脂材、ガラス材、セラミックによって円柱状に形成されている。なお、調整用ロッド２２は、必要に応じて、例えば円筒状や三角柱状、平板状等の任意の形状に形成されてもよい。また、調整用ロッドとしては、光通信を行わないダミーの光ファイバが代用されてもよく、棒状部材の先端に球形部材が固定された構成でもよい。

調整用ロッド２２は、第２の支持基板１７と第３の支持基板１８との間に、光ファイバ１１の光軸方向と平行に移動自在に設けられている。第３の支持基板１８の主面には、ガイド手段として、調整用ロッド２２を移動可能に支持する断面Ｖ字状のガイド溝２６が光ファイバ１１の光軸と平行に設けられている。このガイド溝２６は、各調整用ボール２１ａ，２１ｂの中心を結ぶ直線の中点を通る直線上に位置して設けられており、一端が第３の支持基板１８の外周に開口されている。なお、調整用ロッド２２を移動可能に支持するガイド溝２６は、第２の支持基板１７側の底面に設けられてもよい。

また、ガイド溝の形状は、調整用ロッド２２の移動方向を案内可能であれば、断面Ｕ字状やスリット状等の他の形状に形成されてもよい。本実施形態では、調整用ロッド２２の移動方向を案内するガイド溝２６が、第３の支持基板１８に凹部として形成されたが、例えば、第３の支持基板の主面上に、調整用ロッドに摺接する一組のガイド突起が、調整用ロッド２２の移動方向に沿って設けられるように構成されてもよい。

以上のように構成された光デバイス１の製造方法について説明する。

まず、光デバイス１の製造に先立って、光ファイバユニット５および光学ユニット６がそれぞれ組み立てられる。光ファイバ１１は、所望の長さに切断されたＳＭＦの一端に、レンズを接着や熱融着等によって接合することにより形成される。光ファイバ１１は、第１の支持基板１６上に設けられたガイド溝（不図示）に位置決めされて接合固定される。光学ユニット６は、第２の支持基板１７上の所定の位置に光学素子１２が位置決めされて接着材、溶接材やろう材等によって接合固定される。

次に、光ファイバユニット５は、第３の支持基板１８上の所定の位置に、位置決めされて接着材、溶接材やろう材等によって接合される。

続いて、光学ユニット６は、第３の支持基板１８上に、調整用ボール２１ａ，２１ｂおよび調整用ロッド２２を介して所定の位置に位置決めされて載置される。

また、調整用ボール２１ａ，２１ｂおよび調整用ロッド２２をそれぞれ支持する各支持溝２３ａ，２３ｂ，２４ａ，２４ｂおよびガイド溝２６は、半導体プロセスにおける異方性エッチングや等方性エッチング等の各種エッチング処理、あるいは高精度なモールディング等によって、第２および第３の支持基板１７，１８上に高精度にそれぞれ形成される。

すなわち、光学ユニット６は、各第２および第３の支持基板１７，１８に各支持溝２３ａ，２３ｂ，２４ａ，２４ｂおよびガイド溝２６が高精度にそれぞれ形成されているため、調整用ボール２１ａ，２１ｂおよび調整用ロッド２２を介して第３の支持基板１８上に載置された状態で、光ファイバ１１の光軸に対する光学素子１２のＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸方向の各位置、Ｙ軸回りの傾斜角θｙ、Ｚ軸回りの傾斜角θｚがそれぞれ高精度に位置決めされる。これによって、光ファイバ１１の光軸に対する光学素子１２のＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸方向の各位置および傾斜角θｙ、θｚの調整が不要になるため、調整を必要とする軸数が大幅に削減される。

なお、図２に示すように、光ファイバ１１の光軸に直交し、且つ第３の支持基板１８の主面に平行な方向をＸ軸方向、光ファイバ１１の光軸に直交し、且つ第３の支持基板１８の主面に直交する方向をＹ軸方向、光ファイバ１１の光軸に平行な方向をＺ軸方向としている。

そして、調整機構８によって、第３の支持基板１８上に固定された光ファイバユニット５の光ファイバ１１の光軸に対して、光学ユニット６の光学素子１２を調整することで、光学ユニット６のＸ軸回りの傾斜角θｘが調整される。

光学ユニット６は、調整機構８によって所定の傾斜角θｘに調整された状態で、第３の支持基板１８上に接着材、溶接材やはんだ等のろう材等によって接合されて固定される。また、調整用ロッド２２は、例えば切断加工等によって、第３の支持基板１８の外周から突出している不要な部分が取り除かれる。

したがって、光学ユニット６は、調整用ボール２１ａ，２１ｂおよび調整用ロッド２２による３点で支持された状態で固定されている。このため、光学ユニット６は、第２の支持基板１７と第３の支持基板１８とを接合する接着材の硬化時に接着材に収縮が生じたときであっても、調整用ボール２１ａ，２１ｂおよび調整用ロッド２２によって光学ユニット６と第３の支持基板１８が近づく方向に変位することが確実に規制されるので、光ファイバ１１の光軸に対する光学素子１２の位置ズレが抑えられている。

また、光学ユニット６は、後工程で加熱された場合や光デバイス１の使用時に高温環境下にさらされた場合等でも、調整用ボール２１ａ，２１ｂおよび調整用ロッド２２によって第２の支持基板１７の位置が規制されているので、光ファイバ１１の光軸に対して光学素子１２が位置ズレすることが抑えられる。

最後に、光ファイバユニット５および光学ユニット６がそれぞれ組み付けられた第３の支持基板１８が、ケース１３内の底面上に接着材や、はんだ等のろう材によって接合されて、リッド１４によってケース１３内が気密に閉塞される。

上述した光デバイス１が備える調整機構８について、光ファイバユニット５の光ファイバ１１の光軸に対して、光学ユニット６を調整する動作を、図面を参照して説明する。

上述したように、光デバイス１は、図５に示すように、光ファイバユニット５が位置決めされて固定された第３の支持基板１８上に、調整用ボール２１ａ，２１ｂおよび調整用ロッド２２を介して、光学ユニット６を載置された状態で、調整機構８が動作される。

調整機構８は、調整用ロッド２２をガイド溝２６に沿って、光ファイバ１１の光軸方向、すなわちＺ軸方向に移動させることによって、調整用ロッド２２の先端が第２の支持基板１７に当接する位置が変化する。第２の支持基板１７は、調整用ロッド２２を移動させることによって、調整用ボール２１ａ，２１ｂを回動中心としてＸ軸回りに回動される。このため、光学ユニット６の光学素子１２は、光ファイバユニット５の光ファイバ１１の光軸に対して所望の傾斜角θｘに調整される。具体的には、傾斜角θｘの調整時に光ファイバ１１からの出力等を検出することで、光ファイバ１１の光軸に対して光学素子１２を合わせる。

続いて、調整機構８による傾斜角θｘの調整量について図面を参照して説明する。

図５および図６に示すように、調整用ボール２１ａ，２１ｂの中心を通る位置における第２の支持基板１７と第３の支持基板１８との間隙をＧ１とし、調整用ロッド２２の先端における第２の支持基板１７と第３の支持基板１８との間隙をＧ２とする。また換言すれば、間隙Ｇ２は、ガイド溝２６内に載置された調整用ロッド２２が、第３の支持基板１８の主面から突出されている外径方向の寸法を指している。

そして、調整機構８では、間隙Ｇ２が間隙Ｇ１よりも大きく設定されており（Ｇ１＜Ｇ２）、所定の差分ΔＧが確保されている（ΔＧ＝Ｇ２−Ｇ１）。調整用ボール２１ａ，２１ｂの中心と調整用ロッド２２の先端との間の距離Ｌとすれば、傾斜角θｘは、簡易的に、
θｘ＝ｔａｎ^-1（ΔＧ／Ｌ） ・・・式１
によって求められる。

すなわち、調整用ロッド２２をガイド溝２６に沿って連続的に移動させることによって、距離Ｌを変化させることで、調整用ボール２１ａ，２１ｂの中心を回動中心として傾斜角θｘが連続的に変化されて調整される。

図６において、縦軸が、光ファイバ１１の光軸に対する光学素子１２の傾斜角θｘ〔ｄｅｇ〕を示し、横軸が、調整用ボール２１ａ，２１ｂの中心と調整用ロッド２２の先端との間の距離Ｌ〔ｍｍ〕を示している。

調整機構８によれば、図６中に曲線Ｃ０で示すように、距離Ｌが小さくなるのに伴って、傾斜角θｘが曲線的に大きくなる。なお、差分ΔＧを比較的大きく設定した場合には、曲線Ｃ１で示すように、図６中上方に平行移動させた関係が得られる。一方、差分ΔＧを比較的小さく設定した場合には、曲線Ｃ２で示すように、図６中下方に平行移動させた関係が得られる。すなわち、調整機構８は、所望の傾斜角θｘに応じて、差分ΔＧを適宜設定することで、調整可能な傾斜角θｘを容易且つ確実に調整することができる。

ここで具体的に、光学ユニット６および第３の支持基板１８の各寸法の一例を図面を参照して説明する。

第３の支持基板１８の支持溝２４ａ，２４ｂは、シリコンウェハにＫＯＨ（水酸化カリウム）溶液を用いた結晶異方性エッチング処理を施すことによって、結晶方位であるＶ字状をなす角度が７０．６°に形成されている。また、支持溝２４ａ，２４ｂは、主面上での距離Ｌ方向の幅が０．５[ｍｍ]に形成されている。

第３の支持基板１８のガイド溝２６は、同様のエッチング処理によって、Ｖ字状をなす角度を７０．６°に形成されている。また、ガイド溝２６は、第３の支持基板１８の端面で、主面上での距離Ｌ方向に直交する幅が０．４３[ｍｍ]に形成されている。

光学ユニット６の支持溝２３ａ，２３ｂは、同様のエッチング処理によって、Ｖ字状をなす角度が７０．６°に形成されている。また、支持溝２３ａ，２３ｂは、主面上での距離Ｌ方向の幅が０．５[ｍｍ]に形成されている。

また、光学ユニット６のガイド溝２６は、同様のエッチング処理によって、Ｖ字状をなす角度を７０．６°に形成されている。また、ガイド溝２６は、光学ユニット６の第２の支持基板１７の端面で、主面上での距離Ｌ方向に直交する幅が０．４３[ｍｍ]に形成されている。

また、調整用ボール２１ａ，２１ｂは直径０．５[ｍｍ]に形成され、調整用ロッド２２は直径０．５[ｍｍ]に形成されている。

以上のように各寸法が形成された場合には、曲線Ｃ０が得られる。したがって、曲線Ｃ０で示すように、距離Ｌを２〜７[ｍｍ]の範囲で調整したときに、傾斜角θｘが０．８〜２．８°の範囲で調整することが可能になる。

上述したように、光デバイス１は、調整機構８を備えることによって、光ファイバ１１の光軸に対する光学素子１２のＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸方向の各位置および各傾斜角θｙ、θｚがそれぞれ高精度に位置決めされ、光ファイバ１１の光軸に対して光学素子１２の傾斜角θｘを容易且つ確実に調整することができる。したがって、光デバイス１によれば、従来で述べたような調整ステージやホルダ等は調整用ロッド２２を移動させるための１軸のみでよく、光ファイバユニット５に対して光学ユニット６を容易且つ確実に位置決めすることができるため、光デバイス１の生産性を大幅に向上することができる。

また、この光デバイス１によれば、調整用ボール２１ａ，２１ｂおよび調整用ロッド２２によって光学ユニット６の変位が規制されているため、光ファイバ１１の光軸に対する光学素子１２の位置ズレが生じることが抑制され、光学特性の劣化を防止し、使用環境の温度変化に対する動作信頼性を向上することができ、高温環境や低温環境下でも良好に動作させることが可能になる。

以上、あらかじめ固定された光ファイバユニットに対して、光学ユニットの傾斜角を調整する方法を説明したが、当然ながら、あらかじめ固定された光学ユニットに対して光ファイバユニットの傾斜角を調整してもよい。また、光ファイバユニットと光学ユニットとの組合せだけではなく、対向する一対の光ファイバユニットのどちらか一方の傾斜角を調整する場合や、対向する一組の光学ユニットのどちらか一方の傾斜角を調整する場合に適用されてもよい。

（第２の実施形態）
上述した第１の実施形態の光デバイス１は、調整機構８によって、光ファイバ１１の光軸に対して光学ユニット６を、Ｘ軸回りの傾斜角θｘのみを調整することが可能であるため、軸数である自由度が「１」であったが、他の軸方向の位置や他の傾斜角を調整可能に構成して、必要に応じて任意の方向の自由度が増やされてもよい。他の自由度が確保された調整機構を備える第２の実施形態の光デバイスについて説明する。なお、第２の実施形態の光デバイスにおいて、上述した光デバイス１と同一部材には同一符号を付して説明を省略する。

図７に示すように、光デバイス２が備える調整機構３１は、調整用ボール２１ａ，２１ｂが、第３の支持基板３８の主面上に設けられた支持溝３３ａ，３３ｂ内に、Ｘ軸方向に対して調動可能に支持されている。

支持溝３３ａ，３３ｂは、Ｘ軸方向の第３の支持基板３８の主面上での寸法Ｗ２が、Ｚ軸方向の寸法Ｗ１よりも大きく形成されている（Ｗ１＜Ｗ２）。なお、調整用ボール２１ａ，２１ｂをＸ軸方向に対して調動可能に支持する支持溝は、第２の支持基板１７側に設けられてもよい。

そして、第２の支持基板１７は、各支持溝３３ａ，３３ｂに各調整用ボール２１ａ，２１ｂが係合されることによって、第３の支持基板３８に対してＹ軸、Ｚ軸方向の各位置および傾斜角θｙ、θｚが高精度にそれぞれ位置決めされる。

以上のように構成された光デバイス２によれば、各調整用ボール２１ａ，２１ｂが、第３の支持基板３８に設けられた支持溝３３ａ，３３ｂ内に、Ｘ軸方向に調動可能に支持された調整機構３１を備えることによって、図示しない調整用ステージ等で光学ユニット６を直接移動させることでＸ軸方向を調整し、また調整用ロッド２２を移動させることで傾斜角θｘを調整することができる。

なお、本実施形態では、各調整用ボール２１ａ，２１ｂが、Ｘ軸方向に調動可能に構成されたが、必要に応じて、Ｚ軸方向に調動可能に構成されてもよい。すなわち、支持溝は、Ｚ軸方向の寸法が、Ｘ軸方向の寸法よりも大きく形成されてもよい。また、各調整用ボール２１ａ，２１ｂは、第３の支持基板３８の主面に平行に、例えばＸ軸方向に対して所定角度だけ傾斜された方向等の任意の方向に調動可能に設けられてもよい。

（第３の実施形態）
上述した光学デバイス２と異なる他の自由度が確保された他の調整機構を備える第３の実施形態の光デバイスについて説明する。なお、第３の実施形態の光デバイスにおいて、上述した光デバイス１，２と同一部材には同一符号を付して説明を省略する。

図８に示すように、光デバイス３が備える調整機構４１は、第２の支持基板１７を回動自在に支持する調整用ボール２１と、この調整用ボール２１を回動中心として第２の支持基板１７を回動操作するための一組の調整用ロッド２２ａ，２２ｂとを有している。

光学ユニット６の第２の支持基板１７および第３の支持基板４８には、調整用ボール２１を回動自在に支持する略四角錐状の支持溝（不図示）がそれぞれ設けられている。

また、第３の支持基板４８の主面上には、各調整用ロッド２２ａ，２２ｂを、光ファイバ１１の光軸方向と平行に移動可能に支持するガイド溝２６ａ，２６ｂがそれぞれ設けられている。各ガイド溝２６ａ，２６ｂは、支持溝内の調整用ボール２１の中心を通過して光ファイバ１１の光軸に平行な直線に対して線対称な位置にそれぞれ設けられている。

そして、第２の支持基板１７は、各支持溝およびガイド溝２６ａ，２６ｂに調整用ボール２１および各調整用ロッド２２ａ，２２ｂが係合されることによって、第３の支持基板４８に対してＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸方向の各位置および傾斜角θｙが高精度にそれぞれ位置決めされる。各調整用ロッド２２ａ，２２ｂは、一端が移動用アクチュエータ４２ａ，４２ｂによってそれぞれ保持されて、各ガイド溝２６ａ，２６ｂに沿って移動されることで、各傾斜角θｘおよび傾斜角θｚがそれぞれ調整される。

調整機構４１によれば、各調整用ロッド２２ａ，２２ｂの先端と調整用ボール２１の中心との間の光軸に平行な各距離Ｌを互いに異ならせることで、Ｚ軸回りの傾斜角θｚが調整される。

以上のように構成された光デバイス３によれば、調整用ボール２１と一組の調整用ロッド２２ａ，２２ｂとによる３点で支持する調整機構４１を備えることによって、光学ユニット６の傾斜角θｘおよび傾斜角θｚをそれぞれ調整することができる。

また、光デバイスは、上述した移動用アクチュエータ等のロッド移動機構を備える構成にされてもよい。このように構成された光デバイスによれば、使用時等に、必要応じて、光学ユニットの各傾斜角θｘ、θｙを適宜調整することが可能になる。

（第４の実施形態）
他の調整機構を備える第４の実施形態の光デバイスについて説明する。なお、この第４の実施形態の光デバイスは、基本構成が上述した各光デバイス１，２，３と同一であるため、調整機構以外の説明を省略する。

図９に示すように、第４の実施形態の光デバイスが備える調整機構５１は、第２の支持基板１７を回動自在に支持する調整用ボール２１ａ，２１ｂと、これら調整用ボール２１ａ，２１ｂを回動中心として第２の支持基板１７を回動操作するための調整用ロッド２２ａ，２２ｂとを有している。

また、第３の支持基板５８の主面上には、各調整用ロッド２２ａ，２２ｂを、光ファイバ１１の光軸方向と平行に移動可能に支持するガイド溝６１ａ，６１ｂがそれぞれ設けられている。各ガイド溝６１ａ，６１ｂは、支持溝２４ａ，２４ｂ内の調整用ボール２１ａ，２１ｂの中心を通過して光ファイバ１１の光軸に平行な直線上にそれぞれ設けられている。

ガイド溝６１ａ，６１ｂは、Ｘ軸方向に平行な幅が、Ｚ軸方向に沿って第３の支持基板５８の外周側から調整用ボール２１ａ，２１ｂ側に向かって、次第に小さくされている。

上述した調整機構５１によれば、ガイド溝６１ａ，６１ｂによって、図６に示した曲線Ｃ０に比較して傾斜が急峻にされた曲線が得られるため、距離Ｌの変化量に対する傾斜角θｘの変化量を大きくすることができる。なお、曲線の傾斜を緩やかにすることで、距離Ｌの変化に対する傾斜角θｘの変化量を小さくして、調整時の分解能を向上することもできる。

また、図１０に示すように、光学デバイスは、ガイド溝６２ａ，６２ｂが光軸方向に沿って幅が曲線的に変化するように形成された第３の支持基板５９を有する調整機構５２を備える構成にされてもよい。

ガイド溝６２ａ，６２ｂは、Ｚ軸方向に沿って第３の支持基板５９の外周側から調整用ボール２１ａ，２１ｂ側に向かって、曲線的に小さくされている。

上述した調整機構５２によれば、ガイド溝６２ａ，６２ｂの形状を最適な曲線に設定することによって、距離Ｌと傾斜角θｘとの関係を示すグラフが直線状になるため、距離Ｌの変化量に比例して傾斜角θｘを変化させることができる。

（第５の実施形態）
他の調整機構を備える第５の実施形態の光デバイスについて説明する。なお、この第５の実施形態の光デバイスは、基本構成が上述した各光デバイス１，２，３と同一であるため、調整機構以外の説明を省略する。

図１１に示すように、第５の実施形態の光デバイスが備える調整機構７１は、第２の支持基板１７を回動自在に支持する調整用ボール２１ａ，２１ｂと、これら調整用ボール２１ａ，２１ｂを回動中心として第２の支持基板１７を回動操作するための調整用ロッド２２とを有している。

第３の支持基板７５上には、調整用ボール２１ａ，２１ｂおよび調整用ロッド２２を介して第２の支持基板７４がＸ軸回りに回動可能に支持されている。そして、第３の支持基板７５の主面上には、調整用ロッド２２を、光ファイバ１１の光軸と直交する方向に移動可能に支持するガイド溝７６が設けられている。また、ガイド溝７６の幅は、調整用ボール２１ａ側から調整用ボール２１ｂ側に向かって次第に小さくされている。したがって、調整機構７１は、調整用ロッド２２をガイド溝７６に沿って光ファイバ１１の光軸に直交する方向に移動させることで、第３の支持基板７５に対して第２の支持基板１７が回動される。

このように構成された調整機構７１を備える光デバイスによれば、光学デバイス内で比較的長さを占める調整用ロッド２２を、光ファイバ１１の光軸に直交された方向であるＸ軸方向に移動させることで、第２および第３の支持基板７４，７５における光ファイバ１１の光軸方向の長さを比較的短くすることが可能になる。このため、この光デバイスによれば、光ファイバ１１の光軸方向の長さを小型化することができる。

また、この光デバイスによれば、調整用ロッド２２の移動方向に光ファイバユニット５が対向して配置されていないため、光ファイバユニット５によって調整用ロッド２２の移動が阻害されることなく、第２および第３の支持基板７４，７５のＸ軸方向に亘ってガイド溝７６を比較的長く設けることが可能になるので、調整範囲を大きく確保することができる。

したがって、調整範囲を上述した第１の実施形態の光デバイス１と同等に設定すれば、第３の支持基板の面積を小さくすることが可能になり、同一のシリコンウェハから得られる個数が増加するので、製造コストを低減することができる。

最後に、上述した第１〜第５の実施形態の光学デバイスに適用されてもよい構成の変形例について、図面を参照して説明する。なお、上述した実施形態の光デバイスと同一部材には同一符号を付して説明を省略する。

上述した実施形態の光デバイス１が備える調整機構８は、各調整用ボール２１ａ，２１を支持する支持溝２３ａ，２３ｂ、２４ａ，２４ｂが、四角錐状に形成されることで各支持基板１７，１８の主面での形状が正方形に形成されたが、支持溝が正三角形に形成されてもよい。

図１２に示すように、調整機構８１は、主面での形状が正三角形をなす三角錐状の支持溝８６，８７がそれぞれ設けられた第２の支持基板８４および第３の支持基板８５を有している。

調整用ボール２１ａ，２１ｂは、正三角形の支持溝８６，８７内に係合されて位置決めされることで、各支持溝８６，８７の３つの内面で３点支持されるため、上述した正方形の支持溝２３ａ，２３ｂ、２４ａ，２４ｂに比較して、更に高精度に位置決めされる。したがって、光学ユニット６と第３の支持基板１８とを高精度に位置決めすることができるため、光学デバイスの光学損失が低減されて、光学特性が向上される。

すなわち、調整用ボール２１ａ，２１ｂは、正方形の支持溝内に係合されて位置決めされる場合、４つの内面による４点支持になるため、支持溝の寸法精度によって位置決め精度が低下するが、３点支持にされることで、支持溝の寸法精度による位置ずれが防止される。

なお、支持溝は、例えば円形や、奇数角形等の多角形等の他の任意の形状に形成されてもよい。支持溝は、円形に形成されることで、調整用ボール２１ａ，２１ｂの位置決め精度が向上されるとともに、調整用ボール２１ａ，２１ｂに作用する圧力が支持溝の円周に亘って分散されて調整時に調整用ボール２１ａ，２１ｂが安定して回動される。このため、支持溝は、円形状に形成されることが望ましいが、真円に加工することが困難である場合には、正三角形に形成されることが好ましい。

また、本実施形態では、支持溝が凹部として形成されたが、支持基板の厚み方向に貫通する貫通穴として形成されてもよい。貫通穴が形成された場合には、傾斜角θｘの調整後に、例えば、貫通穴の開口端側から貫通穴内に接着材を充填することで容易且つ確実に固定することも可能になる。

また、上述した実施形態の光デバイスが備える調整機構は、調整用手段として調整用ボール２１ａ，２１ｂが用いられたが、これら調整用ボール２１ａ，２１ｂの代わりに、第２の支持基板または第３の支持基板に、支持溝に係合される調整用突起がそれぞれ設けられてもよい。

図１３（ａ）に示すように、調整機構９１は、第２の支持基板１７の各支持溝２３ａ，２３ｂに係合される略半球状の調整用突起９４がそれぞれ一体に形成された第３の支持基板９３を有している。また、図１３（ｂ）に示すように、調整機構９２は、第３の支持基板１８の各支持溝２４ａ，２４ｂに係合される略半球状の調整用突起９７が一体に形成された第２の支持基板９６を有している。

以上のように構成された調整機構９１，９２は、調整用突起９４，９７を有することによって、調整用ボール２１ａ，２１ｂと同様に、光学ユニットを第３の支持基板に対して回動自在に支持することが可能にされて、部品数が削減されるため、生産性を向上することができる。

また、上述した各実施形態の光デバイスでは、一組の調整用ボールの直径および各支持溝の大きさが同一寸法に形成されたが、必要に応じて、異なる直径寸法の調整用ボールや、異なる形状や大きさの支持溝が組み合わされた構成や、調整用ボールと調整用突起が組み合わされた構成にされてもよく、加えて調整用ロッドの移動方向が、光ファイバの光軸に対して所定の傾斜角をもって傾斜されて構成されてもよい。

また、図１４に示すように、上述した各実施形態の光学デバイスは、光ファイバユニット５の光ファイバ１１の端面に対向する光学素子１２の素子面１２ａが、調整用ボール２１ａ，２１ｂの中心を通る軸線Ｘ₁上に位置されることが好ましい。このように構成されることで、光学ユニット６の傾斜角θｘの調整時に、光学ユニット６が軸線Ｘ₁回りに回動されることによる、光学素子１２の光学機能箇所である素子面１２ａの位置の変動が、小さくなるため、調整による光学特性の変動を抑制することができる。

なお、光学素子１２の素子面１２ａとしては、例えば、受光素子の受光面、発光素子の発光面（レーザ光源の出射面）、ミラーの反射面、フィルタの入射面等が挙げられる。また、光学ユニットが、光学素子として、例えば複数のミラーからなるミラー群を有する場合には、ミラー群の中心近傍が軸線Ｘ₁上に位置されることが好ましい。

なお、本発明に係る光デバイスは、１本の光ファイバを備える構成にされたが、例えば、複数の光ファイバを有する光ファイバユニットと、光路を切り替えるミラー等の光学素子を有する光学ユニットとを備える光スイッチや、ビーム光の出力を減衰させるための光アッテネータ等に適用されもよいことは勿論である。また、本発明に係る光デバイスは、第３の支持基板上に、例えば、光源を有する第１の光学ユニットと、フィルタを有する第２の光学ユニットとがそれぞれ設けられてなるアイソレータ等に適用されてもよい。

本発明に係る第１の実施形態の光デバイスを示す斜視図である。 前記光デバイスの要部を示す斜視図である。 前記光デバイスの要部を示す平面図である。 前記光デバイスの要部を示す縦断面図である。 光ファイバユニット側の光軸に対して光学ユニットを調整する動作を説明するために模式的に示す側面図である。 光学ユニットの傾斜角θｘと、調整用ボールと調整用ロッドとの間の距離Ｌとの関係を示す図である。 第２の実施形態の光デバイスを示す平面図である。 第３の実施形態の光デバイスを示す斜視図である。 第４の実施形態の光デバイスが備える調整機構のガイド溝を示す平面図である。 ガイド溝の他の例を示す平面図である。 第５の実施形態の光デバイスを示す平面図である。 支持溝の他の形状の例を示す平面図である。 調整用突起を有する調整機構を模式的に示す側面図であって、（ａ）に、調整用突起が設けられた第３の支持基板を示し、（ｂ）に、調整用突起が設けられた第２の支持基板を示す。 光学素子の素子面の位置を説明するための平面図である。 従来の光デバイスの製造方法を説明するために模式的に示す側面図である。

符号の説明

１ 光デバイス
５ 光ファイバユニット
６ 光学ユニット
７ 筐体
８ 調整機構
１１ 光ファイバ
１２ 光学素子
１３ ケース
１４ リッド
１６ 第１の支持基板
１７ 第２の支持基板
１８ 第３の支持基板
２１ａ，２１ｂ 調整用ボール
２２ 調整用ロッド
２３ａ，２３ｂ 支持溝
２４ａ，２４ｂ 支持溝
２６ ガイド溝

Claims (20)

1. 第１の光ファイバあるいは第１の光学素子を有する第１のユニットと、
   第２の光ファイバあるいは第２の光学素子を有する第２のユニットと、
   前記第１のユニットおよび前記第２のユニットを支持する支持基板と、
   前記第１のユニットあるいは前記第２のユニットを前記支持基板に対して回動自在に支持する調整用手段と、前記第１のユニットあるいは前記第２のユニットと前記支持基板との間に移動自在に設けられた調整用スペーサとを有し、前記支持基板上に前記第１のユニットあるいは前記第２のユニットを、前記調整用手段および前記調整用スペーサを介して少なくとも３点で支持し、前記第１の光ファイバあるいは前記第１の光学素子の光軸の傾斜角に対して、前記第２の光ファイバあるいは前記第２の光学素子の光軸の傾斜角を調整するための調整機構と
   を備える光デバイス。
2. 前記調整機構は、前記第１の光ファイバまたは第１の光学素子の光軸もしくは前記第２の光ファイバまたは第２の光学素子の光軸に直交し、且つ前記支持基板の主面に平行な軸回りの傾斜角を調整する請求項１に記載の光デバイス。
3. 前記第１のユニットあるいは前記第２のユニットは、２つの前記調整用手段および１つ以上の前記調整用スペーサによって前記支持基板上に移動可能に支持されている請求項１または２に記載の光デバイス。
4. 前記第１のユニットあるいは前記第２のユニットは、１つ以上の前記調整用手段および２つの前記調整用スペーサによって前記支持基板上に移動可能に支持されている請求項１または２に記載の光デバイス。
5. 前記調整用手段は、前記第１のユニットあるいは前記第２のユニットと前記支持基板との間に回動自在に設けられた調整用ボールと、前記調整用ボールを支持する支持穴とを有する請求項１ないし４のいずれか１項に記載の光デバイス。
6. 前記調整用手段は、前記第１のユニットあるいは前記第２のユニット、または前記支持基板に設けられた調整用突部と、前記調整用突部を支持する支持穴とを有する請求項１ないし４のいずれか１項に記載の光デバイス。
7. 前記調整用スペーサは、円柱状または円筒状に形成されている請求項１ないし６のいずれか１項に記載の光デバイス。
8. 前記支持穴は、円形または三角形に形成されている請求項５ないし７のいずれか１項に記載の光デバイス。
9. 前記調整用突部は、略半球状に形成されている請求項６ないし８のいずれか１項に記載の光デバイス。
10. 前記支持穴は、前記調整用ボールまたは前記調整用突部が、前記第１の光ファイバまたは第１の光学素子の光軸もしくは前記第２の光ファイバまたは第２の光学素子の光軸に平行または直交し、且つ前記支持基板の主面に平行な方向に調動可能に設けられている請求項５ないし７のいずれか１項に記載の光デバイス。
11. 前記調整用スペーサを移動するための移動手段を備える請求項１ないし１０のいずれか１項に記載の光デバイス。
12. 前記第１のユニット、前記第２のユニット、および前記支持基板の少なくともいずれかには、前記調整用スペーサを移動自在に案内するガイド手段が設けられている請求項１ないし１１のいずれか１項に記載の光デバイス。
13. 前記ガイド手段は、前記調整用スペーサの移動方向に直交する幅が、前記移動方向に沿って変化するガイド溝を有する請求項１２に記載の光デバイス。
14. 前記ガイド溝は、前記幅が、前記第１のユニットあるいは前記第２のユニット側に向かって次第に小さくされている請求項１３に記載の光デバイス。
15. 前記調整用スペーサは、前記ガイド手段によって、前記第１の光ファイバまたは第１の光学素子の光軸もしくは前記第２の光ファイバまたは第２の光学素子の光軸に平行または直交にされ、且つ前記支持基板の主面に平行な方向に移動可能に設けられている請求項１１ないし１４のいずれか１項に記載の光デバイス。
16. 前記第１の光学素子あるいは前記第２の光学素子は、前記第１のユニットあるいは前記第２のユニットに対向する素子面が、前記第１のユニットあるいは前記第２のユニットが回動される軸線上に位置されている請求項１ないし１５のいずれか１項に記載の光デバイス。
17. 前記第１のユニット、前記第２のユニットおよび前記支持基板の少なくともいずれかがシリコンからなる請求項１ないし１６のいずれか１項に記載の光デバイス。
18. 前記ガイド溝および前記支持穴の少なくとも一方は、エッチング処理によって形成されている請求項５ないし１７のいずれか１項に記載の光デバイス。
19. 第１の光ファイバあるいは第１の光学素子が固定された第１のユニットと、第２の光ファイバあるいは第２の光学素子が固定された第２のユニットとをそれぞれ組み立てる工程と、
    支持基板上に前記第１のユニットおよび前記第２のユニットのいずれか一方を位置決めして固定する工程と、
    前記第１のユニットおよび前記第２のユニットの他方を前記支持基板に対して回動自在に支持する調整用手段と、前記第１のユニットおよび前記第２のユニットの他方と前記支持基板との間に移動自在に設けられた調整用スペーサとを有し、前記支持基板上に前記第１のユニットあるいは前記第２のユニットを、前記調整用手段および前記調整用スペーサを介して少なくとも３点で支持する調整機構を用いて、前記調整用スペーサを移動することによって、前記第１の光ファイバあるいは前記第１の光学素子の光軸の傾斜角に対して、前記第２の光ファイバあるいは前記第２の光学素子の光軸の傾斜角を調整し、前記支持基板上に前記第１のユニットあるいは前記第２のユニットを固定する工程とを有する光デバイスの製造方法。
20. 前記調整機構によって、前記第１の光ファイバまたは第１の光学素子の光軸もしくは前記第２の光ファイバまたは第２の光学素子の光軸に直交し、且つ前記支持基板の主面に平行な軸回りの傾斜角を調整する請求項１９に記載の光デバイスの製造方法。

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