JP4347361B2 - 光スイッチ - Google Patents
光スイッチ Download PDFInfo
- Publication number
- JP4347361B2 JP4347361B2 JP2007116390A JP2007116390A JP4347361B2 JP 4347361 B2 JP4347361 B2 JP 4347361B2 JP 2007116390 A JP2007116390 A JP 2007116390A JP 2007116390 A JP2007116390 A JP 2007116390A JP 4347361 B2 JP4347361 B2 JP 4347361B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mirror
- optical
- mirror surface
- input port
- light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Micromachines (AREA)
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
Description
EF・sin∠FEG=FG
であり、ここでミラー14,15への光の入射角を例えば10°とすると、∠FEG=20°となる。また、出力光ファイバ12,13の径(クラッド径)をφ125μmとし、それら光ファイバ12,13の光軸間距離をクラッド径と同じ125μmとすると、FG=125μmとなり、光路上のミラー間距離EFは、
EF=125/sin20°=365μm
となる。
さらに、この発明によれば光路上において2つのミラー面を従来に比べ、大幅に近接させて配置することが可能となり、よってそれらミラー面に照射される光スポットを共に小さくすることができ、つまり光のビームウエストの位置をそれら両ミラー面にほぼ一致させることができるため、その点でMEMSで容易に構成することができる。
図1はこの発明による1×2型の光スイッチの一実施例の構成を示したものであり、この例では光スイッチはMEMSで構成され、後述の図4Aに示すようにシリコン基板21、シリコン酸化膜22及びシリコンデバイス層23の三層構造よりなるSOI(Silicon on insulator)ウエハ20を使用して作製されている。なお、以下に説明する各構成要素はシリコン基板21上のシリコンデバイス層23、シリコン酸化膜22を適宜、エッチング除去することによって形成されている。
即ち、空気の屈折率を1とし、光ファイバ62,63端部の中心屈折率(先端のロッドレンズの中心屈折率)をn、端面傾斜角をβとすると、θ’は、
θ’=θ−2{sin−1(nsinβ)−β}
で表され、ここで、n=1.46、β=8°とすると、両光ファイバ62,63の光軸が成す角度θ’はθ’=32.6°となる。
ステップS2:シリコン酸化膜24をマスクとしてシリコンデバイス層23を垂直方向に異方性エッチングする。エッチングは例えばICP−RIE(誘導結合プラズマを利用した反応性イオンエッチング)によって行う。これにより、図2におけるファイバ溝31,32,33、中心凹部34、可動ロッド溝39、凹部43〜46、などを形成し、それとともに固定ミラー35、可動ミラー36、可動ロッド38、ヒンジ41a,41b,42a,42b、櫛歯電極47,51,52などの外周形が形成される。
ステップS3:チップを弗酸に浸漬することにより、可動部25となるべき構造の下にあるシリコン酸化膜22をエッチング除去する。なお、幅狭の可動部25に対して幅広の(面積大の)固定部26の下にあるシリコン酸化膜22は残存する。
ステップS4:例えば、ミラーや電極パッドといった必要な部位に対してメタライズし、表面に金属膜27を形成する。そして、光ファイバ60を実装することにより光スイッチが完成する。
また、上述した各実施例では、例えば図2に示したように、中央の光ファイバ61を入力ポートとし、その両側の光ファイバ62,63を出力ポートとする例を示したが、両側の2つの光ファイバ62,63を第1及び第2の入力ポートとし、光ファイバ61を出力ポートとし、スイッチにより第1及び第2入力ポートのいずれかからの光を選択して出力ポート(光ファイバ61)に出力するように動作させることもできる。この場合も、第1及び第2の入力ポートに入力された光が出力ポートに到達する間に受ける偏波状態の変化は互いにほぼ同じになる。
Claims (6)
- 基板上に、それぞれ集光手段を先端に備えた3つの光導波手段の端部とミラーとアクチュエータとが配置され、3つの光導波手段の端部のうちの1つが入力ポート、残り2つが第1及び第2の出力ポートとされ、入力ポートと第1、第2の出力ポートとの光結合がアクチュエータによるミラーの駆動によって切り換えられる光スイッチであって、
前記第1及び第2の出力ポートは前記入力ポートを挟んで互いに反対側に、互いに鋭角をなして配置され、
前記ミラーは第1のミラー面と第2のミラー面とを有し、第1のミラー面を介して前記入力ポートと前記第1の出力ポートとが光結合され、第2のミラー面を介して前記入力ポートと前記第2の出力ポートとが光結合されるよう構成され、
前記入力ポートからの光が前記第1のミラー面に入射する入射角と前記第2のミラー面に入射する入射角とは互いに等しくされ、かつ前記入力ポートから前記第1のミラー面を介して前記第1の出力ポートに至る光路長と前記入力ポートから前記第2のミラー面を介して前記第2の出力ポートに至る光路長とが互いに等しくされており、
前記アクチュエータは前記入力ポートからの光が前記第1のミラー面を照射する位置の手前の位置に前記第2のミラー面をその面内方向に駆動して光路に挿抜させることを特徴とする光スイッチ。 - 請求項1記載の光スイッチにおいて、
前記入力ポートからの光は前記第2のミラー面が挿抜される前記手前の位置から前記第1のミラー面を照射する位置までのいずれかの位置にビームウエストを形成することを特徴とする光スイッチ。 - 請求項1又は2記載の光スイッチにおいて、
前記ミラーは前記第1のミラー面を備える固定ミラーと、前記第2のミラー面を備える可動ミラーとによって構成されることを特徴とする光スイッチ。 - 請求項1又は2記載の光スイッチにおいて、
前記ミラーは前記第1のミラー面と前記第2のミラー面とを備える一体の可動ミラーによって構成されることを特徴とする光スイッチ。 - 請求項1乃至4記載のいずれかの光スイッチにおいて、
前記集光手段を備えた3つの光導波手段はそれぞれロッドレンズ付き光ファイバとされ、それらロッドレンズ付き光ファイバのうちの少なくとも前記第1及び第2の出力ポートをなす2つはロッドレンズの先端面が傾斜端面とされ、それら各傾斜端面の法線は前記基板の板面と平行な面内において前記入力ポートを挟んで互いに外向きに配向されていることを特徴とする光スイッチ。 - 請求項1乃至5記載のいずれかの光スイッチにおいて、前記入力ポートを出力ポートに、前記第1、第2の出力ポートを第1及び第2の入力ポートに、それぞれ置換して得る構成を有し、その第1、第2の入力ポートと出力ポートとの光結合が前記アクチュエータによる前記ミラーの駆動によって切り替えられることを特徴とする光スイッチ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007116390A JP4347361B2 (ja) | 2006-04-27 | 2007-04-26 | 光スイッチ |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006124227 | 2006-04-27 | ||
JP2007116390A JP4347361B2 (ja) | 2006-04-27 | 2007-04-26 | 光スイッチ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007316628A JP2007316628A (ja) | 2007-12-06 |
JP4347361B2 true JP4347361B2 (ja) | 2009-10-21 |
Family
ID=38850480
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007116390A Expired - Fee Related JP4347361B2 (ja) | 2006-04-27 | 2007-04-26 | 光スイッチ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4347361B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4578543B2 (ja) * | 2008-07-07 | 2010-11-10 | 日本航空電子工業株式会社 | 微小可動デバイス |
JP5329469B2 (ja) * | 2010-04-09 | 2013-10-30 | 日本航空電子工業株式会社 | 光デバイス |
-
2007
- 2007-04-26 JP JP2007116390A patent/JP4347361B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007316628A (ja) | 2007-12-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Grade et al. | A large-deflection electrostatic actuator for optical switching applications | |
US8149489B2 (en) | Mirror device, mirror array, optical switch, mirror device manufacturing method, and mirror substrate manufacturing method | |
JPH1184277A (ja) | 自己整合機械式m×n光スイッチ | |
US6606426B2 (en) | Piezoelectric and electromagnetic actuators for beam alignment and systems and methods using the same | |
US6728018B2 (en) | Light control device | |
JP4347361B2 (ja) | 光スイッチ | |
JP2005049742A (ja) | 可変光減衰器 | |
EP1189092B1 (en) | Electrostatically operated optical switch | |
KR20040094810A (ko) | 콤비네이션 마이크로머신 및 광소자 어레이 | |
US7468995B2 (en) | Optical switch | |
JP4697698B2 (ja) | 光デバイスおよびその製造方法 | |
JP3840225B2 (ja) | 光スイッチ | |
US6993218B2 (en) | Optical switch and optical switch array | |
EP1387196B1 (en) | Optical switch device with improved fibre positioning system | |
JP2005018015A (ja) | 光スイッチ及びその製造方法 | |
JP3907634B2 (ja) | 光デバイス | |
JP4677427B2 (ja) | 光デバイス | |
JP2002023069A (ja) | 光スイッチ | |
JPWO2002103432A1 (ja) | 光スイッチ | |
KR100442831B1 (ko) | 광 스위치 및 그 제조 방법 | |
JP5416185B2 (ja) | ミラーアレイ、ミラー素子およびミラーアレイのアライメント方法 | |
JP2007121466A (ja) | 光スイッチ | |
JP2004501382A (ja) | 動部を備えた光スイッチ及びその製造方法 | |
JP2003057569A (ja) | 光スイッチ及び光スイッチアレイ | |
JP2020139980A (ja) | 位置調整機構及びそれを用いた光学装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090323 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090331 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090522 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090707 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090715 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120724 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120724 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120724 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120724 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130724 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130724 Year of fee payment: 4 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |