JP2007121466A - 光スイッチ - Google Patents
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Abstract
【課題】光学損失を最小限に抑えることが可能な、小型、且つ、安価な光スイッチを提供する。
【解決手段】酸化膜をシリコン単結晶基板により挟持したSOI基板からなる基板1と、入力用光ファイバ3と出力用光ファイバ4a,4bを所定の位置に保持する溝部2と、入力用光ファイバ3の端面から出射された光ビームを反射する凹面鏡6と、凹面鏡6を回転させる回転型アクチュエータ5とを備え、溝部2,回転型アクチュエータ5,及び凹面鏡6はICPエッチング等の微細加工技術によって基板1に一体形成されている。
【選択図】図1
【解決手段】酸化膜をシリコン単結晶基板により挟持したSOI基板からなる基板1と、入力用光ファイバ3と出力用光ファイバ4a,4bを所定の位置に保持する溝部2と、入力用光ファイバ3の端面から出射された光ビームを反射する凹面鏡6と、凹面鏡6を回転させる回転型アクチュエータ5とを備え、溝部2,回転型アクチュエータ5,及び凹面鏡6はICPエッチング等の微細加工技術によって基板1に一体形成されている。
【選択図】図1
Description
本発明は、光通信分野に適用して好適な、光ビームの光路を切り替える光スイッチに関する。
従来より、入力用光ファイバの端面から出射された光ビームをレンズ(コリメータ)によって平行光に変換した後、凹面鏡によって平行光を出力用光ファイバの端面部分に集光させると共に、電磁アクチュエータを利用して凹面鏡を移動することにより平行光を集光させる出力用光ファイバを切り替える光スイッチが知られている(特許文献1参照)。
特開平7−294831号公報(図2参照)
しかしながら、従来の光スイッチは、上述の通り、入力用光ファイバの端面から出射された光ビームをレンズで平行光に変換した後に凹面鏡に導く構成になっているために、光学部品の点数が多くなり、光スイッチを小型、且つ、安価に構成することが困難になると共に、表面反射による光学損失を抑えることが難しい。また、従来の光スイッチによれば、凹面鏡,光ファイバ,レンズ,及び電磁アクチュエータが一体で形成されていないために、これらの部品のアライメント工程が複雑になり光スイッチの製造コストが増加すると共に、光学損失を最小限に抑えることが困難になる。
本発明は、上述した実情に鑑みて提案されたものであり、その目的は、光学損失を最小限に抑えることが可能な、小型、且つ、安価な光スイッチを提供することにある。
上述の課題を解決するために、本発明の第1の態様に係る光スイッチは、支持基板と、支持基板に一体形成された、入力用及び出力用の複数の光ファイバを保持する溝部、入力用光ファイバの端面から出射された光ビームを反射する凹面鏡、及び凹面鏡の角度を変化させることにより光ビームの光路を変化させるアクチュエータとを備え、凹面鏡の曲率及び初期角度は、入力用光ファイバの端面から出射された光ビームを反射し、反射された光ビームが第1の出力用光ファイバの端面に集光するように調整され、アクチュエータは、光路切替時、凹面鏡の角度を変化させることにより光ビームを集光させる出力用光ファイバを第1の出力用光ファイバから第2の出力用光ファイバに切り替える。
また、本発明の第2の態様に係る光スイッチは、支持基板と、支持基板に一体形成された、入力用及び出力用の複数の光ファイバを保持する溝部、入力用光ファイバの端面から出射された光ビームを反射する第1の凹面鏡、及び第2の凹面鏡を平行移動させることにより光ビームの光路を変化させるアクチュエータとを備え、第1の凹面鏡の曲率及び角度は、入力用光ファイバの端面から出射された光ビームを反射し、反射された光ビームが第1の出力用光ファイバの端面に集光するように調整され、アクチュエータは、光路切替時、入力用光ファイバの端面から出射された光ビームの光路に第2の凹面鏡を平行移動させることにより光ビームを集光させる出力用光ファイバを第1の出力用光ファイバから第2の出力用光ファイバに切り替える。
また、本発明の第3の態様に係る光スイッチは、支持基板と、支持基板に一体形成された、入力用及び出力用の複数の光ファイバを保持する溝部、光ビームを反射する第1及び第2の凹面鏡、及び平面鏡を平行移動させることにより光ビームの光路を変化させるアクチュエータとを備え、第1及び第2の凹面鏡の曲率及び角度はそれぞれ、入力用光ファイバの端面から出射された光ビーム及び平面鏡により反射された光ビームを反射し、光ビームを第1及び第2の出力用光ファイバの端面に集光するように調整され、アクチュエータは、光路切替時、入力用光ファイバの端面から出射された光ビームの光路に平面鏡を平行移動することにより光ビームを集光させる出力用光ファイバを第1の出力用光ファイバから第2の出力用光ファイバに切り替える。
本発明に係る光スイッチによれば、光学部品は光ファイバと凹面鏡のみからなり、従来の光スイッチと比較して光学部品の点数が少なくなるので、小型、且つ、安価に光スイッチを構成することができると共に、表面反射による光学損失を最小限に抑えることができる。また、本発明に係る光スイッチによれば、凹面鏡,溝部,及びアクチュエータが支持基板に一体形成されているので、これら部品のアライメント工程が不要になり製造コストを低減することができると共に、光学損失を最小限に抑えることができる。
以下、図面を参照して、本発明の第1乃至第4の実施形態となる光スイッチの構成について説明する。
始めに、図1,2を参照して、本発明の第1の実施形態となる光スイッチの構成について説明する。
本発明の第1の実施形態となる光スイッチは、図1(a),(b)に示すように、酸化膜をシリコン単結晶基板により挟持したSOI(Silicon On Insulator)基板からなる基板1と、入力用光ファイバ3と出力用光ファイバ4a,4bを所定の位置に保持する溝部2と、入力用光ファイバ3の端面から出射された光ビームを反射する凹面鏡6と、凹面鏡6を回転させる回転型アクチュエータ5とを備え、溝部2,回転型アクチュエータ5,及び凹面鏡6はICP(Inductively Coupled Plasma)エッチング等の微細加工技術によって基板1に一体形成されている。なお、上記回転型アクチュエータ5としては例えば静電コム型のアクチュエータを例示することができる。また、上記凹面鏡6は、グレーマスク法等の手法によってシリコン基板に凹面を形成し、形成された凹面部分に金等の反射膜を堆積させ、反射膜が光ファイバの端面に対向するように回転型アクチュエータ5に設けられた勘合部にシリコン基板を垂直に差し込むことにより形成することができる。
凹面鏡6の曲率及び角度は、初期状態の際、入力用光ファイバ3の端面から出射された光ビームを反射し、光ビームを出力用光ファイバ4bの端面に集光させるように調整されている。そして、光路切替時、回転型アクチュエータ5は、凹面鏡6において反射された光が出力用光ファイバ4aの端面に集光されるように凹面鏡6の角度を調整する。これにより、入力用光ファイバ3の端面から出射された光ビームの光路を出力用光ファイバ4a側と出力用光ファイバ4b側との間で切り替えることが可能な1×2型(1入力2出力型)の光スイッチを構成することができる。
なお、光ファイバとして波長1.5[μm]帯単一モードの光ファイバを用いた場合には、凹面鏡6の大きさ及び配置位置は図2に示すように設定することが望ましい。すなわち、この場合、入力用光ファイバ3の端面と凹面鏡6との間の距離を500[μm]とすると、入力用光ファイバ3から出射された光ビームの直径は凹面鏡6上で約50[μm]となるので、凹面鏡6の直径及び曲率半径はそれぞれ約100[μm]及び250[μm](凹面深さ約4.9[μm])とするとよい。このような構成によれば、光強度を損失することなく、ほぼ同じ距離において反射光を出力用光ファイバ4a,4bの端面に集光させることができる。
以上の説明から明らかなように、本発明の第1の実施形態となる光スイッチによれば、光学部品は、入力用光ファイバ3、出力用光ファイバ4a,4b、及び凹面鏡6のみからなり、従来の光スイッチのようにレンズを含まないので、光スイッチを小型、且つ、安価に構成することができると共に、表面反射による光学損失を最小限に抑えることができる。また、本発明の第1の実施形態となる光スイッチによれば、溝部2,回転型アクチュエータ5,及び凹面鏡6は基板1に一体形成されているので、これら部品のアライメント工程が不要になり製造コストを低減できると共に、光学損失を最小限に抑えることができる。
次に、図3,4を参照して、本発明の第2の実施形態となる光スイッチの構成について説明する。
本発明の第2の実施形態となる光スイッチは、図3,4に示すように、基板1と、一対の入力用光ファイバ3a,3bと一対の出力用光ファイバ4a,4bとを互いに直交するように対向させて所定の位置に保持する溝部2と、両面において光ビームを反射可能な凹面鏡11と、凹面鏡11を回転させる回転型アクチュエータ5とを備え、溝部2,回転型アクチュエータ5,及び凹面鏡11はICPエッチング等の微細加工技術によって基板1に一体形成されている。
凹面鏡11の曲率及び角度は、初期状態の際、図3に示すように、入力用光ファイバ3a,3bの端面から出射された光ビームを反射し、光ビームをそれぞれ出力用光ファイバ4a及び出力用光ファイバ4bの端面に集光させるように調整されている。そして、光路切替時、回転型アクチュエータ5は、図4に示すように、入力用光ファイバ3a,3bの端面から出射された光ビームを反射し、光ビームをそれぞれ出力用光ファイバ4b及び出力用光ファイバ4aの端面に集光させるように凹面鏡11を回転する。これにより、入力用光ファイバ3a,3bの端面から出射された光ビームの光路を出力用光ファイバ4a側と出力用光ファイバ4b側との間で切り替えることが可能な2×2型(2入力2出力型)の光スイッチを構成することができる。
次に、図5,6を参照して、本発明の第3の実施形態となる光スイッチの構成について説明する。
本発明の第3の実施形態となる光スイッチは、図5,6に示すように、基板1と、入力用光ファイバ3と出力用光ファイバ4a,4bを所定の位置に保持する溝部2と、光ビームを反射する凹面鏡21,22と、凹面鏡22を支持する鏡支持棒23と、鏡支持棒23を平行移動させることにより凹面鏡22を平行移動する平行移動型アクチュエータ24とを備え、溝部2,凹面鏡22,及び平行移動型アクチュエータ24はICPエッチング等の微細加工技術によって基板1に一体形成されている。
凹面鏡21の曲率及び角度は、図5に示すように、入力用光ファイバ3aの端面から出射された光ビームを反射し、光ビームを出力用光ファイバ4bの端面に集光させるように調整されている。そして、光路切替時、平行移動型アクチュエータ24は、図6に示すように、入力用光ファイバ3aの端面から出射された光ビームが凹面鏡22において反射し、反射された光ビームが出力用光ファイバ4aの端面に集光されるように入力用光ファイバ3aの端面から出射された光ビームの光路に凹面鏡22を平行移動する。これにより、入力用光ファイバ3の端面から出射された光ビームの光路を出力用光ファイバ4a側と出力用光ファイバ4b側との間で切り替える1×2型(1入力2出力型)の光スイッチを構成することができる。なお、平行移動型アクチュエータ24として、ラッチ機構を有する静電コム型のアクチュエータを用いることにより、凹面鏡22の移動位置精度が高くなり、光学損失を最小限に抑えることができる。またラッチ機構によって、光路切替時以外に電力消費のない光スイッチを構成することができる。
最後に、図7,8を参照して、本発明の第4の実施形態となる光スイッチの構成について説明する。
本発明の第4の実施形態となる光スイッチは、図7,8に示すように、基板1と、入力用光ファイバ3と出力用光ファイバ4a,4bを所定の位置に保持する溝部2と、光ビームを反射する凹面鏡31a,31b及び平面鏡32と、平面鏡32を平行移動する平行移動型アクチュエータ24とを備え、溝部2,凹面鏡31a,31b,及び平行移動型アクチュエータ24はICPエッチング等の微細加工技術によって基板1に一体形成されている。なお、本実施形態では、凹面鏡の数は2つであるとしたが、凹面鏡の数は出力用光ファイバの本数に合わせて適宜増やすことができる。
凹面鏡31bの曲率及び角度は、図7に示すように、入力用光ファイバ3の端面から出射された光ビームを反射し、光ビームを出力用光ファイバ4bの端面に集光させるように調整されている。また、凹面鏡31aの曲率及び角度は、平面鏡32において反射された光ビームを反射し、光ビームを出力用光ファイバ4aの端面に集光させるように調整されている。そして、光路切替時、平行移動型アクチュエータ24は、図8に示すように、入力用光ファイバ3の端面から出射された光ビームを凹面鏡31aに向けて反射するように入力用光ファイバ3の端面から出射された光ビームの光路に平面鏡32を平行移動する。これにより、入力用光ファイバ3の端面から出射された光ビームの光路を出力用光ファイバ4a側と出力用光ファイバ4b側との間で切り替えることが可能な1×2型(1入力2出力型)の光スイッチを構成することができる。なお、平行移動型アクチュエータ24として、ラッチ機構を有する静電コム型のアクチュエータを用いることにより、平面鏡32の移動位置精度が高くなり、光学損失を低く抑えることができる。またラッチ機構によって、光路切替時以外に電力消費のない光スイッチを構成することができる。
以上、本発明者らによってなされた発明を適用した実施の形態について説明したが、この実施の形態による本発明の開示の一部をなす論述及び図面により本発明は限定されることはない。すなわち、上記実施の形態に基づいて当業者等によりなされる他の実施の形態、実施例及び運用技術等は全て本発明の範疇に含まれることは勿論であることを付け加えておく。
1:基板
2:溝部
3:入力用光ファイバ
4a,4b:出力用光ファイバ
5:回転型アクチュエータ
6:凹面鏡
2:溝部
3:入力用光ファイバ
4a,4b:出力用光ファイバ
5:回転型アクチュエータ
6:凹面鏡
Claims (5)
- 支持基板と、
前記支持基板に一体形成された、入力用及び出力用の複数の光ファイバを保持する溝部、前記入力用光ファイバの端面から出射された光ビームを反射する凹面鏡、及び前記凹面鏡の角度を変化させることにより前記光ビームの光路を変化させるアクチュエータとを備え、
前記凹面鏡の曲率及び初期角度は、前記入力用光ファイバの端面から出射された光ビームを反射し、反射された光ビームが第1の出力用光ファイバの端面に集光するように調整され、
前記アクチュエータは、光路切替時、凹面鏡の角度を変化させることにより光ビームを集光させる出力用光ファイバを第1の出力用光ファイバから第2の出力用光ファイバに切り替えること
を特徴とする光スイッチ。 - 請求項1に記載の光スイッチであって、
前記アクチュエータは前記凹面鏡を回転させることにより光ビームを集光させる出力用光ファイバを切り替えることことを特徴とする光スイッチ。 - 請求項2に記載の光スイッチであって、
前記凹面鏡は両面に凹面鏡を有し、一対の入力用光ファイバと一対の出力用光ファイバが当該凹面鏡を中心にして互いに直交するように配置されていることを特徴とする光スイッチ。 - 支持基板と、
前記支持基板に一体形成された、入力用及び出力用の複数の光ファイバを保持する溝部、前記入力用光ファイバの端面から出射された光ビームを反射する第1の凹面鏡、及び第2の凹面鏡を平行移動させることにより前記光ビームの光路を変化させるアクチュエータとを備え、
前記第1の凹面鏡の曲率及び角度は、前記入力用光ファイバの端面から出射された光ビームを反射し、反射された光ビームが第1の出力用光ファイバの端面に集光するように調整され、
前記アクチュエータは、光路切替時、前記入力用光ファイバの端面から出射された光ビームの光路に前記第2の凹面鏡を平行移動させることにより光ビームを集光させる出力用光ファイバを第1の出力用光ファイバから第2の出力用光ファイバに切り替えること
を特徴とする光スイッチ。 - 支持基板と、
前記支持基板に一体形成された、入力用及び出力用の複数の光ファイバを保持する溝部、光ビームを反射する第1及び第2の凹面鏡、及び平面鏡を平行移動させることにより前記光ビームの光路を変化させるアクチュエータとを備え、
前記第1及び第2の凹面鏡の曲率及び角度はそれぞれ、前記入力用光ファイバの端面から出射された光ビーム及び前記平面鏡により反射された光ビームを反射し、光ビームを第1及び第2の出力用光ファイバの端面に集光するように調整され、
前記アクチュエータは、光路切替時、前記入力用光ファイバの端面から出射された光ビームの光路に前記平面鏡を平行移動することにより光ビームを集光させる出力用光ファイバを第1の出力用光ファイバから第2の出力用光ファイバに切り替えること
を特徴とする光スイッチ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005310492A JP2007121466A (ja) | 2005-10-25 | 2005-10-25 | 光スイッチ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005310492A JP2007121466A (ja) | 2005-10-25 | 2005-10-25 | 光スイッチ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007121466A true JP2007121466A (ja) | 2007-05-17 |
Family
ID=38145401
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005310492A Pending JP2007121466A (ja) | 2005-10-25 | 2005-10-25 | 光スイッチ |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2007121466A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2019013370A1 (ko) * | 2017-07-14 | 2019-01-17 | 주식회사 제이티 | 초소형 광 스위치 |
-
2005
- 2005-10-25 JP JP2005310492A patent/JP2007121466A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2019013370A1 (ko) * | 2017-07-14 | 2019-01-17 | 주식회사 제이티 | 초소형 광 스위치 |
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