JP6495640B2 - 光通信装置、及び光通信装置の製造方法 - Google Patents
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Claims (17)
- 光を出力する光源と、
前記光源が出力した前記光を反射する鏡と、
前記鏡が配置され、支点を有するレバーと、
前記鏡により反射された前記光を集束させるレンズと、
前記レンズにより集束された前記光を伝送し、前記光の真空中の波長よりもコアの断面幅が小さい導波路と、
を備え、
前記レバーは、固定されていない場合には、前記支点と、外力が加えられる力点であるハンドル部と、前記鏡が配置される作用点と、を有する第2種てこである
ことを特徴とする光通信装置。 - 請求項1に記載の光通信装置であって、
前記レバーは、固定体により固定されている
ことを特徴とする光通信装置。 - 請求項1に記載の光通信装置であって、
前記レバーは、固定されていない場合には、前記外力により、延伸方向と直交する方向にたわむ
ことを特徴とする光通信装置。 - 請求項1に記載の光通信装置であって、
前記レバーは、固定されていない場合には、前記外力により、延伸方向に伸縮する
ことを特徴とする光通信装置。 - 請求項1に記載の光通信装置であって、
前記レバーは、SOI層をエッチングすることで形成されている
ことを特徴とする光通信装置。 - 請求項5に記載の光通信装置であって、
前記導波路は、前記SOI層に形成されたシリコン導波路である
ことを特徴とする光通信装置。 - 請求項5に記載の光通信装置であって、
前記鏡は、前記SOI層をエッチングすることで前記レバーとともに形成されている
ことを特徴とする光通信装置。 - 請求項7に記載の光通信装置であって、
前記鏡は、前記SOI層に異方性ウェットエッチングを施すことにより形成されている
ことを特徴とする光通信装置。 - 請求項1に記載の光通信装置であって、
前記レンズと前記導波路との間に、スポットサイズ変換器をさらに備える
ことを特徴とする光通信装置。 - 請求項1に記載の光通信装置であって、
前記レンズと前記鏡との間に、光アイソレータをさらに備える
ことを特徴とする光通信装置。 - 請求項1に記載の光通信装置であって、
前記光源は、半導体レーザである
ことを特徴とする光通信装置。 - 光を出力する光源と、前記光源が出力した前記光を反射する鏡と、前記鏡が配置され、支点を有するレバーと、前記鏡により反射された前記光を集束させるレンズと、前記レンズにより集束された前記光を伝送し、前記光の真空中の波長よりもコアの断面幅が小さい導波路と、を備える光通信装置の製造方法であって、
前記レバーに外力を加えて変位させて、前記鏡で反射された前記光が前記導波路に結合するように調整する調整工程を有し、
前記レバーは、固定されていない場合には、前記支点と、外力が加えられる力点であるハンドル部と、前記鏡が配置される作用点と、を有する第2種てこである
ことを特徴とする光通信装置の製造方法。 - 請求項12に記載の光通信装置の製造方法であって、
前記調整工程による調整の後、前記レバーを固定体により固定する固定工程をさらに有する
ことを特徴とする光通信装置の製造方法。 - 請求項12に記載の光通信装置の製造方法であって、
前記調整工程において、前記レバーに外力を加えて、延伸方向に伸縮させる
ことを特徴とする光通信装置の製造方法。 - 請求項12に記載の光通信装置の製造方法であって、
前記調整工程において、前記レバーに外力を加えて、延伸方向と直交する方向にたわませる
ことを特徴とする光通信装置の製造方法。 - 請求項12に記載の光通信装置の製造方法であって、
前記調整工程において、前記外力を加える前記レバーの位置は、前記鏡が配置される位置を基準として、前記支点と反対側である
ことを特徴とする光通信装置の製造方法。 - 請求項12に記載の光通信装置の製造方法であって、
前記調整工程は、前記導波路により伝送される前記光の一部を光検出器で検出し、前記光検出器により検出される光の強度が大きくなるように前記レバーに外力を加えて変位させて、前記鏡で反射された前記光が前記導波路に結合するように調整する工程である
ことを特徴とする光通信装置の製造方法。
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