JP6578191B2 - 光モジュール及び光モジュールの製造方法 - Google Patents
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Claims (13)
- 光波を発する又は受ける光素子と、
前記光波を伝送するための光導波路と、
前記光波を集束するレンズと、
前記光波の進行方向を変換して前記光素子及び前記光導波路を光結合するためのミラーと、
前記ミラーの向きを操作するための操作レバーと、
前記ミラーを支持するための支持ばねと、
前記ミラー、前記操作レバー及び前記支持ばねと一体化した基板と、
を備え、
前記ミラーは、前記光波を反射する鏡面を有し、前記鏡面と前記光導波路との間の第1光路と、前記鏡面と前記光素子との間の第2光路と、のいずれに対しても直交はしないように、前記鏡面は斜めを向き、
前記支持ばねは、前記ミラーが、少なくとも2軸に沿った移動又は回転によって向きを変えられるように、前記ミラーと前記基板を連結し、
前記操作レバーは、前記ミラーから、前記光導波路への接近を避ける方向に延び、前記基板に、ろう材、紫外線硬化樹脂及び接着剤のいずれかによって固定されていることを特徴とする光モジュール。 - 請求項1に記載の光モジュールであって、
前記支持ばねは、前記操作レバーと異なる方向に延びている、
ことを特徴とする光モジュール。 - 請求項2に記載の光モジュールであって、
前記支持ばねは、互いに異なる方向に延びて複数設けられる、
ことを特徴とする光モジュール。 - 請求項1に記載の光モジュールであって、
前記操作レバーは、屈曲して前記ミラーに接続し、前記支持ばねに沿って延びている、
ことを特徴とする光モジュール。 - 請求項1に記載の光モジュールであって、
前記操作レバーに隣接して前記基板に設けられ、前記ろう材を溶融させる電極をさらに備える、
ことを特徴とする光モジュール。 - 請求項1に記載の光モジュールであって、
前記基板は、SOI基板であり、
前記ミラー、前記操作レバー及び前記支持ばねは、前記SOI基板の表面Si層に一体的に形成されている、
ことを特徴とする光モジュール。 - 請求項1に記載の光モジュールであって、
前記レンズは、前記光素子と一体で形成されている、
ことを特徴とする光モジュール。 - 請求項1に記載の光モジュールであって、
前記光素子は、アレイ光素子であり、複数の光波をそれぞれ発し又は受け、
前記光導波路は、前記複数の光波をそれぞれ伝送する、
ことを特徴とする光モジュール。 - 請求項1に記載の光モジュールであって、
前記ミラーと前記光導波路との間に、光アイソレータをさらに備えることを特徴とする光モジュール。 - 請求項1に記載の光モジュールであって、
前記光素子は、半導体レーザ素子である、
ことを特徴とする光モジュール。 - 請求項1に記載の光モジュールであって、
前記光素子は、半導体受光素子である、
ことを特徴とする光モジュール。 - 光波を発する又は受ける光素子、前記光波を伝送するための光導波路及び前記光波を集束するレンズを基板に設ける工程と、
前記光波の進行方向を変換して前記光素子及び前記光導波路を光結合し、前記光波を反射する鏡面を有し、前記鏡面と前記光導波路との間の第1光路と、前記鏡面と前記光素子との間の第2光路と、のいずれにも直交はしないように、前記鏡面が斜めを向いたミラーと、
前記ミラーの向きを操作し、前記ミラーから、前記光導波路への接近を避ける方向に延びている操作レバーと、
前記ミラーを支持し、前記ミラーが、少なくとも2軸に沿った移動又は回転によって向きを変えられるように、前記ミラーと前記基板を連結する支持ばねと、を一体的に前記基板に形成する工程と、
前記操作レバーにより前記ミラーの向きを操作し、前記ミラーで反射された前記光波の進行方向を調整する調整工程と、
前記調整工程による調整の後、前記操作レバーと前記基板の間に、ろう材、紫外線硬化樹脂及び接着剤のいずれかを流し込み、前記操作レバーを前記基板に固定する固定工程と、
を有することを特徴とする光モジュールの製造方法。 - 請求項12に記載の光モジュールの製造方法であって、
前記調整工程において、前記ミラーの向きは、前記ミラーが配置される位置を基準として前記光導波路の反対側に位置する前記操作レバーのハンドルに外力を加えることで操作する、
ことを特徴とする光モジュールの製造方法。
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