JP2005140295A - 制御弁の分解方法及びそれに使用する制御弁 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ボディ1とアクチュエータ部19Aとを複数の連結ネジ21で連結したものであって、アクチュエータ部19Aに摺動可能に保持されたピストンロッド10にダイアフラム7が保持され、ピストンロッド10を押圧バネ13で付勢することによりダイアフラム7をボディ1に内設された弁座5に当接させる制御弁1Aの分解方法において、開弁状態維持手段20でダイアフラム7を弁座5から離間させた状態で保持し、複数の連結部材21を取り外してアクチュエータ部19Aをボディ1から分離する。
【選択図】 図2
Description
(1)ボディとアクチュエータとを複数の連結ネジで連結したものであって、アクチュエータに摺動可能に保持された主軸に弁体が保持され、主軸を付勢手段で付勢することにより弁体をボディに内設された弁座に当接させる制御弁の分解方法において、弁体を弁座から離間させた状態で保持し、複数の連結部材を取り外してアクチュエータをボディから分離することを特徴とする。
制御弁は、主軸が付勢手段により弁座方向に付勢されているときには、弁体が弁座に当接して流体を遮断する。一方、制御弁は、主軸が付勢手段に抗してアクチュエータ内を摺動すると、弁体が弁座から離間する。かかる制御弁は、次のように分解される。
次に、本発明に係る制御弁の分解方法及びそれに使用する制御弁の第1実施の形態について図面を参照して説明する。図1は、薬液弁1Aの断面図であって、閉弁状態を示す。図2は、薬液弁1Aの断面図であって、開弁状態を示す。
本実施の形態の制御弁は、薬液の流量調整を行う薬液弁1Aであって、例えば、半導体製造装置に設置される。薬液弁1Aは、ボディ2にアクチュエータ部(「アクチュエータ」に相当するもの。)19Aを複数の連結ネジ(「連結部材」に相当するもの。)21で連結したものであり(図10及び図11参照)、アクチュエータ部19Aに内設されるピストンロッド(「主軸」に相当するもの。)10に従ってダイアフラム7を弁座5に当接又は離間させるエアオペレイトバルブである。
操作ポート11から一次室9Aに操作流体を供給しない場合には、図1に示すように、ピストンロッド10が押圧バネ13に押し下げられて、ダイアフラム7の弁体部7aを弁座5に当接させる。そのため、入力ポート3に供給された薬液が出力ポート4から出力されない。このとき、インジケータ14Aは、アクチュエータ部19A内に収められている。
具体的には、図1に示すように薬液の供給を停止して、アクチュエータ部19Aの操作ポート11から一次室9Aに操作流体を供給する。一次室9Aの圧力が押圧バネ13の弾圧力に打ち勝つと、図2に示すように、ピストンロッド10が上昇し、ダイアフラム7の弁体部7aが弁座5から離間する。そこで、開弁状態維持手段20によりダイアフラム7の弁体部7aを弁座5から離間した位置で保持する。
アクチュエータ部19Aをボディ2から取り外すと、ダイアフラム7もピストンロッド10と一体的に取り外され、弁座5や流路が露出する。そこで、ボディ2や弁座5に付着した汚れを洗い流したり、シール面のキズなどを点検する。また、例えば、ダイアフラム7が劣化している場合には、新しいダイアフラムに交換する。このとき、アクチュエータ部19Aは、インジケータ14Aの貫通孔14aにピン15が差し込まれ、ピストンロッド10がシリンダ6Aから脱落するのを防止しているので、アクチュエータ部19Aをばらばらにすることなく、ダイアフラム7を交換することができる。
ダイアフラム7の周縁部7cを狭持するようにボディ2にアクチュエータ部19Aを載置する。そして、アクチュエータ部19A、ボディ2、取付板16の四隅に連結ネジ21を貫き通して締結し、カバー8A、シリンダ6A、ボディ2、取付板16を連結する。このとき、インジケータ14Aにピン15が貫き通されているので、ピストンロッド10などがシリンダ6Aに保持されてばらばらにならず、部品を再組み立てしやすい。また、ダイアフラム7が弁座5から離間した状態が維持されるため、ピストンロッド10が連結ネジ21を締結するときに傾いても、ダイアフラム7の弁体部7aが弁座5に片当たりして、弁座5を塑性変形させることがない。
特に、ピストンロッド10を押圧バネ13に抗して摺動させ、穿通孔8aから突出したインジケータ14Aにピン15を貫き通すことにより弁開状態を維持するので、簡単に弁座5の塑性変形を防止することができる。しかも、分解時に、操作ポート11に操作流体を供給してダイアフラム7の弁体部7aを弁座5から離間させておく必要がないので、簡単に部品を分解することができる。
特に、弁開度維持手段20は、ピストンロッド10に連結され、ピストンロッド10が押圧バネ13に抗して摺動したときにアクチュエータ部19Aに形成された穿通孔8aから外部に突出するインジケータ14Aと、インジケータ14Aがアクチュエータ部19Aから外部に突出したときに、インジケータ14Aの貫通孔14aに貫き通されてインジケータ14Aをアクチュエータ部19Aに係止させるピン15とを有するので、簡単に弁座5の塑性変形を防止することができる。また、従来のインジケータ14Aに貫通孔14aを設けてピン15を貫いただけのコンパクトな構造であるため、製作が容易であり、製造コストを抑えることができる。
続いて、本発明に係る制御弁の分解方法及びそれに使用する制御弁の第2実施の形態について図面を参照して説明する。図7は、薬液弁1Bの断面図である。図8は、薬液弁1Bの上面図である。
本実施の形態の薬液弁1Bは、基本構造が第1実施の形態の薬液弁1Aと同様であるが、シリンダ6Bとカバー8Bとを固定ネジ30で一体化している点で第1実施の形態の薬液弁1Aと相違する。よって、ここでは、第1実施の形態と異なる構成、作用効果を中心に説明し、第1実施の形態と同様の構成には図面に同一符号を付して適宜説明を省略する。
まず、薬液弁1Bの操作ポート11に操作流体を供給し、ダイアフラム7の弁体部7aを弁座5から離間させる。そして、操作ポート11に操作流体を供給しながら、連結ネジ21を弛めて取り外し、アクチュエータ組立19Bをボディ2から分離する。
このとき、ピストンロッド10の下端面に操作流体の流体圧が作用するため、押圧バネ13が圧縮されてカバー8Bをシリンダ6Bから押し上げようとする。しかし、固定ネジ30がシリンダ6Bとカバー8Bとを連結しているため、薬液弁1Bを分解するときに、アクチュエータ組立19Bがばらばらにならない。
また、薬液弁1Bは、固定ネジ30でシリンダ6Bとカバー8Bとを連結し、操作ポート11に操作流体を供給することによりダイアフラム7を弁座5から離間させた位置で保持するので、第1実施の形態の薬液弁1Aより装置サイズが大型になるものの、弁座5を塑性変形させることなく部品を分解することができる。
1B 薬液弁
2 ボディ
5 弁座
7 ダイアフラム
8a 穿通孔
10 ピストンロッド
14A インジケータ
15 ピン
19A アクチュエータ部
19B アクチュエータ組立
20 開弁状態維持手段
21 連結ネジ
30 固定ネジ
Claims (4)
- ボディとアクチュエータとを複数の連結ネジで連結したものであって、前記アクチュエータに摺動可能に保持された主軸に弁体が保持され、前記主軸を付勢手段で付勢することにより前記弁体を前記ボディに内設された弁座に当接させる制御弁の分解方法において、
前記弁体を前記弁座から離間させた状態で保持し、前記複数の連結部材を取り外して前記アクチュエータを前記ボディから分離することを特徴とする制御弁の分解方法。 - 請求項1に記載する制御弁の分解方法において、
前記主軸に連結され、前記アクチュエータに形成された穿通孔に摺動可能に貫き通される指示部材と、
前記指示部材に装着され、前記指示部材を前記アクチュエータに係止させる係止部材とを有し、
前記主軸を前記付勢手段に抗して摺動させ、前記穿通孔から突出した前記指示部材に前記係止部材を装着することを特徴とする制御弁の分解方法。 - ボディとアクチュエータとを複数の連結ネジで連結したものであって、前記アクチュエータに摺動可能に保持された主軸に弁体が保持され、前記主軸を付勢手段で付勢することにより前記弁体を前記ボディに内設された弁座に当接させる制御弁において、
流体を制御していないときに、前記弁体を前記弁座から離間させた位置で保持する開弁状態維持手段を有することを特徴とする制御弁。 - 請求項3に記載する制御弁において、
前記開弁状態維持手段は、
前記主軸に連結され、前記主軸が前記付勢手段に抗して摺動したときに前記アクチュエータに形成された穿通孔から外部に突出する指示部材と、
前記指示部材が前記アクチュエータから外部に突出したときに、前記指示部材に装着されて前記指示部材を前記アクチュエータに係止させる係止部材とを有することを特徴とする制御弁。
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