JP2006336701A - 流量調整弁 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ダイアフラム弁体8の位置を調整する流量調整弁1Aにおいて、樹脂製の流路ブロック2に、樹脂製の保持部材3と樹脂製のカバー4を連結して外観を構成され、収納室10に軸方向に移動可能に収納されるものであってダイアフラム弁体8に連結される樹脂製の可動部材11と、カバー4に挿入され、一端が収納室10内に位置して可動部材11に連結し、他端が外部に突き出す樹脂製のストローク調整部材13と、を設け、差動ネジを、可動部材11とストローク調整部材13との間に樹脂で設けられた第1連結ネジ14と、ストローク調整部材13とカバー4との間に樹脂で設けられた第2連結ネジ15とで構成する。
【選択図】 図1
Description
これに加え、図9に示す流量調整弁100や図10に示す流量調整弁200は、内ネジ121,211と外ネジ122,212を同心円状に配置するため、差動ネジ機構を構成する部品が多くなり、高価であった。
(1)弁座に当接又は離間するダイアフラム弁体の位置を差動ネジを用いて調整する流量調整弁において、弁座を設けられた樹脂製の流路ブロックに、樹脂製の保持部材と樹脂製のカバーを積層して連結することにより、外観を構成され、保持部材とカバーとの間に形成される収納室に軸方向に移動可能に収納され、ダイアフラム弁体に連結される樹脂製の可動部材と、カバーに挿入され、一端が収納室内に位置して可動部材に連結し、他端が外部に突き出す樹脂製のストローク調整部材と、を有し、差動ネジが、可動部材とストローク調整部材との連結部分に樹脂で設けられた第1連結ネジと、ストローク調整部材とカバーとの摺接面に樹脂で設けられた第2連結ネジとからなることを特徴とする。
(2)(1)に記載の発明において、可動部材と収納室の内壁との間に、可動部材の軸を出す第1軸出し部材を配設したことを特徴とする。
(3)(1)又は(2)に記載の発明において、可動部材の凸部と保持部材の貫通孔の内壁との間に、可動部材の軸を出す第2軸出し部材を配設したことを特徴とする。
(4)(1)乃至(3)の何れか一つに記載の発明において、収納室が可動部材を挟んで弁と反対側の一次室と弁側の二次室とに区画され、二次室に圧縮流体が充填されることを特徴とする。
また、本発明の流量調整弁は、第1軸出し部材が可動部材を軸方向に押圧してがたつきを防止することより、可動部材を一定の軌跡を辿って軸方向へ移動させるので、第1連結ネジと第2連結ネジが正しく螺合して推力を伝達し合い、弁開度を正確に調整できる。
また、本発明の流量調整弁は、第2軸出し部材が第1軸出し部材と別位置で可動部材を軸方向に押圧してがたつきを防止することにより、可動部材をより一層確実に一定の軌跡を辿って軸方向へ移動させるので、第1連結ネジと第2連結ネジが正しく螺合して推力を伝達し合い、弁開度をより一層正確に調整できる。
また、本発明の流量調整弁は、二次室に圧縮流体を充填することにより、二次室の圧力を可動部材に対してダイアフラム弁体に作用する流体圧と同じ方向に作用させ、第1連結ネジと第2連結ネジのバッククラッシュを防止する。そのため、本発明の流量調整弁は、可動部材を軸方向へ移動させて弁開度を調整するときに、第1連結ネジと第2連結ネジがたつかず、流量を正確に調整できる。また、バッククラッシュを防止するための金属製のバネが不要となり、腐食性雰囲気で使用する場合に、より高い信頼性を確保できる。
まず、本発明の第1実施形態について図面を参照して説明する。図1は、流量調整弁1Aの断面図である。図2は、図1に示す流量調整弁1Aの流量調整用ロッドを上限位置まで移動させた状態を示す図である。図3は、図1のA−A断面図である。図4は、図1に示す流量調整弁の右側面図であって、ネジの締結部分を断面で示している。
本実施形態の流量調整弁1Aは、従来技術と同様、半導体製造工程で使用されるエッチング装置に組み込まれ、ウエハに滴下する薬液の流量を制御する。流量調整弁1Aは、腐食性雰囲気の中で使用可能なように主たる構成部品が樹脂で形成されている。
実験で使用した装置は、上流側から圧力計21、流量計22、評価サンプルSを順に配置される。評価サンプルSには、Oリング17を有する本実施形態の流量調整弁1Aと、本実施形態の流量調整弁1AからOリング17を除いた流量調整弁とを使用した。実験方法は、まず、評価サンプルSとなる流量調整弁を弁開状態に設定し、評価サンプルSとなる流量調整弁の第1ポート5から圧力(約0.1MPa)を加え、流量計22で流量を測定してから、ストローク調整ロッド13を弁閉方向に数回転回し、その後、評価サンプルSとなる流量調整弁を再度弁開状態に設定し、第1ポート5から圧力(約0.1MPa)を加え、流量計22で流量を測定する。この一連の実験を3回繰り返し、流量の変化を確認した。
Oリング17を有しない流量調整弁は、図6に示すように、第1回目の流量が4603cm3/min、第2回目の流量が約4740cm3/min、第3回目の流量が4624cm3/minであった。第2回目の流量は、第1回目の流量に対して約137cm3/min増加し、変化率が約+3%であった。また、第3回目の流量は、第2回目の流量に対して約116cm3/min減少し、変化率が約−2%であった。
一方、Oリング17を有する流量調整弁1Aは、図7に示すように、第1回目の流量が4670cm3/min、第2回目の流量が約4682cm3/min、第3回目の流量が4678cm3/minであった。第2回目の流量は、第1回目の流量に対して約12cm3/min増加し、変化率が約+0.2%であった。また、第3回目の流量は、第2回目の流量に対して約4cm3/min減少し、変化率が約−0.1%であった。
続いて、本発明の第2実施形態について図面を参照して説明する。図8は、流量調整弁1Bの断面図である。
本実施形態の流量調整弁1Bは、可動部材11の二次側に圧縮流体を封入して差動ネジのバッククラッシュを防止する点で、第1実施形態の流量調整弁1Aと相違する。よって、ここでは、第1実施形態の流量調整弁1Aと相違する点を中心に説明し、共通する構成には、第1実施形態と同一符号を図面に付し、説明を適宜省略する。
(1)例えば、上記実施形態では、ゴム製のOリング17,18を第1,第2軸出し部材として使用したが、可動部材11の軸出しのみを目的とするならば、ゴム材より弾性変形量の小さい樹脂製のブッシュなどを第1,第2軸出し部材として使用してもよい。また、可動部材11の軸出し及びシールを目的とするならば、ゴム製のYパッキンなど異形シール部材を第1,第2軸出し部材として使用してもよい。つまり、第1,第2軸出し部材は、可動部材11を軸方向に押圧して軸出しできるものであればよい。
(2)例えば、上記実施の形態では、ノブを手動で回転させたが、ストローク調整ロッドの上端部にモータを連結し、自動でストローク調整ロッドを回転させるようにしてもよい。
(3)例えば、上記実施形態では、ニードル弁構造を流量調整弁1A,1Bに適用したが、ポペット弁構造を流量調整弁1A,1Bに適用してもよい。
(4)例えば、上記第2実施の形態では、圧縮流体を二次室に充填した状態でキャップを閉め、二次室に圧縮流体を封入したが、給排気ポートに圧縮流体供給装置を接続したままの状態にし、二次室に常時圧縮流体を供給して二次室の圧力を一定圧以上に保つようにしてもよい。
2 流路ブロック
3 シリンダ(保持部材)
3a 貫通孔
4 カバー
7 弁座
8 ダイアフラム弁体
10 収納室
10B 二次室
11 可動部材
12 凸部
13 ストローク調整ロッド(ストローク調整部材)
14 第1連結ネジ
15 第2連結ネジ
17 Oリング(第1軸出し部材)
18 Oリング(第2軸出し部材)
Claims (4)
- 弁座に当接又は離間するダイアフラム弁体の位置を差動ネジを用いて調整する流量調整弁において、
前記弁座を設けられた樹脂製の流路ブロックに、樹脂製の保持部材と樹脂製のカバーを積層して連結することにより、外観を構成され、
前記保持部材と前記カバーとの間に形成される収納室に軸方向に移動可能に収納され、前記ダイアフラム弁体に連結される樹脂製の可動部材と、
前記カバーに挿入され、一端が前記収納室内に位置して前記可動部材に連結し、他端が外部に突き出す樹脂製のストローク調整部材と、を有し、
前記差動ネジが、前記可動部材と前記ストローク調整部材との連結部分に樹脂で設けられた第1連結ネジと、前記ストローク調整部材と前記カバーとの摺接面に樹脂で設けられた第2連結ネジとからなることを特徴とする流量調整弁。 - 請求項1に記載する流量調整弁において、
前記可動部材と前記収納室の内壁との間に、前記可動部材の軸を出す第1軸出し部材を配設したことを特徴とする流量調整弁。 - 請求項1又は請求項2に記載する流量調整弁において、
前記可動部材の凸部と前記保持部材の貫通孔の内壁との間に、前記可動部材の軸を出す第2軸出し部材を配設したことを特徴とする流量調整弁。 - 請求項1乃至請求項3の何れか一つに記載する流量調整弁において、
前記収納室が前記可動部材を挟んで弁と反対側の一次室と弁側の二次室とに区画され、前記二次室に圧縮流体が充填されることを特徴とする流量調整弁。
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