JP2020056430A - ダイヤフラムバルブ及び流量制御装置 - Google Patents
ダイヤフラムバルブ及び流量制御装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2020056430A JP2020056430A JP2018186189A JP2018186189A JP2020056430A JP 2020056430 A JP2020056430 A JP 2020056430A JP 2018186189 A JP2018186189 A JP 2018186189A JP 2018186189 A JP2018186189 A JP 2018186189A JP 2020056430 A JP2020056430 A JP 2020056430A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diaphragm
- stem
- control device
- valve
- diaphragm valve
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Abstract
Description
内部に流路を有し、一面にダイヤフラム配置部が設けられたバルブボディと、前記ダイヤフラム配置部に配置され、弾性変形により前記流路の開閉及び開度の調節が可能なダイヤフラムと、前記バルブボディに取りつけられ、アクチュエータで駆動されて前記ダイヤフラムを弾性変形させるステムとを含む駆動部と、を有するダイヤフラムバルブにおいて、
前記ダイヤフラム配置部は、ねじが形成された内周面を有する凹部であり、
前記ダイヤフラム配置部の内周面に螺合された略円筒状のインナーボンネットをさらに有し、前記インナーボンネットは端部で前記ダイヤフラムを押圧固定するとともに、内周部が前記ステムを軸方向に変位可能に保持することを特徴とする。
前記複数の流体機器は、上記構成のダイヤフラムバルブ又は流量制御装置を含むものである。
以下、本発明の第1の実施形態のダイヤフラムバルブについて図面を参照して説明する。図1に本実施形態に係るダイヤフラムバルブ1の概略断面図、図2にそのダイヤフラム押え機構の拡大断面図を示す。
ステム8の先端(下端)には、ダイヤフラム押え19が取り付けられてダイヤフラム17に当接している。
ダイヤフラム17と略同心円状の1つのねじにより押圧する構造なので、締め方によってバランスが崩れることがなく、ダイヤフラム17の周囲を均等に押圧でき、シール性を向上することができる。
第2の実施形態は、第1の実施形態において、インナーボンネット11が、樹脂製のスリーブの代わりに、従来と同様にOリング14を介してステム8を軸方向に変位可能に保持するする実施形態である。
図3に示すように、第1の実施形態と同様に、ダイヤフラム配置部16dを内周部にねじが形成された有底穴状の凹部とし、このダイヤフラム配置部16dの内周部に、外周部にねじが形成された略円筒状のインナーボンネット11を螺合させて、下端部で押えアダプタ18を押圧してダイヤフラム17を固定する。
第2の実施形態のこの部分以外の構成および動作は第1の実施形態と同様なので、記載を省略する。
本実施形態の構成でも、従来のボンネットが有していたステム8のガイド機能を保持しつつ、ダイヤフラム17のシール性を向上させることができる。
また、実施形態1では樹脂製のスリーブ15の外周をインナーボンネット11の内周に嵌合させてステム8を軸方向に変位可能に保持する構成としたが、スリーブ15の内周をステム8の外周に嵌合させて、一体でインナーボンネット11の内周で軸方向に変位可能に保持される構成にしてもよい。
図4は、本発明の一実施形態に係る流量制御装置の概略断面図であり、上記したダイヤフラムバルブ1が組み込まれた圧力式の流量制御装置20を示す。
図4において、流量制御装置20の全体を覆うカバーやフィードバック制御用の基板が実際には存在するが、説明の便宜上図示していない。
流量制御装置20は、上記したダイヤフラムバルブ1の構成要素に加えて、下流側ブロック25、圧力検出器22、オリフィス21、圧力検出器26、流路16c、25aを有する。
下流側ブロック25は、バルブボディ16にボルトにより連結され、バルブボディ16の下流側の流路16bに連通する下流側流路25aを有し、下流側流路25a内の圧力を検出する下流側の圧力検出器26が設けられている。
図示しない制御装置により、各圧力検出器22、26の検出値に基づいてダイヤフラムバルブ1がPID制御により開閉制御される。
図5は、本発明の一実施形態に係る流体制御装置の概略斜視図である。
図5に示す流体制御装置には、幅方向W1、W2に沿って配列され長手方向G1、G2に延びる金属製のベースプレートBSが設けられている。なお、W1は正面側、W2は背面側、G1は上流側、G2は下流側の方向を示している。ベースプレートBSには、複数の流路ブロック992を介して各種流体機器991A〜991Eが設置され、複数の流路ブロック992には、上流側G1から下流側G2に向かって流体が流通する図示しない流路がそれぞれ形成されている。
図6は、本発明の一実施形態に係る半導体製造装置のブロック図である。
図6に示す半導体製造装置980は、原子層堆積法(ALD:Atomi c Layer Deposition 法)による半導体製造プロセスを実行するための装置であり、981はプロセスガス供給源、982はガスボックス(流体制御装置)、983はタンク、984は開閉バルブ、985は制御部、986は処理チャンバ、987は排気ポンプを示している。
2 :圧電アクチュエータ
2a :先端部
2b :基端部
2c :ケース
3 :支持プレート
4 :押圧部材
5 :変位伝達部材
6 :上部連結部材
7 :調整ねじ
8 :ステム
9 :ばね
10 :ボンネット
10a :ガイド孔
11 :インナーボンネット
12 :駆動部
13 :ボルト
14 :Oリング
15 :スリーブ
16 :バルブボディ
16a :上流側流路
16b :下流側流路
16d :ダイヤフラム配置部
16e :バルブシート
17 :ダイヤフラム
18 :押えアダプタ
19 :ダイヤフラム押え
20 :流量制御装置
21 :オリフィス
22 :圧力検出器
25 :下流側ブロック
25a :下流側流路
26 :圧力検出器
980 :半導体製造装置
981 :プロセスガス供給源
982 :ガスボックス
983 :タンク
984 :開閉バルブ
985 :制御部
986 :処理チャンバ
987 :排気ポンプ
991A〜991E :流体機器
992 :流路ブロック
993 :導入管
BS :ベースプレート
GI、G2:長手方向
W1、W2:幅方向
Claims (6)
- 内部に流路を有し、一面にダイヤフラム配置部が設けられたバルブボディと、前記ダイヤフラム配置部に配置され、弾性変形により前記流路の開閉及び開度の調節が可能なダイヤフラムと、前記バルブボディに取りつけられ、アクチュエータとアクチュエータで駆動されて前記ダイヤフラムを弾性変形させるステムとを含む駆動部と、を有するダイヤフラムバルブにおいて、
前記ダイヤフラム配置部は、ねじが形成された内周面を有する凹部であり、
前記ダイヤフラム配置部の内周面に螺合された略円筒状のインナーボンネットをさらに有し、前記インナーボンネットは端部で前記ダイヤフラムを押圧固定するとともに、内周部が前記ステムを軸方向に変位可能に保持することを特徴とする、ダイヤフラムバルブ。 - 前記インナーボンネットは、樹脂製のスリーブを介して前記ステムを軸方向に変位可能に保持する、請求項1に記載のダイヤフラムバルブ。
- 前記インナーボンネットは、Oリングを介して前記ステムを軸方向に変位可能に保持する、請求項1に記載のダイヤフラムバルブ。
- 請求項1〜3のいずれかに記載のダイヤフラムバルブを有する流量制御装置。
- 複数の流体機器が配列された流体制御装置であって、
前記複数の流体機器は、請求項1〜3のいずれかに記載のダイヤフラムバルブ又は請求項4に記載の流量制御装置を含む、流体制御装置。 - 密閉されたチャンバ内においてプロセスガスによる処理工程を要する半導体の製造プロセスにおいて、前記プロセスガスの制御に請求項1〜3のいずれかに記載のダイヤフラムバルブ又は請求項4に記載の流量制御装置を用いる、半導体製造装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018186189A JP7187015B2 (ja) | 2018-09-29 | 2018-09-29 | ダイヤフラムバルブ及び流量制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018186189A JP7187015B2 (ja) | 2018-09-29 | 2018-09-29 | ダイヤフラムバルブ及び流量制御装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020056430A true JP2020056430A (ja) | 2020-04-09 |
JP7187015B2 JP7187015B2 (ja) | 2022-12-12 |
Family
ID=70106840
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018186189A Active JP7187015B2 (ja) | 2018-09-29 | 2018-09-29 | ダイヤフラムバルブ及び流量制御装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7187015B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2022153868A1 (en) * | 2021-01-14 | 2022-07-21 | Hitachi Metals, Ltd. | Bellows diaphragm assembly |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0666389A (ja) * | 1992-08-19 | 1994-03-08 | Yamatake Honeywell Co Ltd | 調節弁 |
JP2003042324A (ja) * | 2001-07-27 | 2003-02-13 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 遮断弁 |
JP2014504355A (ja) * | 2010-12-09 | 2014-02-20 | ソシエテ ベ イ セ | ライターのためのバルブ組立体及びこのようなバルブ組立体を備えるガスライター |
CN204213431U (zh) * | 2014-09-28 | 2015-03-18 | 杭州金奥阀门制造有限公司 | 微小流量阀 |
JP2016011744A (ja) * | 2014-06-30 | 2016-01-21 | 株式会社フジキン | ダイヤフラム弁、流体制御装置、半導体製造装置および半導体製造方法 |
-
2018
- 2018-09-29 JP JP2018186189A patent/JP7187015B2/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0666389A (ja) * | 1992-08-19 | 1994-03-08 | Yamatake Honeywell Co Ltd | 調節弁 |
JP2003042324A (ja) * | 2001-07-27 | 2003-02-13 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 遮断弁 |
JP2014504355A (ja) * | 2010-12-09 | 2014-02-20 | ソシエテ ベ イ セ | ライターのためのバルブ組立体及びこのようなバルブ組立体を備えるガスライター |
JP2016011744A (ja) * | 2014-06-30 | 2016-01-21 | 株式会社フジキン | ダイヤフラム弁、流体制御装置、半導体製造装置および半導体製造方法 |
CN204213431U (zh) * | 2014-09-28 | 2015-03-18 | 杭州金奥阀门制造有限公司 | 微小流量阀 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2022153868A1 (en) * | 2021-01-14 | 2022-07-21 | Hitachi Metals, Ltd. | Bellows diaphragm assembly |
US11655912B2 (en) | 2021-01-14 | 2023-05-23 | Hitachi Metals, Ltd. | Bellows diaphragm assembly |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP7187015B2 (ja) | 2022-12-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5049296B2 (ja) | ドームロード型圧力調整器 | |
AU2011258679B2 (en) | Valve stem and valve plug apparatus for use with fluid regulators | |
RU2635339C2 (ru) | Разгруженный клапанный канал для регулятора жидкости | |
US11306830B2 (en) | Valve device | |
US11174949B2 (en) | Actuator and valve device using the same | |
KR102563815B1 (ko) | 다이어프램 밸브 및 유량 제어 장치 | |
JP2020056430A (ja) | ダイヤフラムバルブ及び流量制御装置 | |
KR102453794B1 (ko) | 밸브 장치, 유체 제어 장치, 유체 제어 방법, 반도체 제조 장치 및 반도체 제조 방법 | |
US20220082176A1 (en) | Valve device, flow control method, fluid control device, semiconductor manufacturing method, and semiconductor manufacturing apparatus | |
TWI753708B (zh) | 隔膜閥、流量控制裝置、流體控制裝置及半導體製造裝置 | |
JP7166599B2 (ja) | ダイヤフラムバルブおよび流量制御装置 | |
US9684315B2 (en) | Control valve | |
JP2020020379A (ja) | 制御弁 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210827 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20210827 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220712 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220901 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20221104 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20221122 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7187015 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |