JP4190866B2 - 流量調整装置 - Google Patents
流量調整装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4190866B2 JP4190866B2 JP2002328116A JP2002328116A JP4190866B2 JP 4190866 B2 JP4190866 B2 JP 4190866B2 JP 2002328116 A JP2002328116 A JP 2002328116A JP 2002328116 A JP2002328116 A JP 2002328116A JP 4190866 B2 JP4190866 B2 JP 4190866B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- valve body
- flow rate
- housing
- plate member
- adjusting device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
- G05D7/00—Control of flow
- G05D7/01—Control of flow without auxiliary power
- G05D7/0106—Control of flow without auxiliary power the sensing element being a flexible member, e.g. bellows, diaphragm, capsule
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
- F16K31/12—Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by fluid
- F16K31/122—Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by fluid the fluid acting on a piston
- F16K31/1221—Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by fluid the fluid acting on a piston one side of the piston being spring-loaded
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
- F16K31/12—Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by fluid
- F16K31/36—Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by fluid in which fluid from the circuit is constantly supplied to the fluid motor
- F16K31/365—Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by fluid in which fluid from the circuit is constantly supplied to the fluid motor the fluid acting on a diaphragm
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K7/00—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves
- F16K7/12—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm
- F16K7/14—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm arranged to be deformed against a flat seat
- F16K7/17—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm arranged to be deformed against a flat seat the diaphragm being actuated by fluid pressure
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T137/00—Fluid handling
- Y10T137/7722—Line condition change responsive valves
- Y10T137/7737—Thermal responsive
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Valve Housings (AREA)
- Fluid-Driven Valves (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、薬液や純水等の流量を制御する流量調整装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
図4は、従来の流量調整装置の構造の一例を示した断面図である。このような流量調整装置1は、複数の薬液を調合する場合や、製品の製造過程にて使用される純水等の流量を正確に調整する場合など、流体の供給ライン上に用いられるものである。また、このような用途に使用される流量調整装置1は、一般にレギュレータとも呼ばれている。
【0003】
この流量調整装置1の構造について具体的に説明する。外観形状をなすハウジング10は樹脂等の材料により成形されており、この外側には流体の入口ポート21と流体の出口ポート24とがそれぞれ形成され備えられている。また、ハウジング10の内部には、入口ポート21に連通する開口面11aを有する弁座11、及び、この弁座11の開口面11aに対して鉛直方向(図において上下方向)に移動する弁体30、及び、この弁体30の上端面に固定されたダイアフラム35、及び、該弁体30を弁座11に押し付けるスプリング36とが主として備えられている。なお、弁体30は図に示すような2つの部材によって構成されていることが一般的である。
【0004】
また、流体を流通させる流路は、入口ポート21から弁体30まで連通する第1の空間22(一般に「弁室」と呼ばれる。)と、弁座11とダイアフラム35との間に位置して出口ポート24まで連通する第2の空間23とによって構成されている。
そして、ダイアフラム35を挟んで第2の空間23の反対側、すなわち、紙面におけるダイアフラム35の上側には密閉された圧力室12が形成されており、この圧力室12は、ハウジング10の上部に形成された圧力導入ポート13に連通している。
【0005】
弁体30に付随する構成、及び弁体30の動作についてさらに説明する。
弁体30は、この末端である外周部下部がハウジング10内に形成された弁体挿入溝25に挿入されることによって鉛直方向の軸線に沿って上下方向に移動可能とされている。さらに、弁体30は、この下方である弁体挿入溝25内に備えられたスプリング36によって下方から上方、すなわち、弁座11に向けて押し付けられることで弁座11を閉塞する役目を担っている。
【0006】
また、弁体30の上部には突出した雄ねじ部30aが形成されており、この雄ねじ部30aがダイアフラム35に形成された雌ねじ部に螺合されることによって、弁体30とダイアフラム35とが固定されている。なお、構成によっては弁体30とダイアフラム35とが固定されない場合もある。
【0007】
そして、圧力導入ポート13からエア等が供給されると、圧縮室12が加圧されることになり、ダイアフラム35はスプリング36の弾性力に勝る力を得て下方に押し下がる。これによって、ダイアフラム35に固定された弁体30が弁座11から離間して弁座11の開口面11aが開口することとなり、第1の空間22に満たされた流体は第2の空間23に流入する。この際、圧縮室12の加圧の度合いに応じて弁体30の上下方向における移動距離は変化するので、弁座11の開口面11aを通過する流体の流量は調整されることになる。そして、第2の空間に流入した流体がここから出口ポート25に向かって流動し送出されることで、流量調整装置1における流体の流量調整が行われることとなる。
【0008】
このような構成の流量調整装置1は、既に先行技術として開示されているものであり、上述のダイアフラム35の位置変位をもたらすエアに代えて、ねじによってダイアフラム35を押し込むニードル方式の流量調整機構が備えられているものもある(例えば、特許文献1参照。)。
【0009】
【特許文献1】
特開平6−201063号公報(第10−12段落、第1図)
【発明が解決しようとする課題】
ところで、このような流量調整装置1は、例えば、半導体等を製造するための薬液や純水などの流体の流量調整を行う役目を担って回路内に設置されるが、調整の対象となる流体が短時間の間に温度変化したり、あるいは外部の環境温度が変化したりすると、流量調整に若干の狂いが生じていた。このことは正確な流量調整を行える温度範囲を狭める結果にもなっていた。
【0010】
上述の流量調整装置に備わる流路は、薬液を流通させるために耐薬品性に優れたフッ素樹脂などの樹脂材料が用いられてハウジング内に形成され備えられているが、この樹脂材料の熱変形が金属材料に比較して大きいため、流路を形成するシール面に若干のズレが生じてシール構造が崩れることがあった。このことは、ハウジングの各部分において温度分布が異なるからである。
【0011】
ここで言うシール面とは、図4に示されるハウジング10の内壁とダイアフラム35との密着面や、ハウジング10を構成する各部分どうしの密着面などを有する段付き形状やOリングなどを有してシール構造をなすシール部Kなどを指すものであり、このような部分にて熱変形による形状変化が生じると、シール構造が崩れて面圧が低下し流体がリークする可能性がある。
【0012】
また、弁体30の下方に形成されて該弁体30の動作方向を規定する弁体挿入溝25についても、上述と同様に流体の温度変化や、外部環境の温度変化、さらには、弁体30との摩擦による温度上昇や摩耗によって変形することも予想される。この場合、弁体挿入溝25の内周面と弁体30の外周面との間に隙間ができたり、弁体挿入溝25の溝方向が鉛直方向に対して傾いたりするなどの問題が生じかねず、弁体30は鉛直方向の軸線に沿って円滑に移動することが困難となって弁座11の開度を流量の調整値に応じて一定に保つことができなくなる。
【0013】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであって、樹脂製のハウジングに形成される流路を用いることによって耐薬品性に優れた点を維持しつつ、幅広い温度範囲で正確な流量調整を行うことを可能とする流量調整装置を提供することを目的としている。
【0014】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、請求項1記載の発明は、樹脂製のハウジングに、流体の入口ポートと、出口ポートと、これら各ポート間に配置された流路と、該流路に形成された弁座を開閉する弁体とを備えた流量調整装置において、前記ハウジング内に、前記流路の周囲を取り囲んで前記ハウジングの熱変形を抑制する、ハウジング材料よりも熱変形量が小さい材料からなる形状保持手段を備え、前記形状保持手段は、前記流路の一方に位置する金属性の第1板部材と、前記流路の他方に位置する金属製の第2板部材と、前記第1板部材と前記第2板部材との間隔を一定に保つスペーサと、該スペーサを介して前記第1板部材と前記第2板部材とを締結する締結手段とを有してなることを特徴としている。
【0015】
このような発明により、流路を流れる流体の温度変化や、設置環境の温度変化等によるハウジングの熱変形が、ハウジング材料よりも熱変形量が小さい材料からなる形状保持手段の設置により抑制され、流路及びその周囲の形状が保持される。
【0017】
また、このような発明により、流路、該流路の周囲、流路の一部をなす弁座、及び弁体などは、これらの両側にて一定間隔で配置された金属製の第1板部材と第2板部材との間に挟まれた状態で位置することになる。そして、万が一、流体の温度変化などにより第1板部材と第2板部材との間に挟まれた部分が熱変形しようとしても、第1板部材及び第2板部材が入熱によって多大に変形しないため、これら板部材に挟まれた流路及びその周囲などの部分に熱変形が引き起こされることはない。すなわち、流路に関わる、例えばシール面や弁座等が形状変化することが回避されてハウジング内の定位置に規定されることになる。このことは、第1板部材と第2板部材とがスペーサの寸法によって決められた間隔で規定されることによるものであり、第1板部材と第2板部材との間の熱変形は全てこの間で許容されることになる。
【0018】
請求項2記載の発明は、請求項1記載の発明において、前記弁体の動作方向を規定する前記ハウジング内の弁体挿入溝に、前記ハウジングの材料よりも熱変形量が小さい材料からなる弁体拘束部材を備えたことを特徴としている。
【0019】
このような発明により、ハウジング内にて弁体の動作における末端に形成されて弁体の動作方向を規定する弁体挿入溝が、熱変形等により弁体の動作方向を規定できなくなることが回避される。すなわち、樹脂製のハウジングに形成された弁体挿入溝にハウジングの材料と異なる弁体拘束部材が設置されることによって、上記弁体挿入溝の構造が入熱の影響に対して強固となり、例えば、流体の温度変化、外部環境の温度変化、あるいは弁体の微少摺動等による発生熱や摩耗による変形が回避されて弁体の動作方向及び弁体の円滑な動作が常に維持される。これにより、弁体が傾いたり、ふらついたり、大きく震えたりするような不安定な動作があらゆる温度域で除去されることになり、弁体は所定の軸線に沿って円滑且つ的確に移動することになる。これにより、弁体の動作における弁座の開度が、流量の調整値に応じて正確に且つ安定して得られることになる。なお、弁体拘束部材の材料としては、弁体を滑らかに摺動させる耐食性に優れた樹脂製が望ましく、この樹脂がハウジングの材料よりも熱変形しにくいものであればよい。
【0021】
また、このような発明により、流路及びこの周囲の熱変形が形状保持手段の設置により抑制されて流路に適正な流量が流れることになり、さらに、弁体の動作がハウジングの材料よりも熱変形量が小さい材料からなる弁体拘束部材に誘導されることで弁座の開度が安定する。
【0022】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施形態における流量調整装置について図面を参照して説明する。
[第1の実施形態]
図1は第1の実施形態における流量調整装置の内部構造を説明する断面図である。図2はハウジング内に設置される形状保持手段の構成を説明する斜視図である。なお、ここに説明する流量調整装置1の出口ポート24から供給される定格流量は4〜35L/minとされるものであり、この範囲にて定格流量を調整するための基本構造は、従来技術にて説明した流量調整装置1の構造とほぼ同等であるため一部その説明を省略するものとし、発明に関わる構成及び構造についてより詳しく説明するものとする。
【0023】
外観形状をなすハウジング10は、ポリプロピレン樹脂(以下、「PP樹脂」と称す。)、あるいは耐薬品性に優れたフッ素樹脂(以下、「PFA樹脂」と称す。)等の材料によって成形された3つの各ブロック10a,10b,10c、及びこれらの間に挿入されて配置された本発明の形状保持手段を構成するステンレス製(SUS304等)の各板部材14,15の組み合わせによって構成されている。なお、この流量調整装置1の対象流体が純水及び薬液であるため、形状保持手段をなす各部品には耐食性を高めるためにテフロン加工(登録商標)が施されている。
【0024】
各ブロック10a,10b,10cについて説明すると、第1ブロック10aは、PP樹脂からなる流量調整装置1の土台部分である。
また、第1ブロック10aの上側に位置する第2ブロック10bは、入口ポート21、出口ポート24、及び弁室22や第2の空間23で構成される流路等を有する耐薬品性に優れたPFA樹脂からなる流量調整装置1の中間部分である。また、第2ブロック10bの上側に位置する第3ブロック10cは、ダイアフラム35を第2ブロック10b側に押さえ付けるとともに、該ダイアフラム35の上側に圧力室12や、該圧力室12にエアを供給する圧力導入ポート13等を有するPFA樹脂からなる流量調整装置1の上側部分である。
【0025】
上記ダイアフラム35は、第2ブロック10bと第3ブロック10cとの間に配置されており、本実施形態におけるダイアフラム35の詳細な構成として、薄膜とされたダイアフラム35の補強をなすダイアフラム補強材34が取り付けられている。なお、ダイアフラム補強材34は、本実施形態に必ずしも必要である部品ではないので、以下の説明では、ダイアフラム34に含まれる部品として説明する。
【0026】
このダイアフラム補強材34の材質は、柔軟性に富んだゴム板が採用されており、ダイアフラム35の形状に合わせて中央部分が抜かれた円盤状に形成されている。また、この周端部の上側及び下側には、ダイアフラム35の環状凸部35a、及び、後述する第1板部材14の環状溝14cに固定できるような嵌め合い形状が形成されている。
このようなダイアフラム補強材34は、ダイアフラム35本体の薄さを確保して圧力に対する変形を十分に確保しつつ、この変形における強度を高く保持する役目を担っている。すなわち、圧力室12における圧力に耐えうるダイアフラム35の強度を確保している。
【0027】
また、上述した板部材の1つである第1板部材14は、図2にも示すように円筒形状とされたハウジング10の形状に合わせて円盤状に形成されており、この中央部にはダイアフラム35の上方に形成される圧縮室12を確保するための貫通穴14aが形成されている。さらに、この第1板部材14の外周部には後述するボルト17(締結手段)の取り付けを可能とする段付き形状のボルト取付穴bが縁部に沿って等間隔に計8つ設けられている。また、この第1板部材14の下面における上記ボルト取付穴14bよりも内側には、ダイアフラム35の外周部に設けられた環状凸部35a(詳細には、ダイアフラム補強材34の周端部を含む。)を嵌め合わせるための環状溝14cが設けられている。なお、この第1板部材14は、図1に示すように第3ブロック10cの下面に形成された円形溝100cに挿入されて配置されることになる。
【0028】
さらに、上述した板部材の1つである第2板部材15は、図2に示すように円筒形状とされたハウジング10の形状に合わせて第1板部材とほぼ同等な円盤状に形成されており、この中央部には弁体30の動作空間を確保するための貫通穴15aが形成されている。さらに、この第2板部材15の外周部には、第1板部材14に取り付けられたボルト17の端部の螺合を可能とするねじ穴15b(締結手段)が縁部に沿って等間隔に計8つ設けられている。なお、この第2板部材15は、図1に示すように第1ブロック10aの上面に形成された円形溝100aに挿入されて配置されることになる。
【0029】
さて、第1板部材14と第2板部材15とは、図2に示すようにスペーサ60を介して複数のボルト17によって締結される。これらスペーサ16の全ては、同じ全長に加工されたステンレス製(SUS304等)の筒であり、入熱による熱変形がほとんど生じることなく第1板部材14と第2板部材との間隔を一定に保つ役目を担っている。なお、第1板部材14と第2板部材とは、各スペーサ16の内部に挿入される各ボルト17によってスペースの利用の点で効率よく締結されているが、各スペーサ16と各ボルト17の配置を必ずしも同じ位置に合わせる必要はない。
【0030】
さらに、本実施形態の流量調整装置1における弁体30の動作方向を規定する第1ブロック10aの上面に形成された弁体挿入溝25には、第1ブロック10aの材料であるPP樹脂よりも熱変形量が小さいポリ三フッ化塩化エチレン樹脂(以下、「PCTFE樹脂」と称す。)を材料とした筒状の弁体拘束部材32が備えられている。この弁体拘束部材32は、弁体30の末端である下部外周面と接しており、弁体30の動作に応じて弁体30を摺動可能に支持する役目を担っている。なお、符号31は、従来より弁体30の外周部に面して弁体30の動作を支持し、且つ動作方向である鉛直方向の移動を規制するガイド部材である。なお、このガイド部材31が弁体30を拘束する部分は弁体30の胴体部分であるため、弁体30の動作を支持する機能としては弁体拘束部材32よりも劣る。
【0031】
さて、このような構成によれば以下の作用が得られる。
流体が例えば10℃〜90℃の範囲で温度変化することなどにより、第1板部材14と第2板部材15とに囲まれた第2ブロック10bが熱変形しようとしても、第1板部材14と第2板部材15とが入熱によって多大に変形しないため、これら板部材14,15に囲まれた第2ブロック10bに多大な熱変形が引き起こされるはない。そして、例え熱変形が僅かながらに生じても、両板部材14,15の間における各部分の形状がこれら両板部材14,15の締め付けによって保持されるので、流路の機能が低下することはない。
【0032】
すなわち、第2ブロック10b内に形成された流路に関わるシール面、言い換えれば、第2ブロック10bの上面と第1板部材14を有する第3ブロックの下面との密着面であるシール部K、が形状変化しようとしても、シール部Kにおける面圧が維持されてズレの発生が回避される。このことは、第1板部材14と第2板部材15とが統一されたスペーサ16の全長によって決められた間隔で規定されることによるものであり、第1板部材14と第2板部材15との間における熱変形は全てこの間で許容されるからである。
【0033】
さらに、PP樹脂からなる第1ブロック10aに形成された弁体挿入溝25に、PCTFE樹脂からなる弁体拘束部材32が設置されることによって、弁体挿入溝25の構造が入熱の影響に対して強固となる。すなわち、この弁体拘束部材32は、流体の温度変化、外部環境の温度変化、さらには弁体の微少摺動等による発生熱や摩耗による変形を引き起こすことがなく、摩擦抵抗を常に低く抑えることを可能としている。
【0034】
これにより、温度変化などに影響されて弁体30が傾いたり、ふらついたり、大きく震えたりする動作が除去されることになり、弁体30は所定の軸線に沿って円滑且つ正確に移動することになる。この結果、弁体30の動作における弁座11の開度が流量の調整値に応じて正確且つ安定して得られることになる。
【0035】
以上説明した本実施形態の流量調整装置1によれば以下の効果を奏することができる。
ハウジング10の流路部分における熱変形を回避してシール部K等のシール面におけるリークを防止することができるので、例えば10℃〜90℃で温度変化する流体の流量調整を行う場合であっても的確な流量を流路内に流通させることができる。また、弁体30による弁座11の開度が正確に規定されることで、上記温度範囲で変化する流体であっても正確な流量調整を行うことができる。これらのことは従来の使用温度範囲に比較して同使用温度範囲の拡大を実現している。また、樹脂製のハウジング10内に強固な構造体が備えられることになるので、外部からの衝撃に対しても正確な流量調整を維持することができる。
【0036】
なお、本実施形態においては、テフロン加工(登録商標)が施されたステンレスの各部品を組み合わせて形状保持手段を構成したが、これに限定解釈されるものではなく、例えば、アルミニウムなどの線膨張係数がハウジング10に用いられた材料よりも低いものであればいずれであってもよい。
また、弁体拘束部材32をPCTFE樹脂として説明したが、これにおいても限定解釈されるものではなく、例えばPVDF(ビニリデンフルオライド樹脂)や、ステンレスなどの線膨張係数がハウジング10の主たる部分に用いられる材料よりも低いものであればいずれであってもよい。そして、さらに言うなれば、耐薬品性に優れている材料が好適である。
【0037】
[第2の実施形態]
次に、第2の実施形態における流量調整装置1’について説明する。なお、本実施形態の流量調整装置1’は、上述した第1の実施形態の流量調整装置1に比較して弁体30をごく僅かに動作させるための構成が追加して備えられていることが異なるので、この点について詳しく説明するものとし、その他の構成については同様であるので一部を除きその説明を省略するものとする。
【0038】
本実施形態に示される流量調整装置1’は、流路内に流体が滞留することを回避するためにダイアフラム35を介して弁体30を僅かに押し下げるピストン40が備えられるものであり、該ピストン40を動作させる構成について以下に説明する。
【0039】
第3ブロック10cの上面には、後述するピストン40、及び該ピストン40を紙面上方に押し上げるスプリング46を嵌め込むための凹所140が形成されており、該凹所140にはハウジング10の外部に連通する抜き孔140aが形成されている。そして、この凹所140に、スプリング46と、ピストン40の下側とが挿入され配置されている。
【0040】
第3ブロック10cの上側に位置する第4ブロック10dには、この中央部にピストン40の上側を収容するための凹所160が形成されており、さらに、該凹所160の中心部にはピストン40のシャフト部41をハウジング10の外部に突出させるための貫通孔170がシャフト部41の直径に合わせて形成されている。なお、この貫通孔170の内周面には、圧力漏れを防ぐためのOリング51が設けられている。
【0041】
また、第3ブロック10cの側面には、ピストン40に向かってエアを供給するための第2の圧力導入ポート18が形成されている。エアが供給されるピストン40側をより特定すると、ピストン40には凹所160の形状に合わせて該凹所160の直径とほぼ同等な直径を有する円板部42が形成されている。
そして、この円板部42の上面(紙面において上側の面)と凹所160とがなす空間、すなわち、上記エアが供給される空間が第2の圧力室19として形成されることで、ピストン40に対して圧力による上下方向の動作を促す構成とされている。そして、第2の圧力室19に供給されたエアの漏れを防止するために、先に説明したシャフト部41のOリング51に加えて、この円板部42の外周面にOリング52が設けられている。
【0042】
エアが供給されるピストン40の円板部42の上面は、第2の圧力導入ポート18から供給されたエアの圧力を受ける受圧面であり、この受圧面にエアの圧力が作用することでピストン40を紙面下方向に押し下げようとする力が作用する。このような作用に対し、ピストン40は第3ブロック10c側に備わるスプリング46によって紙面上方に押し上げられている。
したがって、受圧面にスプリング46の弾性力に勝る力が作用した場合で、なお且つ、後述するダイヤル55がピストン40を解放した状態であれば、ピストン40は上下方向に適宜移動することになる。
【0043】
また、第2の圧力室19は、円板部42とシャフト部41との繋ぎ目(なお、円板部42とシャフト部41とは一体構造である。)に段差43が形成されることで常に空間として確保され、第2の圧力導入ポート18から供給されるエアが受圧面に常時作用する状態が維持されている。
【0044】
ピストン40の上部、すなわち、ハウジング10から突出したシャフト部41の上端側にはねじ部41aが形成されており、このシャフト部41の上端側には該ねじ部41aに螺合する雌ねじ部を有するダイヤル55が取り付けられている。このダイヤル55は、上側のダイヤル部55aと、下側のロック部55bとからなり、これらがダブルナット方式で構成されることで周り止めがなされてダイヤル55の位置がシャフト部41に形成されたねじ部41aの任意な位置で固定されることになる。
【0045】
これにより、導入されるエアによってピストン40が上下方向に動作していない状態であれば、ダイヤル55を回すことによってダイヤル55は上方に移動することになり、その後にダブルナット方式で固定されることになる。このことによって、ハウジング10の上面とダイヤル55の下面との間に隙間が生じてピストン40の上下移動を可能とするストロークが任意に確保されることになる。
【0046】
また、ピストン40のシャフト部41の上側にはピン56が取り付けられており、ダイヤル55や、自らが回転しようとする作用を該ピン56と第4ブロックに形成された切欠部との接触で防止している。
【0047】
ピストン40のシャフト部41の下端は、ダイアフラム35の上面に貫通する貫通孔150に挿入されており、第2の圧力導入ポート18からエアの供給を受けてピストン40が下方に移動した場合にてダイアフラム35を押し付けることが可能な構造とされている。
また、第1の圧力室12に供給されたエアが、ピストン40が収容される凹所140に漏れることを回避するため、貫通孔150の内周面にはOリング53が設けられている。
【0048】
次に、ピストン40による弁体30の動作について説明する。
流体の流通を遮断するべく、圧力導入ポート13から流量調整用のエアを供給しない場合、必要に応じて第2の圧力導入ポート18からピストン40を微少に動作させるためのエアが供給される。この結果、ピストン40はこれの下方に備わるスプリング46の弾性力に勝る力を得て下方に移動し、シャフト部41の下端でダイアフラム35を押し下げる。
【0049】
この際の押し下げ量は、シャフト部41の上端側に備わるダイヤル55の固定位置によって設定されたストロークによって実質的に定義されることになり、ダイアフラム35を介して弁体30は弁座11から僅かに離間することになる。
そして、弁座11の開口面11aが僅かに開口することによって、入口ポート21から流入する流体は、定格流量に対してごく僅かな0.1〜10%の範囲で調整された微少流量に絞り込まれて出口ポート25に向かって流通することになる。
【0050】
以上説明したように、本実施形態における流量調整装置1’によれば、第1の実施形態の効果に加えて微少流量の流体を流路に流通させることが可能となる。これによって、流体の滞留を回避して流体にバクテリア等の雑菌が発生することを防止することができる。
【0051】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係る流量調整装置によれば、下記の効果を奏することができる。
請求項1記載の発明に係る流量調整装置によれば、ハウジング内の流路及びその周囲の形状が流体の温度変化などに影響されずに保持されるので、例えば、シール面におけるリークの防止が得られて、温度変化する流体であっても正確な流量調整を行うことができる。
【0052】
また、この流量調整装置によれば、形状保持手段が金属製の第1板部材、第2板部材、スペーサ、及び締結手段により構成されるので、流路及びこの周囲における形状が流体の温度変化などに影響されることなく的確に保持される。これにより、温度変化する流体であっても正確な流量調整を行うことを可能とする流量調整装置を、部分的な追加構成にて安価に実現することができる。また、樹脂製のハウジング内に強固な構造体が備えられることになるので、外部からの衝撃に対しても正確な流量を得る流量調整装置を実現することができる。
【0053】
請求項2記載の発明に係る流量調整装置によれば、ハウジング内に形成された弁体挿入溝に、ハウジングの材料よりも熱変形量が小さい弁体拘束部材が備えられることにより、流体の温度変化などに影響されることなく弁体を弁座に対して円滑に移動させ、なお且つ流量の調整値に応じて適正な位置に導くことができる。これによって、温度変化する流体、あるいは外部環境などに用いられる場合であっても弁座における流量調整の精度を向上させることができる。
【0054】
また、この流量調整装置によれば、流体の温度変化などによって流量調整に悪影響を及ぼしかねない状況であっても、流路に適正な流量を流通させることができ、なお且つ、弁座を通過する流量を各調整値に応じて適正に導くことができる。これにより、温度変化を受ける場合であっても高精度な流量調整を行うことを可能とした信頼性の高い流量調整装置を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明に係る第1の実施形態における流量調整装置の構成及び構造を説明する流量調整装置の断面図である。
【図2】 本発明に係る第1の実施形態における流量調整装置に用いられる形状保持手段の概略構成を説明する斜視図である。
【図3】 本発明に係る第2の実施形態における流量調整装置の構成及び構造を説明する流量調整装置の断面図である。
【図4】 従来の流量調整装置の構成及び構造を説明する流量調整装置の断面図である。
【符号の説明】
1,1’ 流量調整装置
10 ハウジング
11 弁座
14 第1板部材(形状保持手段)
15 第2板部材(形状保持手段)
16 スペーサ(形状保持手段)
17 ボルト(締結手段,形状保持手段)
21 入口ポート
22 弁室(流路)
23 第2の空間(流路)
24 出口ポート
30 弁体
32 弁体拘束部材
35 ダイアフラム
K シール部
Claims (2)
- 樹脂製のハウジングに、流体の入口ポートと、出口ポートと、これら各ポート間に配置された流路と、該流路に形成された弁座を開閉する弁体とを備えた流量調整装置において、
前記ハウジング内には、前記流路の周囲を取り囲んで前記ハウジングの熱変形を抑制する、ハウジング材料よりも熱変形量が小さい材料からなる形状保持手段が備えられ、
前記形状保持手段は、前記流路の一方に位置する金属性の第1板部材と、前記流路の他方に位置する金属製の第2板部材と、前記第1板部材と前記第2板部材との間隔を一定に保つスペーサと、該スペーサを介して前記第1板部材と前記第2板部材とを締結する締結手段とを有してなることを特徴とする流量調整装置。 - 前記弁体の動作方向を規定する前記ハウジング内の弁体挿入溝には、前記ハウジングの材料よりも熱変形量が小さい材料からなる弁体拘束部材が備えられてなることを特徴とする請求項1記載の流量調整装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002328116A JP4190866B2 (ja) | 2002-11-12 | 2002-11-12 | 流量調整装置 |
US10/843,513 US6988710B2 (en) | 2002-11-12 | 2004-05-10 | Flow regulating device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002328116A JP4190866B2 (ja) | 2002-11-12 | 2002-11-12 | 流量調整装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004162774A JP2004162774A (ja) | 2004-06-10 |
JP4190866B2 true JP4190866B2 (ja) | 2008-12-03 |
Family
ID=32806503
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002328116A Expired - Fee Related JP4190866B2 (ja) | 2002-11-12 | 2002-11-12 | 流量調整装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6988710B2 (ja) |
JP (1) | JP4190866B2 (ja) |
Families Citing this family (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2006034436A2 (en) * | 2004-09-21 | 2006-03-30 | Stout Medical Group, L.P. | Expandable support device and method of use |
WO2006073159A1 (ja) * | 2005-01-07 | 2006-07-13 | Honda Motor Co., Ltd. | 駆動輪用軸受装置 |
JP4698230B2 (ja) | 2005-01-07 | 2011-06-08 | サーパス工業株式会社 | 流量調整装置 |
JP5081822B2 (ja) | 2005-07-14 | 2012-11-28 | スタウト メディカル グループ,エル.ピー. | 拡張可能支持デバイスおよびシステム |
JP5542273B2 (ja) | 2006-05-01 | 2014-07-09 | スタウト メディカル グループ,エル.ピー. | 拡張可能な支持装置および使用方法 |
JP4696188B2 (ja) | 2006-08-07 | 2011-06-08 | Smc株式会社 | 閉鎖力増強機構付きダイヤフラム型電磁弁 |
US20100211176A1 (en) | 2008-11-12 | 2010-08-19 | Stout Medical Group, L.P. | Fixation device and method |
US20100204795A1 (en) | 2008-11-12 | 2010-08-12 | Stout Medical Group, L.P. | Fixation device and method |
WO2012027490A2 (en) | 2010-08-24 | 2012-03-01 | Stout Medical Group, L.P. | Support device and method for use |
JP5241816B2 (ja) * | 2010-12-28 | 2013-07-17 | サーパス工業株式会社 | 流量調整装置 |
JP5889648B2 (ja) | 2012-01-26 | 2016-03-22 | サーパス工業株式会社 | 流量調整装置 |
JP5889649B2 (ja) | 2012-01-26 | 2016-03-22 | サーパス工業株式会社 | 流量調整装置 |
JP6093206B2 (ja) | 2013-03-07 | 2017-03-08 | サーパス工業株式会社 | 流量調整装置 |
JP6601010B2 (ja) * | 2015-06-23 | 2019-11-06 | セイコーエプソン株式会社 | バルブユニットの製造方法及びバルブユニット |
JP6674348B2 (ja) | 2016-07-20 | 2020-04-01 | サーパス工業株式会社 | 流量調整装置 |
FR3064995B1 (fr) * | 2017-04-07 | 2019-06-21 | Fives Filling & Sealing | Equipement et procede de remplissage haut debit |
CN109237077B (zh) * | 2018-11-19 | 2023-09-08 | 宁波万海阀门科技有限公司 | 一种双水路水龙头阀芯 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06201063A (ja) | 1993-01-08 | 1994-07-19 | Saapasu Kogyo Kk | 流量調整弁 |
JPH11141693A (ja) * | 1997-11-07 | 1999-05-25 | Asuka Kogyo Kk | オーステナイトステンレス鋼バルブ |
-
2002
- 2002-11-12 JP JP2002328116A patent/JP4190866B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2004
- 2004-05-10 US US10/843,513 patent/US6988710B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2004162774A (ja) | 2004-06-10 |
US20040262565A1 (en) | 2004-12-30 |
US6988710B2 (en) | 2006-01-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4190866B2 (ja) | 流量調整装置 | |
US8960644B2 (en) | Valve seat structure of fluid control valve | |
KR101224852B1 (ko) | 밸브 조립체 | |
JP2009064458A (ja) | 流体用減圧レギュレータ | |
JP5889649B2 (ja) | 流量調整装置 | |
JP2018168970A (ja) | メタルダイヤフラムバルブ | |
JP4340119B2 (ja) | 薬液弁 | |
US20200041007A1 (en) | Actuator and valve device using the same | |
US9506572B2 (en) | Flow regulating device | |
JP4667964B2 (ja) | 流量調整弁 | |
US20220082176A1 (en) | Valve device, flow control method, fluid control device, semiconductor manufacturing method, and semiconductor manufacturing apparatus | |
US10989317B2 (en) | Two-way valve | |
WO2020066491A1 (ja) | ダイヤフラムバルブ及び流量制御装置 | |
US10018282B2 (en) | Flow rate adjusting device | |
JP2017053405A (ja) | アクチュエータ付きバルブ | |
KR102629406B1 (ko) | 다이어프램 밸브 | |
WO2021131631A1 (ja) | ダイヤフラムバルブ、流量制御装置、流体制御装置、及び半導体製造装置 | |
JP2021067363A (ja) | ダイヤフラムの製造方法、バルブ用ダイヤフラム及びこれを備えるダイヤフラムバルブ | |
JP2020056430A (ja) | ダイヤフラムバルブ及び流量制御装置 | |
JP4440798B2 (ja) | ダイアフラムバルブ | |
TWI820791B (zh) | 閥裝置 | |
CN116648573A (zh) | 流量控制用三通阀以及温度控制装置 | |
KR20060036601A (ko) | 반도체 제조 장치용 슬롯 밸브 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050913 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080527 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080529 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080728 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20080902 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080917 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110926 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4190866 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110926 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120926 Year of fee payment: 4 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120926 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130926 Year of fee payment: 5 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |