JP6601010B2 - バルブユニットの製造方法及びバルブユニット - Google Patents

Description

本発明は、液滴噴射ヘッド（記録ヘッド）に対して液体供給源からの液体（インク）を供給するバルブユニットの製造方法、及び当該製造方法で製造されたバルブユニットに関する。

従来、インクを液滴として噴射する液滴噴射ヘッド（記録ヘッド）を記録媒体に対して相対的に移動させることにより、記録媒体に画像を記録または印刷するインクジェット式記録装置が知られている。
例えば、上記の記録ヘッドでは、液体状のインクを封入したインクカートリッジ（液体供給源）内のインクを、記録ヘッドのリザーバー（共通液室）を介して圧力室に導入し、圧電振動子や発熱素子等の圧力発生手段を駆動して圧力室内のインクに圧力変動を付与し、この圧力変動を利用して、圧力室に連通するノズルからインクを噴射する。この構成の記録ヘッドでは、インクカートリッジから記録ヘッドにインクを供給する流路の途中にバルブユニットが設けられている。

バルブユニットは、その内部の流路を開閉する弁体（バルブ）と、流路の開口面を封止するフィルムとを有している。記録ヘッドのノズルから液滴が噴射されることにより流路内の内圧が減少すると、フィルムが弁体に近付く方向に撓み、フィルムが弁体を押圧する。これにより流路が開かれて、液体供給源からのインクがバルブユニットの流路を介して記録ヘッド側に供給される。一方、液体供給源からのインクが導入されて流路の内圧が上昇すると、フィルムが弁体から離れる方向に撓む。これにより流路が閉じられて、記録ヘッド側への液体の供給が阻止される。すなわち、フィルムの変位によって流路が開閉され、記録ヘッドに供給されるインクの流動圧が制御される。

バルブユニットが適正に動作するためには、フィルムが適正に変位することが重要である。例えば、フィルムが皺などの異常を有していると、フィルム面内での剛性のばらつきが生じ、フィルムの変位が不均一になる。このため、例えば特許文献１では、治工具によってテンションが付勢された状態で、フィルムが流路の開口面に封止または熱溶着されていた。テンションが付勢された状態でフィルムを封止すると、フィルムに皺が生じにくく、フィルムが適正に変位し、弁体が適正に動作するようになる。

特開２０１３−１２４７１３号公報

ところが、特許文献１では、フィルムにテンションを付勢するのみによりフィルムの位置決めを行うので、弁体に対するフィルムの位置や、弁体に対する受圧板の位置がずれた状態でフィルムが封止されると、弁体を適正に動作させることができないおそれがあった。

本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。

［適用例１］本適用例に係るバルブユニットの製造方法は、第１面及び第２面を貫通する貫通口を有する第１流路部材と可撓性部材とを固定し、前記貫通口の前記第１面側を前記可撓性部材により覆う工程と、前記貫通口と連通する流路を前記可撓性部材の変位により開閉可能な弁体が貫通される孔を有する第２流路部材と、前記第１流路部材とを、前記貫通口の第２面側と前記孔とが連通された状態で固定する工程と、を備え、前記可撓性部材により覆う工程では、前記可撓性部材が固定部材によって支持された状態で、前記可撓性部材と前記第１流路部材とを固定することを特徴とする。

可撓性部材により覆う工程では、可撓性部材が固定部材によって支持された状態で第１流路部材に固定または接着されるので、可撓性部材に皺などが生じたとしても、弁体に対する可撓性部材の位置ずれを低減させた状態で可撓性部材を第１流路部材に固定することができる。そのため、適正に変位する可撓性部材を有するバルブユニットを製造することができる。

［適用例２］上記適用例に係るバルブユニットの製造方法は、前記可撓性部材は、前記第１流路部材に固定される一方の面と、前記一方の面と反対側の他方の面とを有し、前記可撓性部材により覆う工程では、前記可撓性部材が前記固定部材によって前記一方の面から前記他方の面に向かう方向に支持された状態で、前記可撓性部材と前記第１流路部材とを固定することが好ましい。

可撓性部材により覆う工程では、可撓性部材は、固定部材によって一方の面から他方の面に向かう方向に支持されている。すなわち、可撓性部材の一方の面が固定部材によって支持され、可撓性部材が移動しにくくなった状態で、可撓性部材と第１流路部材とが固定されている。従って、可撓性部材により覆う工程では、可撓性部材の位置ずれが生じにくく、可撓性部材を第１流路部材に対して精度よく固定することができる。

［適用例３］上記適用例に係るバルブユニットの製造方法は、前記可撓性部材には、受圧板が固定され、前記可撓性部材により覆う工程では、前記受圧板が前記固定部材によって支持された状態で、前記可撓性部材と前記第１流路部材とを固定することが好ましい。

可撓性部材により覆う工程では、固定部材によって支持された受圧板が移動しにくく、さらに、受圧板が固定された可撓性部材も移動しにくい。従って、可撓性部材により覆う工程では、受圧板及び可撓性部材の両方が位置ずれしにくく、受圧板及び可撓性部材の両方を、第１流路部材に対して精度よく固定することができる。

［適用例４］上記適用例に係るバルブユニットの製造方法は、前記可撓性部材により覆う工程では、前記可撓性部材と前記第１流路部材との固定面に対して前記可撓性部材を変位させた状態で、前記可撓性部材と前記第１流路部材とを固定することが好ましい。

可撓性部材を変位させると、可撓性部材に適度なテンションが付勢され、可撓性部材により覆う工程において可撓性部材に皺が生じにくくなる。

［適用例５］上記適用例に係るバルブユニットの製造方法は、前記可撓性部材により覆う工程では、前記一方の面の側からの吸引によって、前記可撓性部材を前記他方の面から前記一方の面に向かう方向に変位させた状態で、熱溶着によって前記可撓性部材と前記第１流路部材とを固定することが好ましい。

一方の面の側からの吸引によって可撓性部材を変位させると、変位した部分の可撓性部材に不要な熱が影響しにくい。すなわち、変位した部分の可撓性部材に対する不要な熱の悪影響を抑制しつつ、熱溶着によって可撓性部材と第１流路部材とを固定することができる。

［適用例６］上記適用例に係るバルブユニットの製造方法は、前記一方の面から前記他方の面に向かう方向から透視した場合に、前記可撓性部材と前記第１流路部材とが固定される部分は、前記第１流路部材と前記第２流路部材とが固定される部分に重なることが好ましい。

一方の面から他方の面に向かう方向から透視した場合に、可撓性部材と第１流路部材とが固定される部分が、第１流路部材と第２流路部材とが固定される部分に重なるように製造すると、可撓性部材と第１流路部材とが固定される部分が、第１流路部材と第２流路部材とが固定される部分に重ならないように製造する場合と比べて、バルブユニットの一方の面から他方の面に向かう方向と交差する方向の寸法を小さくすることができる。

［適用例７］上記適用例に係るバルブユニットの製造方法は、前記一方の面から前記他方の面に向かう方向から透視した場合に、前記第１流路部材と前記第２流路部材とが固定される部分の内側に、前記第１流路部材と前記第２流路部材とを位置決めする位置決めピンが設けられていることが好ましい。

一方の面から他方の面に向かう方向から透視した場合に、第１流路部材と第２流路部材とが固定される部分の内側に、第１流路部材と第２流路部材とを位置決めする位置決めピンを設けると、バルブユニットの一方の面から他方の面に向かう方向と交差する方向の寸法を小さくしつつ、位置決めピンによって第１流路部材と第２流路部材とを高精度に位置合わせすることができる。

［適用例８］上記適用例に係るバルブユニットの製造方法は、前記可撓性部材により覆う工程では、レーザー溶着によって前記可撓性部材と前記第１流路部材とを固定し、前記第２流路部材と前記第１流路部材とを固定する工程では、レーザー溶着によって前記第１流路部材と前記第２流路部材とを固定することが好ましい。

レーザー溶着は、レーザー光が照射された部分が局所的に加熱され、例えばヒーターツールによる加熱と比べて、不要な熱の悪影響を抑制することができる。

［適用例９］本適用例に係るバルブユニットは、第１面及び第２面を貫通する貫通口を有する第１流路部材と、前記貫通口の前記第１面側を覆う可撓性部材と、前記第１流路部材に固定され、前記貫通口の前記第２面側と連通される孔を有する第２流路部材と、前記孔に貫通され、前記貫通口と連通する流路を前記可撓性部材の変位により開閉可能とする弁体と、を備えることを特徴とする。

バルブユニットは、貫通口が可撓性部材で覆われた第１流路部材と、貫通口に連通される孔を有する第２流路部材と、貫通口と連通する孔を可撓性部材の変位により開閉可能とする弁体と、を備える。すなわち、バルブユニットは、可撓性部材に皺などの異常が生じにくい製造方法で貫通口が可撓性部材で覆われた第１流路部材と、第２流路部材と、流路を可撓性部材の変位により開閉可能とする弁体と、を備える。
従って、皺などの異常を有していない可撓性部材は適正に変位し、可撓性部材の変位によって開閉する弁体も適正に動作するので、本適用例に係るバルブユニットは適正に動作する。

［適用例１０］上記適用例に係るバルブユニットは、前記第１流路部材と前記第２流路部材との一方は、レーザー光を透過する透過部材であり、前記第１流路部材と前記第２流路部材との他方は、レーザー光を透過しない非透過部材であることが好ましい。

第１流路部材と第２流路部材との一方をレーザー光が透過する透過部材で構成し、第１流路部材と第２流路部材との他方をレーザー光が透過しない非透過部材で構成すると、レーザー溶着によって第１流路部材と第２流路部材とを固定することができる。レーザー溶着は、レーザー光が照射された部分が局所的に加熱されるので、例えばヒーターツールによる加熱と比べて不要な熱の悪影響を抑制することがきる。

［適用例１１］上記適用例に係るバルブユニットは、前記可撓性部材は、前記第１流路部材に固定される一方の面と、前記一方の面と反対側の他方の面とを有し、前記一方の面から前記他方の面に向かう方向から透視した場合に、前記可撓性部材と前記第１流路部材とが固定される部分は、前記第１流路部材と前記第２流路部材とが固定される部分に重なることが好ましい。

一方の面から他方の面に向かう方向から透視した場合に、可撓性部材と第１流路部材とが固定される部分が、第１流路部材と第２流路部材とが固定される部分に重なるように配置すると、可撓性部材と第１流路部材とが固定される部分が、第１流路部材と第２流路部材とが固定される部分に重ならないように配置する場合と比べて、バルブユニットの一方の面から他方の面に向かう方向と交差する方向の寸法を小さくすることができる。

［適用例１２］上記適用例に係るバルブユニットは、前記一方の面から前記他方の面に向かう方向から透視した場合に、前記第１流路部材と前記第２流路部材とが固定される部分の内側に、前記第１流路部材と前記第２流路部材とを位置決めする位置決めピンが設けられていることが好ましい。

一方の面から他方の面に向かう方向から透視した場合に、第１流路部材と第２流路部材とが固定される部分の内側に、第１流路部材と第２流路部材とを位置決めする位置決めピンを設けると、バルブユニットの一方の面から他方の面に向かう方向と交差する方向の寸法を小さくしつつ、位置決めピンによって第１流路部材と第２流路部材とを高精度に位置合わせすることができる。

実施形態１に係るインクジェット式記録装置の構成を示す概略平面図。 図１のＡ−Ａ’に沿った記録ヘッドの要部断面図。 図１のＡ−Ａ’に沿ったバルブユニットの要部断面図。 実施形態１に係るバルブユニットの製造方法を示す工程フロー。 図４に示す工程フローの状態を示す模式図。 実施形態２に係るバルブユニットの製造方法の状態を説明する図。 実施形態３に係るバルブユニットの製造方法の状態を説明する図。 実施形態４に係るバルブユニットの製造方法の状態を説明する図。

以下、図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。かかる実施形態は、本発明の一態様を示すものであり、この発明を限定するものではなく、本発明の技術的思想の範囲内で任意に変更可能である。また、以下の各図においては、各層や各部位を図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各層や各部位の縮尺を実際とは異ならせしめてある。

（実施形態１）
図１は、実施形態１に係るインクジェット式記録装置（以下、プリンターと称す）の構成を示す概略平面図である。プリンター１は、記録紙等の記録媒体Ｐの表面に対して液体状のインクを噴射して録媒体Ｐ上に画像等の記録または印刷を行う装置である。

図１に示すように、プリンター１は、略矩形箱状をなす本体ケース２を備え、本体ケース２内の前方下部には、プラテン３が主走査方向となる本体ケース２の長手方向（図１において左右方向）に沿って配設されている。プラテン３は、略矩形状を有し、記録用紙などの記録媒体Ｐを支持する支持台である。プラテン３上には、紙送り機構（図示省略）により記録媒体Ｐが主走査方向と直交する副走査方向（前方向）に搬送されるようになっている。

プラテン３の後部上方には、主走査方向に延びる棒状のガイド軸４が架設されている。ガイド軸４には、キャリッジ５が主走査方向へ移動可能な状態で支持されている。また、本体ケース２内の後方側面においてガイド軸４の両端部と対応する位置には、駆動プーリー７及び従動プーリー８が回転自在に支持されている。駆動プーリー７にはパルスモーター６が連結されている。駆動プーリー７と従動プーリー８との間には無端状のタイミングベルト９が掛装されている。そして、キャリッジ５の後端側はタイミングベルト９に接続されているので、パルスモーター６の駆動により、キャリッジ５はガイド軸４に沿って主走査方向に往復移動可能になっている。

本体ケース２内の一端側（図１では右端側）には箱形のカートリッジホルダー１４が設けられている。カートリッジホルダー１４には、インクを収容した流体収容体としてのインクカートリッジ１３が、インクの色毎に複数個（本実施形態においては４個）、着脱可能に装着されている。なお、インクは、色材や色材を分散させる溶剤などを含む。

各インクカートリッジ１３はカートリッジホルダー１４に装着されることで、インク供給チューブ１７の上流端に接続されるようになっている。また、各インク供給チューブ１７の下流端は、キャリッジ５上に搭載されたバルブユニット２１の上流側と接続されるとともに、バルブユニット２１の下流側はキャリッジ５の下面側に設けられた記録ヘッド２０に接続されている。そして、記録ヘッド２０の下面には、インクを吐出する複数のノズル４３（図２参照）が形成されている。つまり、キャリッジ５には、記録ヘッド２０とバルブユニット２１とが順に装着されている。

記録ヘッド２０からバルブユニット２１に向かう方向から見た場合、バルブユニット２１は、長方形状を有している。バルブユニット２１は、記録ヘッド２０のノズル４３から安定してインクが吐出されるように、記録ヘッド２０にインクを供給し、インクの流動圧を調整する。本実施形態では、バルブユニット２１で１色分のインクの流動圧を調整することができるように、バルブユニット２１内に１系統の流動圧調整機構が内蔵されている。つまり、４本のインク供給チューブ１７のそれぞれにバルブユニット２１が接続されている。

以降の説明では、長方形状のバルブユニット２１の長手方向をＸ方向とし、長方形状のバルブユニット２１の短手方向をＹ方向とする。記録ヘッド２０からバルブユニット２１に向かう方向、すなわちバルブユニット２１の厚さ方向をＺ方向とする。さらに、図中で方向を示す矢印の先端側を「（＋）方向」、基端側を「（−）方向」とする。
なお、Ｙ方向は「一方の面から他方の面に向かう方向」の一例である。さらに、Ｙ方向から見ることは「一方の面から他方の面に向かう方向から透視した場合」の一例であり、以降、平面視と称す。また、Ｙ方向を、Ｙ（＋）方向と称す場合がある。

なお、本実施形態では、記録ヘッド２０の上部にインクの種類の数（４種類のインク）に応じたバルブユニット（４つのバルブユニット２１）が装着されているが、これに限定されない。例えば、４種類のインクに対して２つのバルブユニットが装着されている構成であってもよい。つまり、バルブユニットは、複数色分（例えば２色分）のインクの流動圧を調整することができるように、バルブユニット内に複数系統の流動圧調整機構が内蔵されている構成であってもよい。

カートリッジホルダー１４とプラテン３との間、すなわち、記録媒体Ｐが搬送されない非印刷領域には、プリンター１の電源オフ時や記録ヘッド２０をメンテナンスする場合にキャリッジ５の待機場所となるホームポジションＨＰが設けられている。また、キャリッジ５がホームポジションＨＰに配置されたときの下方となる位置には、記録ヘッド２０のメンテナンスを行うためのメンテナンスユニット９１が備えられている。

メンテナンスユニット９１は、キャップ９２や吸引ポンプ９７を備えている。キャリッジ５がホームポジションＨＰに配置された場合には、キャップ９２が記録ヘッド２０に対してノズル４３を囲むように当接する。キャップ９２が記録ヘッド２０に当接した状態で吸引ポンプ９７を駆動することで、記録ヘッド２０内にある増粘したインクや気泡などを排出させるクリーニングが行われる。

カートリッジホルダー１４の上側には、加圧ポンプ９８が配置されている。加圧ポンプ９８には空気供給路９６の上流端が接続されているとともに、空気供給路９６の途中位置には圧力検出器９５及び大気開放弁９４が接続されている。また、空気供給路９６は大気開放弁９４の下流側に配設された分配器９３を境にインクカートリッジ１３の個数と同数に分岐されている。

分岐された各空気供給路９６は、それぞれの下流端が各々対応するインクカートリッジ１３に接続されている。加圧ポンプ９８の駆動によって生成された加圧空気は空気供給路９６を介してインクカートリッジ１３内に圧送されるとともに、加圧空気の加圧力によって、インクカートリッジ１３に収容されたインクがバルブユニット２１側に加圧供給されるようになっている。

そして、プリンター１では、副走査方向に記録媒体Ｐを搬送する動作と、キャリッジ５とともに主走査方向に沿って往復移動する記録ヘッド２０のノズル４３からインクを噴射する動作とを交互に繰り返すことにより、記録媒体Ｐに対する記録処理が実行される。

「記録ヘッド、バルブユニット」
図２は、図１のＡ−Ａ’に沿った記録ヘッドの要部断面図である。図３は、図１のＡ−Ａ’に沿ったバルブユニットの要部断面図である。
なお、記録ヘッド２０の状態及びバルブユニット２１の状態を、それぞれ分かりやすくするために、図２の座標軸（Ｙ方向、Ｚ方向）の向きと図３の座標軸（Ｙ方向、Ｚ方向）の向きとが異なる。詳しくは、９０度回転させた場合の図３の座標軸（Ｙ方向、Ｚ方向）の向きが、図２の座標軸（Ｙ方向、Ｚ方向）の向きに一致する。
最初に、図２を参照して、記録ヘッド２０の構成について説明する。

図２に示すように、記録ヘッド２０は、ヘッドケース２５と、振動子ユニット２６と、流路ユニット２７とを含む。
ヘッドケース２５は、中空箱体状部材であり、その先端面（下面）に流路ユニット２７が固定されている。ヘッドケース２５の内部に形成された収容空部１２内には、振動子ユニット２６が収容されている。ヘッドケース２５の内部には、その高さ方向を貫通してケース流路３４が形成されている。ケース流路３４は、バルブユニット２１から供給されるインクを共通インク室４０に導入するための流路であり、一方の端が共通インク室４０に接続されている。また、ケース流路３４の他方の端は、パッキン３９を介してバルブユニット２１のインク導出路（図示省略）に接続されている。

振動子ユニット２６は、櫛歯状に列設された複数の圧電振動子３１と、圧電振動子３１に駆動基板（図示省略）からの駆動信号を供給するためのフレキシブルケーブル３２と、圧電振動子３１を固定する固定板３３とから構成される。圧電振動子３１は、圧力室４２の一部を区画する可撓面（振動板３８）に接合されている。そして、圧電振動子３１は、駆動信号の印加により伸縮して圧力室４２の容積を膨張又は収縮させることで、圧力室４２内のインクに圧力変動を生じさせ、この圧力変動の制御によりノズル４３からインクを噴射させることができる。

流路ユニット２７は、ノズル４３が開設されたノズル形成基板３６と、インク流路を形成する流路形成基板３７と、流路形成基板３７の開口面を封止する振動板３８とが積層された状態で接合され一体化されることにより作製されている。流路ユニット２７は、共通インク室４０からインク供給口４１と圧力室４２とを通り、ノズル４３に至るまでの一連のインク流路（液体流路）を形成するユニット部材である。圧力室４２は、共通インク室４０から分岐され、ノズル４３毎に形成されている。バルブユニット２１のインク導出路から導出されたインクは、共通インク室４０を介して、圧力室４２に供給される。この流路ユニット２７は、ノズル形成基板３６を下側（プリンター本体のプラテン３側）に向けた姿勢でヘッドケース２５の先端面に接合されている。

次に、図３を参照して、バルブユニット２１の構成について説明する。
図３に示すように、バルブユニット２１では、フィルム２３と、第２流路部材５０と、第１流路部材４５と、フィルム２２とがＹ方向に沿って順に配置され、それぞれ互いに固定または接着されている。さらに、第１流路部材４５は、フィルム２２側に配置される面４５ａと、第２流路部材５０側に配置される面４５ｂとを有している。フィルム２２は、第１流路部材４５に固定される面２２ａと、面２２ａと反対側の面２２ｂとを有している。
なお、フィルム２２は、「可撓性部材」の一例である。第１流路部材４５の面４５ａは「第１面」の一例であり、第１流路部材４５の面４５ｂは「第２面」の一例である。フィルム２２の面２２ａは「一方の面」の一例であり、フィルム２２の面２２ｂは「他方の面」の一例である。

第１流路部材４５は、例えばポリプロピレン等の合成樹脂によって成型された部材である。第１流路部材４５は、例えばカーボンブラック、顔料、染料などを含み、レーザー光を吸収する。換言すれば、第１流路部材４５は、レーザー光を吸収する熱可塑性樹脂で構成される。第１流路部材４５は、面４５ａ及び面４５ｂを貫通する貫通口４６を有している。第１流路部材４５の面４５ｂは、第２流路部材５０に固定され、第２流路部材５０に固定される部分に凹部４４を有している。

第２流路部材５０は、例えばポリプロピレン等の合成樹脂によって成型された部材であり、第１流路部材４５に固定されている。第２流路部材５０は、カーボンブラック、顔料、染料などを含まず、レーザー光を透過する。換言すれば、第２流路部材５０は、レーザー光を透過する熱可塑性樹脂で構成される。第２流路部材５０は、第１流路部材４５が配置される側と反対側に凹部４９を有している。凹部４９の中央付近には、貫通口４６の面４５ｂ側に連通される孔４７が形成されている。すなわち、第２流路部材５０は、貫通口４６の面４５ｂ側と連通される孔４７を有している。さらに、第２流路部材５０は、第１流路部材４５に固定される部分に凸部４８を有している。
なお、上述した凹部４４及び凸部４８は、「位置決めピン」の一例である。

第１流路部材４５の凹部４４は、第２流路部材５０の凸部４８に嵌合され、第１流路部材４５と第２流路部材５０とが所定の位置に配置される。すなわち、凹部４４及び凸部４８を設けることによって、二つの部材（第１流路部材４５、第２流路部材５０）を高精度に位置合わせすることができる。換言すれば、平面視で、第１流路部材４５と第２流路部材５０とが固定される部分の内側に、第１流路部材４５と第２流路部材５０とを位置決めする位置決めピン（凹部４４、凸部４８）が設けられている。
なお、凹部４４は第１流路部材４５及び第２流路部材５０の一方に設ければよく、凸部４８は第１流路部材４５及び第２流路部材５０の他方に設ければよい。つまり、凸部４８を第１流路部材４５に設け、凹部４４を第２流路部材５０に設ける構成であってもよい。

換言すれば、凹部４４は雌型の嵌合部材であり、凸部４８は雄型の嵌合部材であり、雄型の嵌合部材と雌型の嵌合部材とが嵌合することで、第１流路部材４５と第２流路部材５０とが高精度に位置合わせ可能になっている。例えば、一方が雄側の係止部材（例えば、フック）であり、他方が雄側の係止部材を引っ掛けることが可能な雌側の係止部材（例えば、溝）であり、雄型の係止部材が雌型の係止部材に係止することで、第１流路部材４５と第２流路部材５０とを高精度に位置合わせする構成であってもよい。

フィルム２２，２３は、可撓性を有する部材である。フィルム２２，２３は、可撓性に加えて、水分や酸素や窒素に対するバリア性が要求される。このため、フィルム２２，２３は、可撓性を有するポリプロピレンフィルム層と、シリカ（ＳｉＯ₂）からなるバリア層と、ポリエチレンテレフタラートからなる補強層とが積層された３層構造を有している。
さらに、フィルム２２，２３は、レーザー光を透過する。換言すれば、フィルム２２，２３は、レーザー光を透過する熱可塑性樹脂を含む。

さらに、フィルム２２の中央部には、フィルム２２と比べて硬質の材料により形成された受圧板５７が固定されている、または取り付けられている。受圧板５７は、例えばポリエチレンやポリプロピレン等のプラスチック材料により構成されている。

受圧板５７のフィルム２２に固定される面と反対側の面には、バネ６２が配置または固定されている。バネ６２の一端はフィルム２２の受圧板５７に固定され、バネ６２の他端は第２流路部材５０に固定されている。

第１流路部材４５の貫通口４６の一方、すなわち貫通口４６の面４５ａ側は、フィルム２２が貼り付けられ、フィルム２２によって封止されている。第１流路部材４５の貫通口４６の他方、すなわち貫通口４６の面４５ｂ側は、第２流路部材５０が固定され、第２流路部材５０によって封止されている。さらに、第１流路部材４５の貫通口４６とフィルム２２と第２流路部材５０とで囲まれた領域または空間が、圧力室５２になる。

詳細は後述するが、フィルム２２の変位によって弁体５３がＹ（−）方向に移動し、インクの流路が開状態になる。詳しくは、図中の実線で示す状態にフィルム２２が変位すると、フィルム２２に固定された受圧板５７が弁体５３を押圧し、弁体５３がＹ（−）方向に移動し、インクの流路が開かれた状態になる。さらに、図中の二点鎖線で示す状態にフィルム２２が変位すると、弁体５３がＹ（＋）方向に移動し、インクの流路が閉じられた状態になる。

受圧板５７は、フィルム２２の変位による力を弁体５３に適正に付勢する役割を有する。フィルム２２の変位によって、フィルム２２が弁体５３を押圧する力は、受圧板５７を介して弁体５３に付勢される。弁体５３が適正に動作するためには、受圧板５７が第１流路部材４５の貫通口４６の中央に配置され、フィルム２２が均一に変位することが重要である。

仮に、受圧板５７が第１流路部材４５の貫通口４６の中央に配置されない場合や、フィルム２２の変位が偏り不均一である場合は、受圧板５７から弁体５３に対して斜め方向（Ｙ方向と交差する方向）の力が付勢されやすくなり、弁体５３が適正または正常に動作しなくなるおそれが生じる。

なお、バルブユニット２１は、受圧板５７を有していない構成であってもよい。受圧板５７を有していない構成であっても、フィルム２２の変位が偏ると、フィルム２２から弁体５３に対して斜め方向（Ｙ方向と交差する方向）の力が付勢されやすくなり、弁体５３が適正に動作しなくなるおそれが生じる。

平面視で、フィルム２２と第１流路部材４５とが固定される部分は、第１流路部材４５と第２流路部材５０とが固定される部分に重なるように配置され、平面視で、フィルム２２と第１流路部材４５とが固定される部分が、第１流路部材４５と第２流路部材５０とが固定される部分に重ならない場合と比べて、バルブユニット２１を小さくするまたは小型化することができる。

第２流路部材５０の凹部４９の開口は、フィルム２３が貼り付けられ、フィルム２３によって封止されている。さらに、第２流路部材５０の凹部４９とフィルム２３とで囲まれた領域または空間が、インク供給室５１になる。インク供給室５１は、凹部４９の中央付近に設けられた孔４７を介して、圧力室５２に連通されている。

インク供給室５１（第２流路部材５０の凹部４９）には、フィルター５８とバネ受け座５９とが、Ｙ方向に沿って順に配置されている。フィルター５８は、インク供給室５１から圧力室５２に向かって流動するインクを濾過する役割を有している。バネ受け座５９には、流通孔５９ａが設けられ、インクが流動可能になっている。さらに、バネ受け座５９には、バネ６３の一端が固定されまたは嵌め込まれ、バネ受け座５９によってバネ６３がフィルター５８に干渉しないようになっている。バネ６３の他端は弁体５３に固定されている。

バネ６３と受圧板５７との間には、弁体５３が配置されている。弁体５３は、孔４７に貫通され、フィルム２２の変位によりＹ方向に沿って往復移動し、インクの流路を開閉可能とする。弁体５３は、本体５４と、シール部材５５とで構成される。本体５４は、孔４７に貫通され、インク供給室５１側に配置される板状部５４ａと、先端側が圧力室５２に突出する軸部５４ｂとを備えている。シール部材５５は、例えばエラストマーやゴムなどからなる弾性部材で構成され、板状部５４ａの孔４７と対向する一面側に、軸部５４ｂを囲むよう配置されている。

このように、バルブユニット２１は、面４５ａ及び面４５ｂを貫通する貫通口４６を有する第１流路部材４５と、貫通口４６の面４５ａを覆うフィルム２２と、第１流路部材４５に固定され貫通口４６の面４５ｂ側と連通される孔４７を有する第２流路部材５０と、孔４７に貫通され貫通口４６と連通する流路をフィルム２２の変位により開閉可能とする弁体５３と、を備える。

バルブユニット２１では、インクカートリッジ１３から供給されるインクが、インク導入路（図示省略）を通じてインク供給室５１に導入され、さらに孔４７を通じて圧力室５２に導入される。圧力室５２に導入されたインクは、インク導出路を通じて記録ヘッド２０に供給される。そして、インク導入路と、インク供給室５１と、孔４７と、圧力室５２と、インク導出路とは、バルブユニット２１におけるインクの流路を構成する。

次に、図３を参照して、バルブユニット２１の動作について説明する。
バルブユニット２１では、インクカートリッジ１３からインク供給チューブ１７を通じてインクがインク供給室５１に加圧供給されているため、インク供給室５１内のインクは加圧された状態にある。弁体５３の本体５４には、インク供給室５１に供給されるインクの加圧力（インク供給室５１内のインクに作用する圧力）が作用する。さらに、弁体５３の本体５４には、圧力室５２内のインクに作用する圧力や受圧板５７から付勢される力が作用する。インク供給室５１内の圧力、圧力室５２内のインクに作用する圧力、及び受圧板５７から付勢される力などによって、弁体５３の位置が制御される。

圧力室５２内でインクに作用する圧力が所定の範囲内に維持された通常動作状態では、図中の二点鎖線で示すように、第２流路部材５０の孔４７を弁体５３が閉塞する状態（以下「閉状態」という）に維持される。すなわち、記録ヘッド２０からインクが噴射されない非記録状態では、弁体５３のシール部材５５が第２流路部材５０に密着し、弁体５３が閉状態となり、貫通口４６と連通するインクの流路が閉じられる。

これに対して、例えばインクの噴射や外部からの吸引（例えば、記録ヘッド２０のクリーニング）によってインクが消費され、圧力室５２内のインクが減少すると、圧力室５２内でインクに作用する圧力が低下し、フィルム２２がインク供給室５１側（Ｙ（−）方向）に変位し、フィルム２２に設置または固定された受圧板５７が、弁体５３の本体５４を押圧する。すなわち、フィルム２２は、圧力室５２内でインクに作用する圧力に応じて変位するダイヤフラムとして機能し、フィルム２２に固定された受圧板５７から、弁体５３の本体５４に対して、インク供給室５１から付勢される力（Ｙ（＋）方向の力）に抗する力（Ｙ（−）方向の力）が付勢される。すると、図中の実線で示すように、弁体５３のシール部材５５が第２流路部材５０から離間した状態（以下「開状態」という）に遷移する。弁体５３が開状態になると、貫通口４６と連通する流路が開かれ、圧力室５２とインク供給室５１とが孔４７を介して相互に連通される。

バルブユニット２１では、非印刷状態、すなわちインクが消費されない状態においては、バルブユニット２１よりも上流側のインクカートリッジ１３からインクが加圧供給されても、弁体５３が閉状態となるので、インクカートリッジ１３からのインクはバルブユニット２１の下流側の記録ヘッド２０（共通インク室４０）に供給されない。

これに対して、印刷状態、すなわちインクが消費される状態においては、圧力室５２のインクが徐々に減少する。圧力室５２のインクの減少に伴って、圧力が減少して圧力室５２が負圧になる。これによりフィルム２２が弁体５３を押し下げる方向（Ｙ（−）方向）に変位し、弁体５３が開状態となり、インク供給室５１から圧力室５２へインクが供給される。こうしてインクカートリッジ１３からのインクが、バルブユニット２１の下流側の記録ヘッド２０（共通インク室４０）に供給される。そして、バルブユニット２１の圧力室５２へのインクの流入により圧力室５２の負圧が解消されると、図中の二点鎖線で示すようにフィルム２２がＹ（＋）方向に遷移し、弁体５３が再び閉状態となり、記録ヘッド２０の共通インク室４０へのインクの供給が停止される。

このように、印刷動作中においては、インクの消費に従って弁体５３が僅かに開弁しつつ、圧力室５２に対してインクが逐次補給される。さらに、上流側のインク供給室５１内におけるインクの圧力変動は、弁体５３の開閉によって、ある一定の範囲内となるように制限され、下流側の圧力室５２内のインクの圧力変化と切り離される。従って、弁体５３よりも上流側に圧力変化が生じていても、下流側はその影響を受けることがない。このため、バルブユニット２１の圧力室５２内でインクに作用する圧力が一定の範囲に制御され、圧力室５２から記録ヘッド２０の共通インク室４０へのインクの供給が良好に行われる。

すなわち、バルブユニット２１は、圧力調整機能（流動圧調整機構）を有し、記録ヘッド２０に供給されるインクの流動圧を適正範囲に制御する。詳しくは、バルブユニット２１による圧力調整機能（流動圧調整機構）が稼働している通常動作状態（非印刷状態及び印刷状態）においては、記録ヘッド２０の共通インク室４０にインクが少なくなったときだけ自動的にインクが補充されるように弁体５３が開閉するので、バルブユニット２１よりも下流側でインクに作用する圧力を常にある一定の範囲内となるように制御することができる。プリンター１では、ノズル４３からインクが漏出せず、且つノズル４３からインクが適正に噴射または吐出されるように、ノズル４３に供給されるインクには大気圧に対して負圧が作用するようになっている。

仮に、ノズル４３に供給されるインクに作用する負圧が強すぎると、印刷時にノズル４３からインクが適正に噴射されないという不具合が生じるおそれがある。ノズル４３に供給されるインクに作用する負圧が弱すぎると、非印刷時にノズル４３からインクが漏出するという不具合が生じるおそれがある。

ノズル４３に供給されるインクの流動圧を適正に制御するためには、バルブユニット２１において弁体５３が適正または正常に動作し、インクの流路が適正に開閉されることが重要である。上述したように、弁体５３が適正に動作するためには、受圧板５７が第１流路部材４５の貫通口４６の中央に配置され、フィルム２２が均一に変位することが重要である。

本実施形態に係る製造方法では、弁体５３が適正に動作するようにフィルム２２を第１流路部材４５に適正に固定した後に、当該第１流路部材４５と第２流路部材５０とを固定してバルブユニット２１を製造している。そして、当該製造方法で製造されたバルブユニット２１では、弁体５３が適正に動作し、インクの流動圧が適正に制御される。
以下に、その詳細を説明する。

「バルブユニットの製造方法」
図４は、本実施形態に係るバルブユニットの製造方法を示す工程フローである。図５は、図３に対応する図であり、図４に示す工程フローの状態を示す模式図である。
以下、図４及び図５を参照し、本実施形態に係るバルブユニット２１の製造方法を説明する。

図４に示すように、本実施形態に係るバルブユニット２１の製造方法は、第１流路部材４５及びフィルム２２を固定（接着）する工程（ステップＳ１）と、第１流路部材４５及び第２流路部材５０を固定（接着）する工程（ステップＳ２）と、第２流路部材５０及びフィルム２３を固定（接着）する工程（ステップＳ３）と、を含む。

なお、ステップＳ１は、「第１流路部材４５とフィルム２２とを固定し、貫通口４６の面４５ａ側をフィルム２２により覆う工程」の一例である。ステップＳ２は、「第２流路部材５０と第１流路部材４５とを、貫通口４６の面４５ｂ側と孔４７とが連通された状態で固定する工程」の一例である。

ステップＳ１では、図５（ａ）に示すように、治工具１００とヒートツール２００とを用いて、第１流路部材４５とフィルム２２とを熱溶着し、フィルム２２を第１流路部材４５に固定（接着）する。なお、受圧板５７は、フィルム２２に対して熱溶着などにより予め固定（接着）されている。
なお、治工具１００は、「固定部材」の一例である。

治工具１００は、第１部材１１０と、第２部材１２０とで構成される。第１部材１１０は、治工具１００の基部をなし、第２部材１２０が取り付けられている。第１部材１１０には、第１流路部材４５の凹部４４に嵌合可能な凸部１１１が形成されている。つまり、第１部材１１０には、第２流路部材５０の凸部４８（図３参照）と同じ形状の凸部１１１が形成されている。

第２部材１２０には、受圧板５７を嵌め込むことが可能な凹部１２１が形成されている。さらに、第２部材１２０は、凹部１２１から端部に向か方向に徐々に厚くなり、フィルム２２に接する側に傾斜面１２２を有する。つまり、凹部１２１は、第１流路部材４５の面４５ａに対してＹ（−）方向に窪んだ形状を有している。

ヒートツール２００は、通電により発熱するホルダー２０１と、発熱体２０２と、押圧部材２０３とを有している。ホルダー２０１は、発熱体２０２を支持し、押圧部材２０３と比べて熱を伝えやすい材料で構成されている。ホルダー２０１は、発熱体２０２の熱を熱溶着対象物（第１流路部材４５、フィルム２２）に伝える。押圧部材２０３は、ホルダー２０１に取り付けられ、熱溶着対象物（第１流路部材４５、フィルム２２）よりも耐熱性に優れ、ホルダー２０１と比べて熱を伝えにくい材料で構成されている。本実施形態では、押圧部材２０３は、例えばテフロン（登録商標）樹脂で構成されている。平面視で、押圧部材２０３は受圧板５７と略同じ形状を有し、受圧板５７と重なる。平面視で、押圧部材２０３は受圧板５７と重なる構成が好ましく、例えば押圧部材２０３は受圧板５７よりも小さく、押圧部材２０３が受圧板５７の内側に配置される構成であってもよい。

ステップＳ１では、第１流路部材４５の凹部４４を第１部材１１０の凸部１１１に嵌合させ、受圧板５７を第２部材１２０の凹部１２１に嵌め込む。第１流路部材４５の凹部４４を第１部材１１０の凸部１１１に嵌合させると、第１流路部材４５は、Ｘ方向及びＺ方向に対して位置がずれにくくなり、第１流路部材４５の位置が第１部材１１０によって制御される。受圧板５７を第２部材１２０の凹部１２１に嵌め込むと、受圧板５７は、Ｘ方向及びＺ方向に対して位置がずれにくくなり、第１部材１１０及び第２部材１２０によって、第１流路部材４５に対する受圧板５７の位置を高精度に制御することができる。

第１流路部材４５の凹部４４を第１部材１１０の凸部１１１に嵌合させ、受圧板５７を第２部材１２０の凹部１２１に嵌め込むと、受圧板５７は第１流路部材４５の貫通口４６の中央に配置される。つまり、受圧板５７が第１流路部材４５の貫通口４６の中央に配置されるように、第１部材１１０の凸部１１１や第２部材１２０の凹部１２１が形成されている。従って、受圧板５７を、高精度に第１流路部材４５の貫通口４６の中央に配置することができる。

続いて、第１流路部材４５及びフィルム２２の接着面が、治工具１００とヒートツール２００とで挟まれるように、ヒートツール２００の位置を調整しながら、ヒートツール２００を治工具１００に近付ける。詳しくは、第１流路部材４５の凹部４４が第１部材１１０の凸部１１１に嵌合され、受圧板５７が第２部材１２０の凹部１２１に嵌め込まれた状態で（受圧板５７が第２部材１２０によって支持された状態で）、ヒートツール２００の位置を調整しながらヒートツール２００を治工具１００に近付け、第１流路部材４５及びフィルム２２の接着面を、治工具１００とヒートツール２００とで挟む。このとき、ヒートツール２００の押圧部材２０３は、フィルム２２の受圧板５７が固定された部分を押圧する。

フィルム２２の受圧板５７が固定された部分が、ヒートツール２００の押圧部材２０３によって押圧されると、フィルム２２は、第１流路部材４５の面４５ａ（フィルム２２と第１流路部材４５との固定面）に対してＹ（−）方向に変位または変形する。そして、フィルム２２は、第２部材１２０の傾斜面１２２に接し、第２部材１２０の傾斜面１２２によってＹ方向に支持される。

フィルム２２が第２部材１２０の傾斜面１２２によって支持されると、フィルム２２はＹ（−）方向に変位し、傾斜面１２２によってフィルム２２のＹ方向の変位を適正に制御することができる。
仮に、フィルム２２のＹ方向の変位が不均一であると、フィルム２２のＹ方向の変位によってインクの流路を開閉する弁体５３の動作、すなわち弁体５３のＹ方向に沿った往復移動が不均一になるおそれがある。本実施形態では、傾斜面１２２によってフィルム２２のＹ（−）方向の変位が適正に制御されているので、バルブユニット２１において、フィルム２２のＹ方向の変位の均一性が高められ、弁体５３が適正に動作し、インクの流路が適正に開閉されるようになる。

さらに、フィルム２２が第２部材１２０の傾斜面１２２によって支持されると、フィルム２２に適正なテンション（張力）が付勢され、フィルム２２に皺が生じにくくなる。
仮に、フィルム２２に皺が生じると、フィルム２２面内での剛性のばらつきが生じ、フィルムのＹ方向の変位が不均一になるおそれがある。本実施形態では、フィルム２２に適正なテンションを付勢することで、フィルム２２に皺を生じにくいので、バルブユニット２１において、フィルム２２面内での剛性のばらつきが抑制され、フィルム２２のＹ方向の変位の均一性が高められ、弁体５３が適正に動作し、インクの流路が適正に開閉されるようになる。

なお、ヒートツール２００と治工具１００とは、第１流路部材４５及びフィルム２２の接着面が治工具１００とヒートツール２００とで挟まれ、フィルム２２が第２部材１２０の傾斜面１２２によってＹ方向に支持されるように、形成または設計されている。

続いて、発熱体２０２に通電し、第１流路部材４５及びフィルム２２の接着面を加熱し、第１流路部材４５とフィルム２２とを熱溶着させ、図５（ｂ）に示すように、第１流路部材４５とフィルム２２とを固定または熱溶着し、貫通口４６の面４５ａ側をフィルム２２によって覆うまたは封止する。

換言すれば、ステップＳ１では、受圧板５７が第２部材１２０によって支持され、前記フィルム２２と第１流路部材４５との固定面（第１流路部材４５の面４５ａ）に対してフィルム２２をＹ（−）方向に変位させ、フィルム２２が第２部材１２０の傾斜面１２２によってＹ方向に支持された状態で、フィルム２２と第１流路部材４５とを固定する。

押圧部材２０３は、ホルダー２０１と比べて熱を伝えにくい材料で構成されているので、発熱体２０２の熱は、押圧部材２０３を介してフィルム２２に伝搬されにくい。すなわち、発熱体２０２の熱は、第１流路部材４５とフィルム２２とを熱溶着する部分以外に影響しにくい。従って、貫通口４６の面４５ａ側を覆うフィルム２２（変位する部分のフィルム２２）は、熱による変質が生じにくい。仮に、フィルム２２が変質し、フィルム２２の物性（例えば、剛性）が不均一になると、フィルム２２の変位が不均一になるので、フィルム２２の熱による変質を抑制することで、フィルム２２の変位の均一性を高めることができる。

さらに、フィルム２２に作用するテンションは、フィルム２２の撓み量（フィルム２２の変位）に依存する。例えば、フィルム２２の撓み量が大きいとフィルム２２に付勢されるテンションが大きくなり、フィルム２２の撓み量が小さいとフィルム２２に付勢されるテンションが小さくなる。

さらに、フィルム２２の撓み量（フィルム２２の変位）は、第２部材１２０の傾斜面１２２によって制御される。例えば、Ｘ方向及びＺ方向がなす面に対して急傾斜の傾斜面１２２ではフィルム２２の撓み量が大きくなり、Ｘ方向及びＺ方向がなす面に対して緩傾斜の傾斜面１２２ではフィルム２２の撓み量が小さくなる。
すなわち、第２部材１２０の傾斜面１２２は、フィルム２２に付勢されるテンションを調整し、ステップＳ１において過剰なテンションが付勢されないように、フィルム２２に付勢されるテンションを適正化する役割も有している。

さらに、ヒートツール２００と治工具１００とが、第１流路部材４５及びフィルム２２の接着面を挟み、フィルム２２が第２部材１２０の傾斜面１２２に支持されると、押圧部材２０３のＹ（−）方向への移動が抑制されるので、押圧部材２０３からフィルム２２に対して過剰な力が付勢されない。

よって、フィルム２２が第２部材１２０の傾斜面１２２によって支持されると、フィルム２２に付勢されるテンションが適正化され、フィルム２２に過剰なテンションが付勢されない。従って、フィルム２２が第２部材１２０の傾斜面１２２によって支持された状態で、第１流路部材４５とフィルム２２とを固定すると、第１流路部材４５とフィルム２２とが固定される部分に過剰な力が作用せず、適正に第１流路部材４５とフィルム２２とを固定（熱溶着）することができる。
仮に、第１流路部材４５とフィルム２２とが固定される部分に過剰な力が作用すると、フィルム２２が第１流路部材４５から剥がれる不具合が生じるおそれがある。本実施形態では、フィルム２２を第２部材１２０の傾斜面１２２で支持することによって、第１流路部材４５とフィルム２２とが固定される部分に過剰な力が作用しないので、このような不具合を抑制することができる。

ステップＳ２では、図５（ｃ）に示すように、貫通口４６の面４５ａ側がフィルム２２によって覆われた第１流路部材４５に、第２流路部材５０を配置する。詳しくは、第１流路部材４５の凹部４４に第２流路部材５０の凸部４８が嵌合するように、第１流路部材４５に、第２流路部材５０を配置する。
すなわち、平面視で、第１流路部材４５と第２流路部材５０とが固定される部分の内側に、第１流路部材４５と第２流路部材５０とを位置決めする位置決めピンが設けられた状態で、ステップＳ２の処理がなされる。

さらに、第１流路部材４５の凹部４４と第２流路部材５０の凸部４８とが嵌合すると、平面視で、フィルム２２と第１流路部材４５とが固定される部分が、第１流路部材４５と第２流路部材５０とが固定される部分に重なるようになる。すなわち、平面視で、フィルム２２と第１流路部材４５とが固定される部分が、第１流路部材４５と第２流路部材５０とが固定される部分に重なる状態で、ステップＳ２の処理がなされる。

第１流路部材４５の凹部４４に第２流路部材５０の凸部４８を嵌合させると、第１流路部材４５に対する第２流路部材５０の位置を高精度に制御することができる。詳しくは、第１流路部材４５の凹部４４に第２流路部材５０の凸部４８を嵌合させると、第１流路部材４５の貫通口４６の面４５ｂ側と第２流路部材５０の孔４７とが連通された状態になり、平面視で、第２流路部材５０の孔４７は、第１流路部材４５の貫通口４６及び受圧板５７の中央に配置される。

続いて、第２流路部材５０の側から、図中の矢印で示されたレーザー光ＬをＹ方向に沿って照射する。レーザー光Ｌは、第２流路部材５０を透過し、第１流路部材４５によって吸収される。その結果、第２流路部材５０と第１流路部材４５との接触面が局所的に加熱され、第２流路部材５０と第１流路部材４５とがレーザー溶着される。つまり、第１流路部材４５の貫通口４６の面４５ｂ側と第２流路部材５０の孔４７とが連通された状態で、第２流路部材５０と第１流路部材４５とを固定する、すなわちレーザー溶着する。

なお、図５（ｃ）では図示を省略するが、ステップＳ２では、バネ６２が貫通口４６の中に予め収納された状態で、第１流路部材４５と第２流路部材５０とが固定されている。

レーザー溶着では、レーザー光Ｌが吸収される部分、つまり必要な個所を局所的に加熱することができる。つまり、レーザー溶着される部分が局所的に加熱され、レーザー溶着されない部分は加熱されにくい。
例えば、第２流路部材５０と第１流路部材４５とを上述したヒートツール２００によって熱溶着すると、接着されない部分も加熱され、第２流路部材５０及び第１流路部材４５が熱変形するおそれがある。第２流路部材５０をフィルム２２，２３と比べて肉厚の部材で構成しても、第２流路部材５０と第１流路部材４５とをレーザー溶着することによって、接着されない部分が加熱されにくくなり、第２流路部材５０及び第１流路部材４５の熱変形が抑制される。

このように、ステップＳ２では、第２流路部材５０及び第１流路部材４５の熱変形を抑制しつつ、凹部４４及び凸部４８によって第１流路部材４５と第２流路部材５０とを所定の位置に高精度に固定することができる。

ステップＳ３では、図５（ｄ）に示すように、ステップＳ１と同様の方法でフィルム２３を第２流路部材５０に熱溶着し、第２流路部材５０の凹部４９の開口をフィルム２３で覆う。

なお、図５（ｄ）では図示が省略されているが、ステップＳ３では、弁体５３と、バネ６３と、バネ受け座５９と、フィルター５８とが、第２流路部材５０の凹部４９の中に収納された状態で、フィルム２３を第２流路部材５０に熱溶着する。

以上述べたように、本実施形態に係るバルブユニット２１の製造方法では、以下に示す効果を得ることができる。
１）治工具１００（第１部材１１０、第２部材１２０）によって、第１流路部材４５に対する受圧板５７の位置を高精度に制御し、受圧板５７を第１流路部材４５の貫通口４６の中央に高精度に配置することができる。

２）ヒートツール２００の押圧部材２０３は、ホルダー２０１と比べて熱を伝えにくい材料で構成されているので、発熱体２０２の熱は、貫通口４６の面４５ａ側を覆うフィルム２２（変位する部分のフィルム２２）に伝搬されにくく、フィルム２２が変質しにくい。フィルム２２が変質し、フィルム２２の物性（例えば、剛性）が不均一になると、フィルム２２の変位が不均一になるので、フィルム２２の変質を抑制することで、フィルム２２の変位の均一性を高めることができる。

３）ステップＳ１では、フィルム２２のＹ方向の変位が均一となるように、フィルム２２のＹ（−）方向の変位が第２部材１２０の傾斜面１２２によって適正に制御されている。その結果、バルブユニット２１において、フィルム２２のＹ方向の変位の均一性を高めることができる。

４）ステップＳ１では、フィルム２２に適正なテンション（張力）が付勢され、フィルム２２に皺が生じにくい。その結果、バルブユニット２１において、フィルム２２面内での剛性のばらつきが抑制され、フィルム２２のＹ方向の変位の均一性を高めることができる。

５）治工具１００（第２部材１２０の傾斜面１２２）及びヒートツール２００（押圧部材２０３）によって、ステップＳ１においてフィルム２２に付勢されるテンションを適正化することができる。従って、第１流路部材４５とフィルム２２とが固定される部分に過剰な力が作用せず、フィルム２２が第１流路部材４５に接着される部分から剥がれる不具合が抑制され、適正に第１流路部材４５とフィルム２２とを接着または熱溶着することができる。

５）１）〜５）によって、受圧板５７が第１流路部材４５の貫通口４６の中央に配置され、且つフィルム２２の変位の均一性が高められているので、弁体５３が適正に開閉し、ノズル４３に供給されるインクの流動圧を適正に制御することができる。

６）第１流路部材４５と第２流路部材５０とは、局所加熱が可能なレーザー溶着によって固定または接着されているので、接着部以外に不要な熱が加わらず、熱の悪影響（例えば、第１流路部材４５及び第２流路部材５０の熱変形）を抑制することができる。

（実施形態２）
図６は、実施形態２に係るバルブユニットの製造方法の状態を説明する図である。詳しくは、図６は、図５（ａ）に対応する図であり、第１流路部材４５及びフィルム２２を接着する工程（ステップＳ１）を説明する図である。

本実施形態に係るバルブユニット２１の製造方法は、ステップＳ１で使用するヒートツール及び押圧部材の状態が実施形態１と異なり、他は実施形態１と同じである。
以下、図６を参照し、本実施形態に係るバルブユニット２１の製造方法を、実施形態１との相違点を中心に説明する。また、実施形態１と同一の構成部位については、同一の符号を附し、重複する説明を省略する。

ステップＳ１では、図６に示すように、治工具１００と、ヒートツール２１０と、押圧部材２２０とを用いて、第１流路部材４５とフィルム２２とを熱溶着し、フィルム２２を第１流路部材４５に固定または接着する。
治工具１００は、実施形態１と同じであり、第１部材１１０と第２部材１２０とで構成される。

ヒートツール２１０は、通電により発熱する発熱体２１２と、ホルダー２１１とを有している。ホルダー２１１は、発熱体２１２を支持し、熱を伝えやすい材料で構成され、開口２１３を有している。本実施形態に係るヒートツール２１０は押圧部材２２０を有していなく、実施形態１に係るヒートツール２００は押圧部材２０３を有している、この点が本実施形態と実施形態１との相違点である。

押圧部材２２０は、押圧部２２１と、弾性部２２２とを含む。押圧部２２１は、熱を伝えにくい材料、例えばテフロン（登録商標）樹脂で構成され、ステップＳ１においてフィルム２２の受圧板５７が固定された部分を押圧する。弾性部２２２は、例えばバネであり、ヒートツール２１０の開口２１３を貫通するように配置される。押圧部材２２０（弾性部２２２）とヒートツール２１０とは接していなく、この点も本実施形態と実施形態１との相違点である。
なお、弾性部２２２は、弾性を有する材料で構成されていればよく、上述したバネの他に弾性ゴムで構成されていてもよい。

フィルム２２の受圧板５７が固定された部分は、押圧部材２２０の押圧部２２１によって押圧され、フィルム２２が第２部材１２０の傾斜面１２２によって支持された状態で、ヒートツール２１０の発熱体２１２に通電し、第１流路部材４５及びフィルム２２の接着面を加熱し、第１流路部材４５とフィルム２２とを熱溶着し、第１流路部材４５の貫通口４６の面４５ａ側をフィルム２２により覆う。

押圧部材２２０は、ヒートツール２１０に接していないので、ヒートツール２１０によって第１流路部材４５及びフィルム２２を熱溶着する際に、実施形態１と比べてヒートツール２１０（発熱体２１２）の熱が押圧部材２２０に伝搬しにくい。

例えば、実施形態１では、押圧部材２０３は、発熱体２０２を支持するホルダー２０１に接しているので、押圧部材２０３がホルダー２０１と接していない場合と比べて、発熱体２０２の熱が押圧部材２０３に伝搬しやすい。このため、実施形態１は、本実施形態と比べて、第１流路部材４５及びフィルム２２を熱溶着する際に、フィルム２２は押圧部材２０３に伝搬された熱の影響を受けやすい。仮に、フィルム２２が熱の影響を受け、変質すると、フィルム２２の変位の均一性が悪化するおそれがある。

本実施形態は、押圧部材２２０が発熱体２１２を支持するホルダー２１１に接していないので、実施形態１と比べて発熱体２１２の熱が押圧部材２２０に伝搬しにくい。よって、本実施形態は、実施形態１と比べて、フィルム２２は熱の影響を受けにくく、フィルム２２の変位の均一性の悪化を抑制することができる。従って、本実施形態は、実施形態１と比べて、フィルム２２の変位の均一性や弁体５３の開閉の均一性が高められ、ノズル４３に供給されるインクの流動圧をより適正に制御することができる。

（実施形態３）
図７は、実施形態３に係るバルブユニットの製造方法の状態を説明する図である。詳しくは、図７は、図５（ａ）に対応する図であり、第１流路部材４５及びフィルム２２を接着する工程（ステップＳ１）を説明する図である。

本実施形態に係るバルブユニット２１の製造方法は、ステップＳ１においてフィルム２２を第２部材１２０の傾斜面１２２に支持させる方法が実施形態１と異なり、他は実施形態１と同じである。
以下、図７を参照し、本実施形態に係るバルブユニット２１の製造方法を、実施形態１との相違点を中心に説明する。また、実施形態１と同一の構成部位については、同一の符号を附し、重複する説明を省略する。

ステップＳ１では、図７に示すように、治工具１００Ａと、ヒートツール２００Ａとを用いて、フィルム２２が第２部材１２０の傾斜面１２２によって支持された状態で、第１流路部材４５とフィルム２２とを熱溶着し、フィルム２２を第１流路部材４５に固定する。

治工具１００Ａは、第１部材１１０Ａと、第２部材１２０Ａとで構成される。第１部材１１０Ａは、治工具１００Ａの基部をなし、第２部材１２０Ａが取り付けられている。第１部材１１０Ａには、第１流路部材４５の凹部４４に嵌合可能な凸部１１１が形成されている。さらに、第１部材１１０Ａには、第１部材１１０Ａを貫く孔１１２が中央付近に形成されている。

第２部材１２０Ａは、実施形態１における第２部材１２０と同様の傾斜面１２２を有する。さらに、第２部材１２０Ａには、第２部材１２０Ａを貫き、受圧板５７を嵌め込むことが可能な貫通口１２３が形成されている。第２部材１２０Ａの貫通口１２３は、実施形態１における第２部材１２０の凹部１２１と同じ役割を有し、ステップＳ１において貫通口１２３に受圧板５７を嵌め込むことで、受圧板５７の位置を高精度に制御する。さらに、第２部材１２０Ａの貫通口１２３は、第１部材１１０Ａの孔１１２に連通されている。

ヒートツール２００Ａは、通電により発熱する発熱体２０２と、発熱体２０２を支持するホルダー２０１とを有している。実施形態１に係るヒートツール２００は押圧部材２０３を有し、本実施形態に係るヒートツール２００Ａは押圧部材２０３を有していない、この点も本実施形態と実施形態１との相違点である。

ステップＳ１では、第１流路部材４５の凹部４４を第１部材１１０Ａの凸部１１１に嵌合させ、受圧板５７を第２部材１２０の貫通口１２３に嵌め込んだ後に、受圧板５７と第２部材１２０Ａの貫通口１２３と第１部材１１０Ａとで囲まれた領域（以降、領域Ｒと称す）の空気を第１部材１１０Ａの孔１１２から排気する。すると、領域Ｒの圧力が、大気圧と比べて負圧になり、受圧板５７が第１流路部材４５の面４５ａに対してＹ（−）方向に変位しまたは吸引され、受圧板５７が固定されたフィルム２２も第１流路部材４５の面４５ａに対してＹ（−）方向に変位する。その結果、フィルム２２は、第２部材１２０Ａの傾斜面１２２によって支持される。フィルム２２が第２部材１２０Ａの傾斜面１２２によって支持されると、フィルム２２に適正なテンション（張力）が作用し、フィルム２２に皺などが生じにくくなる。

続いて、フィルム２２が第２部材１２０Ａの傾斜面１２２によって支持された状態で、ヒートツール２００Ａの発熱体２０２に通電し、第１流路部材４５及びフィルム２２の接着面を加熱し、第１流路部材４５とフィルム２２とを熱溶着し、第１流路部材４５の貫通口４６の面４５ａ側をフィルム２２により覆う。

換言すれば、ステップＳ１では、フィルム２２の面２２ａの側からの吸引によって、フィルム２２を面２２ｂから面２２ａに向かう方向に変位させた状態で、熱溶着によってフィルム２２と第１流路部材４５とを固定する。なお、実施形態１では、押圧部材２０３による押圧によってフィルム２２を面２２ｂから面２２ａに向かう方向に変位させた状態で、熱溶着によってフィルム２２と第１流路部材４５とを固定する。この点が、本実施形態と実施形態１との相違点である。

本実施形態では、押圧部材を使用せずに、孔１１２から領域Ｒの空気を排気し、受圧板５７を吸引することでフィルム２２を第２部材１２０Ａの傾斜面１２２に支持させている。本実施形態は、押圧部材を使用しないので、実施形態１と比べて発熱体２０２の熱の影響を受けにくい。よって、本実施形態は、実施形態１と比べて、フィルム２２は熱の影響を受けにくく、フィルム２２の変位の均一性の悪化を抑制することができる。従って、本実施形態は、実施形態１と比べて、フィルム２２の変位の均一性や弁体５３の開閉の均一性が高められ、ノズル４３に供給されるインクの流動圧をより適正に制御することができる。

（実施形態４）
図８は、実施形態４に係るバルブユニットの製造方法の状態を説明する図である。詳しくは、図８は、図７に対応する図であり、第１流路部材４５及びフィルム２２を接着する工程（ステップＳ１）を説明する図である。

本実施形態に係るバルブユニット２１の製造方法は、ステップＳ１における第１流路部材４５とフィルム２２とを固定または接着する方法が実施形態３と異なり、他は実施形態３と同じである。
以下、図８を参照し、本実施形態に係るバルブユニット２１の製造方法を、実施形態３との相違点を中心に説明する。また、実施形態３と同一の構成部位については、同一の符号を附し、重複する説明を省略する。

ステップＳ１では、図８に示すように、孔１１２から領域Ｒの空気を排気し、領域Ｒを負圧にすることで、フィルム２２を第２部材１２０Ａの傾斜面１２２に支持させる。続いて、フィルム２２が第２部材１２０Ａの傾斜面１２２に支持された状態で、第１流路部材４５とフィルム２２との接触面にレーザー光Ｌをフィルム２２の側から照射する。レーザー光Ｌは、フィルム２２を透過し、第１流路部材４５によって吸収される。その結果、フィルム２２と第１流路部材４５との接触面が局所的に加熱され、フィルム２２と第１流路部材４５とがレーザー溶着される。

すなわち、ステップＳ１では、レーザー溶着によってフィルム２２と第１流路部材４５とを固定する。さらに、ステップＳ２において、レーザー溶着によって第１流路部材４５と第２流路部材５０とを固定する。

レーザー溶着では、レーザー光Ｌが照射される部分が局所的に加熱され、レーザー光Ｌが照射されない部分は加熱されにくい。一方、実施形態３におけるヒートツール２００Ａを用いて加熱する方法は、レーザー溶着と比べて、発熱体２０２で発した熱が第１流路部材４５とフィルム２２との接触面以外の部分に影響しやすい。すなわち、本実施形態に係る加熱方法（レーザー光Ｌの照射）は、実施形態３に係る加熱方法（発熱体２０２の発熱）と比べて、第１流路部材４５とフィルム２２との接触面以外の部分に熱が伝搬しにくく、フィルム２２が熱の影響を受けて変質しにくい。

よって、本実施形態は、実施形態３と比べて、フィルム２２は熱の影響を受けにくく、フィルム２２の変位の均一性の悪化をさらに抑制することができる。従って、本実施形態は、実施形態３と比べて、フィルム２２の変位の均一性や弁体５３の開閉の均一性が高められ、ノズル４３に供給されるインクの流動圧をより適正に制御することができる。

本発明は、上記実施形態に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨あるいは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、上記実施形態以外にも様々な変形例が考えられる。以下、変形例を挙げて説明する。

（変形例１）
実施形態１乃至実施形態４では、ステップＳ１において、フィルム２２を第１流路部材４５の面４５ａ（フィルム２２と第１流路部材４５との固定面）に対してＹ（−）方向に変位させ、フィルム２２を第２部材１２０の傾斜面１２２に支持させている。ステップＳ１におけるフィルム２２を変位させる方向は、Ｙ（−）方向に限定されない。ステップＳ１におけるフィルム２２を変位させる方向は、Ｙ（＋）方向であってもよい。すなわち、フィルム２２を第１流路部材４５の面４５ａ（フィルム２２と第１流路部材４５との固定面）に対してＹ（＋）方向に変位させ、フィルム２２を第２部材１２０の傾斜面１２２に支持させてもよい。

例えば、実施形態１及び実施形態２において、第２部材１２０，１２０ＡにＹ（＋）方向側に凸となった傾斜面を形成し、フィルム２２を第１流路部材４５の面４５ａに対してＹ（＋）方向に変位させ、フィルム２２を第２部材１２０の傾斜面に支持させる構成であってもよい。

（変形例２）
実施形態３及び実施形態４では、ステップＳ１において、孔１１２から領域Ｒの空気を排気し、領域Ｒを負圧（大気に比べて低い圧力）にし、受圧板５７を吸引することによってフィルム２２をＹ（−）方向に変位させていた。フィルム２２を変位させる方法は、領域Ｒに空気を供給し、領域Ｒを正圧（大気に比べて高い圧力）とし、受圧板５７を加圧することによってフィルム２２をＹ（＋）方向に変位させる構成であってもよい。

例えば、実施形態３及び実施形態４において、第２部材１２０，１２０ＡにＹ（＋）方向側に凸となった傾斜面を形成し、領域Ｒを正圧（大気に比べて高い圧力）とし、受圧板５７を加圧することによって、第１流路部材４５の面４５ａに対してフィルム２２をＹ（＋）方向に変位させ、フィルム２２を第２部材１２０の傾斜面に支持させる構成であってもよい。

（変形例３）
フィルム２２を変位させる方法は、押圧部材２０３，２２０によってフィルム２２を押圧する方法や、フィルム２２を吸引する方法に限定されない。例えば、静電気や磁力によってフィルム２２を変位させてもよく、例えばバルーンを接触させて（バルーンによって押圧して）フィルム２２を変位させてもよく、例えば空気を吹き付けてフィルム２２を変位させてもよい。

（変形例４）
第１流路部材４５とフィルム２２とを固定または接着する方法は、ヒートツールを用いた熱溶着やレーザー溶着に限定されず、例えば接着剤によって第１流路部材４５とフィルム２２とを固定または接着してもよい。
例えば、第１流路部材４５とフィルム２２との間に光硬化性樹脂（接着剤）を配置し、第１流路部材４５とフィルム２２との接着面に光を照射し、光硬化性樹脂（接着剤）を硬化させることで、第１流路部材４５とフィルム２２とを固定（接着）してもよい。光を照射して接着剤を硬化させる方法は、レーザー光を照射する方法と同様に、第１流路部材４５とフィルム２２とを固定（接着）する部分以外への熱の影響を抑制することができる。

（変形例５）
第１流路部材４５をレーザー光が吸収される部材で構成し、第２流路部材５０をレーザー光が透過する部材で構成し、レーザー光Ｌを第２流路部材５０の側から照射することで第１流路部材４５と第２流路部材５０とをレーザー溶着したが、これに限定されない。例えば、第２流路部材５０をレーザー光が吸収される部材で構成し、第１流路部材４５をレーザー光が透過する部材で構成し、レーザー光Ｌを第１流路部材４５の側から照射することで第１流路部材４５と第２流路部材５０とをレーザー溶着する構成であってもよい。
すなわち、第１流路部材４５と第２流路部材５０との一方は、レーザー光Ｌを透過する透過部材であり、第１流路部材４５と第２流路部材５０との他方は、レーザー光Ｌを透過しない非透過部材であればよい。

１…プリンター、２…本体ケース、３…プラテン、１３…インクカートリッジ、１４…カートリッジホルダー、１７…インク供給チューブ、２０…記録ヘッド、２１…バルブユニット、２２，２３…フィルム、２５…ヘッドケース、２６…振動子ユニット、２７…流路ユニット、３１…圧電振動子、３３…固定板、３４…ケース流路、３６…ノズル形成基板、３７…流路形成基板、３８…振動板、４０…共通インク室、４１…インク供給口、４２…圧力室、４３…ノズル、４４…凹部、４５…第１流路部材、４５ａ，４５ｂ…面、４６…貫通口、４７…孔、４８…凸部、４９…凹部、５０…第２流路部材、５１…インク供給室、５２…圧力室、５３…弁体、５４…本体、５４ａ…板状部、５４ｂ…軸部、５５…シール部材、５７…受圧板、５８…フィルター、５９…バネ受け座、５９ａ…流通孔、６２，６３…バネ、１００，１００Ａ…治工具、１１０，１１０Ａ…第１部材、１１１…凸部、１１２…孔、１２０，１２０Ａ…第２部材、１２１…凹部、１２２…傾斜面、１２３…貫通口、２００，２００Ａ…ヒートツール、２０１…ホルダー、２０２…発熱体、２０３…押圧部材、Ｐ…記録媒体、Ｌ…レーザー光。

Claims (8)

1. バルブユニットの製造方法であって、
   第１面及び第２面を貫通する貫通口を有する第１流路部材と可撓性部材とを固定し、前記貫通口の前記第１面側を前記可撓性部材により覆う工程と、
   前記貫通口と連通する流路を前記可撓性部材の変位により開閉可能な弁体が貫通される孔を有する第２流路部材と、前記第１流路部材とを、前記貫通口の第２面側と前記孔とが連通された状態で固定する工程と、
   を備え、
   前記可撓性部材により覆う工程では、前記可撓性部材が治工具によって直接に支持された状態で、前記可撓性部材と前記第１流路部材とを固定することを特徴とするバルブユニットの製造方法。
2. 前記可撓性部材には、受圧板が固定され、
   前記可撓性部材により覆う工程では、前記受圧板が前記治工具によって支持された状態で、前記可撓性部材と前記第１流路部材とを固定することを特徴とする請求項１に記載のバルブユニットの製造方法。
3. 前記可撓性部材により覆う工程では、前記可撓性部材と前記第１流路部材との固定面に対して前記可撓性部材を変位させた状態で、前記可撓性部材と前記第１流路部材とを固定することを特徴とする請求項１または２に記載のバルブユニットの製造方法。
4. 前記可撓性部材は、前記第１流路部材に固定される一方の面と、前記一方の面と反対側の他方の面とを有し、
   前記可撓性部材により覆う工程では、前記可撓性部材が前記治工具によって前記一方の面から前記他方の面に向かう方向に支持された状態で、
   前記可撓性部材と前記第１流路部材とを固定することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載のバルブユニットの製造方法。
5. 前記可撓性部材により覆う工程では、前記一方の面の側からの吸引によって、前記可撓性部材を前記他方の面から前記一方の面に向かう方向に変位させた状態で、熱溶着によって前記可撓性部材と前記第１流路部材とを固定することを特徴とする請求項４に記載のバルブユニットの製造方法。
6. 前記一方の面から前記他方の面に向かう方向から透視した場合に、
   前記可撓性部材と前記第１流路部材とが固定される部分は、前記第１流路部材と前記第２流路部材とが固定される部分に重なることを特徴とする請求項４または５に記載のバルブユニットの製造方法。
7. 前記一方の面から前記他方の面に向かう方向から透視した場合に、
   前記第１流路部材と前記第２流路部材とが固定される部分の内側に、前記第１流路部材と前記第２流路部材とを位置決めする位置決めピンが設けられていることを特徴とする請求項４乃至６のいずれか１項に記載のバルブユニットの製造方法。
8. 前記可撓性部材により覆う工程では、レーザー溶着によって前記可撓性部材と前記第１流路部材とを固定し、
   前記第２流路部材と前記第１流路部材とを固定する工程では、レーザー溶着によって前記第１流路部材と前記第２流路部材とを固定することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載のバルブユニットの製造方法。
   

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