JP6093206B2 - 流量調整装置 - Google Patents
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Description
そして、弁体と弁座の間に隙間が形成されると、弁体と弁座の接触位置の上流側から下流側に向けて流体が流入し、流体の遮断が適切に行われない状態となってしまう。
本発明に係る流量調整装置は、外部から操作気体が導入される圧力室が内部に形成された第1ハウジングと、弁室、前記弁室と入口ポートを連通させる上流側流路、及び前記弁室と出口ポートを連通させる下流側流路が内部に形成された第2ハウジングと、前記弁室に収容され、該弁室の内周面に設けられる弁座部と接触又は離間することにより、前記上流側流路と前記下流側流路とが遮断した閉状態又は前記上流側流路と前記下流側流路とが連通した開状態とする弁体部と、前記弁体部に連結され、流体と接する流体接触面と前記操作気体と接する気体接触面とを有するダイヤフラムと、前記ダイヤフラムに連結され、前記圧力室の内周面に接触した状態で、前記弁体部に連動して該弁体部の軸方向に移動可能なガイド部材とを備えることを特徴とする。
このようにすることで、ガイド部材に連結された弁体部の芯ずれが抑制され、弁体が収納される弁室の中心位置と弁体の中心軸とが一致する。従って、弁体と弁座が接触する際に弁体と弁座の間に隙間が形成されることを抑制し、弁体部と弁座部の接触位置における流体の遮断性能を向上させた流量調整装置を提供することができる。
また、幅狭部が幅広部よりも弁座部から遠い位置に設けられているので、弁座部から遠い位置で芯ずれを適切に抑制し、弁体と弁座の間に隙間が形成されないようにすることができる。
以上のように、本態様の流量調整装置によれば、ダイヤフラムの過度の変形を防止しつつ、弁体部と弁座部の接触位置における流体の遮断性能を向上させた流量調整装置を提供することができる。
このようにすることで、圧力室内で操作気体を流通させて圧力を一定とし、圧力室内でのガイド部材の移動を円滑に行わせることができる。
このようにすることで、ダイヤフラムの基部が流体から受けた圧力が第2ガイド部に伝達される、流体から受けた圧力によってダイヤフラムの基部が変形することが防止される。
このようにすることで、流体から受けた圧力によってダイヤフラムの基部が変形することがより確実に防止される。
このようにすることで、外部から導入される操作気体が圧力室の幅狭部と幅広部のそれぞれに導かれ、圧力室内の操作気体の圧力が一定となり、圧力室内でのガイド部材の移動を円滑に行わせることができる。
図1は、流量調整装置の全閉状態を示す縦断面図であり、図2は、流量調整装置の全開状態を示す縦断面図である。図3は、ハウジング10cを示す縦断面図である。図4は、ガイド部材42を示す図である。図5は、ダイヤフラム35を示す縦断面図である。
圧力室12は、図3に示すように、軸線Aの軸方向に直交する径方向の幅がW1の幅狭部12aと、軸線Aの軸方向に直交する径方向の幅がW2の幅広部12bとを有する。幅狭部12aの幅W1は、幅広部12bの幅W2よりも狭く、幅広部12bよりも後述する弁座11から遠い位置に設けられている。
第1流路17と第2流路18とを設けることにより、操作用空気が圧力室12の幅狭部12aと幅広部12bのそれぞれに導かれ、圧力室12内の操作用空気の圧力が一定となり、圧力室12内でのガイド部材42の移動を円滑に行わせることができる。
第1ガイド部42aの幅W3は圧力室12の幅狭部12aの幅W1と略同幅である。略同幅とは、第1ガイド部42aが幅狭部12aに対して接触しながら移動可能となるように、幅W3が幅W1よりも少し狭いことをいう。
ダイヤフラム35は、ハウジング10cの下端面およびガイド部材42の下端面と、第2の空間23との間に設けられている。
第2ガイド部42bの側面の凹溝部42d以外の部分では、幅広部12bの内面と接しているため操作気体が流通可能となっていない。一方、凹溝部42dでは、幅広部12bの内面と接していないため操作気体が流通可能となっている。
従って、圧力室12内で操作用空気を流通させて圧力を一定とし、圧力室12内でのガイド部材42の移動を円滑に行わせることができる。
図1に示す全閉状態の流量調整装置1には、流体の供給ラインから入口ポート21を介して流体が導入される。入口ポート21に導入された流体は、弁体31が弁座11に接触しているため第1の空間22に滞留する。
弁体31の外周面と弁座11との隙間を通過した流体は、第2の空間23を経由して中間流路25へと流入する。中間流路25に流入した流体は、下流側流路16を経由して出口ポート24から流出する。
従って、第1ガイド部42aが圧力室12の幅狭部12aに、弁体31に連動して移動可能な状態で位置決めされる。
なお、第1ガイド部42aと同様に、第2ガイド部42bも圧力室12の内周面に接触した状態で移動するので、弁体31の中心軸Xと第1の空間22の軸線Aとを一致させる精度を高めることができる。
また、幅狭部12aが幅広部12bよりも弁座11から遠い位置に設けられているので、弁座11から遠い位置で芯ずれを適切に抑制し、弁体31と弁座11の間に隙間が形成されないようにすることができる。
以上のように、本態様の流量調整装置によれば、ダイヤフラムの過度の変形を防止しつつ、弁体部と弁座部の接触位置における流体の遮断性能を向上させた流量調整装置を提供することができる。
このようにすることで、圧力室12内で操作用空気を流通させて圧力を一定とし、圧力室12内でのガイド部材42の移動を円滑に行わせることができる。
このようにすることで、ダイヤフラム35の基部35bが流体から受けた圧力が第2ガイド部42bに伝達され、流体から受けた圧力によってダイヤフラム35の基部35bが変形することが防止される。
このようにすることで、流体から受けた圧力によってダイヤフラム35の基部35bが変形することがより確実に防止される。
このようにすることで、外部から導入される操作用空気が圧力室12の幅狭部12aと幅広部12bのそれぞれに導かれ、圧力室12内の操作用空気の圧力が一定となり、圧力室12内でのガイド部材42の移動を円滑に行わせることができる。
以上の説明においては、第2ガイド部42bの幅W4は、圧力室12の幅広部12bの幅W2と略同幅であるとしたが、他の態様であってもよい。例えば、第2ガイド部42bの幅W4は、第1ガイド部42aより幅広かつ圧力室12の幅広部12bの幅W2以下となるいずれかの幅であってもよい。
このようにすることで、ダイヤフラム35が流体から高圧力を受けた場合であっても、第2ガイド部42bが幅狭部12aに進入することが規制されるので、ダイヤフラム35が過度に変形することを防止することができる。
10 ハウジング部
10b ハウジング(第2ハウジング)
10c ハウジング(第1ハウジング)
11 弁座(弁座部)
12 圧力室
12a 幅狭部
12b 幅広部
13 操作ポート
15 上流側流路
16 下流側流路
17 第1流路
18 第2流路
21 入口ポート
22 第1の空間(弁室)
23 第2の空間(流体室)
24 出口ポート
31 弁体(弁体部)
35 ダイヤフラム
35b 基部
35c 薄膜部
35d 外周端部
42 ガイド部材
42a 第1ガイド部
42b 第2ガイド部
42d 凹溝部
A 軸線
W1 幅狭部の幅
W2 幅広部の幅
W3 第1ガイド部の幅
W4 第2ガイド部の幅
X 中心軸
Claims (7)
- 外部から操作気体が導入される圧力室が内部に形成された第1ハウジングと、
弁室、前記弁室と入口ポートを連通させる上流側流路、及び前記弁室と出口ポートを連通させる下流側流路が内部に形成された第2ハウジングと、
前記弁室に収容され、該弁室の内周面に設けられる弁座部と接触又は離間することにより、前記上流側流路と前記下流側流路とが遮断した閉状態又は前記上流側流路と前記下流側流路とが連通した開状態とする弁体部と、
前記弁体部に連結され、流体と接する流体接触面と前記操作気体と接する気体接触面とを有するダイヤフラムと、
前記ダイヤフラムに連結され、前記圧力室の内周面に接触した状態で、前記弁体部に連動して該弁体部の軸方向に移動可能なガイド部材とを備え、
前記圧力室は、前記軸方向に直交する径方向の幅が広い幅広部と、前記幅広部よりも前記弁座部から遠い位置に設けられ前記径方向の幅が前記幅広部よりも狭い幅狭部とを有し、
前記ガイド部材は、前記幅狭部と略同幅の第1ガイド部と、前記第1ガイド部より幅広かつ前記幅広部以下の幅の第2ガイド部とを有することを特徴とする流量調整装置。 - 前記第2ガイド部は、前記幅広部と略同幅であることを特徴とする請求項1に記載の流量調整装置。
- 前記第2ガイド部の外周面の複数箇所には、前記軸方向に沿って、前記圧力室の前記幅広部の内周面との間で前記操作気体を流通可能とする凹溝部が設けられていることを特徴とする請求項2に記載の流量調整装置。
- 前記ダイヤフラムは、前記第2ガイド部と略同幅の基部と、該基部の外周縁部に設けられている環状の薄膜部とを有することを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の流量調整装置。
- 前記基部は、PTFE(ポリテトラフルオロエチレン)により形成されており、
前記第2ガイド部は、PVDF(ポリフッ化ビニリデン)により形成されていることを特徴とする請求項4に記載の流量調整装置。 - 前記第1ハウジングに、前記操作気体を前記圧力室の前記幅狭部に導く第1流路と、前記幅狭部を経由せずに前記操作気体を前記第1流路から前記圧力室の前記幅広部に導く第2流路とが設けられていることを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の流量調整装置。
- 前記ダイヤフラムと前記ガイド部材とが一体成形されたことを特徴とする請求項1から請求項6のいずれか1項に記載の流量調整装置。
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