JP6030474B2 - 流量調整装置 - Google Patents
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Description
本発明に係る流量調整装置は、内部に流体流路が形成され、該流体流路の両端に入口ポート及び出口ポートが設けられたハウジング部と、前記流体流路に設けられた弁座部に当接又は離間することにより前記流体流路を閉状態又は開状態とする弁体部と、前記弁座部に当接する方向の付勢力を前記弁体部に与えるスプリング部と、前記弁体部の端部に固定され、前記流体流路を流通する流体と接する第1面と該流体と接しない第2面とを有するダイヤフラムと、外部から作動気体が供給される圧力室と、前記圧力室に供給される前記作動気体の圧力を前記ダイヤフラムの前記第2面に伝達するピストン部とを備え、前記ピストン部の前記作動気体の圧力を受ける部分の面積が、前記ダイヤフラムの前記第1面の面積の2倍以上であることを特徴とする。
このようにすることで、圧力室に供給される作動気体の圧力を高圧力流体の圧力以上とするような高価な圧力調整機構を備える空気圧供給装置を必要とすることなく、高圧の流体の流量調整を行うことが可能な流量調整装置を提供することができる。
このようにすることで、膜部材によって圧力室をピストン部から隔離しつつ、膜部材を介して圧力室に供給される作動気体の圧力をピストン部に伝達することができる。
このようにすることで、ピストン部と膜部材との間に空気溜まりが発生することを防止し、圧力室内の作動気体の圧力を確実にピストン部に伝達することができる。
このようにすることで、ピストン部の移動によってダイヤフラムの第2面と膜部材により画定される空間の圧力が変動することを防止することができる。従って、ピストン部の移動が円滑に行われるようにし、圧力室内の作動気体の圧力を確実にピストン部に伝達することができる。
図1から図5に示す本実施形態の流量調整装置1は、樹脂あるいは耐薬品性に優れたフッ素樹脂材料等の材料により成形されたハウジング10(ハウジング部)を備える。ハウジング10の内部には、流体を流通させる流体流路が設けられており、流体流路の両端には流体の入口ポート11と流体の出口ポート17とがそれぞれ設けられている。
図1に示されるように、ハウジング10は、4つのハウジングブロック10a,10b,10c,10dにより構成されている。ハウジングブロック10a,10b,10cは、締結ボルト13と締結ナット14からなる締結具により締結されている。ハウジングブロック10cとハウジングブロック10dとは、締結ボルト15とハウジングブロック10cに設けられた雌ネジ部16からなる締結具により締結されている。このように、ハウジングブロック10a,10b,10c,10dは、締結具により締結されている。
図2,図3に示されるように、ハウジング10の内部には、入口ポート11に連通する開口面18aを有する弁座18(弁座部)と、弁座18の開口面18aに対して直角方向(図において上下方向)に移動する弁体19(弁体部)とが配置されている。弁体19の上端部にはダイヤフラム20が固定されており、弁体19の下端には弁体19が弁座18に当接する方向の付勢力を与えるスプリング21(スプリング部)が配置されている。弁体19は、弁座18に当接又は離間することにより、流体流路を閉状態又は開状態とする。
ピストン25の下面は、中心部分が凹形状となっている。また、ダイヤフラム20の背面20bは、中心部分が凸形状となっている。そして、ピストン25の下面の凹形状にダイヤフラム20の背面20bの凸形状が嵌合している。このようにして、ピストン25の下面とダイヤフラム20の背面20bとは、当接した状態で配置される。
また、ハウジングブロック10cは、ダイヤフラム20の背面20bと隔離膜26により画定される空間と外部とを連通させる開放孔28を備えている。連通孔27は開放孔28を介して外部と連通しているので、ピストン25が配置される空間の圧力を一定圧力(大気圧)に維持することができる。
また、ピストン25の上面が隔離膜26の下面に沿った形状となっているので、隔離膜26が圧力室24に供給される空気の圧力によって過度に変形することが防止される。同様に、ピストン25の下面がダイヤフラム20の背面に沿った形状となっているので、ダイヤフラム20が流体の圧力によって過度に変形することが防止される。
このように、ピストン25は、圧力室24の空気圧をダイヤフラム20に間接的に伝達する機能と、隔離膜26およびダイヤフラム20の過度の変形を防止する機能とを兼ね備えている。
S1=π(D1/2)2 (1)
ここで、図4に示されるように、隔離膜26の圧力室24に面する部分の面積S1は、ピストン25の隔離膜26と接する面を平面視した面積と等しい。したがって、面積S1は、ピストン25が隔離膜26を介して間接的に空気圧を受ける部分の面積に等しい。
S2=π(D2/2)2−π(D3/2)2 (2)
ここで、面積S2とは、流体接触面20aを弁体19の中心軸に沿って平面視した面積である。従って、面積S2は、薄肉部20dの湾曲状態に関わらず一定の面積となっている。
S2×2.0≦S1 (3)
このようにすることで、第2空間23に、例えば大気圧の10倍以上(1.013MPa以上)の高圧力流体が流通している場合、圧力室24に供給される圧縮空気の空気圧を大気圧の5倍(506.5kPa)とすることで、空気圧による弁体19を弁座18から離間する方向の力が、流体の流体圧による弁体19を弁座18に当接する方向の力以上となる。
このようにすることで、圧力室24に供給される圧縮空気の圧力を高圧力流体の圧力以上とするような高価な圧力調整機構を備える空気圧供給装置を必要とすることなく、高圧の流体の流量調整を行うことが可能な流量調整装置1を提供することができる。
このようにすることで、圧力室24をピストン25から隔離し、隔離膜26を介して圧力室24に供給される圧縮空気の圧力をピストン25に伝達することができる。
このようにすることで、ピストン25と隔離膜26との間に空気溜まりが発生することを防止し、圧力室24内の圧縮空気の圧力を確実にピストン25に伝達することができる。
このようにすることで、ピストン25の移動によってダイヤフラム20の背面20bと隔離膜26により画定される空間の圧力が変動することを防止することができる。従って、ピストン25の移動が円滑に行われるようにし、圧力室24内の作動気体(圧縮空気)の圧力を確実にピストン25に伝達することができる。
10 ハウジング(ハウジング部)
11 入口ポート
12 圧力導入ポート
17 出口ポート
18 弁座(弁座部)
18a 開口面
19 弁体(弁体部)
20 ダイヤフラム
20a 流体接触面(第1面)
20b 背面(第2面)
20c 中央部
20d 薄肉部
20e 環状縁部
21 スプリング(スプリング部)
22 第1空間
23 第2空間
24 圧力室
25 ピストン(ピストン部)
26 隔離膜(膜部材)
27 連通孔
28 開放孔
Claims (2)
- 内部に流体流路が形成され、該流体流路の両端に入口ポート及び出口ポートが設けられたハウジング部と、
前記流体流路に設けられた弁座部に当接又は離間することにより前記流体流路を閉状態又は開状態とする弁体部と、
前記弁座部に当接する方向の付勢力を前記弁体部に与えるスプリング部と、
前記弁体部の端部に固定され、前記流体流路を流通する流体と接する第1面と該流体と接しない第2面とを有するダイヤフラムと、
外部から作動気体が供給される圧力室と、
前記圧力室に供給される前記作動気体の圧力を前記ダイヤフラムの前記第2面に伝達するピストン部と、
前記圧力室と前記ピストン部との間に配置され、該圧力室を前記ピストン部から隔離する膜部材と、を備え、
前記ピストン部の前記作動気体の圧力を受ける部分の面積が、前記ダイヤフラムの前記第1面の面積の2倍以上であり、
前記ピストン部は、前記膜部材を介して前記圧力室に供給される前記作動気体の圧力を受けるとともに前記膜部材に接する面と前記ダイヤフラムに接する面とを連通させる連通孔を備えることを特徴とする流量調整装置。 - 前記ハウジング部は、前記ダイヤフラムの前記第2面と前記膜部材により画定される空間と外部とを連通させる開放孔を備えることを特徴とする請求項1に記載の流量調整装置。
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