TWI407029B - 流體控制閥之致動器部的組裝構造、以及藉由該構造所形成之流體控制閥 - Google Patents

Description

流體控制閥之致動器部的組裝構造、以及藉由該構造所形成之流體控制閥

本發明係有關於使閥體與閥座抵接或離開而控制流體之流動的流體控制閥之致動器部的組裝構造、以及藉由該構造所形成之流體控制閥。詳細說明之，係有關於將對閥體偏壓之偏壓構件配設於本體的開口部內，並利用蓋塞住缸體之開口部之流體控制閥之致動器部的組裝構造、以及藉由該構造所形成之流體控制閥。

自以往，在半導體製造裝置或液晶面板製造裝置等，例如使用如在專利文獻1所記載的藥液閥。藥液閥是藉由閥體對位於輸入通口與輸出通口之間的閥座抵接或離開，而控制藥液從輸入通口往輸出通口之流動的流體控制閥。在第13圖及第14圖表示在專利文獻1所記載之藥液閥的剖面。

如第13圖所示，藥液閥101主要由具有缸體110、閥體142、活塞143及彈簧141等之致動器核心部、塞住缸體110之開口部的蓋120、具有閥座131、輸入通口132、輸出通口133等之本體130、及使該藥液閥101固定的安裝板150所構成。

在藥液閥101，閥體142使線圈彈簧等之彈簧141的偏壓力、與在抵抗此偏壓力的方向所加壓之操作空氣AR的推壓力作用，而對閥座131上下動。

在致動器核心部，與閥體142連結的活塞143被安裝成可在缸體110滑動，彈簧141配置於活塞側支撐面143a，其位於與操作空氣AR之受壓面相反側。彈簧141為了可利用該彈簧力將閥體142向閥座131偏壓，而被配設成在活塞側支撐面143a與塞住缸體的開口部之蓋120的蓋側支撐面126a之間支撐彈簧兩端部。

蓋120、致動器核心部、本體130及安裝板150係在製造藥液閥101時將這些構件一體地重疊並組裝，如第14圖所示，並使從蓋120所插穿之第1螺栓160經由缸體110、本體130，與安裝板150螺合並被固定。

藥液閥有除了在製造時之組立以外亦被組立的情況。例如在使用後之維修時被分解後，再被組立。在分解作業時，未使操作空氣的推壓力作用於閥體142，而閥體142利用彈簧力成為與閥座131抵接之狀態。在此狀態，逐一鬆開與安裝板150螺合之第1螺栓160時，致動器核心部對本體130傾斜，而閥座131因閥體142的推壓而產生塑性變形。

為了在這種分解時保護閥座131等，專利文獻1係如第13圖及第14圖所示，下工夫，在分解時將銷115插入指示器145，使閥體142從閥座131強迫地分開，以改善分解作業時的作業性。

[專利文獻]

[專利文獻1]特開2005-140295號公報

可是，在以往的藥液閥101，在製造時的組立或分解後的再組立，因為在利用第1螺栓160將蓋120、致動器核心部及本體130固定於安裝板150之前，預先利用第2螺栓(省略圖示)鎖緊並固定位於將彈簧141配設於活塞143上之致動器核心部的缸體110與蓋120，所以零件數加，而具有價格上漲的問題。

此問題係由於以下的理由而產生。即，在藥液閥101的組立製程，將一體地組裝活塞143、閥體142及指示器145等者安裝於缸體110，再預先組立將彈簧141配置於活塞143之活塞側支撐面143a的致動器核心部，作為一個單元。

然後，雖然作業員進行將蓋120、致動器核心部、本體130及安裝板150一體地重疊並組裝之整體總組裝，但是考慮此時之作業性或在維修藥液閥101的情況之分解時之作業員的作業性，在整體總組裝之前，預先進行致動器核心部與蓋120的暫時組裝。

即，藥液閥組立後的彈簧141係在活塞側支撐面143a與蓋側支撐面26a之間支撐彈簧的兩端部，並利用彈簧力將閥體142向閥座131偏壓。彈簧141係其自然長度比組立後的彈簧長度更長，在以蓋120塞住缸體開口部時，在強迫彈簧141收縮而自自然長度壓縮之狀態，被收容於藥液閥101內。在藥液閥101之中，亦有一種藥液閥，其在輸入通口132與輸出通口133之間的流路流動之藥液的流量或壓力大，在藥液的流通控制需要與閥體142的閉閥相當之大彈簧141的偏壓力。

在這種使用彈簧力特別大之彈簧141的藥液閥101，在進行蓋120、致動器核心部等之整體總組裝時，若不預先進行暫時組裝，則在依然利用相當大之外力使彈簧141收縮下將第1螺栓160與安裝板150螺合的作業對作業員伴隨困難。又，若無暫時組裝，就發生如下之作業上的問題。即，在維修藥液閥101的情況想要分解藥液閥101時，解除第1螺栓160與安裝板150的鎖緊。那時，因為壓縮之狀態的彈簧141想要恢復原來的形狀，所以蓋120或該彈簧141本身就突然飛出。

因而，在進行整體總組裝之前，預先利用與第1螺栓160不同的第2螺栓鎖緊作為一個單元所組立之致動器核心部的缸體110與蓋120，而進行將致動器核心部與蓋120一體地固定之暫時組裝。

因此，在此暫時組裝，雖然可確保作業員的作業性提高，但是另一方面，因為在藥液閥101的暫時組立使用第2螺栓，所以反而製品整體的零件數增加，結果製品的價格上漲。

本發明係為了解決該問題點而想出來的，其目的在於提供一種流體控制閥之致動器部的組裝構造，在利用蓋塞住缸體之開口部的流體控制閥，可一面良好地保持其組立性，一面可降低價格。又，其目的在於提供一種藉由該致動器部組裝構造所形成之流體控制閥。

為了解決上述的問題點，本發明之流體控制閥之致動器部的組裝構造、以及本發明的流體控制閥具有如下的構成。

(1)本發明之一形態係一種流體控制閥之致動器部的組裝構造，其具有配設對閥體偏壓之偏壓構件的缸體、與塞住缸體之開口部的蓋，並使閥體與閥座抵接或離開，而控制流體的流動，該致動器部之組裝構造的特徵在於：在缸體或蓋的任一方，形成於朝向閥體之徑向延伸的突出部，而在其另一方，形成與突出部卡止的卡止部；使偏壓構件壓縮，在以蓋覆蓋缸體的開口部後，使突出部與卡止部卡止，而缸體與蓋不會彼此分開而一體地卡止。

(2)在(1)所記載之流體控制閥之致動器部的組裝構造，缸體係具有形成開口部的內壁；蓋係具有直徑比缸體的開口部小之環狀的圓環部；卡止部係對缸體的內壁向徑向內側突出，同時在內壁的圓周方向，以圓弧形形成；該突出部係對蓋的圓環部向徑向外側突出，同時在圓環部的圓周方向，形成為與卡止部的形狀對應的圓弧形較佳。

(3)在(2)所記載之流體控制閥之致動器部的組裝構造，卡止部係形成於複數個位置；突出部係形成於複數個位置；在缸體與蓋的組裝，使蓋與缸體相對地旋轉，而缸體與蓋一體地卡止較佳。

(4)在(3)所記載之流體控制閥之致動器部的組裝構造，在缸體或蓋的至少任一方，形成限制蓋與缸體相對地旋轉既定角度以上的止動構件。

(5)在(1)所記載之流體控制閥之致動器部的組裝構造，缸體與蓋係由氟系樹脂所構成較佳。

(6)本發明的流體控制閥係藉由在(1)所記載之流體控制閥之致動器部的組裝構造所形成。

說明具有該構成之本發明的作用效果。因為本發明之流體控制閥之致動器部的組裝構造具有該(1)的構成，所以在組裝該流體控制閥時，完全不需要以往所需的螺栓，其在閥整體之總組裝之前，用以預先藉由暫時組裝而使利用閥體、偏壓構件及缸體等所單元化的致動器核心部與蓋一體化。

即，流體控制閥主要除了蓋或致動器核心部以外，還由具有閥座、輸入通口及輸出通口等的本體、及使該流體控制閥固定的安裝板所構成。作業員在製造流體控制閥時，或在使用後之維修的情況將此流體控制閥分解後時，進行整體總組裝，其將蓋、致動器核心部、本體及安裝板一體地重疊並組裝，再藉由螺栓鎖緊使這些構件固定。

在組立流體控制閥時，因為使偏壓構件從自然長度收縮後裝入，所以在作業員的作業伴隨困難，而具有問題。又，在流體控制閥之使用後，維修之分解時，因為在拆下蓋時，收縮狀態之偏壓構件想要一下子伸長而回到原來之狀態，所以在維修藥液閥時需要考慮在分解時之作業員的作業性。因而，在整體總組裝之前，需要預先進行致動器核心部與蓋的暫時組裝，以往只是為了暫時組裝而使用螺栓。

因此，在本發明之流體控制閥之致動器部的組裝構造，在暫時組裝完全不需要螺栓，因為在該流體控制閥可減少製品整體的元件數，所以具有可降低該流體控制閥之價格的優異效果。

又，利用該構成(2)，即使在利用蓋支撐一端側之偏壓構件之偏壓力大的情況，偏壓構件之偏壓力亦不會局部地作用而分散地作用於卡止部與突出部。因而，在蓋與缸體之間，即使偏壓構件的偏壓力大為作用，缸體與蓋亦可確實地卡止。

又，將蓋覆蓋於缸體，而將蓋與缸體一體地重疊後，只是使缸體與蓋相對地旋轉至將蓋的突出部與缸體之卡止部卡止的位置，就可將缸體與蓋簡單地卡止。

又，因為不需要以往為了將位於致動器部的缸體與蓋一體地暫時組裝所需要的螺栓，所以可使流體控制閥輕量化。

進而，利用該構成(3)，在蓋，雖然處於偏壓構件之偏壓力作用的狀態，但是為了使蓋相對於缸體的旋轉角度位於例如45度以內，若使卡止部及突出部各自以在相鄰者彼此之間空出間隔的方式形成於複數個位置，則不會對作業員強迫大的作業負擔，而可在作業性變佳下將缸體與蓋一體化。

利用該構成(4)，只是在突出部與卡止部卡止之狀態，使蓋與缸體相對地旋轉，利用止動構件，可將缸體與蓋的位置對準。

而，利用該構成(5)，具有不僅即使在樹脂中，機械強度亦比較強，並具有亦可承受對強酸液或鹼液的耐藥性，而且易利用射出成形等製造的優點。

此外，作為氟系樹脂之具體的材質，可列舉例如PVDF(聚乙烯二氟化物，別名：二氟化)、PTFE(聚乙烯四氟化物，別名：四氟化)等的氟系樹脂。

可是，近年來，在價格競爭激烈的半導體製造業界或液晶面板製造業界等，在半導體製造裝置或液晶面板製造裝置使用很多藥液閥。

在本發明的流體控制閥，因為具有該(6)的構成，該流體控制閥例如可用作在半導體製造裝置或液晶面板製造裝置等所使用之藥液閥，對價格競爭激烈的半導體製造業界或液晶面板製造業界等，亦可有助於價格的降低。

(實施形態)

以下，根據圖面，詳細說明本發明之流體控制閥的驅動部之組裝構造的實施形態、與藉由這種構造所形成之流體控制閥的實施形態。

在本實施形態，流體控制閥例如是在半導體製造裝置或液晶面板製造裝置等所使用之藥液閥，係用於藉由閥體對位於輸入通口與輸出通口之間的閥座抵接或離開，而控制藥液從輸入通口往輸出通口之流動的目的。

在第5圖、第6圖分別表示實施形態之藥液閥的正視圖、立體圖。又，在第1圖表示藥液閥之致動器部的分解立體圖，而第12圖係藥液閥之整體總組裝的說明圖。

藥液閥1如第5圖所示，主要由致動器部2、本體30及安裝板50所構成。

在本體30，如第6圖及第12圖所示，形成閥座31、輸入通口32及輸出通口33等，而用以將螺栓60插穿的貫穿孔34H形成於該本體30的四角落。本體30與致動器部2一起重疊，如後述所示，利用螺栓60使致動器部2與本體30一體地固定於安裝板50。

致動器部2如第1圖所示，由缸體10與已去除閥體42之驅動部40組裝而成的致動器核心部3、與蓋20所構成。驅動部40由彈簧(對應於本發明的「偏壓構件」)41、閥體42、活塞43及指示器45等所構成。

在驅動部40，活塞桿44在圖上從活塞43向其軸向下方延伸。又，指示器連結部46與活塞43一體地形成於受壓側(在第7圖中，一次室18側)的相反側(在第7圖中，二次室19側)，在活塞桿44的前端部，在後述之致動器部2的暫時組裝後，連結閥體42。

彈簧41形成為具有中央孔的線圈狀，使指示器45插穿該中央孔內，並將該彈簧41的一端載置於位於活塞43的受壓側之活塞43的支撐面43a。

第8A圖係表示實施形態之藥液閥之缸體10的正視圖，第8B圖係表示該缸體10之在第8A圖的B-B箭號方向剖面圖。第9A圖係從上方看第8A圖所示之缸體10的平面圖。第9B圖係在第9A圖中，C-C箭號方向剖面圖。

缸體10由氟系樹脂所構成，在本實施形態，在從上方看時，已去除操作通口17的外形形狀是大致正方形，利用射出成形以PVDF(聚乙烯二氟化物，別名：二氟化)成形成塊狀。缸體10在其一側面具有操作通口17，而操作通口17在位於組裝完成狀態的藥液閥1，與形成於活塞43之受壓側(在第7圖為下側)的操作空氣AR用一次室18(參照第7圖)連通。又，缸體10可在第1內壁面10a，經由配置於活塞43之外周面之O環等的密封構件安裝成可在活塞43滑動。此外，利用此密封構件，形成於組立後之藥液閥1的空氣AR的一次室18(活塞43的受壓側)與二次室19(反受壓側)夾入活塞43而被劃分。

在藥液閥1，閥體42使彈簧41的偏壓力、與在抵抗此偏壓力的方向所加壓之操作空氣AR的推壓力作用，而對閥座31上下動。即，本實施形態的藥液閥1是常閉式閥，其在操作空氣AR的推壓力未作用時，閥體42利用彈簧41的偏壓力與閥座31抵接並關閉閥，而操作空氣AR的推壓力作用時，閥體42離開閥座31而打開閥。

又，缸體10如第7圖及第9圖所示，在比第1內壁面10a上方具有環形的第2內壁面10b，進而在比此第2內壁面10b上方，具有被圓周狀的內壁12包圍的開口部11。在開口部11的外周四角落，如第9A圖所示，形成螺栓60所插穿的貫穿孔16H。在內壁12，卡止部15向該內壁12的徑向內側突出，同時在該內壁12的圓周方向以圓弧形形成。在本實施形態，卡止部15分別以相同的形態設置於4個位置，任一個卡止部15都按照大致沿著該缸體10之各側面的形態以與相鄰之卡止部15、15一樣的間隔形成。

此外，相鄰之卡止部15、15之圓周方向的間隔比後述之蓋20之在各卡止部15之圓周方向的長度(圓弧長)更大。

第10圖係從下方看蓋20的底視圖。第11A圖係第10圖所示之蓋20的右側視圖，第11B圖係蓋20在第11A圖中之D-D箭號方向剖面圖。

蓋20由氟系樹脂所構成，在本實施形態，在從下方看時，已去除排氣通口29的外形形狀是大致正方形，利用射出成形以PVDF(聚乙烯二氟化物，別名：二氟化)成形成塊狀。

蓋20如第10圖、第11A圖及第11B圖所示，由塞住缸體10之開口部11的蓋部25、及從該蓋部25向下方延伸且直徑比缸體10之開口部11小之環形、筒狀的圓環部21所構成。

蓋部25具有與在組裝完成後的藥液閥1所形成之二次室19的排氣通口29，已去除此排氣通口29之該蓋部25的外形形狀(底視圖)以和已去除操作通口17之缸體10的外形形狀(平面圖)相同之大致正方形形成。在蓋部25，螺栓60所插穿之貫穿孔27H形成於圓環部21的外周側四角落。又，在蓋20，與圓環部21同軸地形成從蓋部25的上面中央向內側突出的中空圓筒部21a。此圓筒部21a形成在其軸向所貫穿的貫穿孔28H。又，蓋20在圓環部21的徑向內側，在圓筒部21a的外周側具有支撐彈簧41之另一端(在第1圖中為上方端)之平面狀的支撐面26a。

在圓環部21，突出部22向該圓環部21的徑向外側突出，同時在該圓環部21的圓周方向，以與缸體10之卡止部15的形狀對應的圓弧形形成。在本實施形態，突出部22分別以相同的形態設置於4個位置，任一個突出部22都按照大致沿著蓋部25之各側面的形態以與相鄰之突出部22、22一樣的間隔形成。

突出部22在將圓環部21插入缸體10的開口部11內並將蓋20載置於缸體10上時，在缸體10與蓋20恰好重疊之狀態，配設於可與缸體10之卡止部15卡止的位置。

又，止動構件24設置於圓環部21，並配置成將蓋20覆蓋缸體10的開口部11。在蓋20相對缸體10以既定角度旋轉後，利用止動構件24限制更大之蓋20的旋轉。

又，在圓環部21，在其外周面朝向圓周方向形成密封槽23。在此密封槽23，配設0環等的密封構件。在以蓋20封閉缸體10的開口部11時，利用此密封構件，使缸體10的第2內壁面10b與蓋20的圓環部21之間變成氣密。

其次，說明藥液閥1的組裝方向。關於藥液閥1的組立，係先進行致動器部2之暫時組裝後，作為整體總組裝，將完成暫時組裝的致動器部2、本體30及安裝板50一體的重疊，再以螺栓60固定之。

因此，首先使用第1圖至第4圖說明致動器部2之暫時組裝。第2圖係表示致動器部2之暫時組裝前之狀態的說明圖。第3圖係表示在第2圖所示之致動器部2的暫時組裝，將蓋20覆蓋於致動器核心部3之狀態的說明圖。第4圖係表示完成致動器部2之暫時組裝之狀態的說明圖。

在進行致動器部2之暫時組裝時，至使閥體42與活塞桿44連結之前的狀態，預先組裝驅動部40。具體而言，預先將指示器45安裝於活塞43之反受壓側(在第7圖為上側)的前端部後，將指示器45插穿彈簧41的中央孔，而將彈簧41的一端載置於活塞43的支撐面43a。

接著，如第1圖所示，在使活塞桿44朝下之狀態將已去除閥體42的驅動部40插入至缸體10的開口部11側。然後，使活塞桿44插穿形成於缸體10之底部中央位置的圓筒部10c(參照第9A圖、第9B圖)內，再將活塞43載置於此圓筒部10c的上端，而構成致動器核心部3。在此階段，如第2圖所示，彈簧41位於自然長度之狀態。

接著，在將未圖示的密封構件安裝於蓋20的密封槽23後，在將蓋20之蓋部25的側面相對缸體10的側面扭轉既定角度之狀態，向致動器核心部3插入蓋20。

具體而言，以使利用指示器連結部46對活塞43所連結的指示器45插穿蓋20的貫穿孔28H，同時使彈簧41的另一端(第1圖中為上方端)與蓋部25的支撐面26a抵接的方式，將蓋20載置於致動器核心部3上。進而，使蓋20移至下方，並一面使彈簧41在被活塞43的支撐面43a與蓋部25的支撐面26a之間支撐之狀態收縮，一面將蓋20的圓環部21向缸體10的開口部11內插入至蓋20的蓋部25與缸體10抵接。

此外，因為在圓環部21的圓周方向，缸體10與蓋20相對地扭轉，所以在圓環部21被插入開口部11時，蓋20的突出部22與缸體10的卡止部15不會發生干涉。

如第3圖所示，將圓環部21向開口部11內插入至蓋20的蓋部25被載置於缸體10上時，安裝於密封槽23的密封構件被嵌入缸體10的第1內壁面10a，而將缸體10的開口部11密閉。

接著，使蓋20相對缸體10旋轉至變成蓋20的止動構件24與其卡止部15之一抵接之狀態，而蓋部25的側面與缸體10的側面成為大致同一平面上，而消除雙方之側面的扭轉，在缸體10與蓋20的四角落，將蓋20之貫穿孔27H與缸體10的貫穿孔16H的位置對準。

此時，被插入開口部11內的圓環部21亦追蹤蓋部25的旋轉而旋轉，圓環部21的突出部22與位於缸體10之開口部11的卡止部15卡止，缸體10與蓋20不會彼此分開，而一體地卡止。

依此方式，如第4圖所示，作為致動器部2之暫時組裝，缸體10與蓋20被一體地卡止。

接著，作為藥液閥1之整體總組裝，將已完成暫時組裝的致動器部2、本體30及安裝板50一體地重疊，藉螺栓60的鎖緊而固定這些構件。具體而言，致動器部2之暫時組裝已完成之狀態，連接活塞43的受壓側之活塞桿44的前端部與閥體42(參照第1圖)。

然後，如第12圖所示，預先將在致動器部2與缸體10的貫穿孔16H所定位蓋20的貫穿孔27H、與本體30之貫穿孔34H的位置對準。接著，將閥體42的周邊部挾持於致動器部2的缸體10與本體30之間，並將致動器部2的下方側(缸體10的下方側)嵌入本體30的上方側，而將致動器部2與本體30重疊。然後，不僅重疊之致動器部2及本體30，而且安裝板50亦重疊，而將致動器部2、本體30及安裝板50一體化。

接著，從蓋20的貫穿孔27H插入螺栓60，使其經由缸體10的貫穿孔16H及本體30的貫穿孔34H與安裝板50螺合，在將致動器部2、本體30及安裝板50固定後，將覆蓋螺栓60的頭部之橡膠製的蓋61嵌入蓋20的貫穿孔27H。

依此方式，致動器部2、本體30及安裝板50被一體地重疊並固定，而藥液閥1之整體總組裝完成。

說明具有上述的構成之本實施形態之藥液閥1之致動器部的組裝構造、及藉由該構造所形成之藥液閥1的作用效果。

在本實施形態之藥液閥1之致動器部的組裝構造，因為特徵在於在閥體42之徑向延伸的突出部22形成於蓋20，與突出部22卡止的卡止部15形成於缸體10，在將彈簧41壓縮並以蓋20的蓋部25覆蓋缸體10的開口部11後，使突出部22與卡止部15卡止，而缸體10與蓋20不會分開而一體地卡止，所以在組裝該藥液閥1時，完全不需要以往所需的螺栓，其在整體總組裝之前，用以預先藉由暫時組裝而使利用缸體10、彈簧41及閥體42等所單元化的致動器核心部3與蓋20一體化。

即，藥液閥1主要除了蓋20或致動器核心部3以外，還由具有閥座31、輸入通口32及輸出通口33等的本體30、及使該藥液閥1固定的安裝板50所構成。作業員在製造藥液閥1時，或在使用後之維修的情況將藥液閥1分解後時，進行整體總組裝，其將蓋20、致動器核心部3、本體30及安裝板50一體地重疊並組裝，再藉由螺栓鎖緊使這些構件固定。

在組立藥液閥1時，因為使彈簧41從自然長度收縮後裝入，所以在作業員的作業伴隨困難，而具有問題。又，在藥液閥1之使用後，維修之分解時，因為在拆下蓋20時，收縮狀態之彈簧41想要一下子伸長而回到原來之狀態，所以在維修藥液閥1時需要考慮在分解時之作業員的作業性。因而，在整體總組裝之前，需要預先進行致動器核心部3與蓋20的暫時組裝，以往只是為了暫時組裝而使用螺栓。

另一方面，在本實施形態之藥液閥1之致動器部的組裝構造，在暫時組裝完全不需要螺栓，因為在該藥液閥1可減少製品整體的元件數，所以具有可降低該藥液閥1之價格的優異效果。

又，在本實施形態之藥液閥1之致動器部的組裝構造，因為特徵在於缸體10具有形成開口部11的內壁12，蓋20具有直徑比缸體10之開口部11小的圓環部21，卡止部15相對缸體10的內壁12向徑向內側突出，同時在內壁12的圓周方向以圓弧形形成，及突出部22相對向蓋20的圓環部21向徑向外側突出，同時在圓環部21的圓周方向，形成為與卡止部15之形狀對應的圓弧形，所以即使在利用蓋20支撐一端側之彈簧41之偏壓力大的情況，彈簧41之偏壓力亦不會局部地作用而分散地作用於卡止部15與突出部22。因而，在缸體10與蓋20之間，即使彈簧41的偏壓力大為作用，缸體10與蓋20亦可確實地卡止。

又，將蓋20覆蓋於缸體10，而將蓋20與缸體10一體地重疊後，只是使缸體10與蓋20相對地旋轉至將蓋20的突出部22與缸體10之卡止部15卡止的位置，就可將缸體10與蓋20簡單地卡止。

又，因為不需要以往為了將位於致動器核心部3的缸體10與蓋20一體地暫時組裝所需要的螺栓，所以可使藥液閥1輕量化。

又，在本實施形態之藥液閥1之致動器部的組裝構造，因為特徵在於卡止部15形成於4個位置，突出部22形成於4個位置，在缸體10與蓋20的組裝，使蓋20與缸體10相對地旋轉，而缸體10與蓋20被一體地卡止，所以在蓋20，雖然處於彈簧41之偏壓力作用的狀態，但是為了使蓋20相對於缸體10的旋轉角度位於例如45度以內，使卡止部15及突出部22各自以在相鄰者彼此之間空出間隔的方式形成於4個位置，藉此，不會對作業員強迫大的作業負擔，而可在作業性變佳下將缸體10與蓋20一體化。

又，在本實施形態之藥液閥1之致動器部的組裝構造，因為特徵在於在蓋20的圓環部21，形成限制蓋20與缸體10相對地旋轉既定角度以上的止動構件24，所以在突出部22與卡止部15卡止之狀態，使蓋20與缸體10相對地旋轉至止動構件24與缸體10的卡止部15卡止，亦可將缸體10與蓋20的位置對準。

又，在本實施形態之藥液閥1之致動器部的組裝構造，因為特徵在於缸體10與蓋20由是氟系樹脂的PVDF所構成，所以具有不僅在樹脂中，機械強度亦比較強，並具有亦可承受對強酸液或鹼液的耐藥性，而且易利用射出成形等製造的優點。

此外，作為氟系樹脂之具體的材質，可列舉例如PVDF(聚乙烯二氟化物，別名：二氟化)、PTFE(聚乙烯四氟化物，別名：四氟化)等的氟系樹脂。

可是，近年來，在價格競爭激烈的半導體製造業界或液晶面板製造業界等，在半導體製造裝置或液晶面板製造裝置使用很多藥液閥。

因為本實施形態之藥液閥1的特徵在於如上述所示之藉由本實施形態之藥液閥1之致動器部的組裝構造所形成之藥液閥1，所以該藥液閥1例如可用作在半導體製造裝置或液晶面板製造裝置等所使用之藥液閥，對價格競爭激烈的半導體製造業界或液晶面板製造業界等，亦可有助於價格的降低。

在以上，雖然按照實施形態說明本發明，但是本發明未限定為上述的實施形態，可在不超出其主旨之範圍內適當地變更並應用。

(1)例如，在實施形態，缸體10與蓋20之任一個的材質都採用PVDF(聚乙烯二氟化物，別名：二氟化)，並利用射出成形將缸體10與蓋20成形。

可是，缸體與蓋的材質亦可採用例如PTFE(聚乙烯四氟化物，別名：四氟化)等其他的氟系樹脂，或將缸體與蓋的材質作成相異的氟系樹脂。又，亦可利用切削形成缸體與蓋。

(2)又，在本實施形態，雖然以大致正方形形成已去除操作通口17之缸體10的外形形狀(平面圖)，且蓋部25的外形形狀以與缸體10之外形形狀(底視圖)相同之大致正方形形成，但是缸體與蓋的外形形狀未限定為本實施形態，可進行各種變更。

(3)又，在本實施形態，將卡止部15分別以相同的形態設置於4個位置，並以大致沿著該缸體10之各側面的形態，任一個卡止部15都以與相鄰之卡止部15、15相同的間隔形成。

可是，設置於缸體之卡止部的個數、及配設卡止部的位置未限定為本實施形態，可適當地變更。

又，突出部22亦分別以相同的形態設置於4個位置，並以大致沿著蓋部25之各側面的形態，任一個突出部22都以與相鄰之突出部22、22相同的間隔形成。與卡止部一樣，設置於蓋之突出部的個數、及配設突出部的位置未限定為本實施形態，可適當地變更。

(4)又，在本實施形態，作為流體控制閥，採用常閉型的藥液閥1，其使活塞43的支撐面43a支撐彈簧41的一端，並使蓋20的支撐面26a支撐另一端，在操作空氣AR之推壓力未作用時，閥體42利用彈簧41的偏壓力與閥座31抵接而閉閥。

可是，流體控制閥亦可採用常開型的閥，其將偏壓構件配設於相當於本實施形態之活塞43的受壓側之活塞的一側、與缸體的底部側之間，在操作空氣AR的推壓力未作用時，閥體利用偏壓構件的偏壓力從閥座離開並打開閥，而操作空氣的推壓力作用時，閥體與閥座抵接而關閉閥。

此外，在常開型的流體控制閥，操作通口配置於是常閉型之本實施形態的藥液閥1之排氣通口29的位置，而排氣通口配設於操作通口17的位置。

1．．．藥液閥(流體控制閥)

2．．．致動器部

10．．．缸體

11．．．開口部

12．．．內壁

15．．．卡止部

20．．．蓋

21．．．圓環部

22．．．突出部

24．．．止動構件

31．．．閥座

41．．．彈簧(偏壓構件)

42．．．閥體

第1圖係表示實施形態之藥液閥之致動器部的分解立體圖。

第2圖係表示實施形態之藥液閥的致動器部之暫時組裝前之狀態的立體圖。

第3圖係表示在第2圖所示之致動器部的暫時組裝，將蓋覆蓋於致動器核心部之狀態的立體圖。

第4圖係表示完成第2圖所示之致動器部之暫時組裝之狀態的立體圖。

第5圖係表示實施形態之藥液閥的正視圖。

第6圖係表示實施形態之藥液閥的立體圖。

第7圖係表示實施形態之藥液閥的圖，係局部以剖面表示內部的正視圖。

第8A圖係表示實施形態之藥液閥之缸體的正視圖。

第8B圖係表示實施形態之藥液閥的缸體之在第8A圖的B-B箭號方向剖面圖。

第9A圖係從上方看第8A圖所示之缸體的平面圖。

第9B圖係在第9A圖中，C-C箭號方向剖面圖。

第10圖係表示從下方看實施形態之藥液閥之蓋的底視圖。

第11A圖係第10圖所示之蓋的右側視圖。

第11B圖係在第11A圖中，D-D箭號方向剖面圖。

第12圖係說明實施形態之藥液閥之整體總組裝的立體圖。

第13圖係在第6圖中，從相當於A-A箭號方向的方向看以往之藥液閥時以剖面所示的說明圖，係表示銷插入前的狀態圖。

第14圖係表示第13圖所示之藥液閥之銷插入後的狀態圖。

2．．．致動器部

28H．．．貫穿孔

20．．．蓋

22．．．突出部

29．．．排氣通口

45．．．指示器

41．．．彈簧

43．．．活塞

43a．．．支撐面

40．．．驅動部

10．．．缸體

3．．．致動器核心部

44．．．活塞桿

15．．．卡止部

12．．．內壁

17．．．操作通口

42．．．閥體

Claims (5)

1. 一種流體控制閥之致動器部的組裝構造，具有配設對閥體偏壓之偏壓構件的缸體、與塞住該缸體之開口部的蓋，並使該閥體與閥座抵接或離開，而控制流體的流動，其特徵在於：在該缸體，形成於朝向該閥體之徑向延伸的突出部，而在該蓋，形成與該突出部卡止的卡止部；其中該缸體係具有形成該開口部的內壁，該卡止部係對該缸體的該內壁向徑向內側突出，同時在該內壁的圓周方向，以圓弧形形成；該蓋係具有直徑比該缸體的該開口部小之環狀的圓環部，該突出部係對該蓋的該圓環部向徑向外側突出，同時在該圓環部的圓周方向，形成為與該卡止部的形狀對應的圓弧形；使該偏壓構件壓縮，在該缸體與該蓋體相對旋轉的狀態下，以該蓋覆蓋該缸體的開口部後，藉由該缸體與該蓋體相對旋轉的解除，使該突出部與該卡止部卡止，而該缸體與該蓋不會彼此分開而一體地卡止。
2. 如申請專利範圍第1項之流體控制閥之致動器部的組裝構造，其中該卡止部係形成於複數個位置；該突出部係形成於複數個位置；在該缸體與該蓋的組裝，使該蓋與該缸體相對地旋轉，而該缸體與該蓋一體地卡止。
3. 如申請專利範圍第2項之流體控制閥之致動器部的 組裝構造，其中在該缸體或該蓋的至少任一方，形成限制該蓋與該缸體相對地旋轉既定角度以上的止動構件。
4. 如申請專利範圍第1項之流體控制閥之致動器部的組裝構造，其中該缸體與該蓋係由氟系樹脂所構成。
5. 一種流體控制閥，藉由申請專利範圍第1項之流體控制閥之致動器部的組裝構造所形成。