CN102135206A

CN102135206A - 流体控制阀的促动器部的组装结构及由该结构形成的流体控制阀

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Publication number: CN102135206A
Application number: CN2011100251542A
Authority: CN
Inventors: 村田直史; 村濑广之; 菅田和广; 池之谷真二
Original assignee: CKD Corp
Current assignee: CKD Corp
Priority date: 2010-01-26
Filing date: 2011-01-20
Publication date: 2011-07-27
Anticipated expiration: 2031-01-20
Also published as: TW201128098A; KR20110088415A; JP2011153651A; TWI407029B; JP5002026B2; CN102135206B; US20110180154A1; US8839808B2; KR101275080B1

Abstract

本发明提供一种流体控制阀的促动器部的组装结构及由该结构形成的流体控制阀。药液阀(1)的促动器部组装结构的特征在于，在盖(20)上形成有沿着阀芯(42)的径向延伸的突出部(22)，在缸体(10)上形成有与突出部(22)卡止的卡止部(15)，在使弹簧(41)压缩并用盖(20)的盖部(25)覆盖缸体(10)的开口部(11)后，使突出部(22)与卡止部(15)卡止，从而使缸体(10)和盖(20)不会相互分离地卡固成一体。

Description

流体控制阀的促动器部的组装结构及由该结构形成的流体控制阀

技术领域

本发明涉及使阀芯与阀座抵接或分离来控制流体流动的流体控制阀的促动器部组装结构和由该结构形成的流体控制阀。详细地说，涉及在主体的开口部内配置有对阀芯施力的施力构件并通过盖堵塞缸体的开口部的流体控制阀的促动器部组装结构和由该结构形成的流体控制阀。

背景技术

一直以来，在半导体制造装置和液晶面板制造装置等中使用例如专利文献1中记载的药液阀。药液阀是通过阀芯与位于输入口和输出口之间的阀座抵接或分离，来控制药液从输入口向输出口的流动的流体控制阀。在图13和图14中示出了专利文献1所记载的药液阀的截面。

如图13所示，药液阀101主要由促动器芯部、堵塞缸体110的开口部的盖120、主体130和固定该药液阀101的安装板150构成，其中，促动器芯部具有缸体110、阀芯142、活塞143和弹簧141等，主体130具有阀座131、输入口132、输出口133等。

在药液阀101中，对阀芯142作用螺旋弹簧等弹簧141产生的作用力和在克服该作用力的方向上加压的操作空气AR产生的按压力，使阀芯142相对于阀座131上下运动。

在促动器芯部中，与阀芯142连接的活塞143可滑动地安装在缸体110中，弹簧141配置在位于与操作空气AR的受压面相反的一侧的活塞侧支撑面143a上。弹簧141被以支撑弹簧两端部的方式配置在活塞侧支撑面143a和堵塞缸体开口部的盖120的盖侧支撑面126a之间，以能够通过弹簧141的弹力朝向阀座131对阀芯142施力。

在制造药液阀101时，将盖120、促动器芯部、主体130和安装板150重合成一体并进行组装，如图14所示，使从盖120插入的第一螺栓160穿过缸体110、主体130与安装板150螺合进行固定。

药液阀除了制造时的装配以外，有时也要进行装配。例如，在使用后的维护时分解之后再装配。在分解作业时，没有操作空气产生的按压力作用在阀芯142上，成为通过弹力使阀芯142与阀座131抵接的状态。在该状态下，若一个一个地松缓与安装板150螺合的第一螺栓160，则促动器芯部会相对于主体130倾斜，因阀芯142产生的按压而使阀座131发生塑性变形。

为了在这样的分解时保护阀座131等，专利文献1进行了如下的改进，如图13和图14所示，在分解时，将销115插入指示器145，强制性地使阀芯142与阀座131分离，使得分解作业时的操作性良好。

专利文献1：JP特开2005-140295号公报。

发明内容

但是，在现有的药液阀101中，在制造时的装配和分解后的再装配中，在利用第一螺栓160将盖120、促动器芯部和主体130固定在安装板150上之前，通过利用第二螺栓(省略图示)预先进行螺栓紧固，而固定将弹簧141配置在活塞143上的状态下的促动器芯部的缸体110和盖120，因而存在部件数量增加、成本上升的问题。

该问题是因下面的原因产生的。即，在药液阀101的装配工序中，将活塞143、阀芯142、指示器145等组装成一体后安装在缸体110上，预先装配在活塞143的活塞侧支撑面143a上配置了弹簧141的促动器芯部作为一个单元。

然后，操作者进行使盖120、促动器芯部、主体130和安装板150重合成一体进行组装的整体总组装，但是，考虑此时的操作性和维护药液阀101时的分解期间的操作者的操作性，在整体总组装之前，预先临时组装促动器芯部和盖120。

即，将药液阀装配后的弹簧141的两端部支撑在活塞侧支撑面143a和盖侧支撑面126a之间，通过弹力朝向阀座131对阀芯142施力。弹簧141的自然长度长于装配后的弹簧长度，在用盖120堵塞缸体开口部时，使弹簧141以被强制性地收缩而比自然长度压缩了的状态收纳在药液阀101内。药液阀101中也有如下的药液阀，即，在输入口132与输出口133之间的流路上流动的药液的流量和压力大，需要与在药液的流通控制下阀芯142的关闭相当的大小的弹簧141的作用力。

这种药液阀101中，尤其是在使用弹力大的弹簧141的药液阀101中，在整体总组装盖120、促动器芯部等时，若不预先进行临时组装，则以相当大的外力使弹簧141收缩的状态直接使第一螺栓160与安装板150螺合的作业，对于操作者来说具有难度。另外，若不临时组装，则存在下面的操作方面的问题。即，在维护药液阀101时要分解药液阀101时，解除第一螺栓160与安装板150的连结。此时，已压缩的状态的弹簧141要恢复原来的形状，因而盖120和该弹簧141本身会突然弹出。

因此，在进行整体总组装前，利用与第一螺栓160不同的第二螺栓，预先将已装配为一个单元的促动器芯部的缸体110和盖120进行螺栓紧固，来进行将促动器芯部和盖120固定为一体的临时组装。

因而，通过该临时组装，能够确保提高操作者的操作性，但是另一方面，由于在药液阀101的临时装配中使用第二螺栓，反而使产品整体的部件数量增加，结果产品的成本上升。

本发明是为了解决上述问题而提出的，其目的在于，提供在利用盖堵塞缸体的开口部的流体控制阀中能够良好地维持其装配性并且降低成本的流体控制阀的促动器部组装结构。另外的目的在于提供由这样的促动器部组装结构形成的流体控制阀。

为了解决上述问题，本发明的流体控制阀的促动器部组装结构和本发明的流体控制阀具有如下结构。

(1)本发明的一个方式，提供一种流体控制阀的促动器部的组装结构，其包括配置有对阀芯施力的施力构件的缸体和堵塞缸体的开口部的盖，使阀芯与阀座抵接或分离来控制流体的流动，其特征在于，在缸体或盖中的任一个上形成有沿着阀芯的径向延伸的突出部，在另一个上形成有与突出部卡止的卡止部，在使施力构件压缩并且用盖覆盖缸体的开口部后，使突出部与卡止部卡止，从而使缸体和盖不会相互分离地卡固成一体。

(2)在(1)所述的流体控制阀的促动器部组装结构中，优选缸体具有形成开口部的内壁，盖具有直径小于缸体的开口部的环状的圆环部，卡止部相对于缸体的内壁向径向内侧突出，并且在内壁的周向上以圆弧状形成，突出部相对于盖的圆环部向径向外侧突出，并且在圆环部的周向上形成为与卡止部的形状对应的圆弧状。

(3)在(2)所述的流体控制阀的促动器部组装结构中，优选卡止部形成在多处，突出部形成在多处，在组装缸体和盖时，使盖与缸体相对旋转，从而使缸体和盖卡固成一体。

(4)在(3)所述的流体控制阀的促动器部组装结构中，优选在缸体或盖中的至少任一个上形成有制动器，该制动器对盖相对于缸体旋转规定角度以上进行限制。

(5)在(1)所述的流体控制阀的促动器部组装结构中，优选缸体和盖由氟类树脂形成。

(6)本发明的流体控制阀由(1)所述的流体控制阀的促动器部组装结构形成。

发明效果

下面说明具有上述结构的本发明的作用效果。本发明的流体控制阀的促动器部组装结构具有上述(1)的结构，因而在组装该流体控制阀时，在总组装阀整体前，通过预先临时组装使促动器芯部和盖形成一体，而完全不需要以往需要的螺栓，其中，促动器芯部由阀芯、施力构件、缸体等形成单元。

即，流体控制阀除了盖和促动器芯部之外，主要由具有阀座、输入口、输出口等的主体和固定该流体控制阀的安装板构成。操作者在制造该流体控制阀时或在使用后的维护时，将该流体控制阀分解期间，使盖、促动器芯部、主体和安装板重合成一体并进行组装，进行通过螺栓紧固固定这些构件的整体总组装。

在装配流体控制阀时，因为使施力构件从其自然长度收缩后组装，所以操作者的操作具有难度而存在问题。另外，在使用流体控制阀后维护的分解期间，拆下盖时，收缩状态的施力构件要一下子伸长而恢复为原来的状态，所以在维护药液阀时需要考虑分解时操作者的操作性。因此，在整体的总组装前，需要预先临时组装促动器芯部和盖，而以往仅为了临时组装而使用了螺栓。

因而，本发明的流体控制阀的促动器部组装结构，临时组装中完全不需要螺栓，该流体控制阀中能够减少产品整体的部件数量，因而具有降低该流体控制阀的成本的良好效果。

另外，根据上述结构(2)，即使在一端侧由盖支撑的施力构件的作用力大的情况下，施力构件的作用力不会作用于卡止部和突出部的局部，而分散地作用在卡止部和突出部上。因此，即使在盖与缸体之间较大地作用施力构件的作用力，缸体和盖也能够牢固地卡固。

另外，在将盖覆盖在缸体上使盖与缸体重合成一体后，仅使缸体与盖相对旋转直到盖的突出部与缸体的卡止部卡固的位置，就能够简单地卡固缸体和盖。

另外，在将促动器部中的缸体和盖临时组装成一体时，能够通过不需要以往必须的螺栓而使流体控制阀轻量化。

进而，根据上述结构(3)，虽然处于对盖作用了施力构件的作用力的状态，但是如果使卡止部和突出部分别形成在多处并且相邻的彼此之间隔开间隔，以使得盖相对于缸体的旋转角度例如限制在45度以下，则不会给操作者带来大的作业负担，能够操作性良好地使缸体和盖一体化。

根据上述结构(4)，在突出部与卡止部卡止的状态下，仅使盖相对于缸体旋转，就能够通过制动器使缸体和盖对位。

并且，根据上述结构(5)，即便属于树脂，机械强度也比较高并具有耐强酸性溶液和碱性溶液的耐化学腐蚀性，而且还具有易于通过注射模塑成形等制造的优点。

此外，作为氟类树脂的具体材质，例如能够列举PVDF(聚偏氟乙烯，别名：二氟化)、PTFE(聚四氟乙烯，别名：四氟化)等氟类树脂。

近年来，在成本竞争激烈的半导体制造业界和液晶面板制造业界等中，在半导体制造装置和液晶面板制造装置中使用大量的药液阀。

在本发明的流体控制阀中，因为具有上述(6)的结构，所以该流体控制阀例如能够作为用于半导体制造装置和液晶面板制造装置等的药液阀使用，对成本竞争激烈的半导体制造业界和液晶面板制造业界等也能够作出降低成本的贡献。

附图说明

图1是表示实施方式的药液阀的促动器部的分解立体图。

图2是表示实施方式的药液阀的促动器部在临时组装前的状态的立体图。

图3是表示通过临时组装图2所示的促动器部而将盖覆盖在促动器芯部上的状态的立体图。

图4是表示完成了图2所示的促动器部的临时组装的状态的立体图。

图5是实施方式的药液阀的主视图。

图6是实施方式的药液阀的立体图。

图7是表示实施方式的药液阀的图，是用截面局部地表示内部的主视图。

图8A是表示实施方式的药液阀的缸体的主视图。

图8B是实施方式的药液阀的缸体的图8A中的B-B向剖视图。

图9A是从上方观察图8A所示的缸体的俯视图。

图9B是图9A中的C-C向剖视图。

图10是从下方观察实施方式的药液阀的盖的仰视图。

图11A是图10所示的盖的右侧视图。

图11B是图11A中的D-D向剖视图。

图12是说明实施方式的药液阀的整体总组装的立体图。

图13是用从相当于图6中的A-A向的方向观察时的截面表示现有的药液阀的说明图，是表示销插入前的状态的图。

图14是表示图13所示的药液阀在销插入后的状态的图。

标号说明

1药液阀(流体控制阀)

2促动器部

10缸体

11开口部

12内壁

15卡止部

20盖

21圆环部

22突出部

24制动器

31阀座

41弹簧(施力构件)

具体实施方式

(实施方式)

下面，基于附图详细说明本发明的流体控制阀的促动器部组装结构的实施方式和由这种结构形成的流体控制阀的实施方式。

在本实施方式中，流体控制阀例如为在半导体制造装置或液晶面板制造装置等中使用的药液阀，用于下述目的：通过使阀芯与位于输入口与输出口之间的阀座抵接或分离，对药液从输入口向输出口的流动进行控制。

图5中示出了实施方式的药液阀的主视图，图6中示出了实施方式的药液阀的立体图。另外，图1中示出了药液阀的促动器部的分解立体图，图12是药液阀的整体总组装的说明图。

如图5所示，药液阀1主要由促动器部2、主体30和安装板50构成。

如图6和图12所示，在主体30上形成有阀座31、输入口32、输出口33等，在该主体30的四角形成有插入螺栓60的贯通孔34H。如后所述，使主体30与促动器部2重合，利用螺栓60将促动器部2和主体30一体地固定在安装板50上。

如图1所示，促动器部2由促动器芯部3和盖20构成，其中，促动器芯部3是将缸体10和除了阀芯42的驱动部40组装而形成的。驱动部40由弹簧(对应于本发明的“施力构件”)41、阀芯42、活塞43、指示器45等构成。

驱动部40中，在图上，从活塞43向其轴向下方延伸有活塞杆44。另外，指示器连接部46在受压侧(图7中，一次室18侧)的相反侧(图7中，二次室19侧)与活塞43形成一体，在后述的临时组装了促动器部2后，阀芯42与活塞杆44的前端部连接。

弹簧41形成为具有中央孔的螺旋状，向该中央孔内插入指示器45，将该弹簧41的一端装载在位于活塞43的反受压侧的活塞43的支撑面43a上。

图8A是表示本实施方式的药液阀的缸体10的主视图，图8B是该缸体10的图8A中的B-B向剖视图。图9A是从上方观察图8A所示的缸体10的俯视图。图9B是图9A中的C-C向剖视图。

缸体10由氟类树脂形成，在本实施方式中，在从上方观察时，缸体10除了操作口17的外形形状大致为正方形，通过注射模塑成形由PVDF(聚偏氟乙烯，别名：二氟化)成形为块状。在缸体10的一个侧面上具有操作口17，在组装完成状态的药液阀1中，操作口17与在活塞43的受压侧(图7中为下侧)形成的操作空气AR用一次室18(参照图7)连通。另外，在缸体10中，能够在第一内壁面10a上经由在活塞43的外周面配置的O型环等密封构件可滑动地安装活塞43。此外，通过该密封构件，隔着活塞43划分出在装配后的药液阀1中形成的空气AR的一次室18(活塞43的受压侧)和二次室19(反受压侧)。

在药液阀1中，对阀芯42作用弹簧41产生的作用力和在克服该作用力的方向上加压了的操作空气AR产生的按压力，使阀芯42相对于阀座31上下运动。即，本实施方式的药液阀1是如下的常闭型阀：在没有作用操作空气AR产生的按压力时，通过弹簧41的作用力使阀芯42与阀座31抵接，药液阀1关闭，若操作空气AR产生的按压力进行作用，则阀芯42与阀座31分离，药液阀1开启。

另外，如图7和图9所示，缸体10在第一内壁面10a的上方具有环状的第二内壁面10b，在该第二内壁面10b的上方还具有由圆周状的内壁12包围的开口部11。如图9A所示，在开口部11的外周四角形成有供螺栓60插入的贯通孔16H。在内壁12上形成有卡止部15，该卡止部15向该内壁12的径向内侧突出，并且在该内壁12的周向上形成为圆弧状。在本实施方式中，卡止部15分别以相同的方式设置有4处，任意的卡止部15均以大致沿着该缸体10的各侧面的方式，与相邻的卡止部15、15都具有均等的间隔而形成。

此外，相邻的卡止部15、15在周向上的间隔大于后述的盖20在各卡止部15的周向上的长度(圆弧长)。

图10是从下方观察盖20的仰视图。图11A是图10所示的盖20的右侧视图，图11B是盖20的图11A中的D-D向剖视图。

盖20由氟类树脂形成，在本实施方式中，在从下方观察时，盖20除了排气口29的外形形状大致为正方形，通过注射模塑成形由PVDF(聚偏氟乙烯，别名：二氟化)成形为块状。

如图10、图11A和图11B所示，盖20由堵塞缸体10的开口部11的盖部25和筒状的圆环部21构成，该圆环部21从该盖部25向下方延伸，是直径小于缸体10的开口部11的环状。

盖部25具有与组装完成后的药液阀1中形成的二次室19连通的排气口29，该盖部25除了该排气口29的外形形状(仰视观察)形成为与缸体10除了操作口17的外形形状(俯视观察)相同的大致正方形。在盖部25上，在圆环部21的外周侧四角形成有供螺栓60插入的贯通孔27H。另外，在盖20上形成有与圆环部21同轴的中空圆筒部21a，该中空圆筒部21a从盖部25的上表面中央向内侧突出。在该圆筒部21a上形成有沿其轴向贯通的贯通孔28H。另外，盖20中，在圆环部21的径向内侧且在圆筒部21a的外周侧具有平面状的支撑面26a，该支撑面26a支撑弹簧41的另一端(图1中的上端)。

在圆环部21上形成有突出部22，该突出部22向该圆环部21的径向外侧突出，并且在该圆环部21的周向上形成为与缸体10的卡止部15的形状对应的圆弧状。在本实施方式中，突出部22分别以相同的方式设置有4处，任一个突出部22都以大致沿着盖部25的各侧面的方式，与相邻的突出部22、22具有均等的间隔而形成。

突出部22配置在如下的位置，即，在将圆环部21插入缸体10的开口部11内而将盖20装载在缸体10上时，在缸体10和盖20恰好配合的状态下，能够与缸体10的卡止部15卡固的位置。

另外，在圆环部21上设置有制动器24，将盖20配置成盖在缸体10的开口部11上，在盖20相对于缸体10旋转规定角度后，通过制动器24限制盖20的进一步旋转。

另外，在圆环部21的外周面上沿周向形成有密封槽23。在该密封槽23中配置有O型环等密封构件。在用盖20堵塞了缸体10的开口部11时，通过该密封构件使缸体10的第二内壁面10b和盖20的圆环部21之间密封而具有气密性。

下面，说明药液阀1的组装方法。药液阀1的装配，首先在临时组装了促动器部2后，作为整体总组装，使完成了临时组装的促动器部2、主体30和安装板50重合成一体，并用螺栓60固定这些构件。

因此，首先使用图1～图4说明促动器部2的临时组装。图2是表示促动器部2的临时组装前的状态的说明图。图3是表示通过临时组装图2所示的促动器部2而将盖20覆盖在促动器芯部3上的状态的说明图。图4是表示完成了促动器部2的临时组装的状态的说明图。

在临时组装促动器部2时，预先组装驱动部40直到使阀芯42与活塞杆44连接前的状态。具体地说，将指示器45安装在活塞43的反受压侧(图7中的上侧)的前端部上，将指示器45插入弹簧41的中央孔中，将弹簧41的一端装载在活塞43的支撑面43a上。

然后，如图1所示，将除了阀芯42的驱动部40以使活塞杆44朝下的状态插入缸体10的开口部11侧。然后，将活塞杆44插入在缸体10的底部中央位置形成的圆筒部10c(参照图9A、9B)内，将活塞43装载在该圆筒部10c的上端，构成促动器芯部3。在该阶段，如图2所示，弹簧41为自然长度状态。

接着，在盖20的密封槽23中安装了未图示的密封构件后，以将盖20的盖部25的侧面相对于缸体10的侧面扭转到规定角度的状态，将盖20朝向促动器芯部3插入。

具体地说，以将通过指示器连接部46与活塞43连接的指示器45插入盖20的贯通孔28H中并且将弹簧41的另一端(图1中的上端)抵接在盖部25的支撑面26a上的方式将盖20装载在促动器芯部3上。进一步，使盖20向下方移动，一边使弹簧41以被支撑在活塞43的支撑面43a和盖部25的支撑面26a之间的状态收缩，一边将盖20的圆环部21插入缸体10的开口部11内直到盖20的盖部25与缸体10抵接。

此外，因为能够在圆环部21的周向上将缸体10和盖20相对扭转，所以在圆环部21向开口部11插入时，盖20的突出部22不会与缸体10的卡止部15发生干涉。

如图3所示，当圆环部21插入开口部11内直到盖20的盖部25装载在缸体10上时，安装在密封槽23中的密封构件嵌入缸体10的第一内壁面10a中，将缸体10的开口部11密闭。

然后，相对于缸体10使盖20旋转直到达到盖20的制动器24与缸体10的卡止部15中的一个抵接的状态，盖部25的侧面和缸体10的侧面大致处于同一平面上而解除双方侧面的扭转，在缸体10和盖20的四角，使盖20的贯通孔27H与缸体10的贯通孔16H对位。

此时，插入开口部11内的圆环部21也随着盖部25的旋转而旋转，圆环部21的突出部22与缸体10的位于开口部11中的卡止部15卡止，缸体10和盖20不会相互分离地卡固成一体。

这样，如图4所示，作为促动器部2的临时组装，缸体10和盖20卡固成一体。

然后，作为药液阀1的整体总组装，使完成了临时组装的促动器部2、主体30和安装板50重合成一体，用螺栓60紧固固定这些构件等。具体地说，在完成了促动器部2的临时组装的状态下，将活塞43的受压侧的活塞杆44的前端部和阀芯42连接(参照图1)。

然后，如图12所示，对在促动器部2中与缸体10的贯通孔16H定位了的盖20的贯通孔27H和主体30的贯通孔34H进行对位。接着，将阀芯42的周缘部夹持在促动器部2的缸体10和主体30之间，使促动器部2的下侧(缸体10的下侧)嵌入主体30的上侧，使促动器部2和主体30重合。然后，使已重合了的促动器部2和主体30再与安装板50重合，从而使促动器部2、主体30和安装板50一体化。

然后，从盖20的贯通孔27H插入螺栓60，使螺栓60穿过缸体10的贯通孔16H和主体30的贯通孔34H而与安装板50螺合，固定促动器部2、主体30和安装板50，然后，将覆盖螺栓60的头部的橡胶制的帽61嵌入盖20的贯通孔27H中。

这样，促动器部2、主体30和安装板50重合成一体并被固定，完成药液阀1的整体总组装。

下面说明具有上述结构的本实施方式的药液阀1的促动器部组装结构和利用该结构形成的药液阀1的作用效果。

本实施方式的药液阀1的促动器部组装结构，其特征在于，在盖20上形成有沿着阀芯42的径向延伸的突出部22，在缸体10上形成有与突出部22卡止的卡止部15，在使弹簧41压缩并用盖20的盖部25覆盖缸体10的开口部11后，使突出部22与卡止部15卡止，缸体10和盖20不会相互分离地卡固成一体，因而，在组装该药液阀1时，在整体总组装前，通过预先临时组装使促动器芯部3和盖20形成一体，而完全不需要以往必须的螺栓，其中，促动器芯部3由缸体10、弹簧41、阀芯42等形成单元。

即，药液阀1除了盖20和促动器芯部3之外，主要由具有阀座31、输入口32、输出口33等的主体30和固定该药液阀1的安装板50构成。操作者在制造药液阀1或在使用后的维护时，将药液阀1分解后，使盖20、促动器芯部3、主体30和安装板50重合成一体而进行组装，进行通过螺栓紧固固定这些构件的整体总组装。

在装配药液阀1时，因为使弹簧41从其自然长度收缩后组装，所以操作者的作业中具有难度而存在问题。另外，在药液阀1使用后进行维护的分解期间，拆下盖20时，因为收缩状态的弹簧41要一下子伸长而恢复为原来的状态，所以在维护药液阀1期间需要考虑分解时操作者的操作性。因此，在整体总组装前，需要预先临时组装促动器芯部3和盖20，而以往仅为了临时组装使用了螺栓。

另一方面，本实施方式的药液阀1的促动器部组装结构，临时组装中完全不需要螺栓，该药液阀1中能够减少产品整体的部件数量，因而还具有能够降低该药液阀1的成本的良好效果。

另外，本实施方式的药液阀1的促动器部组装结构的特征在于，缸体10具有形成开口部11的内壁12，盖20具有直径小于缸体10的开口部11的环状的圆环部21，卡止部15相对于缸体10的内壁12向径向内侧突出，并且在内壁12的周向上形成为圆弧状，突出部22相对于盖20的圆环部21向径向外侧突出，并且在圆环部21的周向上形成为与卡止部15的形状对应的圆弧状，因而，即使在一端侧由盖20支撑的弹簧41的作用力大的情况下，弹簧41的作用力也不会作用于卡止部15和突出部22的局部，而是分散地作用于卡止部15和突出部22。因此，即使在缸体10和盖20之间较大地作用弹簧41的作用力，缸体10和盖20也能够牢固地卡固。

另外，在将盖20覆盖在缸体10上使盖20和缸体10重合成一体后，仅通过使缸体10和盖20相对旋转直到将盖20的突出部22与缸体10的卡止部15卡固的位置，就能够简单地使缸体10和盖20卡固。

另外，在将促动器芯部3的缸体10和盖20临时组装形成一体时，能够通过不需要以往必须的螺栓而使药液阀1轻量化。

另外，本实施方式的药液阀1的促动器部组装结构的特征在于，卡止部15形成有4处，突出部22形成有4处，在组装缸体10和盖20时，使盖20与缸体10相对旋转，缸体10和盖20卡固成一体，因而虽然处于对盖20作用了弹簧41的作用力的状态，但是卡止部15和突出部22分别形成有4处并且相邻的彼此之间隔开间隔，以使得盖20相对于缸体10的旋转角度例如限制在45度以下，从而不会给操作者带来大的操作负担，能够操作性良好地使缸体10和盖20一体化。

另外，本实施方式的药液阀1的促动器部组装结构的特征在于，在盖20的圆环部21上形成有制动器24，该制动器24对盖20与缸体10相对旋转规定角度以上进行限制，因而，在突出部22与卡止部15卡止的状态下，仅通过使盖20与缸体10相对旋转直到制动器24与缸体10的卡止部15抵接，就能够使缸体10和盖20对位。

另外，本实施方式的药液阀1的促动器部组装结构的特征在于，缸体10和盖20是由作为氟类树脂的PVDF形成的，因而，即便属于树脂，机械强度也比较高并具有耐强酸性溶液和碱性溶液的耐化学腐蚀性，而且还具有易于通过注射模塑成形等制造的优点。

本实施方式的药液阀1的特征在于，由上述的本实施方式的药液阀1的促动器部组装结构形成，因而，该药液阀1例如能够作为用于半导体制造装置和液晶面板制造装置等的药液阀使用，对成本竞争激烈的半导体制造业界和液晶面板制造业界等也能够作出降低成本的贡献。

以上，以实施方式说明了本发明，但本发明不限于上述实施方式，能够在不脱离其主旨的范围内适当变更来应用。

(1)例如，在实施方式中，使缸体10和盖20的材质都是PVDF(聚偏氟乙烯，别名：二氟化)，通过注射模塑成形来使缸体10和盖20成形。

但是，缸体和盖的材质例如也可以使用PTFE(聚四氟乙烯，别名：四氟化)等其他的氟类树脂，或者缸体和盖的材质使用不同的氟类树脂。另外，也可以通过切削形成缸体和盖。

(2)另外，在本实施方式中，缸体10除了操作口17的外形形状(俯视观察)形成为大致正方形，盖部25的外形形状形成为与缸体10的外形形状(仰视观察)相同的大致正方形，但是缸体和盖的外形形状不限于本实施方式，能够进行各种变形。

(3)另外，在本实施方式中，卡止部15分别以相同的方式设置有4处，并且任意的卡止部15都以大致沿着该缸体10的各侧面的方式，与相邻的卡止部15、15分隔均等的间隔而形成。

但是，缸体上设置的卡止部的数量和配置卡止部的位置不限于本实施方式，能够适当变更。

另外，突出部22也分别以相同的方式设置有4处，并且任意的突出部22都以大致沿着盖部25的各侧面的方式，与相邻的突出部22、22分隔均等的间隔而形成。与卡止部同样，盖上设置的突出部的数量和配置突出部的位置不限于本实施方式，能够适当变更。

(4)另外，在本实施方式中，作为流体控制阀形成了常闭型的药液阀1，其中，将弹簧41的一端支撑在活塞43的支撑面43a上，将另一端支撑在盖20的支撑面26a上，在没有作用操作空气AR产生的按压力时，通过弹簧41的作用力使阀芯42与阀座31抵接而将阀关闭。

但是，流体控制阀也可以形成常开型的阀，其中，将施力构件配置在与本实施方式的活塞43的受压侧相当的活塞的一侧和缸体的底部侧之间，在没有作用有操作空气产生的按压力时，通过施力构件的作用力使阀芯与阀座分离而将阀开启，当操作空气产生的按压力进行作用时，使阀芯与阀座抵接而将阀关闭。

此外，在常开型的流体控制阀中，操作口配置在作为常闭型的本实施方式的药液阀1的排气口29的位置上，排气口配置在操作口17的位置上。

Claims

1.一种流体控制阀的促动器部的组装结构，包括配置有对阀芯施力的施力构件的缸体和堵塞所述缸体的开口部的盖，使所述阀芯与阀座抵接或分离来控制流体的流动，其特征在于，

在所述缸体或所述盖中的任一个上形成有沿着所述阀芯的径向延伸的突出部，在另一个上形成有与所述突出部卡止的卡止部，

在使所述施力构件压缩并且用所述盖覆盖所述缸体的开口部后，使所述突出部与所述卡止部卡止，从而使所述缸体和所述盖不会相互分离地卡固成一体。

2.如权利要求1所述的流体控制阀的促动器部的组装结构，其特征在于，

所述缸体具有形成所述开口部的内壁，

所述盖具有直径小于所述缸体的所述开口部的环状的圆环部，

所述卡止部相对于所述缸体的所述内壁向径向内侧突出，并且在所述内壁的周向上以圆弧状形成，

所述突出部相对于所述盖的所述圆环部向径向外侧突出，并且在所述圆环部的周向上形成为与所述卡止部的形状对应的圆弧状。

3.如权利要求2所述的流体控制阀的促动器部的组装结构，其特征在于，

所述卡止部形成在多处，

所述突出部形成在多处，

在所述缸体和所述盖的组装中，使所述盖与所述缸体相对旋转，从而使所述缸体和所述盖卡固成一体。

4.如权利要求3所述的流体控制阀的促动器部的组装结构，其特征在于，

在所述缸体或所述盖中的至少任一个上形成有制动器，该制动器对所述盖相对于所述缸体旋转规定角度以上进行限制。

5.如权利要求1所述的流体控制阀的促动器部的组装结构，其特征在于，

所述缸体和所述盖由氟类树脂形成。

6.一种流体控制阀，

由权利要求1所述的流体控制阀的促动器部的组装结构形成。