JP2005136407A - 半導体発光デバイス - Google Patents
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Abstract
【課題】青色発光パワー出力を増加することができる、窒化物材料系で製造された半導体発光デバイスを提供すること。
【解決手段】 窒化物材料系で製造された半導体発光デバイスは、基板(1)上に配置された活性領域(5)を有する。この活性領域(5)は、活性領域の最下部層を形成する第1アルミニウム含有層(12)、活性領域の最下部層を形成する第2アルミニウム含有層(14)、および第1アルミニウム含有層(12)と第2アルミニウム含有層(14)との間に配置された少なくとも1つのInGaN量子井戸層(13)を備える。アルミニウム含有層(12、14)は、活性層(5)におけるキャリア閉じ込めを向上するので、デバイスの出力光パワーが増加する。本発明は、発光ダイオード(11)またはレーザダイオードに適用され得る。
【選択図】 図2
Description
本発明は、半導体発光デバイスに関し、特に、例えば、(Al、Ga、In)N材料系等の窒化物材料系で製造された半導体発光デバイスに関する。本発明は、例えば、発光ダイオード(LED)またはレーザダイオード(LD)に応用され得る。
(Al、Ga、In)N材料系は、一般式AlxGayIn1−x−yN(ここで、0≦x≦1および0≦y≦1である)を有する材料を含む。この実例では、アルミニウム、ガリウムおよびインジウムのモル比が非ゼロの(Al、Ga、In)N材料系のメンバーは、AlGaInNと呼ばれ、アルミニウムのモル比がゼロであるが、ガリウムおよびインジウムのモル比が非ゼロであるメンバーはInGaNと呼ばれ、インジウムのモル比がゼロであるが、ガリウムおよびアルミニウムのモル比が非ゼロのメンバーは、AlGaNと呼ばれる、等である。現在、(Al、Ga、In)N材料系で半導体発光デバイスを製造することへの関心が高まっている。なぜなら、この材料系で製造されたデバイスは、青色波長範囲のスペクトルの光を発し得るからである。(Al、Ga、In)N材料系で製造された半導体発光デバイスは、例えば、特許文献1に記載される。
薄いドープAlGaN層6を活性領域5上に直接配置することが知られている。AlGaN層6は、第2光ガイド層7および第2クラッド領域8と同じ導電型を有するようにドーピングされ、従って、図1のデバイスではp型ドーピングされる。AlGaN層6は電子ブロック層として機能し、活性領域5からの電子のオーバーフローを防ぐ。AlGaN層6はまた、成長プロセスの間、第2光ガイド層7、第2クラッド層8、およびキャップ層9を堆積する際に用いられる高い成長温度から活性領域を保護する。このような薄いp型ドープAlGaN層を設けることは、例えば、非特許文献1に開示される。
本発明は、窒化物材料系で製造され、かつ、基板上に配置された活性領域を有する半導体発光デバイスを設け、この活性領域は、活性領域の最下部層を形成する第1アルミニウム含有層と、活性領域の最上部層を形成する第2アルミニウム含有層と、第1アルミニウム含有層と第2アルミニウム含有層との間に配置された少なくとも1つのInGaN量子井戸層と、第1アルミニウム含有層と第2アルミニウム含有層との間に配置された少なくとも1つのアルミニウム非含有バリア層とを備える。
本発明によると、例えば、(Al、Ga、In)N材料系等の窒化物材料で製造された発光デバイスの活性領域の最下部層および最上部層は、例えば、AlGaNまたはAlGaInNの層等の薄いアルミニウム含有層である。本発明の好ましい実施形態では、他の活性領域は、意図的にはアルミニウムを含まない。
(A1)
アルミニウム含有層
バリア層
QW層
バリア層
アルミニウム含有層
または
(B1)
アルミニウム含有層
バリア層
QW層
アルミニウム含有層
または
(C1)
アルミニウム含有層
QW層
バリア層
アルミニウム含有層
のいずれかを有し得る。
(A2)
アルミニウム含有層
バリア層
QW層
バリア層
QW層
バリア層
アルミニウム含有層
または
(B2)
アルミニウム含有層
QW層
バリア層
QW層
アルミニウム含有層
または
(C2)
アルミニウム含有層
バリア層
QW層
バリア層
QW層
アルミニウム含有層
または
(D2)
アルミニウム含有層
QW層
バリア層
QW層
バリア層
アルミニウム含有層
のいずれかを有し得る。
図2(b)は、本発明による半導体レーザデバイスを示す。図2(b)のレーザデバイス15は、(Al、Ga、In)N材料系で製造される。
2 バッファ層
5 活性領域
9 キャップ層
11 LED
12 最下部AlGaN層
13 量子井戸層
14 最上部AlGaN層
Claims (16)
- 窒化物材料系で製造され、かつ基板(1)上に配置された活性領域(5)を有する半導体発光デバイスであって、該活性領域(5)は、該活性領域の最下部層を形成する第1アルミニウム含有層(12)と、該活性領域の最上部層を形成する第2アルミニウム含有層(14)と、該第1アルミニウム含有層と該第2アルミニウム含有層との間に配置された少なくとも1つのInGaN量子井戸層(16、16’)と、該第1アルミニウム含有層と該第2アルミニウム含有層との間に配置された少なくとも1つのアルミニウム非含有バリア層(15、15’、17)とを備える、半導体発光デバイス。
- 前記第1アルミニウム含有層(12)は、AlGaNまたはAlGaInNの層である、請求項1に記載のデバイス。
- 前記第2アルミニウム含有層(14)は、AlGaNまたはAlGaInNの層である、請求項1に記載のデバイス。
- 前記活性領域(5)は、前記第1アルミニウム含有層(12)と前記少なくとも1つのInGaN量子井戸層(16)との間に配置された第1アルミニウム非含有バリア層(15)を備える、請求項1、2または3に記載のデバイス。
- 前記活性領域(5)は、前記少なくとも1つのInGaN量子井戸層(16)と前記第2アルミニウム含有層(14)との間に配置された第2アルミニウム非含有バリア層(17)を備える、請求項1、2、3または4に記載のデバイス。
- 前記活性領域(5)は、少なくとも2つのInGaN量子井戸層(16、16’)を備え、各隣接し合う2つのInGaN量子井戸層は、アルミニウム非含有バリア層(15’)によって分離される、請求項1〜5のいずれかに記載のデバイス。
- 前記バリア層(15、15’、17)は、InGaN層である、請求項1〜6のいずれかに記載のデバイス。
- 前記第1アルミニウム含有層(12)は、AlxGa1−xNの層であり、ここで0<x≦0.4である、請求項1〜7のいずれかに記載のデバイス。
- 前記第1アルミニウム含有層(12)は、50nm以下の厚さを有する、請求項1〜8のいずれかに記載のデバイス。
- 前記第1アルミニウム含有層(12)は、約20nmの厚さを有する、請求項9に記載のデバイス。
- 前記第2アルミニウム含有層(14)は、AlyGa1−yNの層であり、ここで0<y≦0.4である、請求項1〜10のいずれかに記載のデバイス。
- 前記第2アルミニウム含有層(14)は、15nm以下の厚さを有する、請求項1〜11のいずれかに記載のデバイス。
- 前記第2アルミニウム含有層(14)は、約5nmの厚さを有する、請求項1〜12のいずれかに記載のデバイス。
- 前記第1アルミニウム含有層(12)は、意図的にはドーピングされない、請求項1〜13のいずれかに記載のデバイス。
- 前記第2アルミニウム含有層(14)は、意図的にはドーピングされない、請求項1〜14のいずれかに記載のデバイス。
- 前記InGaN量子井戸層(13)は、InzGa1−zN層であり、ここで0<z≦0.3である、請求項1〜15のいずれかに記載のデバイス。
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