JP2009059784A - 窒化物系半導体発光素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明による窒化物系半導体発光素子は、基板上に順次積層された1以上のn型窒化物系半導体層、量子井戸構造を有する活性層、および1以上のp型窒化物系半導体層を含み、活性層はInGaNの井戸層とGaNまたはInGaNの少なくとも一方を含む障壁層とを含みかつ430nm以上580nm以下の発光波長を有し、井戸層は1.2nm以上4.0nm以下の小さな厚さを有し、障壁層は井戸層の歪に対する緩衝層とし作用し得るように井戸層に比べて10倍より大きくて45倍以下の厚さを有することを特徴としている。
【選択図】図2
Description
図1の模式的断面図は、本発明の実施形態1による窒化物系半導体発光素子の積層構造を示している。なお、本願の図面において、長さ、幅、厚さなどの寸法関係は図面の明瞭化と簡略化のために適宜に変更されており、実際の寸法関係を表してはいない。特に、厚さが適宜に拡大されて示されている。また、図面における同一の参照符号は、同一部分または相当部分を表している。
本発明の実施例1は、上述の実施形態1に対応している。本実施例1の半導体発光素子は発光波長が445nmの半導体レーザ素子であって、この素子の積層構造に関しても図1を参照することができる。
本発明の実施例2も、実施例1と同様に上述の実施形態1に対応している。本実施例2では、実施例1のレーザ素子構造中の活性層105に関して、In0.15Ga0.85N井戸層131の厚さを2.5nmに設定し、GaN障壁層132の厚さをパラメータとして光閉じ込め係数の算出を行った。この算出方法は、非特許文献2のM. J. Bergmann and H. C. Casey, Jr., J. Appl. Phys., vol. 84, (1998), 1196 において開示されている。
本発明の実施例3も、実施例1と同様に上述の実施形態1に対応している。本実施例3では、実施例1のレーザ素子構造中の活性層105に関して、In0.15Ga0.85N井戸層131の厚さを2.5nmに設定し、GaN障壁層132の厚さをパラメータとして、その活性層の平均歪の計算を行った。活性層の平均歪は、前述の式(1)で与えられ得る。
本発明の実施例4も、実施例1と同様に上述の実施形態1に対応している。実施例1に比べて、本実施例4によるレーザ素子構造は、GaN障壁層がIn0.03Ga0.97N障壁層に変更されたことのみにおいて異なっていた。
本発明の実施例5も、実施例4と同様に上述の実施形態1に対応している。本実施例5では、実施例4のレーザ素子構造中の活性層105に関して、In0.15Ga0.85N井戸層131の厚さを2.5nmに設定し、In0.03Ga0.97N障壁層132の厚さをパラメータとして光閉じ込め係数の算出を行った。
本発明の実施形態2による窒化物系半導体発光素子は、実施形態1に比べて、活性層に変更が加えられることのみにおいて異なっている。
本発明の実施例6は上記の実施形態2対応している。本実施例6の半導体発光素子も発光波長が445nmの半導体レーザ素子であって、この素子の積層構造に関しても図1を参照することができる。
本発明の実施例7も、実施例6と同様に上述の実施形態2に対応している。本実施例7によるレーザ素子構造の活性層105においては、In0.15Ga0.85N井戸層131の厚さを2.5nmに設定し、In0.03Ga0.97N/GaN/In0.03Ga0.97Nの3層からなる障壁層132の総厚をパラメータとして光閉じ込め係数の算出を行った。その計算結果は図4に類似した傾向を示し、井戸層に対する障壁層の厚さの比率を10倍より大きくすることによって、10倍の場合に比べて光閉じ込め係数を10%程度上昇させることができ、高発光効率のレーザ素子の実現が可能となり、またその閾値電流の低減、温度特性改善、および寿命特性の向上も可能となる。
Claims (8)
- 基板上に順次積層された1以上のn型窒化物系半導体層、量子井戸構造を有する活性層、および1以上のp型窒化物系半導体層を含み、
前記活性層はInGaNの量子井戸層とGaNまたはInGaNの少なくとも一方を含む障壁層とを含みかつ430nm以上580nm以下の発光波長を有し、
前記井戸層は1.2nm以上4.0nm以下の小さな厚さを有し、
前記障壁層は前記井戸層の歪に対する緩衝層とし作用し得るように前記井戸層に比べて10倍より大きくて45倍以下の厚さを有することを特徴とする窒化物系半導体発光素子。 - 前記活性層は2以上6以下の前記井戸層を含むことを特徴とする請求項1に記載の窒化物系半導体発光素子。
- 前記障壁層の厚さが12nmより大きくて100nm未満であることを特徴とする請求項1または2に記載の窒化物系半導体発光素子。
- 前記井戸層のIII族元素中のIn組成比が0.05以上0.50以下であることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の窒化物系半導体発光素子。
- 前記障壁層のIII族元素中のIn組成比が0.00以上0.20以下であることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の窒化物系半導体発光素子。
- 前記障壁層は互いに異なるIn組成比を有する複数の層を含み、それら複数層のIn組成比は前記井戸層のIn組成比に比べて小さいことを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載の窒化物系半導体発光素子。
- 前記障壁層はInGaN層とGaN層を含むことを特徴とする請求項6に記載の窒化物系半導体発光素子。
- 前記1以上のn型窒化物系半導体層はn型クラッド層を含み、前記1以上のp型窒化物系半導体層はp型クラッド層を含み、これらのクラッド層においてIII族元素中のAl組成比が0.01以上0.15以下であることを特徴とする請求項1から7のいずれかに記載の窒化物系半導体発光素子。
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2228691A2 (en) | 2009-03-12 | 2010-09-15 | Konica Minolta Business Technologies, Inc. | Image forming apparatus |
WO2015052861A1 (ja) * | 2013-10-10 | 2015-04-16 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 半導体発光装置 |
JP2019041102A (ja) * | 2017-08-22 | 2019-03-14 | シャープ株式会社 | レーザダイオード |
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Families Citing this family (3)
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JP2009152552A (ja) * | 2007-12-18 | 2009-07-09 | Seoul Opto Devices Co Ltd | 多重量子井戸構造の活性領域を有する発光ダイオード |
JP5077303B2 (ja) * | 2008-10-07 | 2012-11-21 | 住友電気工業株式会社 | 窒化ガリウム系半導体発光素子、窒化ガリウム系半導体発光素子を作製する方法、窒化ガリウム系発光ダイオード、エピタキシャルウエハ、及び窒化ガリウム系発光ダイオードを作製する方法 |
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Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001044570A (ja) * | 1999-07-27 | 2001-02-16 | Nichia Chem Ind Ltd | 窒化物半導体レーザ素子 |
JP2004356256A (ja) * | 2003-05-28 | 2004-12-16 | Sharp Corp | 窒化物半導体発光素子及びその製造方法 |
JP2006156891A (ja) * | 2004-12-01 | 2006-06-15 | Sharp Corp | 窒化物半導体発光素子および窒化物半導体発光素子の製造方法 |
JP2007150312A (ja) * | 2005-11-25 | 2007-06-14 | Sharp Corp | 半導体発光デバイスおよび半導体発光デバイスの製造方法 |
JP2007214221A (ja) * | 2006-02-08 | 2007-08-23 | Sharp Corp | 窒化物半導体レーザ素子 |
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001044570A (ja) * | 1999-07-27 | 2001-02-16 | Nichia Chem Ind Ltd | 窒化物半導体レーザ素子 |
JP2004356256A (ja) * | 2003-05-28 | 2004-12-16 | Sharp Corp | 窒化物半導体発光素子及びその製造方法 |
JP2006156891A (ja) * | 2004-12-01 | 2006-06-15 | Sharp Corp | 窒化物半導体発光素子および窒化物半導体発光素子の製造方法 |
JP2007150312A (ja) * | 2005-11-25 | 2007-06-14 | Sharp Corp | 半導体発光デバイスおよび半導体発光デバイスの製造方法 |
JP2007214221A (ja) * | 2006-02-08 | 2007-08-23 | Sharp Corp | 窒化物半導体レーザ素子 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2228691A2 (en) | 2009-03-12 | 2010-09-15 | Konica Minolta Business Technologies, Inc. | Image forming apparatus |
WO2015052861A1 (ja) * | 2013-10-10 | 2015-04-16 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 半導体発光装置 |
JPWO2015052861A1 (ja) * | 2013-10-10 | 2017-03-09 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 半導体発光装置 |
JP2019041102A (ja) * | 2017-08-22 | 2019-03-14 | シャープ株式会社 | レーザダイオード |
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