JP2005134369A - 測定装置および方法 - Google Patents

測定装置および方法 Download PDF

Info

Publication number
JP2005134369A
JP2005134369A JP2004220665A JP2004220665A JP2005134369A JP 2005134369 A JP2005134369 A JP 2005134369A JP 2004220665 A JP2004220665 A JP 2004220665A JP 2004220665 A JP2004220665 A JP 2004220665A JP 2005134369 A JP2005134369 A JP 2005134369A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
radiation beam
detector
radiation
emitter
cap
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2004220665A
Other languages
English (en)
Other versions
JP4520240B2 (ja
JP2005134369A5 (ja
Inventor
Victor G Stimpson
ビクター ゴードン スティムソン
Benjamin J Merrifield
ベンジャミン ジェーソン メリフィールド
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Renishaw PLC
Original Assignee
Renishaw PLC
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Renishaw PLC filed Critical Renishaw PLC
Publication of JP2005134369A publication Critical patent/JP2005134369A/ja
Publication of JP2005134369A5 publication Critical patent/JP2005134369A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4520240B2 publication Critical patent/JP4520240B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01VGEOPHYSICS; GRAVITATIONAL MEASUREMENTS; DETECTING MASSES OR OBJECTS; TAGS
    • G01V8/00Prospecting or detecting by optical means
    • G01V8/10Detecting, e.g. by using light barriers
    • G01V8/12Detecting, e.g. by using light barriers using one transmitter and one receiver
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23QDETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q17/00Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools
    • B23Q17/24Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools using optics or electromagnetic waves
    • B23Q17/248Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools using optics or electromagnetic waves using special electromagnetic means or methods
    • B23Q17/2485Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools using optics or electromagnetic waves using special electromagnetic means or methods using interruptions of light beams
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T408/00Cutting by use of rotating axially moving tool
    • Y10T408/13Cutting by use of rotating axially moving tool with randomly-actuated stopping means
    • Y10T408/14Responsive to condition of Tool or tool-drive
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T408/00Cutting by use of rotating axially moving tool
    • Y10T408/21Cutting by use of rotating axially moving tool with signal, indicator, illuminator or optical means

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Geophysics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Geophysics And Detection Of Objects (AREA)
  • Vehicle Body Suspensions (AREA)
  • Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)

Abstract

【課題】送出器と検出器との間にさまざまな距離がある場合、検出器にて増幅器の利得に関する必然的な調整を行わなければならない。
【解決手段】本発明は、放射ビーム(例えば光20)の物体(図1の50)によるこのビーム内への遮断を検出する形式の測定装置5に関する。この装置は、ハウジング10および30にそれぞれ収容された発光体12および光検出器32を包含する。ハウジング間の種々の間隔に対応するため、さまざまな寸法の開口11を持った種々のキャップ14がハウジングに対して嵌合可能である。これは、出射および/または検出されるべき光量の変更を可能とする。キャップを通過する光量を調整する他の方法が開示されている。
【選択図】 図2

Description

本発明は、物体を検出するために放射ビームの遮断または回復を用いる測定装置の操作に関し、排他的ではないけれども、特に放射ビームを伝搬させる放射線送出器と、この送出器から間隔をあけられて放射ビームを検出する放射線検出器とを有する切削工具検出器として使用するための測定装置に関する。
上述した形式の測定装置が知られている。このような装置の1つが特許文献1に記載されている。この記載された光学装置は、工作機械に対する切削工具の検出に使用するために主に設計され、極めて正確な測定が可能である。
上の特許に示された装置の汎用性を増大するため、光送出器および光検出器はさまざまな距離にて間隔をあけられなければならない。大きい工具は、これを送出器と検出器との間に取り付けることができるように、小さな工具のために必要とされる間隔よりも送出器と検出器との間により大きな距離を必要とする。大きな工作機械は、工具が特定の測定箇所まで長い工具移動距離を横切る必要なく、これがビームのどこにあっても測定できるように、送出器と検出器との間に大きな間隔を必要する可能性がある。小さな工作機械は、送出器と検出器との間の大きな距離を持った長い測定装置を包含するための空間を有していない。
米国特許第6,496,273号明細書
送出器と検出器との間にさまざまな距離がある場合、検出器にて増幅器の利得に関する必然的な調整を行わなければならない。実際には、カバーを取り外して検出器ハウジング内のスイッチにアクセスし、検出器と送出器との間の距離に基づいて利得が調整され、必要とされる利得が選択されるように取り扱われる。
使用者がカバーを元通りに正しく取り付けし損ねたり、またはハウジング内の汚染を除去し損ねた場合、問題が生ずる。同様に、使用者がハウジングの内部の回路を損傷させたり、またはスイッチを間違ってセットする可能性がある。商業的に利用可能な他の周知のシステムは、利得を調整するスイッチの代わりにポテンショメーターを使用しているが、このようなシステムは同じ欠点をこうむる。
従って、恒久的に密閉されたシステムが有利であるが、検出器の増幅利得の一般的な調整を不可能にしよう。
本発明は、放射ビームを遮断し、機械に用いられる物体を検出するための測定装置を提供し、この装置は、放射ビームを発するための発光体を有する発光体と、放射ビームを検出するための放射検出器を有する検出器とを具え、前記発光体または検出器の少なくとも一方は、前記検出器に達する放射ビームの量を制限する放射ビーム絞りを有し、この放射絞りは、前記検出器に達する放射ビームの量を変更するための調整装置を包含している。
好ましくは、放射ビーム絞りが開口の形態の放射ビーム伝搬領域を包含し、この開口の大きさが調整装置を形成するように変更可能である。
好ましくは、放射ビーム絞りが発光体および/または検出器にそれぞれ嵌合可能であって、種々の量の放射ビームをそれらの個々の放射ビーム伝搬領域にそれぞれ通すことを可能にする複数のキャップを具えている。
好ましくは、放射ビームの量が前記放射ビームの伝搬距離に依存している。
従って、このように特徴付けられた本発明の実施形態は、発光体および検出器をあらゆる実用的な距離に間隔をあけることができ、キャップを一方または両方に嵌合させることができ、発光体と検出器との間の距離に対して適切な放射ビーム(例えば光)の量が通ることを可能にするという利点を有する。
好ましくは、放射ビームが光である。
都合が良いことに、送出器および検出器の両方にキャップが嵌合されるハウジングを有し、それぞれのキャップが他方に対して交換可能であり、これら2つのハウジング間の間隔を拡げた場合により多くの光を通すことを可能とするか、あるいはこれら2つのハウジングを相互により近づけた場合、より少ない光が通ることを可能とする。
好ましくは、少なくとも一方のハウジングが使用中にハウジング外の圧力よりも大きな圧力に加圧される内部キャビティを有し、開口はキャビティと流体連通状態にあり、流体流動がキャビティから開口を介してハウジングの外へともたらされるようになっている。
従って、本発明の実施形態において、使用中における開口は、ここから流出する流体、例えば空気の流れを有し、開口に汚染物質がないように保つ。
本発明は、放射ビーム発光体と放射ビーム検出器とを有する測定装置内に与えられた放射ビームの量を調整する方法に拡張しており、前記発光体および検出器の少なくとも一方が非通過領域によって囲まれて放射ビームが通るのを可能とするための放射ビーム通過領域を包含する放射ビーム絞りを有し、この方法は、前記領域を通過可能な放射ビームの量を調整するという特徴のステップを具えている。
好ましくは、この方法は、放射ビーム検出器に関して間隔を置かれた放射ビーム発光体を位置決めするステップを包含する。
好ましくは、この方法は、異なる量の放射ビームがここを通過することを可能にするキャップの形態の適切な放射絞りを複数のキャップから選択するステップを包含し、選択されたキャップは放射ビームの伝搬距離によって決定された適切な量の光がここを通って伝えられることを可能にする。
さて、本発明の種々の実施形態が例示として図面を参照しつつ記載されよう。
図1は、工作機械、例えば工作機械制御装置56および自動工具交換装置54とを有するコンピュータ制御の工作機械に使用して好適な工具測定装置5を示している。この装置5は作業中に光ビーム20を発する。発光ユニット12が光ビームを発し、光検出ユニット32がこの光ビームを検出する。これら2つのユニットは、ハウジング10および30内にそれぞれ配置されると共にベース40にそれぞれ取り付けられている。
使用中に、工具、例えば工具50は、そのホルダ52によって光ビーム20の方に(または光ビームから離れて)これが光ビームを覆い隠す(または元に復帰する)まで動かされる。工具の測定は、光線が遮断または元に復帰した時点で行われる。一般に、光ビームが遮断または元に復帰したことを示すため、トリガー信号がこの装置から機械制御装置56へと送信される。このトリガー信号は、検出器がある電圧を越えた場合に作り出される。
図2は、図1に示した形式の測定装置の中心を通る断面図を示している。この装置における発光ユニットは、そのハウジング10内に密閉されている。この発光ユニットは、光ビーム20を発するレーザーダイオード16を有する。この光ビーム20の幅は、多数の光絞りキャップ14の1つによって制限可能である。光絞りキャップ14は、より詳細に図3a,図3bおよび図3cに示されているが、基本的にこれらはここを通過する光量を制限するための開口11を有している。開口11は、加圧空気供給部42によって加圧されるハウジング10内の内部キャビティ18に開口している。従って、開口11からハウジング外へと空気が絶えず流出し、開口が汚染によって塞がれてしまうことはない。
光線は、ハウジング30に収容された光検出ユニット32に取り付けられるさらなるキャップ34に伝搬することができる。フォトダイオード36は、光ビームをこれが存在する場合に検出する。本実施形態では、光量、つまりフォトダイオードの電圧を光絞りキャップ14の開口の大きさによって制御することができる。より少ない光絞りキャップ14しか使えない場合のように、光量変化を考慮して自動利得回路が設けられている。
同様に、加圧されたキャビティ38によってキャップ34の開口31から空気が流出する。加圧空気および電力,信号がベース40内のそれぞれ供給部42およびケーブル44を介してもたらされる。この場合、ハウジング10および30も同様に、ベース40にそれぞれ固定されている。しかしながら、これらのハウジングを機械の表面、例えば図1に示した工作機械の表面58に直接固定することができる。
さて、汎用性のためにハウジング10および30間の間隔を変更することが可能である。これは、例えばハウジングをベース40上の異なる位置に再固定することにより、あるいは異なる長さのベース40を用いることによって達成可能である。数ミリメートルから5m以上の引き離しが可能である。
発光ユニット12と検出ユニット32との間の距離を変更することは、検出ユニットでの入射光量が変わり、検出器における光の過多または不足をもたらす可能性がある。この問題は、図3a,図3bおよび図3cに示す光をある幅に制限するキャップを設け、検出される光ビームの幅を変えることにより克服される。加えて、より小さな工具を測定する場合に幅がより狭いビームがより有効である。様々なキャップは、ただ1種類の発光体および検出器に対して合致する適切な1つのキャップが作られることを可能にする。発光体および検出器の回路に対する調整を製造後に行う必要はない。
図3a,図3bおよび図3cは、絞りキャップ14および34の実施形態を示している。図3aにおいて、例えば光ビームの発散による光路中での光の損失を小さくするため、より幅の狭いビーム20aを用いることができるように、キャップ間に短い距離「a」が存在している。
図3bは、キャップ14bおよび34b間のより長い距離「b」を示している。より長い距離「b」は損失をもたらすので、より幅の広い光ビーム20bがこのために必要である。この実施例では、より大きな開口11bおよび31bを設けることにより、これが達成される。
同様に、図3cはさらに長い距離「c」と、さらに大きな開口11cおよび31cとを示している。
それぞれ図3a,図3bおよび図3cの側方には、個々の光ビーム20a,20bおよび20cの軸線方向におけるキャップの図がそれぞれ示されている。異なる大きさの開口がこれらの図から明白である。
各開口の軸線を光ビーム20の軸線に対して(図4に示す角度θだけ)オフセットしていることが認められよう。光ビームと同軸に空気を通した場合、検出器の信号にノイズが発生するのに対し、空気が斜めの開口を通過する場合、はるかに少ない影響を有することが知られている。
一般的に用いられる開口を図4に示す。従来では円形の開口を用いており、光ビームの方向から見た場合、まぶた形のビームを結果として生ずる。本発明は、主および副(例えばxおよびy)軸を有する開口、すなわち別な光伝搬領域を提供し、この主軸は副軸よりも長く、開口、すなわち別な放射光束伝達領域は、使用中に開口を通って伝搬する放射光束の軸線に対して(例えば角度θだけ)斜めに延在し、同様に主軸も放射光束の軸線に対して斜めに(例えば90度で)延在している。
角度θは好ましくは約5〜45度、より好ましくは約15〜30度、さらにより好ましくは約30度である。
本発明が特定の実施形態に関して記載および説明したけれども、本発明の変形が当業者にとって容易に認識されよう。
工作機械にて用いる工具検出器を記載および説明したが、本発明はあらゆる物体に対する検出器に拡張される。光検出ビームの使用を示しているが、あらゆる電磁放射ビーム、例えば赤外放射ビームを利用できることが認識されよう。一連のキャップにおける開口よりも、可変寸法の開口をむしろ用いることができる。代わりに光伝搬窓、例えばガラスを使用することができる。この窓は、異なる寸法の一連のキャップであってよく、および/または異なる光量がそれぞれの窓を通過できるような異なる光伝搬量を有するものであってよい。寸法可変の窓は、例えば寸法可変の光弁、例えばここを通過する光の量を増大または減少させるために操作可能な部分を有する液晶ディスプレイの形態にて使用可能である。
これらの実施形態は、キャップ14および39を有する2つのハウジングを共に示している。しかしながら、上述したような開口または窓は、検出器にて望ましい光量が得られるように、一方のハウジングにのみ設けることができる。図3a,図3bおよび図3cに示したキャップは、開口または窓を有する交換可能な平らな薄板と置き換えることができる。
ハウジング10および30間の距離の調整は、任意の適当な手段によって、例えばベース40上の種々の場所にこれらのハウジングを固定することにより、または望ましい間隔で工作機械のベッド58に直接固定することにより、あるいは望ましい間隔を有するベースを供給することによって達成可能である。
広い範囲に亙るハウジング間の距離(数ミリメートルから5メートル以上)は、図示のように単に3つの異なるキャップ開口にて達成することができる。異なる間隔に対して同じキャップを用いた場合、動作電圧を修正するために自動利得回路が用いられる。この回路は、1つのキャップによって調整できる距離範囲を増大させるのに有効である。より少数またはより多くのキャップを使用することが可能である。同様に、3個未満またはそれ以上の光絞りも用いることができる。異なる大きさの光伝搬領域を用いることができ、これは2つの領域に使用可能である。あるいは、発光ユニット10および光検出ユニットを同じハウジングに隣り合わせて配置することができる。この場合、光検出ユニットは、これが発光ユニット10により発せられた光ビームを通しつつ、物体から反射した光または他の放射光束を検出しよう。従って、物体と発光体10/検出器30との間のおおよその距離に応じてビームの放射量を変更することが必要となる可能性がある。
それで、これは、単に発光および検出ユニットに関する2つのハウジング間の距離のみならず、必要とされるビームの放射量を規定する放射光束の伝搬距離である。
工作機械に取り付けられた本発明による測定装置を示している。 図1に示した形式の測定装置の中心を通る単純化された断面図を示している。 図2の測定装置に使用する光絞りを示している。 図2の測定装置に使用する光絞りを示している。 図2の測定装置に使用する光絞りを示している。 図3a,図3bおよび図3cに示した光絞りを通る開口を詳細に示している。

Claims (13)

  1. 放射ビーム(20)を遮断し、機械に用いられる物体(50)を検出するための測定装置(5)であって、
    放射ビーム(20)を発するための放射発光体を有する発光体(12)と、
    放射ビーム(20)を検出するための放射検出器を有する検出器(32)とを具え、
    前記発光体または検出器の少なくとも一方は、前記検出器に達する放射ビームの量を制限する放射ビーム絞り(14)を有し、この放射絞りは、前記検出器に達する放射ビームの量を変更するための調整装置(11)を包含している装置。
  2. 前記放射ビーム絞りは、開口(11)の形態の放射ビーム伝搬領域を包含し、この開口の大きさが前記調整装置を形成するように変更可能である請求項1に記載の装置。
  3. 前記放射ビーム絞りは、前記発光体および/または検出器にそれぞれ嵌合可能であって、前記検出器に達する種々の量の放射ビームを通すことを可能にする複数のキャップ(14)を具えている請求項1または請求項2に記載の装置。
  4. それぞれのキャップを通過可能な種々の放射ビームの量は、前記発光体と検出器との間の放射ビームの伝搬距離により決定される請求項3に記載の装置。
  5. 前記発光体および検出器は、少なくとも一方のハウジング(10/30)に収容され、この一方またはそれぞれのハウジングは、使用中に前記ハウジング外の圧力よりも大きな圧力に加圧される内部キャビティ(38)を有し、前記開口は前記キャビティと流体連通状態にあり、流体流動が前記キャビティから前記開口を介して前記ハウジングの外へともたらされるようになっている請求項1から請求項4の何れかに記載の装置。
  6. 前記開口は、一方が他方よりも大きな量である2つの軸線を有し、この開口は放射ビームの伝搬方向に対して異なる方向に概ね延在している請求項2から請求項5の何れかに記載の装置。
  7. 放射ビーム(20)を遮断する物体(50)を検出するために放射ビーム発光体(10)と放射ビーム検出器とを有する装置(5)内に与えられた放射ビームの量を調整する方法であって、前記発光体(10)および検出器(30)の少なくとも一方は、前記検出器に達する放射ビームの量を制限する放射ビーム絞り(14)を有し、前記発光体から前記検出器までの放射ビームの伝搬距離に応じて前記絞りを通過可能な放射ビームの量を調整するステップを具えていることを特徴とする方法。
  8. 前記放射ビーム検出器に対して間隔を置かれた放射ビーム発光体を位置決めするステップをさらに具えている請求項7に記載の方法。
  9. 異なる量の放射ビームの通過を可能にするキャップ(14)の形態の適切な放射絞りを複数のキャップから選択するステップをさらに具え、選択されたキャップは適切な量の放射ビームがここを通って伝搬されることを可能にする請求項7または請求項8に記載の方法。
  10. 前記放射ビームが光である請求項7から請求項9の何れかに記載の方法。
  11. 前記キャップのそれぞれは、前記適切な量の放射ビームがここを通過することを可能とする種々の寸法の開口を有している請求項9に記載の方法。
  12. 複数のキャップ(14)であって、それぞれのキャップは使用時に種々の量の放射ビームの通過を可能とし、かつそれぞれのキャップは当該キャップを通過できるビーム(20)にて物体を検出するため、装置(5)に嵌合可能である複数のキャップ。
  13. それぞれのキャップが前記種々の量の放射ビームの通過を可能とする開口を具えている請求項12に記載の複数のキャップ。

JP2004220665A 2003-08-01 2004-07-28 測定装置および方法 Expired - Lifetime JP4520240B2 (ja)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
GBGB0317961.1A GB0317961D0 (en) 2003-08-01 2003-08-01 Measuring device and method

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2005134369A true JP2005134369A (ja) 2005-05-26
JP2005134369A5 JP2005134369A5 (ja) 2007-08-30
JP4520240B2 JP4520240B2 (ja) 2010-08-04

Family

ID=27799573

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2004220665A Expired - Lifetime JP4520240B2 (ja) 2003-08-01 2004-07-28 測定装置および方法

Country Status (7)

Country Link
US (1) US7312433B2 (ja)
EP (1) EP1502699B1 (ja)
JP (1) JP4520240B2 (ja)
CN (1) CN100394139C (ja)
AT (1) ATE370816T1 (ja)
DE (1) DE602004008383T2 (ja)
GB (1) GB0317961D0 (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2018103354A (ja) * 2016-10-24 2018-07-05 ブルム‐ノヴォテスト・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング 工作機械中の工具計測用の計測システム
JP2018111195A (ja) * 2016-10-24 2018-07-19 ブルム‐ノヴォテスト・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング 工作機械中の工具計測用の計測システム

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20050230605A1 (en) * 2004-04-20 2005-10-20 Hamid Pishdadian Method of measuring using a binary optical sensor
US7283864B2 (en) * 2005-02-10 2007-10-16 Cardiac Pacemakers, Inc. Method and apparatus for identifying patients with wide QRS complexes
US20090279193A1 (en) * 2008-04-21 2009-11-12 Jones Clyde B Method and apparatus for mounting sensors in frames
CN101745843B (zh) * 2008-12-19 2013-07-24 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 刀具参数测量系统及方法
US8725458B2 (en) * 2008-12-30 2014-05-13 International Business Machines Corporation Heat sink blockage detector
EP3450936A1 (en) * 2017-09-05 2019-03-06 Renishaw PLC Optical apparatus and method for assessing the beam profile of a non-contact tool setting apparatus
IT201800007979A1 (it) * 2018-08-08 2020-02-08 Fabrizio Sibani Sistema di controllo per trasportatori a rulli industriali per la movimentazione di prodotti o semilavorati
EP3637043A1 (en) * 2018-10-09 2020-04-15 Renishaw PLC Non-contact tool measurement apparatus
GB202004933D0 (en) 2020-04-03 2020-05-20 Renishaw Plc Measuring device and method
EP4180174A1 (en) 2021-11-16 2023-05-17 Renishaw Plc. Tool measurement apparatus for a machine tool

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6011190A (ja) * 1983-06-30 1985-01-21 Matsushita Electric Works Ltd 光電スイツチ
JPH0283491A (ja) * 1988-09-20 1990-03-23 Suzuki Motor Co Ltd 光電スイッチ
JPH03249242A (ja) * 1990-02-22 1991-11-07 Tsudakoma Corp 光センサ装置
JPH03277990A (ja) * 1990-02-20 1991-12-09 Fuji Electric Co Ltd 微小物体検出用光電スイッチ
JPH04161831A (ja) * 1990-10-26 1992-06-05 Matsushita Electric Works Ltd 赤外線ビーム式検知器
JP2000002770A (ja) * 1998-06-16 2000-01-07 Showa Rasenkan Seisakusho:Kk 円形孔の絞り形成方法、及び、円形孔の絞り可変装置
JP2000088641A (ja) * 1998-09-11 2000-03-31 Sunx Ltd 光電スイッチ
JP2003083808A (ja) * 2001-09-11 2003-03-19 Sunx Ltd 光電センサ

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3498721A (en) * 1966-09-07 1970-03-03 Us Navy Nephelometer
US3799680A (en) * 1972-01-03 1974-03-26 Kollmorgen Corp Photometer optical system having viewing magnification and light attenuation means
US4502823A (en) * 1981-12-21 1985-03-05 Sperry Corporation Broken drill bit detector
DE3334976A1 (de) * 1983-09-27 1985-04-18 Dr.-Ing. Wolfgang Schulz, Meßtechnik, 4020 Mettmann Verfahren und vorrichtung zur beruehrungslosen ermittlung von rundlaufabweichungen eines rotationskoerpers
US4672201A (en) * 1985-11-14 1987-06-09 Acu-Rite Incorporated Phase controlled incremental distance measuring system
US5138150A (en) * 1990-12-14 1992-08-11 Eaton Corporation Photoelectric proximity sensor having shutter adjustment means for sensing region distance
US5331143A (en) * 1992-08-28 1994-07-19 Symbol Technologies, Inc. Optical scanner using an axicon and an aperture to aspherically form the scanning beam
FR2787589B1 (fr) * 1998-12-17 2001-01-26 Schneider Electric Sa Detecteur optique a mode de fonctionnement selectionnable
US6496273B1 (en) * 1999-05-05 2002-12-17 Renishaw Plc Position determining apparatus for coordinate positioning machine
JP3992268B2 (ja) 2001-09-28 2007-10-17 フジノン株式会社 投写型画像表示装置

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6011190A (ja) * 1983-06-30 1985-01-21 Matsushita Electric Works Ltd 光電スイツチ
JPH0283491A (ja) * 1988-09-20 1990-03-23 Suzuki Motor Co Ltd 光電スイッチ
JPH03277990A (ja) * 1990-02-20 1991-12-09 Fuji Electric Co Ltd 微小物体検出用光電スイッチ
JPH03249242A (ja) * 1990-02-22 1991-11-07 Tsudakoma Corp 光センサ装置
JPH04161831A (ja) * 1990-10-26 1992-06-05 Matsushita Electric Works Ltd 赤外線ビーム式検知器
JP2000002770A (ja) * 1998-06-16 2000-01-07 Showa Rasenkan Seisakusho:Kk 円形孔の絞り形成方法、及び、円形孔の絞り可変装置
JP2000088641A (ja) * 1998-09-11 2000-03-31 Sunx Ltd 光電スイッチ
JP2003083808A (ja) * 2001-09-11 2003-03-19 Sunx Ltd 光電センサ

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2018103354A (ja) * 2016-10-24 2018-07-05 ブルム‐ノヴォテスト・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング 工作機械中の工具計測用の計測システム
JP2018111195A (ja) * 2016-10-24 2018-07-19 ブルム‐ノヴォテスト・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング 工作機械中の工具計測用の計測システム
JP7210134B2 (ja) 2016-10-24 2023-01-23 ブルム‐ノヴォテスト・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング 工作機械中の工具計測用の計測システム
JP7218087B2 (ja) 2016-10-24 2023-02-06 ブルム‐ノヴォテスト・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング 工作機械中の工具計測用の計測システム

Also Published As

Publication number Publication date
JP4520240B2 (ja) 2010-08-04
DE602004008383D1 (de) 2007-10-04
US20050024650A1 (en) 2005-02-03
CN1590955A (zh) 2005-03-09
EP1502699B1 (en) 2007-08-22
EP1502699A3 (en) 2005-12-14
DE602004008383T2 (de) 2008-05-15
CN100394139C (zh) 2008-06-11
GB0317961D0 (en) 2003-09-03
ATE370816T1 (de) 2007-09-15
US7312433B2 (en) 2007-12-25
EP1502699A2 (en) 2005-02-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1050368B1 (en) Position determining apparatus for coordinate positioning machine
JP4520240B2 (ja) 測定装置および方法
CN101274391B (zh) 激光能测量装置与激光加工装置
KR101909252B1 (ko) 거리 측정 센서 조립체 및 그를 갖는 전자기기
US6354716B1 (en) Light curtain device
US10564269B2 (en) Compact test range for active optical target detectors
US20120037326A1 (en) Device for determining the water content of a target
US7489871B2 (en) Light detection apparatus and free space optics communication apparatus
JP2017110985A (ja) ガス検知装置
JP2003139507A5 (ja)
CN207335647U (zh) 一种智能式光学垂直调节装置
US20210373135A1 (en) Low Profile Optical Sensor
US20120119075A1 (en) Optical sensor for identifying and/or authenticating objects
US11346772B2 (en) Gas concentration measurement apparatus and techniques
MY129338A (en) Optical disc apparatus
JP2004037461A (ja) 光学距離測定デバイス
CN113242954A (zh) 非接触式刀具测量设备
JP5117025B2 (ja) 放射線検出器
JPH08184556A (ja) 光式ガス検知装置
KR20200086286A (ko) 레이저 빔을 유도하는 유체제트 측정용 장치
JP5544643B2 (ja) 流体フィルム測定器
JP2005195578A (ja) 寸法が非常に小さい運動する個々の物体を検出及び/又は特性描写する装置
JP4072241B2 (ja) 光線屈折装置
JP4989993B2 (ja) エッジ検出装置及びその光束調整方法
JP2007240023A (ja) シミュレーション装置の送信器

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20070718

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20070718

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20090729

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20090807

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20091106

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20091215

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20100315

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20100511

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20100520

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130528

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4520240

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250