JP2005134237A - 液晶ディスプレイのアレイ基板の検査装置および検査方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明の検査装置10は、アレイ基板12を配置するステージ14と、アレイ基板12の電気的特性を検査する検査部と、アレイ基板12に対して光を遮る遮光蓋16と、アレイ基板12の表面にドライエアー18を吹きかけるエアーブロー手段と、を含む。
【選択図】 図1
Description
12:アレイ基板
14:ステージ
16:遮光蓋
18:ドライエアー
20:プローブ
22:プローブユニット
24:エアータンク
26:吹き出し口
28:レギュレーター
Claims (8)
- 縦横に配線がなされた液晶ディスプレイのアレイ基板を検査する検査装置であって、
前記アレイ基板を配置するステージと、
前記アレイ基板の電気的特性を検査する検査部と、
前記アレイ基板に対して光を遮る遮光蓋と、
前記アレイ基板の表面にドライエアーを吹き付けるエアーブロー手段と、
を含む検査装置。 - 前記エアーブロー手段が、
前記アレイ基板の表面に対向するドライエアーの吹き出し口と、
前記吹き出し口から吹き出るドライエアーの圧力を調整するレギュレーターと、
を含む請求項1に記載の検査装置。 - 前記吹き出し口が、前記遮光蓋におけるアレイ基板と対向する側に設けられた請求項2に記載の検査装置。
- 複数の前記アレイ基板が一体になっており、各アレイ基板を検査するために、前記ステージが移動可能である請求項1乃至3に記載の検査装置。
- 縦横に配線がなされた液晶ディスプレイのアレイ基板を準備するステップと、
前記アレイ基板に対して光を遮るステップと、
前記アレイ基板の表面にドライエアーを吹き付けるステップと、
前記アレイ基板の電気的特性を検査するステップと、
を含む検査方法。 - 前記光を遮るステップ、ドライエアーを吹き付けるステップ、および、電気的特性を検査するステップを同時におこなう請求項5に記載の検査方法。
- 前記ドライエアーを吹き付けるステップが、ドライエアーの吹き出し圧力を調整するステップを含む請求項5または6に記載の検査方法。
- 複数の前記アレイ基板が一体になっており、各アレイ基板を検査するために、アレイ基板を移動させるステップを含む請求項5乃至7に記載の検査方法。
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