JP2000258459A - 電気特性検査用検査器具 - Google Patents
電気特性検査用検査器具Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 大型の液晶パネルなどの検査対象に対応し得
る電気特性検査用検査器具を提供する。 【解決手段】 電気特性が検査される検査対象の全端子
に同時に接触子１を接触させて電気特性を検査するため
の検査器具であって、金属定板３と、複数の前記接触子
１の集合構造物であり、前記金属定板３に固定された少
なくとも１個の接触子群２とからなり、前記金属定板３
における前記検査対象の端子付近の位置に、開口部４が
部分的に形成され、前記接触子１の少なくとも一部が、
前記開口部４内部に配設されてなることを特徴とする電
気特性検査用検査器具。
る電気特性検査用検査器具を提供する。 【解決手段】 電気特性が検査される検査対象の全端子
に同時に接触子１を接触させて電気特性を検査するため
の検査器具であって、金属定板３と、複数の前記接触子
１の集合構造物であり、前記金属定板３に固定された少
なくとも１個の接触子群２とからなり、前記金属定板３
における前記検査対象の端子付近の位置に、開口部４が
部分的に形成され、前記接触子１の少なくとも一部が、
前記開口部４内部に配設されてなることを特徴とする電
気特性検査用検査器具。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、電気特性検査用検
査器具に関するものである。さらに詳しくは大型の検査
対象に対応し得る電気特性検査用検査器具に関する。
査器具に関するものである。さらに詳しくは大型の検査
対象に対応し得る電気特性検査用検査器具に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、液晶表示装置用アレイ基板な
どの検査対象の電気特性を検査するために、複数の接触
子を有する検査器具を用いて、電気的特性の検査を行な
っている。
どの検査対象の電気特性を検査するために、複数の接触
子を有する検査器具を用いて、電気的特性の検査を行な
っている。
【０００３】従来の検査方法を図６に示す。従来の検査
方法は、検査対象であるパネルＰのサイズより大きな開
口部１４を大型の金属定板１３（１０００ｍｍ×１００
０ｍｍ程度）に設け、その開口部１４周辺に複数の接触
子１１の集合構造物である接触子群１２を配置し、パネ
ルの端子に接触子１１を全端子同時に接触して電気信号
を供給することにより、パネルを電気的に駆動させ、電
気的特性の検査を実施している。
方法は、検査対象であるパネルＰのサイズより大きな開
口部１４を大型の金属定板１３（１０００ｍｍ×１００
０ｍｍ程度）に設け、その開口部１４周辺に複数の接触
子１１の集合構造物である接触子群１２を配置し、パネ
ルの端子に接触子１１を全端子同時に接触して電気信号
を供給することにより、パネルを電気的に駆動させ、電
気的特性の検査を実施している。
【０００４】検査可能なパネルのサイズは、前記開口部
１４の寸法で決定される。かかる開口部１４の寸法は、
定板１３の寸法から、接触子群１２の取付領域を除いた
残りの領域の寸法で決定される。
１４の寸法で決定される。かかる開口部１４の寸法は、
定板１３の寸法から、接触子群１２の取付領域を除いた
残りの領域の寸法で決定される。
【０００５】通常の検査においては、パネルはチャック
トップなどの固定手段（図示せず）に固定された状態で
検査されるため、開口部１４の寸法は、パネルの外形寸
法よりも充分に大きく形成される必要がある。なお、被
測定物の寸法により固定手段の寸法は決定される。被測
定物上に複数のパネルが製造されている場合には固定手
段の寸法は、パネルサイズより大きくなるのが通常であ
る。つまり、寸法関係は、パネルサイズ＜被測定物（ガ
ラス基板）＜固定手段（チャックトップサイズ）とな
る。
トップなどの固定手段（図示せず）に固定された状態で
検査されるため、開口部１４の寸法は、パネルの外形寸
法よりも充分に大きく形成される必要がある。なお、被
測定物の寸法により固定手段の寸法は決定される。被測
定物上に複数のパネルが製造されている場合には固定手
段の寸法は、パネルサイズより大きくなるのが通常であ
る。つまり、寸法関係は、パネルサイズ＜被測定物（ガ
ラス基板）＜固定手段（チャックトップサイズ）とな
る。
【０００６】また、従来の検査方法では、検査対象の機
種を変更する場合には、定板を含む検査器具全体を変更
する必要がある。
種を変更する場合には、定板を含む検査器具全体を変更
する必要がある。
【０００７】さらに、検査対象のパネルの水平方向側
（以下、単にＨ側という）の端子と垂直方向側（以下、
単にＶ側という）の端子とが近接している機種の場合、
Ｈ側端子とＶ側端子のコーナー部分で、図６におけるＨ
側の接触子群１２とＶ側の接触子群１２とが干渉し、検
査対象の端子に接触子１１が接触できず、検査ができな
い場合があるため、パネルの設計の障害になっていた。
（以下、単にＨ側という）の端子と垂直方向側（以下、
単にＶ側という）の端子とが近接している機種の場合、
Ｈ側端子とＶ側端子のコーナー部分で、図６におけるＨ
側の接触子群１２とＶ側の接触子群１２とが干渉し、検
査対象の端子に接触子１１が接触できず、検査ができな
い場合があるため、パネルの設計の障害になっていた。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】以上のような従来の検
査方法では、検査対象の機種が変更した場合、定板ごと
の変更が必要であり重量物である定板を移動する作業が
必要になる。さらに、検査対象可能なパネルのサイズ
は、定板１３の開口部１４の寸法によって決定される。
したがって、大型パネルの検査をするときには開口部を
充分に広く取れない。しかも、同一のパネルのサイズで
あっても、解像度の異なる機種の場合でも前記金属製の
定板１３ごと新規に作成する必要がある。
査方法では、検査対象の機種が変更した場合、定板ごと
の変更が必要であり重量物である定板を移動する作業が
必要になる。さらに、検査対象可能なパネルのサイズ
は、定板１３の開口部１４の寸法によって決定される。
したがって、大型パネルの検査をするときには開口部を
充分に広く取れない。しかも、同一のパネルのサイズで
あっても、解像度の異なる機種の場合でも前記金属製の
定板１３ごと新規に作成する必要がある。
【０００９】また、パネルの全体を覆う大きさで開口部
１４が形成されているため、検査中にゴミなどの異物な
どが検査対象のパネルの表示領域に付着する可能性があ
る。しかも、パネルの表示領域に検査室の環境の光が侵
入し、正確な検査ができない場合がある。この防止策と
して、従来では別部品である遮光カバーを付加する必要
がある。
１４が形成されているため、検査中にゴミなどの異物な
どが検査対象のパネルの表示領域に付着する可能性があ
る。しかも、パネルの表示領域に検査室の環境の光が侵
入し、正確な検査ができない場合がある。この防止策と
して、従来では別部品である遮光カバーを付加する必要
がある。
【００１０】さらに、遮光カバーの取付け時に、位置合
わせ機構または接触子群に前記遮光カバーが接触するこ
とによって悪影響を与える可能性がある。
わせ機構または接触子群に前記遮光カバーが接触するこ
とによって悪影響を与える可能性がある。
【００１１】また、パネル全体を覆う寸法で定板１３に
開口部１４を形成するときに発生する不要な金属材料が
産業廃棄物になるという問題がある。
開口部１４を形成するときに発生する不要な金属材料が
産業廃棄物になるという問題がある。
【００１２】本発明はかかる問題を解消するためになさ
れたものであり、大型の液晶パネルなどの検査対象に対
応し得る電気特性検査用検査器具を提供することを目的
とする。
れたものであり、大型の液晶パネルなどの検査対象に対
応し得る電気特性検査用検査器具を提供することを目的
とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】本発明の電気特性検査用
検査器具（以下、単に検査器具という）は、検査器具の
小型化または接触子群のブロック化によって大型の液晶
パネルなどの検査対象に容易に対応し得るものである。
検査器具（以下、単に検査器具という）は、検査器具の
小型化または接触子群のブロック化によって大型の液晶
パネルなどの検査対象に容易に対応し得るものである。
【００１４】すなわち、本発明の請求項１にかかわる検
査器具は、検査器具の小型化を可能にするものであり、
電気特性が検査される検査対象の全端子に同時に接触子
を接触させて電気特性を検査するための検査器具であっ
て、定板と、複数の前記接触子の集合構造物であり、前
記定板に固定された少なくとも１個の接触子群とからな
り、前記定板における前記検査対象の端子付近の位置
に、開口部が部分的に形成され、前記接触子の少なくと
も一部が、前記開口部内部に配設されてなることを特徴
とする。
査器具は、検査器具の小型化を可能にするものであり、
電気特性が検査される検査対象の全端子に同時に接触子
を接触させて電気特性を検査するための検査器具であっ
て、定板と、複数の前記接触子の集合構造物であり、前
記定板に固定された少なくとも１個の接触子群とからな
り、前記定板における前記検査対象の端子付近の位置
に、開口部が部分的に形成され、前記接触子の少なくと
も一部が、前記開口部内部に配設されてなることを特徴
とする。
【００１５】前記接触子群の少なくとも一部が、前記検
査対象に対向する領域内に位置してなるのが好ましい。
査対象に対向する領域内に位置してなるのが好ましい。
【００１６】前記開口部の幅が、前記検査対象の幅に対
して１０〜３０％程度に設定されてなるのが好ましい。
して１０〜３０％程度に設定されてなるのが好ましい。
【００１７】また、寸法で規定する場合、前記開口部の
幅が、３〜１５ｃｍ程度の寸法に規定されてなるのが好
ましい。
幅が、３〜１５ｃｍ程度の寸法に規定されてなるのが好
ましい。
【００１８】また、本発明の請求項５にかかわる検査器
具は、接触子群のブロック化を可能にするものであり、
電気特性が検査される検査対象の全端子に同時に接触子
を接触させて電気特性を検査するための検査器具であっ
て、定板と、複数の前記接触子の集合構造物であり、前
記定板に固定された複数の接触子群とからなり、前記複
数の接触子群が、ブロック用固定部材に連結されること
により、少なくとも１個の接触ブロックを形成し、前記
接触ブロックが、前記検査対象の端子に並ぶ方向に沿う
ように、前記定板に着脱自在に固定されてなることを特
徴とする。
具は、接触子群のブロック化を可能にするものであり、
電気特性が検査される検査対象の全端子に同時に接触子
を接触させて電気特性を検査するための検査器具であっ
て、定板と、複数の前記接触子の集合構造物であり、前
記定板に固定された複数の接触子群とからなり、前記複
数の接触子群が、ブロック用固定部材に連結されること
により、少なくとも１個の接触ブロックを形成し、前記
接触ブロックが、前記検査対象の端子に並ぶ方向に沿う
ように、前記定板に着脱自在に固定されてなることを特
徴とする。
【００１９】さらに、本発明の請求項６にかかわる電気
特性検査用検査器具は、検査器具の小型化を可能にする
ものであり、電気特性が検査される検査対象の全端子に
同時に接触子を接触させて電気特性を検査するための検
査器具であって、定板と、複数の前記接触子の集合構造
物であり、前記定板に固定された複数の接触子群とから
なり、前記検査対象のコーナー部付近の接触子群のうち
の少なくとも１個が、前記定板の表面から突設された橋
状固定部材に固定されることにより、隣接する他の接触
子群との干渉が防止されてなることを特徴とする。
特性検査用検査器具は、検査器具の小型化を可能にする
ものであり、電気特性が検査される検査対象の全端子に
同時に接触子を接触させて電気特性を検査するための検
査器具であって、定板と、複数の前記接触子の集合構造
物であり、前記定板に固定された複数の接触子群とから
なり、前記検査対象のコーナー部付近の接触子群のうち
の少なくとも１個が、前記定板の表面から突設された橋
状固定部材に固定されることにより、隣接する他の接触
子群との干渉が防止されてなることを特徴とする。
【００２０】さらに、本発明の請求項７にかかわる検査
器具は、前記請求項１、５および６記載の発明を組み合
わせることにより、検査器具の小型化および接触子群の
ブロック化を両方可能にするものであり、電気特性が検
査される検査対象の全端子に同時に接触子を接触させて
電気特性を検査するための検査器具であって、定板と、
複数の前記接触子の集合構造物であり、前記定板に固定
された複数の接触子群とからなり、検査対象の端子付近
の位置に、開口部が部分的に形成され、前記接触子の少
なくとも一部が、前記開口部内部に配設され、前記複数
の接触子群が、ブロック用固定部材に連結されることに
より、少なくとも１個の接触ブロックを形成し、前記接
触ブロックが、前記検査対象の端子に並ぶ方向に沿うよ
うに、前記定板に着脱自在に固定され、前記検査対象の
コーナー部付近の接触子群のうちの少なくとも１個が、
前記定板の表面から突設された橋状固定部材に固定され
ることにより、隣接する他の接触子群との干渉が防止さ
れてなることを特徴とする。
器具は、前記請求項１、５および６記載の発明を組み合
わせることにより、検査器具の小型化および接触子群の
ブロック化を両方可能にするものであり、電気特性が検
査される検査対象の全端子に同時に接触子を接触させて
電気特性を検査するための検査器具であって、定板と、
複数の前記接触子の集合構造物であり、前記定板に固定
された複数の接触子群とからなり、検査対象の端子付近
の位置に、開口部が部分的に形成され、前記接触子の少
なくとも一部が、前記開口部内部に配設され、前記複数
の接触子群が、ブロック用固定部材に連結されることに
より、少なくとも１個の接触ブロックを形成し、前記接
触ブロックが、前記検査対象の端子に並ぶ方向に沿うよ
うに、前記定板に着脱自在に固定され、前記検査対象の
コーナー部付近の接触子群のうちの少なくとも１個が、
前記定板の表面から突設された橋状固定部材に固定され
ることにより、隣接する他の接触子群との干渉が防止さ
れてなることを特徴とする。
【００２１】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照しながら本発明
の検査器具をさらに詳細に説明する。図１は本発明の請
求項１にかかわる検査器具の一実施の形態を示す平面説
明図、図２は本発明の請求項５にかかわる検査器具の一
実施の形態を示す平面説明図、図３は本発明の請求項６
にかかわる検査器具の一実施の形態を示す平面説明図、
図４は図３の接触子群および橋状固定部材の位置関係を
説明するための要部拡大斜視図および図５は本発明の請
求項７にかかわる検査器具の一実施の形態を示す平面説
明図である。
の検査器具をさらに詳細に説明する。図１は本発明の請
求項１にかかわる検査器具の一実施の形態を示す平面説
明図、図２は本発明の請求項５にかかわる検査器具の一
実施の形態を示す平面説明図、図３は本発明の請求項６
にかかわる検査器具の一実施の形態を示す平面説明図、
図４は図３の接触子群および橋状固定部材の位置関係を
説明するための要部拡大斜視図および図５は本発明の請
求項７にかかわる検査器具の一実施の形態を示す平面説
明図である。
【００２２】請求項１にかかわる検査器具の一実施の形
態として、図１に示される検査器具は、金属定板３と、
複数の接触子１の集合構造物であり、前記定板３に固定
された複数の接触子群２とから構成されている。複数の
接触子群２は、定板３の下側に配置される検査対象、具
体的には液晶表示装置のアレイ基板用パネルＰのＨ側お
よびＶ側にそれぞれ直線状に並んで配置されている。金
属定板３におけるパネルＰの端子（図示せず）付近の位
置には、開口部４が部分的に形成されている。接触子１
の先端部分は、前記開口部４内部にのびている。
態として、図１に示される検査器具は、金属定板３と、
複数の接触子１の集合構造物であり、前記定板３に固定
された複数の接触子群２とから構成されている。複数の
接触子群２は、定板３の下側に配置される検査対象、具
体的には液晶表示装置のアレイ基板用パネルＰのＨ側お
よびＶ側にそれぞれ直線状に並んで配置されている。金
属定板３におけるパネルＰの端子（図示せず）付近の位
置には、開口部４が部分的に形成されている。接触子１
の先端部分は、前記開口部４内部にのびている。
【００２３】本実施の形態では、開口部４が従来よりも
大幅に小さいため、接触子群２の取付可能領域を充分に
確保できる。しかも、金属定板３の剛性の低下に基づく
定板の精度の低下もほとんど生じない。
大幅に小さいため、接触子群２の取付可能領域を充分に
確保できる。しかも、金属定板３の剛性の低下に基づく
定板の精度の低下もほとんど生じない。
【００２４】図１に示される検査器具では、パネルＰの
表示領域の上にも定板３が存在するので、接触子群２の
少なくとも一部を、図２のようにパネルＰに対向する領
域内に取り付けることができる。したがって、従来の検
査器具（図６参照）と比較して、検査器具全体を小型化
することができる。したがって、従来における定板と同
一の外形寸法の定板を用いても、より大型のパネルを検
査することができる。また、検査器具の小型化に伴って
重量も軽くなるため、検査器具の交換作業も楽になる。
表示領域の上にも定板３が存在するので、接触子群２の
少なくとも一部を、図２のようにパネルＰに対向する領
域内に取り付けることができる。したがって、従来の検
査器具（図６参照）と比較して、検査器具全体を小型化
することができる。したがって、従来における定板と同
一の外形寸法の定板を用いても、より大型のパネルを検
査することができる。また、検査器具の小型化に伴って
重量も軽くなるため、検査器具の交換作業も楽になる。
【００２５】開口部４の形状は、図１に示されるように
スリット状でもよいし、各接触子群２に対応する部分だ
け開口させて、小さい矩形の開口部を多数（または接触
子群の数だけ）形成したものであってもよい。
スリット状でもよいし、各接触子群２に対応する部分だ
け開口させて、小さい矩形の開口部を多数（または接触
子群の数だけ）形成したものであってもよい。
【００２６】開口部４の大きさは、従来の検査器具と比
較して大幅に小さくなるため、定板３に開口部４を形成
するときに発生する切りくずなどの不要材料を少なくす
ることができる。
較して大幅に小さくなるため、定板３に開口部４を形成
するときに発生する切りくずなどの不要材料を少なくす
ることができる。
【００２７】金属定板３は、鉄またはステンレス鋼など
の金属材料から作製され、接触子１は、タングステン、
またはタングステンと銅との合金、または該合金材料の
表面に金メッキしたものなどの金属材料から作製されて
いる。
の金属材料から作製され、接触子１は、タングステン、
またはタングステンと銅との合金、または該合金材料の
表面に金メッキしたものなどの金属材料から作製されて
いる。
【００２８】開口部４の寸法は、接触子１がパネルＰの
端子に接触可能な寸法となっていればよく、前記開口部
４の幅Ｗ２が、前記パネルＰの幅Ｗ１に対して１０〜３
０％程度に設定されているのが好ましい。なお、この幅
Ｗ１とＷ２とのあいだの寸法関係は、Ｈ側およびＶ側の
いずれの場合についても適用される。
端子に接触可能な寸法となっていればよく、前記開口部
４の幅Ｗ２が、前記パネルＰの幅Ｗ１に対して１０〜３
０％程度に設定されているのが好ましい。なお、この幅
Ｗ１とＷ２とのあいだの寸法関係は、Ｈ側およびＶ側の
いずれの場合についても適用される。
【００２９】また、Ｈ側およびＶ側の開口部Ｗ２の寸法
は、接触子先端または接触子群が被測定物の端子に接触
可能な寸法だけあればよいので被測定物によらずほぼ一
定となることも考えられる。よってパネルのサイズＷ１
は変動が大きいが、開口部Ｗ２は変動が小さい。Ｗ２の
寸法を規定するならば３ｃｍ〜１５ｃｍ程度が良好であ
る。
は、接触子先端または接触子群が被測定物の端子に接触
可能な寸法だけあればよいので被測定物によらずほぼ一
定となることも考えられる。よってパネルのサイズＷ１
は変動が大きいが、開口部Ｗ２は変動が小さい。Ｗ２の
寸法を規定するならば３ｃｍ〜１５ｃｍ程度が良好であ
る。
【００３０】しかも、図１に示される検査器具は、パネ
ルＰの表示領域を金属定板３が覆っているため、遮光カ
バーが不要になる。
ルＰの表示領域を金属定板３が覆っているため、遮光カ
バーが不要になる。
【００３１】つぎに、請求項５にかかわる検査器具の一
実施の形態として、図２に示される検査器具は、ブロッ
ク用固定部材５によって複数個の接触子群２を連結する
ことにより、接触ブロックを構成している点で、図１に
示される検査器具と構成が異なっており、その他の点で
は構成が共通している。
実施の形態として、図２に示される検査器具は、ブロッ
ク用固定部材５によって複数個の接触子群２を連結する
ことにより、接触ブロックを構成している点で、図１に
示される検査器具と構成が異なっており、その他の点で
は構成が共通している。
【００３２】すなわち、図２に示される検査器具は、金
属定板３と、複数の接触子１の集合構造物であり、前記
定板３に固定された複数の接触子群２とから構成されて
いる。複数の接触子群２は、定板３の下側に配置される
パネルＰのＨ側およびＶ側にそれぞれ直線状に並んで配
置されている。金属定板３におけるパネルＰの端子（図
示せず）付近の位置には、開口部４が部分的に形成され
ている。接触子１の先端部分は、前記開口部４内部にの
びている。
属定板３と、複数の接触子１の集合構造物であり、前記
定板３に固定された複数の接触子群２とから構成されて
いる。複数の接触子群２は、定板３の下側に配置される
パネルＰのＨ側およびＶ側にそれぞれ直線状に並んで配
置されている。金属定板３におけるパネルＰの端子（図
示せず）付近の位置には、開口部４が部分的に形成され
ている。接触子１の先端部分は、前記開口部４内部にの
びている。
【００３３】接触子群２は、前記ブロック用固定部材５
によって、Ｈ側およびＶ側でそれぞれ定板３に着脱自在
に固定されることにより、着脱自在の接触ブロックを構
成している。したがって、重量物である金属定板３を移
動させることなく、接触ブロックを変更するだけでパネ
ルＰのサイズの大型化（または小型化）によるサイズの
変更または解像度などの仕様の変更に容易に対応するこ
とができる。
によって、Ｈ側およびＶ側でそれぞれ定板３に着脱自在
に固定されることにより、着脱自在の接触ブロックを構
成している。したがって、重量物である金属定板３を移
動させることなく、接触ブロックを変更するだけでパネ
ルＰのサイズの大型化（または小型化）によるサイズの
変更または解像度などの仕様の変更に容易に対応するこ
とができる。
【００３４】ブロック用固定部材５は、定板３に対し
て、ねじ止めまたはカンチレバーなどによって所定の位
置に精度よく着脱自在に固定することができる。
て、ねじ止めまたはカンチレバーなどによって所定の位
置に精度よく着脱自在に固定することができる。
【００３５】つぎに、請求項６にかかわる検査器具の一
実施の形態として、図３〜４に示される検査器具は、金
属定板３と、複数の接触子１の集合構造物であり、定板
３に固定された少なくとも１個の接触子群２とからな
り、パネルＰのコーナー部付近の接触子群２のうちの少
なくとも１個が、前記定板３の表面から突設された橋状
固定部材６に吊り下げられた状態で固定されることによ
り、隣接する他の接触子群２との干渉が防止されてい
る。
実施の形態として、図３〜４に示される検査器具は、金
属定板３と、複数の接触子１の集合構造物であり、定板
３に固定された少なくとも１個の接触子群２とからな
り、パネルＰのコーナー部付近の接触子群２のうちの少
なくとも１個が、前記定板３の表面から突設された橋状
固定部材６に吊り下げられた状態で固定されることによ
り、隣接する他の接触子群２との干渉が防止されてい
る。
【００３６】したがって、パネルＰのコーナー部付近の
接触子群２を近接して配置できるため、検査器具の小型
化が可能になる。
接触子群２を近接して配置できるため、検査器具の小型
化が可能になる。
【００３７】請求項６記載の発明では、開口部８の大き
さについてはとくに限定するものではなく、図３に示さ
れるように従来と同様の大きさでも、橋状固定部材６に
よってＨ側の接触子群２をすべて開口部８の上方に配置
することができ、検査器具をさらに小型化できる。
さについてはとくに限定するものではなく、図３に示さ
れるように従来と同様の大きさでも、橋状固定部材６に
よってＨ側の接触子群２をすべて開口部８の上方に配置
することができ、検査器具をさらに小型化できる。
【００３８】つぎに、請求項７にかかわる検査器具の一
実施の形態として、図５に示される検査器具は、前記請
求項１、５および６記載の発明を組み合わせた実施の形
態であり、前記パネルの端子付近に部分的に形成された
Ｌ字形の開口部４、複数のＶ側の接触子群２を連結して
金属定板３に着脱自在に固定するブロック用固定部材
５、および複数のＨ側接触子群２を吊り下げて配設する
橋状固定部材６を有している。したがって、図１〜４に
示される検査器具の効果をすべて有しているため、大型
パネルの検査に好適に使用することができる。
実施の形態として、図５に示される検査器具は、前記請
求項１、５および６記載の発明を組み合わせた実施の形
態であり、前記パネルの端子付近に部分的に形成された
Ｌ字形の開口部４、複数のＶ側の接触子群２を連結して
金属定板３に着脱自在に固定するブロック用固定部材
５、および複数のＨ側接触子群２を吊り下げて配設する
橋状固定部材６を有している。したがって、図１〜４に
示される検査器具の効果をすべて有しているため、大型
パネルの検査に好適に使用することができる。
【００３９】以上、本実施の形態では電気的特性のため
の検査対象として、液晶表示装置のアレイ基板用パネル
を例にあげて説明したが、その他の検査対象、たとえば
半導体装置用のウエハ、または半導体装置を実装した基
板（たとえばコンピュータの各種ボードやメモリカード
など）などに対しても本発明の検査器具を適用すること
ができる。
の検査対象として、液晶表示装置のアレイ基板用パネル
を例にあげて説明したが、その他の検査対象、たとえば
半導体装置用のウエハ、または半導体装置を実装した基
板（たとえばコンピュータの各種ボードやメモリカード
など）などに対しても本発明の検査器具を適用すること
ができる。
【００４０】
【発明の効果】本発明の請求項１または７記載の発明に
よれば、定板の開口部を検査対象の端子付近に部分的に
形成しているため、比較的小型の検査器具で大型の検査
対象を検査することが可能になる。
よれば、定板の開口部を検査対象の端子付近に部分的に
形成しているため、比較的小型の検査器具で大型の検査
対象を検査することが可能になる。
【００４１】しかも、検査対象の表面（パネルの表示領
域など）への異物または光の侵入を、別部品のカバーな
どを設けることなく防止することができる。また、開口
部が従来と比較して大幅に小さいため、開口部を加工す
る際に発生する不要な材料が大幅に少なくなる。
域など）への異物または光の侵入を、別部品のカバーな
どを設けることなく防止することができる。また、開口
部が従来と比較して大幅に小さいため、開口部を加工す
る際に発生する不要な材料が大幅に少なくなる。
【００４２】本発明の請求項５または７記載の発明によ
れば、複数の接触子群をブロック用固定部材によって固
定して接触ブロックを構成することにより、定板を変更
する必要がなく、接触ブロックを適宜変更することによ
り、大型の検査対象の検査が可能になる。また、同一サ
イズの検査対象で仕様（解像度など）のみ変更した場合
でも、接触ブロックの変更で対応することができる。し
たがって、比較的重量物である定板の移動作業が不要に
なる。
れば、複数の接触子群をブロック用固定部材によって固
定して接触ブロックを構成することにより、定板を変更
する必要がなく、接触ブロックを適宜変更することによ
り、大型の検査対象の検査が可能になる。また、同一サ
イズの検査対象で仕様（解像度など）のみ変更した場合
でも、接触ブロックの変更で対応することができる。し
たがって、比較的重量物である定板の移動作業が不要に
なる。
【００４３】さらに、従来では個々の検査対象に対応す
る検査器具を製造する必要があったが、本発明の検査器
具では複数の検査対象に対応することができるため、検
査器具の製造費用を大幅に低減することができる。
る検査器具を製造する必要があったが、本発明の検査器
具では複数の検査対象に対応することができるため、検
査器具の製造費用を大幅に低減することができる。
【００４４】本発明の請求項６または７記載の発明によ
れば、検査対象のコーナー部付近の接触子群を橋状固定
部材に固定して隣接する他の接触子群との干渉が防止さ
れているため、比較的小型の検査器具で大型の検査対象
を検査することが可能になる。
れば、検査対象のコーナー部付近の接触子群を橋状固定
部材に固定して隣接する他の接触子群との干渉が防止さ
れているため、比較的小型の検査器具で大型の検査対象
を検査することが可能になる。
【００４５】しかも、接触子群の干渉が防止されること
によって、検査精度が向上し、それとともに検査対象の
設計自由度も向上する。
によって、検査精度が向上し、それとともに検査対象の
設計自由度も向上する。
【図１】本発明の請求項１にかかわる検査器具の一実施
の形態を示す平面説明図である。
の形態を示す平面説明図である。
【図２】本発明の請求項５にかかわる検査器具の一実施
の形態を示す平面説明図である。
の形態を示す平面説明図である。
【図３】本発明の請求項６にかかわる検査器具の一実施
の形態を示す平面説明図である。
の形態を示す平面説明図である。
【図４】図３の接触子群および橋状固定部材の位置関係
を説明するための要部拡大斜視図である。
を説明するための要部拡大斜視図である。
【図５】本発明の請求項７にかかわる検査器具の一実施
の形態を示す平面説明図である。
の形態を示す平面説明図である。
【図６】従来の検査器具の平面図である。
１ 接触子 ２ 接触子群 ３ 金属定板 ４ 開口部
Claims (7)
- 【請求項１】 電気特性が検査される検査対象の全端子
に同時に接触子を接触させて電気特性を検査するための
検査器具であって、定板と、複数の前記接触子の集合構
造物であり、前記定板に固定された少なくとも１個の接
触子群とからなり、前記定板における前記検査対象の端
子付近の位置に、開口部が部分的に形成され、前記接触
子の少なくとも一部が、前記開口部内部に配設されてな
ることを特徴とする電気特性検査用検査器具。 - 【請求項２】 前記接触子群の少なくとも一部が、前記
検査対象に対向する領域内に位置してなる請求項１記載
の電気特性検査用検査器具。 - 【請求項３】 前記開口部の幅が、前記検査対象の幅に
対して１０〜３０％程度に設定されてなる請求項１また
は２記載の電気特性検査用検査器具。 - 【請求項４】 前記開口部の幅が、３〜１５ｃｍ程度の
寸法に規定されてなる請求項１、２または３記載の電気
特性検査用検査器具。 - 【請求項５】 電気特性が検査される検査対象の全端子
に同時に接触子を接触させて電気特性を検査するための
検査器具であって、定板と、複数の前記接触子の集合構
造物であり、前記定板に固定された複数の接触子群とか
らなり、前記複数の接触子群が、ブロック用固定部材に
連結されることにより、少なくとも１個の接触ブロック
を形成し、前記接触ブロックが、前記検査対象の端子に
並ぶ方向に沿うように、前記定板に着脱自在に固定され
てなることを特徴とする電気特性検査用検査器具。 - 【請求項６】 電気特性が検査される検査対象の全端子
に同時に接触子を接触させて電気特性を検査するための
検査器具であって、定板と、複数の前記接触子の集合構
造物であり、前記定板に固定された複数の接触子群とか
らなり、前記検査対象のコーナー部付近の接触子群のう
ちの少なくとも１個が、前記定板の表面から突設された
橋状固定部材に固定されることにより、隣接する他の接
触子群との干渉が防止されてなる電気特性検査用検査器
具。 - 【請求項７】 電気特性が検査される検査対象の全端子
に同時に接触子を接触させて電気特性を検査するための
検査器具であって、定板と、複数の前記接触子の集合構
造物であり、前記定板に固定された複数の接触子群とか
らなり、検査対象の端子付近の位置に、開口部が部分的
に形成され、前記接触子の少なくとも一部が、前記開口
部内部に配設され、前記複数の接触子群が、ブロック用
固定部材に連結されることにより、少なくとも１個の接
触ブロックを形成し、前記接触ブロックが、前記検査対
象の端子に並ぶ方向に沿うように、前記定板に着脱自在
に固定され、前記検査対象のコーナー部付近の接触子群
のうちの少なくとも１個が、前記定板の表面から突設さ
れた橋状固定部材に固定されることにより、隣接する他
の接触子群との干渉が防止されてなる電気特性検査用検
査器具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06151199A JP4132363B2 (ja) | 1999-03-09 | 1999-03-09 | 電気特性検査用検査器具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06151199A JP4132363B2 (ja) | 1999-03-09 | 1999-03-09 | 電気特性検査用検査器具 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000258459A true JP2000258459A (ja) | 2000-09-22 |
| JP4132363B2 JP4132363B2 (ja) | 2008-08-13 |
Family
ID=13173194
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP06151199A Expired - Fee Related JP4132363B2 (ja) | 1999-03-09 | 1999-03-09 | 電気特性検査用検査器具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4132363B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005134237A (ja) * | 2003-10-30 | 2005-05-26 | Chi Mei Electronics Corp | 液晶ディスプレイのアレイ基板の検査装置および検査方法 |
| WO2013145839A1 (ja) * | 2012-03-28 | 2013-10-03 | シャープ株式会社 | 欠陥検出装置 |
| KR20150042575A (ko) * | 2013-10-11 | 2015-04-21 | 엘지디스플레이 주식회사 | 유기전계발광 표시소자의 검사시스템 및 방법 |
-
1999
- 1999-03-09 JP JP06151199A patent/JP4132363B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005134237A (ja) * | 2003-10-30 | 2005-05-26 | Chi Mei Electronics Corp | 液晶ディスプレイのアレイ基板の検査装置および検査方法 |
| JP4507559B2 (ja) * | 2003-10-30 | 2010-07-21 | 奇美電子股▲ふん▼有限公司 | 液晶ディスプレイのアレイ基板の検査装置および検査方法 |
| WO2013145839A1 (ja) * | 2012-03-28 | 2013-10-03 | シャープ株式会社 | 欠陥検出装置 |
| JP2013205234A (ja) * | 2012-03-28 | 2013-10-07 | Sharp Corp | 欠陥検出装置 |
| KR20150042575A (ko) * | 2013-10-11 | 2015-04-21 | 엘지디스플레이 주식회사 | 유기전계발광 표시소자의 검사시스템 및 방법 |
| KR102070056B1 (ko) * | 2013-10-11 | 2020-01-28 | 엘지디스플레이 주식회사 | 유기전계발광 표시소자의 검사시스템 및 방법 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4132363B2 (ja) | 2008-08-13 |
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