JP2007017363A - プローブカード - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体ウェハ上の複数のチップ領域に対向させて電気的測定を行うプローブカードであって、所定のチップ領域に対応する開口部と、この開口部からX軸方向、Y軸方向のそれぞれにN個(Nは正の整数)のチップ領域に相当する寸法分を離して設けられた複数の開口部と、前記それぞれの開口部の周縁部から内部に伸びる複数のカンチレバー型プローブとを有するプローブカードユニット、および四方に延びた形状で、先端で上記プローブカードユニットを支持する支持部材を備えたことを特徴とするプローブカード。
【選択図】図1
Description
2:カンチレバー型プロ−ブ 3:開口部 4:中間支持部
5:プローブ針元部 9:基板
10:被測定チップ 10X:X方向チップ領域 10Y:Y方向チップ領域
10X,Y:対角方向チップ領域 11:支持部材 12:薄板
13:先端部 14:補強板 15:開口部
L:プロ−ブ全長 C:チップ領域長さ α:傾斜角 d:深さ
Claims (4)
- 半導体ウェハ上の複数のチップ領域に対向させて電気的測定を行うプローブカードであって、所定のチップ領域に対応する開口部と、この開口部からX軸方向、Y軸方向のそれぞれにN個(Nは正の整数)のチップ領域に相当する寸法分を離して設けられた複数の開口部と、前記それぞれの開口部の周縁部から内部に伸びる複数のカンチレバー型プローブとを有するプローブカードユニット、および四方に延びた形状で、先端で上記プローブカードユニットを支持する支持部材を備えたことを特徴とするプローブカード。
- 前記Nが、式N≧2L/C(L:カンチレバー型プローブ群中の最大長さ、C:チップ領域のX,Y軸方向の長さ)で求められる整数値であることを特徴とする請求項1に記載のプローブカード。
- 半導体ウェハ上の複数のチップ領域に対向させて電気的測定を行うプローブカードであって、所定のチップ領域に対応する開口部と、この開口部から上記チップ領域の斜め対角方向にM個(Mは正の整数)のチップ領域に相当する寸法分を離して設けられた複数の開口部と、前記それぞれの開口部の周縁部から内部に伸びる複数のカンチレバー型プローブとを有するプローブカードユニット、および上記対角方向に延びた形状で上記プローブカードユニットを支持する支持部材を備えたことを特徴とするプローブカード。
- 前記Mが、式M≧√2L/C(L:カンチレバー型プローブ群中の最大長さ、C:チップ領域のX,Y軸方向の長さ)で求められる整数値であることを特徴とする請求項3に記載のプローブカード。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005201242A JP4859174B2 (ja) | 2005-07-11 | 2005-07-11 | プローブカード |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2005201242A JP4859174B2 (ja) | 2005-07-11 | 2005-07-11 | プローブカード |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011187376A Division JP5152941B2 (ja) | 2011-08-30 | 2011-08-30 | プローブカード |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007017363A true JP2007017363A (ja) | 2007-01-25 |
JP2007017363A5 JP2007017363A5 (ja) | 2008-07-03 |
JP4859174B2 JP4859174B2 (ja) | 2012-01-25 |
Family
ID=37754641
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005201242A Expired - Fee Related JP4859174B2 (ja) | 2005-07-11 | 2005-07-11 | プローブカード |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4859174B2 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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-
2005
- 2005-07-11 JP JP2005201242A patent/JP4859174B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP4859174B2 (ja) | 2012-01-25 |
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