JP2005133582A - 分子ポンプ - Google Patents
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Abstract
【課題】 回転体4が腐蝕によって破断しステータリング10に衝突したとき、回転体4の破片が外部装置に悪影響を与える。このような課題を解決する分子ポンプを提供する。
【解決手段】 ステータリング10の外周における肩部10S(図4)に大口径のねじN1が施されており、このねじN1がベースを兼ねたケーシング9の内周に加工されたねじN2と締結されている。回転体4の回転方向と、この締結用のねじN1、N2が締まる方向は同じ方向にしておく。万一、回転体4が遠心破壊を起こした場合、破裂した回転体4の破片はステータリング10に当たり衝撃による回転トルクを与えることになる。このとき、ステータリング10とケーシング9はねじN1、N2で締結されており、ステータリング10に与えられたトルクによって増し締めされることになる。したがって、ねじ山がつぶれてねじ結合が破壊されエネルギーが吸収される。
【選択図】 図1
【解決手段】 ステータリング10の外周における肩部10S(図4)に大口径のねじN1が施されており、このねじN1がベースを兼ねたケーシング9の内周に加工されたねじN2と締結されている。回転体4の回転方向と、この締結用のねじN1、N2が締まる方向は同じ方向にしておく。万一、回転体4が遠心破壊を起こした場合、破裂した回転体4の破片はステータリング10に当たり衝撃による回転トルクを与えることになる。このとき、ステータリング10とケーシング9はねじN1、N2で締結されており、ステータリング10に与えられたトルクによって増し締めされることになる。したがって、ねじ山がつぶれてねじ結合が破壊されエネルギーが吸収される。
【選択図】 図1
Description
本発明は半導体製造装置や分析装置等において中真空から超高真空にわたる圧力範囲で真空排気に使用される分子ポンプ、具体的にはたとえばターボ分子ポンプ、あるいはねじ溝ポンプに代表されるモレキュラードラッグポンプなどに関する。
このような分子ポンプにおいて、その代表的なターボ分子ポンプは、その主体をなすターボ機構が円筒状のケーシング内に回転自在に保持され、ケーシングの一方側における吸気口からの分子、ガス等を吸気し、他方側に排気する構成をなしている。すなわち、ターボ機構はケーシングの中央部位の軸芯に配置された。回転体がケーシングに架設された上下の軸受にて回転自在に保持されるとともに、この回転体は同じくケーシングに架設されたモータにて高速回転されるよう連結されている。そして、このターボ機構は回転体の外周部に複数段固定された回転翼とケーシング側に固定された複数段の固定翼との組み合わせであって、この中で回転翼がモータにて高速回転、具体的には1分間に数万回転という回転速度で駆動され、ガス、分子を圧縮して排気する。
このようなターボ分子ポンプにおいては、回転翼が万が一応力腐蝕割れなどにより破壊したときは、回転翼は分裂して半径方向に飛散し、ケーシングの内周に配置されているスペーサや固定翼に衝突する。この衝突によって、回転翼の破片がステータリングやスペーサおよび固定翼と一体となり、この衝撃エネルギーにて半径方向に膨張し、ケーシングに衝突する。この衝突によりターボ分子ポンプの外方機器にも衝撃を与えることになる。このようなことから、この衝撃を緩和させるためにケーシングを二重構造にする方法などが採用されている(例えば特許公報1参照。)。
従来におけるターボ分子ポンプの一例を示すと図7に示すとおりである。以下このターボ分子ポンプTPの主体であるターボ機構TKについて説明すると、回転軸3の上方部には一体的に円筒部が形成されていて、この円筒部には外周に複数段(具体的には8段)の回転翼B1〜B8(図面には最上段の回転翼B1と最下段の回転翼B8のみ符号を付しその他の符号は付記を省略している)が延設されている。この回転翼B1〜B8は軸芯方向に一定の間隔を有して配置されている。この回転軸3と回転翼B1〜B8などは一体的であり、回転体4を構成している。他方、上方に吸気口6が形成されたケーシング5の内周側からは、固定翼T1〜T7(図面には最上段の固定翼T1と最下段の固定翼T7のみ符号を付してその他の付記は省略している)が各回転翼B1〜B8と交互に設けられターボ機構が構成されている。なお、図7においてSは各固定翼T1〜T7を一定の間隔で保持するためのスペーサである。7は排気口である。
この回転軸3はポンプ機台部1に架設された上下の磁気軸受8A、8Rにて回転自在に保持されるとともに、モータ2と結合されている。すなわち、8Aはアキシャル用の磁気軸受であり、また8Rはラジアル用の磁気軸受で、これらにより回転軸3を確実に軸受している。他方、モータ2の一方を構成する回転子(図示せず)がこの回転軸3に内設され一体的に取付られている。この回転子はポンプ機台部1に架設された電極コイル1Kと協働しモータ2を構成する。このモータ2にはインバータ(図示せず)から電気エネルギーが供給され、回転軸3を高速で回転駆動する。
そして、さらに回転体4の一部すなわち具体的には下方には円筒部4Nが一体的に形成され、しかもその外周にはねじ溝(この溝は図面では明確には開示されていない)が形成されている。なお、このねじ溝はステータリング10の側に形成される場合もある。このねじ溝は下方になるにつれて溝の深さが浅い円錐上をなしている。しかもこの円筒部4Nの外周はベースを兼ねたケーシング9の内周に接合されたステータリング10の内周面に近接している。このステータリング10の内周面と前記円筒部4Nとの組合わせによってねじ溝ポンプNPが構成されている。このねじ溝ポンプNPはドラッグポンプとして機能し、粘性流領域における分子を引き込んで排気する。
このようなターボ分子ポンプTPは、ターボ機構TKによるターボポンプ機構とねじ溝ポンプNPによるねじ溝ポンプ機能を有機的に結合したものであり、通常ハイブリッド形ターボ分子ポンプと称されている。ターボ分子ポンプTPとしては、このようなハイブリッド形のものが排気特性が良く、よく利用されている。なお、分子ポンプとしてはターボ機構TKのみを採用するものと、上記したステータリングと外周にねじ溝が形成された回転体(円筒体)との組合わせのみからなるねじ溝ポンプNPなどがある。
特開平11−62879号公報
このようなターボ分子ポンプTPにおいて、回転体4は、上述したように毎分数万回転という高速で回転しており、したがってこの回転体4は運転時常に強い遠心力を受けている。万一、設計上の想定を超えた条件での使用により回転体4が遠心破壊した場合は、破裂した回転体4の破片は、ケーシング9の内周面に接合されたステータリング10やスペーサSに衝突したのち、ケーシング9に衝撃を与える。このとき、回転体4は高速回転状態で破裂するため、ケーシング9に大きなトルクを与える。ケーシング9に与えられた衝撃によるトルクは、ターボ分子ポンプが取付けられた機械装置に伝達されるため、ユーザの機械装置側ではこのトルクに耐えられる強度を確保するために頑丈な構造とする必要がある。したがって、装置の構成を簡素化するために回転体破壊の際の衝撃によるトルクを小さくしなければならないという課題を有している。このことはねじ溝ポンプのみからなる分子ポンプの場合にもいえることである。
本発明が提供する分子ポンプは、上記課題を解決するために、ケーシングとステータリングの互いの接合部にねじ部を設け、両者をねじ結合させたものである。このねじ部は大口径のねじを使用することになる。具体的にはつぎの2つの構成の分子ポンプを提供する。すなわち、第1に提供する分子ポンプは、ケーシングに対してステータリングがねじ結合状態を維持しながらの関係では相対的に回転できないねじ結合で構成され、第2に提供する分子ポンプは、ケーシングに対してステータリングがねじ結合状態を維持しつつ相対的に回転できるねじ結合で構成される。
本発明が第1に提供する分子ポンプによれば、設計時の想定を超えた条件での使用により万一高速回転中の回転体が遠心破壊した場合、割れた回転体の破片がステータリングに衝突し、ステータリングに一定値以上のトルクを与えるが、大口径のねじで締結されており、しかも回転体の回転方向と同一方向の回転に対してはその締結ねじによる動きしろがないため、このトルクによりねじを増し締めすることになる。したがって、ねじ山がつぶれてねじ結合が破壊されることになり、このことによってエネルギーが消費される。
他方、本発明が第2に提供する分子ポンプによれば、万一、高速回転中の回転体が遠心破壊した場合、ステータリングに衝突することにより一定値以上のトルクを与えるが、大口径のねじで締結されており、しかも回転体の回転方向と同一方向の回転に対してはその締結ねじによる動きしろがあり、このトルクによりねじが回転し、停止までの時間が長くなることでトルクが吸収される。これは運動量は力積に等しいという運動量保存の法則によるもので、破片がもつ運動量Wと、衝撃を受けたときの抵抗Fおよび抵抗する時間Tとの間にはW=F・Tの関係が成り立つ。したがって、Tを大きくすることでFすなわち抵抗力(衝撃力)を小さくできる。
さらに、本発明が第3に提供する分子ポンプによれば、ケーシングの内周面とこの内周面に接合保持されるスペーサの互いの接合面にねじを設け、両者をねじ結合する形としたものである。そして、衝撃によるトルクをスペーサが受けたとき回転し衝撃力を緩和させるようにしたものである。
本発明が第1に提供する分子ポンプによれば、設計時の想定を超えた条件での使用により万一高速回転中の回転体が遠心破壊した場合、割れた回転体の破片がステータリングに衝突し、ステータリングに一定値以上のトルクを与えるが、大口径のねじで締結されており、しかも回転体の回転方向と同一方向の回転に対してはその締結ねじによる動きしろがないため、このトルクによりねじを増し締めすることになる。したがって、ねじ山がつぶれてねじ結合が破壊されることになり、このことによってエネルギーが消費される。
他方、本発明が第2に提供する分子ポンプによれば、万一、高速回転中の回転体が遠心破壊した場合、ステータリングに衝突することにより一定値以上のトルクを与えるが、大口径のねじで締結されており、しかも回転体の回転方向と同一方向の回転に対してはその締結ねじによる動きしろがあり、このトルクによりねじが回転し、停止までの時間が長くなることでトルクが吸収される。これは運動量は力積に等しいという運動量保存の法則によるもので、破片がもつ運動量Wと、衝撃を受けたときの抵抗Fおよび抵抗する時間Tとの間にはW=F・Tの関係が成り立つ。したがって、Tを大きくすることでFすなわち抵抗力(衝撃力)を小さくできる。
さらに、本発明が第3に提供する分子ポンプによれば、ケーシングの内周面とこの内周面に接合保持されるスペーサの互いの接合面にねじを設け、両者をねじ結合する形としたものである。そして、衝撃によるトルクをスペーサが受けたとき回転し衝撃力を緩和させるようにしたものである。
回転体が回転中に破壊し、その破片がステータリングに衝突した際、動きしろがないねじ結合の場合は、ねじ山がつぶされてエネルギーを消費することになり、他方動きしろがある場合はねじが回転し停止までの時間が長くなり、ポンプ本体が取付けられるユーザの装置へ与えるトルクを従来よりも小さくすることができ、したがって分子ポンプを設置するユーザの装置構成を簡素化することができる。
本発明が提供する分子ポンプは、ターボ機構とねじ溝ポンプの組合わせを基本とする構成のポンプが最良である。これは排気特性が良好であるためである。すなわち、円筒状のケーシングの内部には回転体が軸受により支持され、この回転体の上方部にターボ機構が配置され、下方部にはドラックポンプとしてのねじ溝ポンプが配置される。具体的には、回転体の上部はターボ機構を構成する回転翼が複数段固設されており、この回転翼と交互に配置される形で固定翼がケーシングの内周側に設けられる。他方、前記したとおり回転体の下方部にはドラッグポンプ部が構成されている。具体的には回転体の下方位に位置する円筒部の外周面にねじ溝が形成され、この円筒部がケーシングの内周にねじ結合されたステータリングの内周面に近接して配置されている。このねじ溝はステータリングの内周面に形成される場合もある。
このねじ結合ではステータリングの外周に大口径のねじ加工が施され、ケーシングの内周に加工されたねじと締結される。したがって、回転体が遠心破壊を起こした場合、破裂した回転体の破片はステータリングに衝突し、この衝撃による回転トルクを与える。ステータリングは与えられたトルクによって回転しようとする。この回転体の破裂により生じたトルクで回転することで、エネルギーを消費することになり、ケーシング側に伝達されるトルクを緩和することができる。この場合、本発明はステータリングの回転を大きな抵抗(負荷)を与えながら許容する場合と、小さな負荷で一定の時間をかけて許容する場合の両者を包含する。大きな抵抗を与える方式としては、ステータリングに回転による動きしろを最初から与えず、ねじを破壊させて無理に回転を生起させる実施例であり、ねじを破壊させることで衝撃を緩和させる。あるいは回転方向と逆方向のトルクを与える実施例も考えられる。この場合は弾性体の弾力を回転体の回転方向と逆向きに作用させる装置を設ける。回転を容易に与える方式としてはねじ結合に動きしろをはじめから設けておくのが最良の実施例となる。
図1には本発明による第1の実施例が示されている。この実施例は上述したハイブリッド形ターボ分子ポンプの例でこの場合、要部とする点はA部にあるが、このA部を拡大して示す図が図4である。図4においてステータリング10の外周における肩部10Sに大口径のねじN1が施されており、このねじN1がベースを兼ねたケーシング9の内周に加工されたねじN2と締結されている。回転体4(図4に図示せず)の回転方向と、この締結用のねじN1、N2が締まる方向は同じ方向にしておく。万一、回転体4が遠心破壊を起こした場合、破裂した回転体4の破片はステータリング10に衝突し、衝撃による回転トルクを与えることになる。このとき、ステータリング10とケーシング9はねじN1、N2で締結されており、ステータリング10に与えられたトルクによって増し締めされることになる。しかし、このねじN1、N2においては、回転体4の回転方向に動きしろがない、すなわち図4に示すようにステータリング10の肩部10Sとケーシング9は面接合していてお互いにこれ以上互いの方向に動く動きしろがないようにしている。したがって、回転体4の破裂により生じたトルクで増し締めされる。そのことによって、ねじN1、N2のねじ山はつぶされ、衝撃エネルギーを消費することになる。したがって、ケーシング9に伝達される衝撃を緩和することができる。なお、図1ならびに図4において図7と同一の符号で示される部品は図7と同一の部品であり同様の機能をするもので、詳細な説明は省略する。
図2には本発明による第2の実施例のターボ分子ポンプを示している。この実施例の場合、要部とする点はB部にあるが、このB部の構成は図5に拡大して示されている。図5においてステータリング10の外周面全域に大口径のねじN3が施されており、このねじN3がベースを兼ねたケーシング9の内周に加工されたねじN4と締結されている。この場合、回転体4の回転方向と、このねじN3、N4が締まる方向は必ずしも同一である必要はない。万一、回転体4が遠心破壊を起こした場合、破裂した回転体4の破片はステータリング10に当たり衝撃による回転トルクを与える。ステータリング10とケーシング9はねじN3、N4で締結されており、ステータリング10に与えられたトルクによって増し締めされる形となる。しかしこの場合、ねじN3、N4においては、図5に示すようにステータリング10の上下方向に動きしろがあるため、ステータリング10は回転することができる。回転体4が破裂により生じたトルクでステータリング10が回転することで、回転しない機構の図1に示す分子ポンプに比べて、停止までの時間が長くなる。従って、ケーシング9側に伝達される衝撃を緩和することができる。なお、図2ならびに図5において図7と同一の符号で示される部品は図7と同一の部品であり同様の機能をするもので、詳細な説明は省略する。
図3には本発明による第3の実施例のターボ分子ポンプを示している。この実施例の場合、要部とする点はC部にあるが、このC部の構成は図6に拡大して示されている。すなわち、図6はケーシング5とベースを兼ねたケーシング9およびスペーサSとの接合部を拡大して示している。ケーシング5の内周面にねじN5が加工して施され、スペーサSにもねじN6が形成されて両者がねじ結合されている。同時にケーシング5とケーシング9との間もねじ結合されている。したがって、回転体4(図6には図示せず)の破片がスペーサSに衝撃しトルクを与えたとき、スペーサSが回転することにより図2の例と同様に衝撃を緩和することができる。なお、図3において図7と同一の符号で示される部品は図7と同一の部品であり同様の機能をするもので、詳細な説明は省略する。なお、11は架台を示している。
以上の各実施例では、ステータリングとケーシングまたはケースとステータを大口径のねじで締結していた場合の例について説明したが、ステータリングの形状等により各種の組合わせが挙げられる。また、ステータリングを二重形にする方式もあり、これらの場合も同様の効果が得られる。
また、本説明ではターボ分子ポンプとドラッグポンプを結合させたポンプについて説明したが、ターボ分子ポンプのみで構成される分子ポンプやドラッグポンプのみで構成される分子ポンプにも適用できる。また、本実施例では、磁気軸受型のターボ分子ポンプで説明したが、玉軸受形の分子ポンプでも同様の効果が期待できる。
また、本説明ではターボ分子ポンプとドラッグポンプを結合させたポンプについて説明したが、ターボ分子ポンプのみで構成される分子ポンプやドラッグポンプのみで構成される分子ポンプにも適用できる。また、本実施例では、磁気軸受型のターボ分子ポンプで説明したが、玉軸受形の分子ポンプでも同様の効果が期待できる。
1 ポンプ機台部
1K 電極コイル
2 モータ
3 回転軸
4 回転体
4N 円筒部
5、9 ケーシング
6 吸気口
7 排気口
8A、8R 磁気軸受
10 ステータリング
10S 肩部
11 架台
B1、B2、B3、B4、B5、B6、B7、B8 回転翼
T1、T2、T3、T4、T5、T6、T7 固定翼
S スペーサ
TK ターボ機構
TP ターボ分子ポンプ
NP ねじ溝ポンプ
N1、N2、N3、N4、N5 ねじ
1K 電極コイル
2 モータ
3 回転軸
4 回転体
4N 円筒部
5、9 ケーシング
6 吸気口
7 排気口
8A、8R 磁気軸受
10 ステータリング
10S 肩部
11 架台
B1、B2、B3、B4、B5、B6、B7、B8 回転翼
T1、T2、T3、T4、T5、T6、T7 固定翼
S スペーサ
TK ターボ機構
TP ターボ分子ポンプ
NP ねじ溝ポンプ
N1、N2、N3、N4、N5 ねじ
Claims (4)
- 円筒状のケーシング内に軸受を介して回転自在に保持された回転体と、前記ケーシング内周側に接合されたステータリングと、回転体を高速回転させるモータを備え、回転体の外周面とステータリングの内周面を近接設置させてねじポンプ機構を構成し分子の排気を行う分子ポンプにおいて、前記ケーシングとステータリングは互いの接合部にねじ部が設けられてねじ結合できるように構成されるとともに、このねじ結合状態におけるステータリングは一定以上のトルク作用を受けたときのみケーシングに対して相対的に回転できるよう構成されていることを特徴とする分子ポンプ。
- 回転体の一部の外周部に複数段の回転翼を取り付け、この複数段の回転翼に対応してケーシング内に配置された複数段の固定翼を配置しこの両者の組合わせによるターボ機構を構成したことを特徴とする請求項1記載の分子ポンプ。
- ステータリングはケーシングに対して一定値以上のトルクが作用したときねじ結合が破壊されて相対的に回転するようねじ結合されていることを特徴とする請求項1または請求項2記載の分子ポンプ。
- ステータリングはケーシングに対して一定値以上のトルクが作用したとき相対的に回転できるようねじ結合されていることを特徴とする請求項1記載の分子ポンプ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003368124A JP2005133582A (ja) | 2003-10-28 | 2003-10-28 | 分子ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003368124A JP2005133582A (ja) | 2003-10-28 | 2003-10-28 | 分子ポンプ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005133582A true JP2005133582A (ja) | 2005-05-26 |
Family
ID=34645888
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003368124A Pending JP2005133582A (ja) | 2003-10-28 | 2003-10-28 | 分子ポンプ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2005133582A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP4269804A1 (de) * | 2023-08-14 | 2023-11-01 | Pfeiffer Vacuum Technology AG | Vakuumpumpe |
-
2003
- 2003-10-28 JP JP2003368124A patent/JP2005133582A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP4269804A1 (de) * | 2023-08-14 | 2023-11-01 | Pfeiffer Vacuum Technology AG | Vakuumpumpe |
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