JP2005114881A5 - - Google Patents

Claims (21)

1. 第１面の像を第２面上に形成する投影光学系において、
   前記投影光学系は、少なくとも１つの蛍石により形成された蛍石光学部材を含み、
   各光学部材の有効径よりも１０ｍｍだけ大きい直径を有し且つ各光学部材の光学面に外接する円柱の体積を各光学部材のディスク体積と定義し、前記投影光学系中のすべての光学部材のディスク体積の和をＶａとし、前記投影光学系中のすべての蛍石光学部材のディスク体積の和をＶｃとするとき、
   ０％＜Ｖｃ／Ｖａ＜３．５％
   の条件を満足することを特徴とする投影光学系。
2. 前記第２面側から順に第１番目のレンズ成分乃至第５番目のレンズ成分には、少なくとも２つの非球面形状に形成された光学面が含まれていることを特徴とする請求項１に記載の投影光学系。
3. 前記投影光学系中のすべての光学部材の有効径のうち最も大きい有効径を最大有効径と定義するとき、
   前記最大有効径の６０％以下の有効径を有する負レンズと、前記最大有効径の６０％以下の有効径を有する正レンズと、前記最大有効径の６０％以下の有効径を有する負レンズとが連続的に配置されていることを特徴とする請求項１または２に記載の投影光学系。
4. 前記２つの負レンズのそれぞれは、前記正レンズに凹面を向けていることを特徴とする請求項３に記載の投影光学系。
5. 前記連続的に配置された負レンズ、正レンズおよび負レンズは、少なくとも２つの非球面を有することを特徴とする請求項３または４に記載の投影光学系。
6. 前記第１面側から順に、負の屈折力を有する第１レンズ群と、正の屈折力を有する第２レンズ群と、負の屈折力を有する第３レンズ群と、正の屈折力を有する第４レンズ群とを備え、
   前記第３レンズ群および前記第４レンズ群において５０度以上の最大入射角で光が入射する光学面には、１．３以下の屈折率を有する弗化物層を含む光学薄膜が形成されていることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の投影光学系。
7. 前記第１面側から順に、負の屈折力を有する第１レンズ群と、正の屈折力を有する第２レンズ群と、負の屈折力を有する第３レンズ群と、正の屈折力を有する第４レンズ群とを備え、
   前記第３レンズ群は、少なくとも３つの非球面形状に形成された光学面を有することを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の投影光学系。
8. 前記第３レンズ群は、少なくとも１つの正レンズを含むことを特徴とする請求項７に記載の投影光学系。
9. 前記条件０％＜Ｖｃ／Ｖａ＜３．５％に代えて、
   １％＜Ｖｃ／Ｖａ＜３．５％
   の条件を満足することを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載の投影光学系。
10. 第１面の像を第２面上に形成する投影光学系において、
    前記投影光学系中のすべての光学部材の有効径のうち最も大きい有効径を最大有効径と定義するとき、
    前記最大有効径の６０％以下の有効径を有する正レンズと、
    前記正レンズの前記第１面側に隣接して配置されて、前記最大有効径の６０％以下の有効径を有するとともに前記正レンズ側に向けた凹面を有する第１負レンズと、
    前記正レンズの前記第２面側に隣接して配置されて、前記最大有効径の６０％以下の有効径を有するとともに前記正レンズ側に向けた凹面を有する第２負レンズとを備えていることを特徴とする投影光学系。
11. 前記第１および第２負レンズ並びに前記正レンズは、少なくとも２つの非球面を有していることを特徴とする請求項１０に記載の投影光学系。
12. 前記第１面側から順に、負の屈折力を有する第１レンズ群と、正の屈折力を有する第２レンズ群と、負の屈折力を有する第３レンズ群と、正の屈折力を有する第４レンズ群とを備え、
    前記第３レンズ群および前記第４レンズ群において５０度以上の最大入射角で光が入射する光学面には、１．３以下の屈折率を有する弗化物層を含む光学薄膜が形成されていることを特徴とする請求項１０または１１に記載の投影光学系。
13. 前記第１面側から順に、負の屈折力を有する第１レンズ群と、正の屈折力を有する第２レンズ群と、負の屈折力を有する第３レンズ群と、正の屈折力を有する第４レンズ群とを備え、
    前記第３レンズ群は、少なくとも３つの非球面形状に形成された光学面を有することを特徴とする請求項１０乃至１２のいずれか１項に記載の投影光学系。
14. 前記第３レンズ群は、少なくとも１つの正レンズを含むことを特徴とする請求項１３に記載の投影光学系。
15. 第１面の像を第２面上に形成する投影光学系において、
    前記第１面側から順に、負の屈折力を有する第１レンズ群と、正の屈折力を有する第２レンズ群と、負の屈折力を有する第３レンズ群と、正の屈折力を有する第４レンズ群とを備え、
    前記第３レンズ群および前記第４レンズ群において５０度以上の最大入射角で光が入射する光学面には、１．３以下の屈折率を有する弗化物層を含む光学薄膜が形成されていることを特徴とする投影光学系。
16. 前記第３レンズ群は、少なくとも３つの非球面形状に形成された光学面を有することを特徴とする請求項１５に記載の投影光学系。
17. 前記第３レンズ群は、少なくとも１つの正レンズを含むことを特徴とする請求項１６に記載の投影光学系。
18. 第１面の像を第２面上に形成する投影光学系において、
    前記第１面側から順に、負の屈折力を有する第１レンズ群と、正の屈折力を有する第２レンズ群と、負の屈折力を有する第３レンズ群と、正の屈折力を有する第４レンズ群とを備え、
    前記第３レンズ群は、少なくとも３つの非球面形状に形成された光学面を有することを特徴とする投影光学系。
19. 前記第３レンズ群は、少なくとも１つの正レンズを含むことを特徴とする請求項１８に記載の投影光学系。
20. 前記第１面に配置されたマスクを照明するための照明系と、前記マスクに形成されたパターンの像を前記第２面に配置された感光性基板上に形成するための請求項１乃至１９のいずれか１項に記載の投影光学系とを備えていることを特徴とする露光装置。
21. 前記第１面に配置されたマスクを照明し、前記マスクに形成されたパターンを請求項１乃至１９のいずれか１項に記載の投影光学系を介して前記第２面に配置された感光性基板上に投影露光することを特徴とする露光方法。