JP2005101127A - テープ基板の搬送装置及び搬送方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】テープ基板の両面に加工ができ、乾燥等によって撓んだり反ったりすることがない安定した品質のテープ基板が得られる、テープ基板の搬送装置及び搬送方法を提供する。
【解決手段】テープ基板20の搬送装置は、テープ基板20を挟むグリッパ34を有し、テープ基板20の幅方向の端部の外側に配置され、掛け渡された部分を支持して、搬送経路の一部である第1の区間と、搬送経路から外れた第2の区間とを循環軌跡を描きながら移動する複数のサポータ30を有する。第1の区間において、サポータ30の移動する力の一部をグリッパ34が閉じる力に変換する第1のガイド部60と、テープ基板20を挟んだ状態を維持する力を付与する第2のガイド部62とを有する。グリッパ34は、第1の区間ではテープ基板20を挟むように閉じ、第2の区間ではテープ基板20を解放するように開く。
【選択図】図2
【解決手段】テープ基板20の搬送装置は、テープ基板20を挟むグリッパ34を有し、テープ基板20の幅方向の端部の外側に配置され、掛け渡された部分を支持して、搬送経路の一部である第1の区間と、搬送経路から外れた第2の区間とを循環軌跡を描きながら移動する複数のサポータ30を有する。第1の区間において、サポータ30の移動する力の一部をグリッパ34が閉じる力に変換する第1のガイド部60と、テープ基板20を挟んだ状態を維持する力を付与する第2のガイド部62とを有する。グリッパ34は、第1の区間ではテープ基板20を挟むように閉じ、第2の区間ではテープ基板20を解放するように開く。
【選択図】図2
Description
本発明は、テープ基板の搬送装置及び搬送方法に関する。
テープ状であり、かつ長尺のフレキシブルフィルムからなる基板、すなわちテープ基板を、巻き出しリール側から繰り出して加工した後、巻き取りリールに巻き取る搬送に関しては、テープ基板上に形成されたガイド穴(スプロケットホール)に、通常、巻き取り側に設けられたスプロケットローラー歯を噛み合わせて、搬送するものがあった。
また、巻き出し側から巻き取り側に至る経路の途中の加工工程においては、テープ基板の下側にローラを設け、テープ基板の位置を規制して、テープ基板がそのローラ上を移動するようになっていた。
しかしながら、スプロケットローラー歯を使用した従来のテープ基板の搬送装置では、加工工程中のテープ基板は押えやガイド等がないフリーの状態であり、例えば、テープ基板にフォトレジスト等の薬液を塗布して乾燥させる場合に、テープ基板が撓んだり、反ったりすることがあり、テープ基板の品質の低下を招いていた。また、テープ基板がローラ上を移動するものがあったが、ローラとの接触により、ごみが付着してテープ基板の品質が低下したり、ローラと接する面にフォトレジスト液の塗布等の加工ができないといった課題があった。
本発明は上記の課題を解決するものであり、その目的は、テープ基板の両面に加工ができ、乾燥等によってテープ基板が撓んだり、反ったりすることがない安定した品質のテープ基板が得られる、テープ基板の搬送装置及び搬送方法を提供するものである。
特開平5−102246号公報(図4)
(1)本発明に係るテープ基板の搬送装置は、
送出器と受入器の間に、掛け渡されて搬送されるテープ基板の搬送装置であって、
前記テープ基板を挟むグリッパを有し、前記テープ基板の幅方向の端部の外側に配置され、前記テープ基板の掛け渡された部分を支持して、前記テープ基板の搬送経路の一部である第1の区間と、前記搬送経路から外れた第2の区間とを循環軌跡を描きながら移動する複数のサポータと、
前記第1の区間で前記サポータの移動する力の一部を、前記グリッパが閉じる力に変換する第1のガイド部と、
前記第1の区間で前記グリッパに前記テープ基板を挟んだ状態を維持する力を付与する第2のガイド部と、
を有し、
前記グリッパは、前記第1の区間では前記テープ基板を挟むように閉じ、前記第2の区間では前記テープ基板を解放するように開く。本発明によれば、サポータにグリッパを有し、第1、第2のガイド部によりテープ基板の幅方向の端部をグリッパで挟みながら、サポータがテープ基板の搬送経路を移動する。また、サポータは、テープ基板を挟んで移動する区間と開放して移動する区間を有し、これらの区間が循環軌跡を描いている。これによって、テープ基板が撓んだり、反ったりすることがなく安定した品質のテープ基板が得られる。また、テープ基板の搬送経路内に、テープ基板の位置を規制するローラ等が必要ない。したがって、テープ基板がローラ等と接して発生していたごみが発生せず、テープ基板に付着することがない。また、従来ローラと接していた面にも加工ができることになる。
(2)このテープ基板の搬送装置において、
前記サポータは、弾性を有する材料からなっていてもよい。
(3)このテープ基板の搬送装置において、
前記グリッパの前記テープ基板に接触する部分は、摩擦係数の大きい材料からなっていてもよい。
(4)このテープ基板の搬送装置において、
前記グリッパを介して前記テープ基板の幅方向に張力を与える張力付与手段をさらに有し、
前記張力付与手段は、前記サポータに、前記テープ基板の幅方向の離れる方向に移動させる力を加えてもよい。これによれば、テープ基板の幅方向に張力を与えることができ、テープ基板が加工中に撓んだり、反ったりすることがない。したがって、テープ基板の品質が安定することになる。
(5)本発明に係るテープ基板の搬送方法は、
テープ基板を、送出器と受入器の間に掛け渡すこと、及び、
前記テープ基板を、前記送出器から前記受入器へ送り出すこと、
を含み、
グリッパを有するサポータが、前記テープ基板の搬送経路の一部である第1の区間と、前記搬送経路から外れた第2の区間とを循環軌跡を描きながら移動し、
前記サポータが前記第2の区間から前記第1の区間に入るときに、前記サポータの移動する力の一部を、前記グリッパが閉じる力に変換し、前記変換された力によって、前記テープ基板の掛け渡された部分であって幅方向の端部を挟むように前記グリッパを作動させ、
前記第1の区間で、前記テープ基板の挟み込み状態を維持する力を前記グリッパに付与し、前記グリッパによって前記テープ基板を挟んで支持し、
前記サポータが前記第1の区間から前記第2の区間に入るときに、前記テープ基板の挟み込み状態を維持する前記力を解除することで、前記グリッパによる前記テープ基板の支持を解除する。本発明によれば、サポータにグリッパを有し、サポータの移動する力の一部でグリッパを作動させて、テープ基板の幅方向の端部を挟みながら、サポータがテープ基板の搬送経路を移動する。また、サポータはテープ基板を挟んで移動する区間と開放して移動する区間を有し、これらの区間が循環軌跡を描いている。これによって、テープ基板が撓んだり、反ったりすることがなく安定した品質のテープ基板が得られる。また、テープ基板の搬送経路内に、テープ基板の位置を規制するローラ等が必要ない。したがって、テープ基板がローラ等と接して発生するごみが、テープ基板に付着することがない。また、従来ローラと接していた面にも加工ができることになる。
(6)このテープ基板の搬送方法において、
前記グリッパが前記テープ基板を挟んで支持している間に、前記サポータに、前記テープ基板から幅方向に離れる方向の力を付与することをさらに含んでもよい。これによれば、テープ基板の幅方向に張力を与えることができ、テープ基板が加工中に撓んだり、反ったりすることがない。したがって、テープ基板の品質が安定することになる。
送出器と受入器の間に、掛け渡されて搬送されるテープ基板の搬送装置であって、
前記テープ基板を挟むグリッパを有し、前記テープ基板の幅方向の端部の外側に配置され、前記テープ基板の掛け渡された部分を支持して、前記テープ基板の搬送経路の一部である第1の区間と、前記搬送経路から外れた第2の区間とを循環軌跡を描きながら移動する複数のサポータと、
前記第1の区間で前記サポータの移動する力の一部を、前記グリッパが閉じる力に変換する第1のガイド部と、
前記第1の区間で前記グリッパに前記テープ基板を挟んだ状態を維持する力を付与する第2のガイド部と、
を有し、
前記グリッパは、前記第1の区間では前記テープ基板を挟むように閉じ、前記第2の区間では前記テープ基板を解放するように開く。本発明によれば、サポータにグリッパを有し、第1、第2のガイド部によりテープ基板の幅方向の端部をグリッパで挟みながら、サポータがテープ基板の搬送経路を移動する。また、サポータは、テープ基板を挟んで移動する区間と開放して移動する区間を有し、これらの区間が循環軌跡を描いている。これによって、テープ基板が撓んだり、反ったりすることがなく安定した品質のテープ基板が得られる。また、テープ基板の搬送経路内に、テープ基板の位置を規制するローラ等が必要ない。したがって、テープ基板がローラ等と接して発生していたごみが発生せず、テープ基板に付着することがない。また、従来ローラと接していた面にも加工ができることになる。
(2)このテープ基板の搬送装置において、
前記サポータは、弾性を有する材料からなっていてもよい。
(3)このテープ基板の搬送装置において、
前記グリッパの前記テープ基板に接触する部分は、摩擦係数の大きい材料からなっていてもよい。
(4)このテープ基板の搬送装置において、
前記グリッパを介して前記テープ基板の幅方向に張力を与える張力付与手段をさらに有し、
前記張力付与手段は、前記サポータに、前記テープ基板の幅方向の離れる方向に移動させる力を加えてもよい。これによれば、テープ基板の幅方向に張力を与えることができ、テープ基板が加工中に撓んだり、反ったりすることがない。したがって、テープ基板の品質が安定することになる。
(5)本発明に係るテープ基板の搬送方法は、
テープ基板を、送出器と受入器の間に掛け渡すこと、及び、
前記テープ基板を、前記送出器から前記受入器へ送り出すこと、
を含み、
グリッパを有するサポータが、前記テープ基板の搬送経路の一部である第1の区間と、前記搬送経路から外れた第2の区間とを循環軌跡を描きながら移動し、
前記サポータが前記第2の区間から前記第1の区間に入るときに、前記サポータの移動する力の一部を、前記グリッパが閉じる力に変換し、前記変換された力によって、前記テープ基板の掛け渡された部分であって幅方向の端部を挟むように前記グリッパを作動させ、
前記第1の区間で、前記テープ基板の挟み込み状態を維持する力を前記グリッパに付与し、前記グリッパによって前記テープ基板を挟んで支持し、
前記サポータが前記第1の区間から前記第2の区間に入るときに、前記テープ基板の挟み込み状態を維持する前記力を解除することで、前記グリッパによる前記テープ基板の支持を解除する。本発明によれば、サポータにグリッパを有し、サポータの移動する力の一部でグリッパを作動させて、テープ基板の幅方向の端部を挟みながら、サポータがテープ基板の搬送経路を移動する。また、サポータはテープ基板を挟んで移動する区間と開放して移動する区間を有し、これらの区間が循環軌跡を描いている。これによって、テープ基板が撓んだり、反ったりすることがなく安定した品質のテープ基板が得られる。また、テープ基板の搬送経路内に、テープ基板の位置を規制するローラ等が必要ない。したがって、テープ基板がローラ等と接して発生するごみが、テープ基板に付着することがない。また、従来ローラと接していた面にも加工ができることになる。
(6)このテープ基板の搬送方法において、
前記グリッパが前記テープ基板を挟んで支持している間に、前記サポータに、前記テープ基板から幅方向に離れる方向の力を付与することをさらに含んでもよい。これによれば、テープ基板の幅方向に張力を与えることができ、テープ基板が加工中に撓んだり、反ったりすることがない。したがって、テープ基板の品質が安定することになる。
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。図1は、本発明の実施の形態に係るテープ基板の搬送装置を説明する図であり、図2は、本発明の実施の形態に係るテープ基板の搬送装置の部分斜視図である。また、図3は、本実施の形態に係るテープ基板の搬送装置の部分平面図である。図4は、図3のIV−IV線断面図であり、複数のサポータ30の一部を省略した図である。
テープ基板20は、送出器12に巻かれて送り出され、搬送装置10を通過して受入器14に巻き取られる。搬送装置10は、例えば加工装置内に設置されて、加工工程中のテープ基板20を搬送する。搬送装置10は、テープ基板20の幅方向に対称の構成となっている。送出器12及び受入器14は、例えばリールであってもよい。
テープ基板20は、長尺のテープ状のフレキシブル基板である。テープ基板20は、例えば基材22上に銅箔等の金属箔をラミネート等により形成して、フォトレジスト液の塗布や露光、現像、エッチング等の工程を経て、配線パターン等が設けられて回路基板等になる。基材22は、例えばポリイミド樹脂等の材料からなる。テープ基板20は、第1の部分24と第2の部分26を有する。第1の部分24は、所望の加工工程、例えばフォトレジスト液を塗布する工程で、フォトレジスト液が塗布される領域である。第2の部分26は、例えばガイド穴(スプロケットホール)を有する領域で、加工工程で加工がされない領域である。
サポータ30は、基台部32及びグリッパ34を有する。サポータ30は、例えばプラスチック等の材料からなり、金型を用いた成型等で、基台部32やグリッパ34等が一体的に作製される。サポータ30は、連結部材50(例えばベルト)に複数が連結されて、テープ基板20の幅方向の両端部の外側に配置される。また、図4に示すように、複数のサポータ30は、そのうちの一部がテープ基板20の搬送経路中にあって、循環軌跡54を描くように配置される。循環軌跡54は、図4に示す例では、テープ基板20の第1、第2の部分24、26の面に対してほぼ直角に位置する平面上に描かれるが、第1、第2の部分24、26の面とほぼ同一平面で描かれるようになっていてもよい。
基台部32は、固定部38とテンションピン42を含む。固定部38は、例えばスリット40を有し、嵌合等の固定方法で、連結部材50に固定される。テンションピン42は、固定部38から突出した軸であってもよい。テンションピン42は、張力付与手段52と接触して、テープ基板20に張力を与えてもよい。張力付与手段52は、テープ基板20の幅方向の外側に、テープ基板20の搬送経路に沿って設けられてもよい。張力付与手段52は、第2のガイド部62が設けられる位置とほぼ同じ位置から設けられてもよい。張力付与手段52は、テンションピン42を介して、サポータ30をテープ基板20の幅方向の離れる方向、すなわち、外側に移動させるような力を付与する形状をなす。図2に示す例では、棒状の屈曲した形状をなす。張力付与手段52は、テンションピン42が最初に当接する部分から、徐々にテープ基板20の幅方向の離れる方向に延びて張力を与え、屈曲して、張力を保持するようにテープ基板20の幅方向の端部と平行して設けられている。テンションピン42の断面形状は、例えば円形状であってもよい。こうすることで、張力付与手段52に接触して移動するときに、接触抵抗を小さくすることができ、移動がスムースに行われる。なお、本実施の形態では、テープ基板20の幅方向に張力を与える手段として、テンションピン42と棒状の張力付与手段52を用いたが、サポータ30に、テープ基板20の幅方向の離れる方向に力を加える構造であれば、本実施の形態に限定されない。
グリッパ34は、開閉する一対の掴み部である。グリッパ34は、基台部32に薄肉部44を介して連結していてもよい。薄肉部44を有することで、グリッパ34が可動となり、開閉可能となる。グリッパ34は、規制されないときは開いた状態である。グリッパ34の断面形状は、例えば半円形状である。こうすることで、例えばグリッパ34と接触する第1、第2のガイド部60、62を棒状にした場合に、点接触して摺動抵抗が小さくなり、スムースに移動することができる。第1、第2のガイド部60、62との接触抵抗が小さくなる形状であれば、半円形状でなくてもよい。また、図2に示す例では、基台部32とグリッパ34等は一体成型であるが、グリッパ34を別体として、基台部32に回動可能に支持して、グリッパ34の間に弾性体を挟んで、常時は開く方向に力を加える構造でもよい。こうすることで、安定した開閉が実施できる。
第1、第2のガイド部60、62は、図2に示す例では、テープ基板20の厚み方向の両側と幅方向の両側に、テープ基板20の幅方向の端部の外側に対称に設けられている。第1のガイド部60は、グリッパ34に接触して、サポータ30の移動する力の一部を、グリッパ34が閉じる力に変換する機能を持つ。一対の第1のガイド部60は、例えばテープ基板20の搬送方向の上流側に口を開くようなテーパ形状をなす。第1のガイド部60は、徐々にグリッパ34を閉じさせ、テープ基板20の第2の部分26を挟ませる。第2のガイド部62は、第1のガイド部60と連結している。第2のガイド部62は、グリッパ34が閉じて、テープ基板20を挟んだ状態を維持する力を付与する機能を持つ。第2のガイド部62は、テープ基板20の搬送経路に対し、概略平行に配置されている。第1、第2のガイド部60、62は、例えば棒状であってもよい。また、第1、第2のガイド部60、62は、棒状に限らず、サポータ30が移動する力を、グリッパ34が閉じる方向の力に変換する形状や機構であってもよい。
本実施の形態によれば、テープ基板20の加工工程が実施されない第2の部分26を、サポータ30のグリッパ34が挟んで移動することにより、テープ基板20が搬送される。したがって、加工工程中のテープ基板20の下側にローラ等が必要なく、テープ基板20の裏面、すなわち、従来ローラ等と接触していた面にも加工ができる。また、グリッパ34がテープ基板20を挟み、張力を与えることにより、乾燥工程等でテープ基板20が撓んだり、反ったりすることを防止できる。
次に、本発明の実施の形態に係るテープ基板の搬送方法について、図4及び図5を参照しながら説明する。図5(A)〜図5(D)は、本発明の実施の形態に係るグリッパ34の動作を説明する図である。テープ基板20は、送出器12と受入器14に掛け渡され、図4に示す例では、図中左から右へ移動する。移動させる力を付与する手段は、受入器14や受入器14側に設けられた駆動手段(図示せず)等であってもよい。
サポータ30は、循環軌跡54を描いて、テープ基板20の搬送経路に移動し、第1のガイド部60に接触する。一対の第1のガイド部60は、グリッパ34の開きよりも搬送方向上流側が大きく開いているため、図5(A)に示すように、グリッパ34は、第1のガイド部60の内側に入るような位置関係になる。次いで、図5(B)に示すように、第1のガイド部50間の寸法が小さくなるにしたがって、徐々にグリッパ34の開き角を狭めるように作動させる。次いで、図5(C)に示すように、第1のガイド部60の終端、すなわち第2のガイド部62との境界で、グリッパ34がテープ基板20を挟む。サポータ30は、テープ基板20の幅方向の両側に設けられており、ほぼ同時にグリッパ34がテープ基板20の第2の部分26を挟む。このとき、さらに若干第1のガイド部60間の寸法を小さくとれば、グリッパ34が確実にテープ基板20を挟むことになる。また、サポータ30が弾性を有する材料からなっていれば、サポータ30の第1のガイド部60と接する部分が若干撓むことになる。サポータ30は、連結部材50に固定されているため、次のサポータ30が移動して、第1のガイド部60によってテープ基板20を挟む。この繰り返しにより、テープ基板20は、次々とサポータ30に挟まれる。
次いで、サポータ30が、第2のガイド部62へ移動して、グリッパ34がテープ基板20を挟んだまま、第2のガイド部62を移動する。第2のガイド部62は、テープ基板20の挟み込み状態を維持する力をグリッパ34に付与している。このため、グリッパ34は、テープ基板20を挟んで支持する状態を保って移動する。この工程の間に、図5(C)に示すように、サポータ30のテンションピン42が張力付与手段52と接触してもよい。サポータ30の移動により、張力付与手段52にテンションピン42がガイドされて、テープ基板20の幅方向の離れる方向に移動するような力が付与されて、テープ基板20に張力が与えられてもよい。
次いで、図5(D)に示すように、サポータ30が、第2のガイド部62から外れると、テープ基板20の挟み込み状態を維持する力が解除される。これにより、グリッパ34が開き、テープ基板20を支持する力が解除され、テープ基板20を解放する。グリッパ34は、弾性力により当初の形状に戻る。サポータ30は、グリッパ34を開いたまま連結部材50で再度第1のガイド部60に接触する位置まで、循環軌跡54を描いて移動する。この連続的な繰り返しによりテープ基板20が移動し、搬送される。
本実施の形態によれば、テープ基板20の加工工程が実施されない第2の部分26を、サポータ30のグリッパ34が挟んで移動することにより、テープ基板20が搬送される。したがって、加工工程中のテープ基板20の下側にローラ等が必要なく、テープ基板20の裏面、すなわち従来ローラ等と接触していた面にも加工ができる。また、グリッパ34がテープ基板20を挟んで移動することにより、乾燥工程等でテープ基板20が撓んだり、反ったりすることを防止できる。
本発明は、上述した実施の形態に限定されるものではなく、種々の変形が可能である。例えば、本発明は、実施の形態で説明した構成と実質的に同一の構成(例えば、機能、方法及び結果が同一の構成、あるいは目的及び結果が同一の構成)を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。
10…搬送装置 12…送出器 14…受入器 20…テープ基板 22…基材 24…第1の部分 26…第2の部分 30…サポータ 32…基台部 34…グリッパ 38…固定部 40…スリット 42…テンションピン 44…薄肉部 50…連結部材 52…張力付与手段 54…循環軌跡 60…第1のガイド部 62…第2のガイド部
Claims (6)
- 送出器と受入器の間に、掛け渡されて搬送されるテープ基板の搬送装置であって、
前記テープ基板を挟むグリッパを有し、前記テープ基板の幅方向の端部の外側に配置され、前記テープ基板の掛け渡された部分を支持して、前記テープ基板の搬送経路の一部である第1の区間と、前記搬送経路から外れた第2の区間とを循環軌跡を描きながら移動する複数のサポータと、
前記第1の区間で、前記サポータの移動する力の一部を、前記グリッパが閉じる力に変換する第1のガイド部と、
前記第1の区間で、前記グリッパに前記テープ基板を挟んだ状態を維持する力を付与する第2のガイド部と、
を有し、
前記グリッパは、前記第1の区間では前記テープ基板を挟むように閉じ、前記第2の区間では前記テープ基板を解放するように開くテープ基板の搬送装置。 - 請求項1に記載のテープ基板の搬送装置において、
前記サポータは、弾性を有する材料からなるテープ基板の搬送装置。 - 請求項1に記載のテープ基板の搬送装置において、
前記グリッパの前記テープ基板に接触する部分は、摩擦係数の大きい材料からなるテープ基板の搬送装置。 - 請求項1から請求項3のいずれかに記載のテープ基板の搬送装置において、
前記グリッパを介して前記テープ基板の幅方向に張力を与える張力付与手段をさらに有し、
前記張力付与手段は、前記サポータに、前記テープ基板の幅方向の離れる方向に移動させる力を加えるテープ基板の搬送装置。 - テープ基板を、送出器と受入器の間に掛け渡すこと、及び、
前記テープ基板を、前記送出器から前記受入器へ送り出すこと、
を含み、
グリッパを有するサポータが、前記テープ基板の搬送経路の一部である第1の区間と、前記搬送経路から外れた第2の区間とを循環軌跡を描きながら移動し、
前記サポータが前記第2の区間から前記第1の区間に入るときに、前記サポータの移動する力の一部を、前記グリッパが閉じる力に変換し、前記変換された力によって、前記テープ基板の掛け渡された部分であって幅方向の端部を挟むように前記グリッパを作動させ、
前記第1の区間で、前記テープ基板の挟み込み状態を維持する力を前記グリッパに付与し、前記グリッパによって前記テープ基板を挟んで支持し、
前記サポータが前記第1の区間から前記第2の区間に入るときに、前記テープ基板の挟み込み状態を維持する前記力を解除することで、前記グリッパによる前記テープ基板の支持を解除するテープ基板の搬送方法。 - 請求項5に記載のテープ基板の搬送方法において、
前記グリッパが前記テープ基板を挟んで支持している間に、前記サポータに、前記テープ基板から幅方向に離れる方向の力を付与することをさらに含むテープ基板の搬送方法。
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CN113543623A (zh) * | 2021-09-16 | 2021-10-22 | 深圳市恒讯通电子有限公司 | 一种微功率模块电源制造设备 |
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2003
- 2003-09-24 JP JP2003330998A patent/JP2005101127A/ja not_active Withdrawn
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