JP5273464B2 - フィルムのラミネート装置 - Google Patents
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Description
ドライフィルムは、通常、ポリエステルフィルム等の支持フィルムの表面にレジスト層を積層し、さらにポリエチレンフィルム等の保護フィルムを積層した構造の積層フィルムからなる。
そしてこの積層フィルムを用いて配線を形成するには、積層フィルムから保護フィルムを剥離したフィルムを、銅張積層板からなる基板の表面にラミネートする。フィルムを基板にラミネート後、露光処理し、支持フィルムを剥離して現像する。現像後、エッチング処理やメッキ処理を行ない、配線を形成する。
すなわち、このラミネート装置は、積層フィルムを供給ローラに巻回していて、送りローラにより積層フィルムを供給ローラから引き出している。そしてこの供給ローラから引き出した積層フィルムを剥離ガイドまで搬送し、この剥離ガイドの箇所で積層フィルムから保護フィルムを剥離する。剥離した保護フィルムは巻取ローラに巻き取る。また保護フィルムを剥離後のフィルムを、その先端を剥離ガイドに保持した状態のままスライドガイド及び吸着機能のある送りガイドに沿って搬送させる。そして搬送手段により搬送されてきた基板に張付けローラによりフィルムを加熱圧着して張り付ける。
このラミネート装置によれば、移動可能な剥離ガイドを設けているため、静電気によりフィルムが搬送中にシワがよったり、曲がったりする等の不良を防止できる。
本発明は、以上の欠点を改良し、すりきず発生を防止するフィルムのラミネート装置を提供することを課題とするものである。
フィルムに保護フィルムを積層した積層フィルムの送り手段と、
前記積層フィルムから前記保護フィルムを剥離する剥離手段と、
前記積層フィルムから前記保護フィルムを剥離後のフィルムを前記基板に張り合せる張り合せ手段と、
前記積層フィルムの送り手段と前記張り合せ手段との間に設けた積層フィルムの送りガイドと、
前記保護フィルムを剥離後のフィルムを所定長に切断する切断手段と、を有するフィルムのラミネート装置において、
前記送りガイドにはローラまたは回転ベルトを設け、吸着機能を有しておらず、前記送りガイドに向かって、前記送りガイド上の前記積層フィルムにエアーを吹き付けながら、前記積層フィルムを送りガイド上に保持し、前記積層フィルムと接する前記送りガイドの表面は前記積層フィルムと同調移動することを特徴とするフィルムのラミネート装置を提供するものである。
また、送りガイドに向かって、前記送りガイド上の積層フィルムにエアーを吹き付けながら、前記積層フィルムを送りガイド上に保持し、前記積層フィルムと接する前記送りガイドの表面は前記積層フィルムと同調移動することを特徴とする請求項1のフィルムのラミネート装置を提供するものである。
なお、本発明の実施の形態においては、基板の両面にラミネート処理をする場合には、通常、基板の搬送路を挟んで両側にほぼ同一の手段を対称に配置し、そして基板の片面のみにラミネート処理をする場合には搬送路の片側にその処理のための手段を主として配置する。
したがって、以下においては基板の両面にラミネート処理する場合について説明し、かつ搬送路を挟んだ両側の手段のうち主として搬送路の片側に配置した各手段を取り上げて説明する。
第1図において、1a及び1bは、供給ローラであり、プラスチックフィルム等のフィルム2a及び2bに保護フィルム3a及び3bを積層した積層フィルム4a及び4bが巻回されている。5a及び5bは金属製の送りローラである。6a及び6bは、各々送りローラ5a及び5bに接触するゴム製の送りローラである。送りローラ5aと送りローラ6a及び送りローラ5bと送りローラ6bとにより各々積層シート4a及び4bをクランプし、それ等の回転により積層シート4a及び4bを走行している。7a及び7bは積層フィルム4a及び4bを送りローラ5a,5b,6a及び6bまで案内するガイドローラである。送り機構は、供給ローラ1a及び1b、送りローラ5a,5b,6a及び6b、ガイドローラ7a及び7bからなる。
17a及び17bは基板を投入するための投入ローラである。18a及び18bは基板を搬出するための搬出ローラである。19a及び19bは、ローラ17a及び17bの近傍に配置された光電検出器であり、制御器(図省略)に接続されている。
(剥離手段)
8a及び8bは、移動可能な剥離ガイドであり、先端が湾曲し尖っている。9a及び9bは、スライドガイドであり、途中まで剥離ガイド8a及び8bとともに移動でき、積層フィルム4a及び4bをその表面に沿ってスライドさせうるもので、途中に孔10a及び10bが設けられている。11a及び11bは、巻取ローラであり、剥離ガイド8a及び8bによって積層フィルム4a及び4bから剥離された保護フィルム3a及び3bを巻き取るためのものである。
(送りガイド)
12a及び12bは、積層フィルム4a及び4bがスライドガイド9a及び9bと隣り合う部分で同一平面になるように配置された送りガイドであり、湾曲面に沿って複数のローラを設けている。
(エアー吹付)
13a及び13bは、エアーシャワーノズルで、送りガイド12a及び12b近傍に移動可能であり、送りガイドの湾曲面に沿って複数のノズルを設けている。エアーシャワーノズル13a及び13bからのエアーを送りガイド12a及び12bに吹き付けることにより、フィルム2a及び2bが切断された時の後端を送りガイド12a及び12b上に保持するためものである。
16a及び16bは、エアーの吹き出し口を張付けローラ15a及び15bに向けたエアージェットノズルであり、フィルム2a及び2bの先端を張付けローラ15a及び15bの方に吹き付けるものである。
エアーシャワーノズル13a及び13bは、エアージェットノズル16a及び16bと一体となったものでもよい。またはエアージェットノズル16a及び16bのノズルの向きを送りガイド方向12a及び12bに回転してもよい。
(切断手段)
14a及び14bは、フィルム2a及び2bを所定長に切断するための切断機構を構成するカッターであり、孔10a及び10bの入り口側に設けられ、フィルム2a及び2bの切断の際にその先端が孔10a及び10bに挿入される。
(張付け手段)
15a及び15bは、互いに接近する移動可能な張付けローラであり、内部に抵抗体が収納され通電により加熱され、フィルム2a及び2bを基板に加熱圧着して張り付けるものである。張付け機構は、張付けローラ15a及び15b、エアージェットノズル16a及び16bからなる。
基板20の両面にフィルム2a及び2bを張り付けし終わると、エアーシャワーノズル13a及び13bが、送りガイド12a及び12bから離れる方向に移動し、再び上記と同一の動作が繰り返される。
Claims (2)
- 基板の搬送手段と、
フィルムに保護フィルムを積層した積層フィルムの送り手段と、
前記積層フィルムから前記保護フィルムを剥離する剥離手段と、
前記積層フィルムから前記保護フィルムを剥離後のフィルムを前記基板に張り合せる張り合せ手段と、
前記積層フィルムの送り手段と前記張り合せ手段との間に設けた積層フィルムの送りガイドと、
前記保護フィルムを剥離後のフィルムを所定長に切断する切断手段と、を有するフィルムのラミネート装置において、
前記送りガイドにはローラまたは回転ベルトを設け、吸着機能を有しておらず、前記送りガイドに向かって、前記送りガイド上の前記積層フィルムにエアーを吹き付けながら、前記積層フィルムと接する前記送りガイドの表面は前記積層フィルムと同調移動することを特徴とするフィルムのラミネート装置。 - 送りガイドに向かって、前記送りガイド上の積層フィルムにエアーを吹き付けながら、前記積層フィルムを送りガイド上に保持し、前記積層フィルムと接する前記送りガイドの表面は前記積層フィルムと同調移動することを特徴とする請求項1のフィルムのラミネート装置。
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