JP2005090510A - ダイヤフラムエアーポンプ - Google Patents

ダイヤフラムエアーポンプ Download PDF

Info

Publication number
JP2005090510A
JP2005090510A JP2004265262A JP2004265262A JP2005090510A JP 2005090510 A JP2005090510 A JP 2005090510A JP 2004265262 A JP2004265262 A JP 2004265262A JP 2004265262 A JP2004265262 A JP 2004265262A JP 2005090510 A JP2005090510 A JP 2005090510A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
diaphragm
case
air pump
air
piezoelectric element
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2004265262A
Other languages
English (en)
Other versions
JP4057001B2 (ja
Inventor
Hye-Jung Cho
慧 貞 趙
Shohei Ra
小 兵 羅
Zhaoying Zhou
ツァオイン ゾウ
Xing Yang
シン ヤン
Xiongying Ye
シャオイン イェ
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tsinghua University
Samsung Electronics Co Ltd
Original Assignee
Tsinghua University
Samsung Electronics Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from CNB031570690A external-priority patent/CN100427759C/zh
Application filed by Tsinghua University, Samsung Electronics Co Ltd filed Critical Tsinghua University
Publication of JP2005090510A publication Critical patent/JP2005090510A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4057001B2 publication Critical patent/JP4057001B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04BPOSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B45/00Pumps or pumping installations having flexible working members and specially adapted for elastic fluids
    • F04B45/04Pumps or pumping installations having flexible working members and specially adapted for elastic fluids having plate-like flexible members, e.g. diaphragms
    • F04B45/045Pumps or pumping installations having flexible working members and specially adapted for elastic fluids having plate-like flexible members, e.g. diaphragms with in- or outlet valve arranged in the plate-like pumping flexible members
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04BPOSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B45/00Pumps or pumping installations having flexible working members and specially adapted for elastic fluids
    • F04B45/04Pumps or pumping installations having flexible working members and specially adapted for elastic fluids having plate-like flexible members, e.g. diaphragms
    • F04B45/047Pumps having electric drive

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Reciprocating Pumps (AREA)

Abstract

【課題】 小型電子機器や部品に空気のような流体を供給して冷却したり、所定空間に空気を供給する空気供給装置において構造が改善されたダイヤフラムエアーポンプを提供する。
【解決手段】 ダイヤフラムエアーポンプは、ポンプケース40、ダイヤフラム25及び圧電素子11を含む。ポンプケースは、内部に流体が流入されて排出され、ダイヤフラムは、ポンプケース内に設けられ、少なくとも1つの中間開口22が形成される。そして、前記中間開口には、中間チェック弁23が設置される。そして、圧電素子は、ダイヤフラムの一側に連結される。これによると、被冷却部品や燃料電池の酸素供給のための空気供給装置に必要な空気や流体の量に応じて印加電圧を変化させ、能動的に空気の量を調節することができ、従来のファン方式やポンプ型空気供給装置に比べて騒音が減少し、少ない電力を消費する。
【選択図】 図1

Description

本発明は、ダイヤフラムエアーポンプに関するものであり、より詳しくは、圧電素子により駆動する小型ダイヤフラムエアーポンプに関するものである。
一般的に、エアーポンプのような小型空気供給装置は、小型電子機器や部品に一定量の空気を供給するために用いられる。
このような小型電子機器や部品は、トランジスタの集積度が向上するに従って、内部で発生する熱により電子部品が誤作動するか、部品に損傷をもたらす恐れがある。従って、このようなマイクロ電子部品に対する冷却問題は、小型電子部品を用いる電子部品において重要な問題として挙げられた。
特に、携帯用機器の移動電源として燃料電池を用いる場合、化学反応のための酸素の供給が必要となる。
また、コンピュータのような電子機器がさらに小型化するに従って、内部のチップを冷却させる冷却装置は、さらに小さい体積を占めるながらも、少ない電力を消耗すべきである。これと同時に、小さい騒音を発生しながらも高効率の冷却作業が可能でなければならず、冷却装置が作動するとき、高い作動信頼度を要求することになる。
従来の小型電子機器や部品に用いられる冷却装置や燃料電池の酸素供給のための空気供給装置は、回転ファン内臓方式であって、一定量の空気を外部から小型電子機器や部品に供給して冷却するか、冷却ピンを外装して小型電子機器や部品の熱伝導または空気対流を促進して冷却するか空気を供給する方式で構成される。
ところが、このような構造の冷却装置や燃料電池の空気供給装置は、回転ファンの駆動により騒音が発生する。また、回転ファンや冷却ピンそのものが一定量の体積を占めて、電子機器や部品の小型化に制限となる。
また、回転ファンや冷却ピンの冷却効率の側面を考慮するとき、電子機器や部品に必要な冷却効率を達成し難い側面が多く、特に、回転ファン方式の場合は、大きな電力を消耗するようになる問題点が発生する。
そして、燃料電池用空気供給装置においては、既存の空気ポンプは、サイズと体積とが巨大であり、騒音が激しく、小型化を要求する携帯用機器への適用が困難である。
本発明の目的は、前記のような問題点を解決するために創案したものであり、小型電子機器や部品に空気のような流体を供給して冷却するか、または所定空間に空気を供給する空気供給装置において、構造が改善したダイヤフラムエアーポンプを提供するのにある。
前記目的を達成するための本願第1発明によるダイヤフラムエアーポンプは、内部に流体が流入されて排出されるポンプケース;前記ポンプケース内に設けられ、少なくとも1つの中間開口が形成され、前記中間開口には、中間チェック弁が設置されたダイヤフラム;及び前記ダイヤフラムの一側に連結され、電源が印加される少なくとも1つの圧電素子;を含み、前記圧電素子の振動により被冷却部品に流体が供給される。
ダイヤフラムはポンプケースの内部において浮かんでいる形状となるので、ダイヤフラム25の振動を利用して、小さい体積を有しながらも簡単な構造で、より高い効率のエアーポンプを具現することが可能である。
また、印加電圧を変化させて圧電素子を振動させることで、能動的に空気の量を調節することができる。ダイヤフラムを利用して空気を供給するか所定空間を冷却するので、騒音が減少することになり、かつ消費電力が少ない。
このようなダイヤフラムエアーポンプは、酸素供給が必要な燃料電池の空気側燃料供給システムとしても使用が可能である。
本願第2発明は、前記ポンプケースは、流体が流入される少なくとも1つの流入開口が形成された上部ケース;及び前記上部ケースと結合し、上部ケースに流入された流体が、前記被冷却部品と接触して排出される少なくとも1つの排出開口が形成された下部ケース;を含むことが好ましい。
流体が流入する上部ケース内の圧力P2と流体が排出される下部ケース内の圧力P1とに、圧力差が生じる。この圧力差を利用して、小さい体積を有しながらも簡単な構造で、より高い効率のエアーポンプを具現することが可能である。
本願第3発明は、前記流入開口には、外部の流体が前記上部ケースに流入されるように制御する流入チェック弁が設置されたことが好ましい。
流入チェック弁は、上部ケース及び下部ケースの圧力差に応じて開閉され、上部ケースに流入した流体が逆流することを防止するように流体の出入りを制御する。
本願第4発明は、前記ダイヤフラムは、前記上部ケース及び前記下部ケースの間に設けられ、前記中間チェック弁は、前記上部ケースの流体が下部ケースに流入されるように制御することができる。ここで、ダイヤフラムは、圧電素子の振動に伴って上部ケース及び前記下部ケースの間で振動する。よって、上部ケースと下部ケースとのあいだに圧力差が生じる。この圧力差を利用して、小さい体積を有しながらも簡単な構造で、より高い効率のエアーポンプを具現することが可能である。
本願第5発明は、前記ダイヤフラムは、前記ポンプケースの下部ケースに固定されず、前記圧電素子の一部として結合されることを特徴とするダイヤフラムエアーポンプを提供する。ダイヤフラムとポンプケースの接触部分が少なく、摩擦による駆動力の損失が少ないため、より低消費電力である。また、接触部分が少ないため、騒音を低減することができる。
本願第6発明は、前記下部ケースには、前記圧電素子が設置されるスロットが設けられたことが好ましい。
本願第7発明は、前記圧電素子及び前記スロットは2つであることが好ましい。例えば、ダイヤフラムの両側に2つに構成されると、ダイヤフラムの両側に振動を加えることができ、より、上部ケースと下部ケースとのあいだに圧力差が生じさせることができる。
本願第8発明は、前記2つの圧電素子の一側は、前記ポンプケースの下部ケースにそれぞれ固定されることを特徴とするダイヤフラムエアーポンプを提供する。
本願第9発明は、前記2つの圧電素子は、バイモルフ(bimorphs)であることを特徴とするダイヤフラムエアーポンプを提供する。圧電素子が、バイモルフ(bimorphs)であると、構造が単純で、製造が容易である。また、低電圧でより大きな変位量が得られる。また、消費電力が少ない。さらに発熱が少なく、電磁的雑音が発生しない
本願第10発明では、前記流入開口は、前記上部ケースの上部に形成されたことが好ましい。
本願第11発明では、前記排出開口は、前記下部ケースの側面に形成されたことが好ましい。
本願第12発明では、前記上部ケースの側面には、側面開口が形成され、本願第13発明では、前記側面開口には、側面チェック弁が設置され、前記流入開口および前記排出開口は、ディフューザーで形成されたことが好ましい。
以上のようなダイヤフラムエアーポンプは、上部ケース及び下部ケースの体積変化率が大きくなり、これにより、ダイヤフラムの振動による圧力差が大きくなるため、より小さい体積を有しながらも簡単な構造で、より高い効率のエアーポンプを具現することが可能である。
また、被冷却部品や化学反応による酸素供給が必要な燃料電池において、必要な空気や流体の量に応じて印加電圧を変化させ、能動的に空気の量を調節することができる。また、従来のファン方式の冷却装置や既存の空気ポンプに比べて騒音が減少し、電力消費が少ない。
そして、燃料電池に必要な空気流量を、騒音の少ない本発明のダイヤフラムエアーポンプを通じて具現できるので、燃料電池の空気側燃料供給システムとしても使用が可能である。
以下、図面を参照して、本発明の好ましい実施例に係るダイヤフラムエアーポンプを説明する。図1は本発明の実施例によるダイヤフラムエアーポンプの断面図、図2は図1に示されたダイヤフラムエアーポンプの斜視図、図3は図1に示されたダイヤフラムの平面図である。
図面を参照すると、ダイヤフラムエアーポンプ50は、大きくポンプケース40、ポンプケース40内に設けられたダイヤフラム25及び圧電素子11を含む。
前記ポンプケース40は、前記ダイヤフラムエアーポンプ50の外観を形成し、外部の空気のような流体が流入されて排出される。そして、前記ポンプケース40は上部ケース10及び下部ケース20を含む。
前記上部ケース10の上部には、流体が流入される少なくとも1つの流入開口14が形成される。
前記下部ケース20は、前記上部ケース10と結合し、少なくとも1つの排出開口21が下部ケース20の側面に形成される。そして、上部ケース10に流入された流体が、前記排出開口21を通じて被冷却部品30と接触し、被冷却部品30を冷却させた後に排出される。この時、被冷却部品30は、燃料電池の空気供給部(図示省略)となり得る。
また、前記流入開口14には流入チェック弁13が設置され、外部の流体が上部ケース10にのみ流入され、上部ケース10内の流体が、流入開口14を通じて外部に排出されることを防止するよう、流体の出入りを一方向通行に制御する。そして、前記下部ケース20には、圧電素子11が設置されるスロット26が設けられる。圧電素子が、バイモルフ(bimorphs)であると、構造が単純で、製造が容易である。また、低電圧でより大きな変位量が得られる。また、消費電力が少ない。さらに発熱が少なく、電磁的雑音が発生しない。
好ましくは、前記圧電素子11及び前記スロット26は、ダイヤフラム25の両側に振動を加えるように例えば両側に2つに構成される。
前記ダイヤフラム25は、前記ポンプケース40内に設けられる。即ち、前記ダイヤフラム25は上部ケース10及び下部ケース20の間に設けられ、前記ダイヤフラム25には少なくとも1つの中間開口22が形成される。
前記中間開口22には中間チェック弁23が設置され、上部ケース10の流体が下部ケース20にのみ流入され、下部ケース20内の流体が上部ケース10内に逆流することを防止するように流体の出入りを制御する。
そして、前記中間チェック弁23及び流入チェック弁13は、フレキシブルなメンブレイン(membrane)から構成されて上部ケース10及び下部ケース20の圧力差に応じて開閉される。
前記圧電素子11はダイヤフラム25の一側に接着物質により結合され、ダイヤフラムエアーポンプ50の外部より電源が供給されることで圧電素子11は振動する。このとき、前記ダイヤフラム25には、圧電素子11がダイヤフラム25と結合する結合部12と一定間隔に離隔した空間16が形成される。
以下、図4A及び4Bを参照すると、本発明の実施例に係るダイヤフラムエアーポンプ50の作動を説明する。図4Aは圧電素子11が被冷却部品30に向けて動くときに流体の流れを示した図面であり、図4Bは圧電素子が被冷却部品30の反対方向に動くときに流体の流れを示した図面である。
図面を参照すると、ダイヤフラムのエアーポンプ50の圧電素子11で電圧が印加される。印加される電圧は交流電圧であって、交流電圧を加えると圧電素子11は上下振動をすることになる。
このような圧電素子11は一般的に外部から圧電素子11に外力が加えられた時、加えられた外力、即ち、機械的エネルギーに対応する電気的エネルギー(ex:電圧)を発生し、反対に、電気的エネルギーを圧電素子11に加えることになると、機械的エネルギーを発生する。この時、加えられた電気的エネルギーが交流電圧である場合は、前記圧電素子11は振動する特有の性質を有する。
このように交流電圧が前記圧電素子11に印加されると、前記圧電素子11はポンプケース40内部において、一側は、前記スロット26に完全に固定された状態で圧電素子が振動をすることになるので、結局、圧電素子11の他側は、上下振動をすることになる。このような振動は、前記交流電圧の周波数と圧電素子11の固有周波数とが同一であるときに振幅が最大となる。
このような方式で、圧電素子11が上下振動することによって、圧電素子11が接着物質により結合されたダイヤフラム25も振動することになる。この時、前記ダイヤフラム25はポンプケース40に直接固定されたものでなく、前記圧電素子11に一側が結合されているので、全体的にみると、ダイヤフラム25は前記ポンプケース40の内部に浮かんでいる形状となる(図3参照)。
この時、図4Aにおけるように圧電素子11が矢印Aの方向、即ち、前記ポンプケース40の下方に振動する場合を説明する。この時、圧電素子11に連結されたダイヤフラム25も、矢印Bの方向、即ち前記ポンプケース40の下方に運動する。そして、このような場合に、前記ダイヤフラム25の中間チェック弁23は閉鎖される。
即ち、前記下部ケース20内の流体の圧力(P)が前記上部ケース10内の流体の圧力(P)より高くなって、係る圧力差により中間チェック弁23が閉鎖される。そして、下部ケース20内の流体は、被冷却部品30と接触して被冷却部品30を冷却するか、被冷却部品30に空気のような必要な流体を供給する。
この時、前記上部ケース10内の圧力(P)はポンプケース40の周りの圧力(P)より小さいので、ポンプケース40の周りの流体は流入開口14を通じて上部ケース10に流入され、流入チェック弁13はオープンされた状態となる。
これと同時に、下部ケース20内の流体は排出開口21を通じて前記ポンプケース40の外部に排出される。
そして、図4Bにおけるように、圧電素子11が矢印Cの方向、即ち、前記ポンプケース40の上方に振動する場合を説明する。この時、圧電素子11に連結されたダイヤフラム25も矢印Dの方向、即ち、前記ポンプケース40の上方に運動する。そして、このような場合に、前記ダイヤフラム25の中間チェック弁23はオープンされる。
即ち、前記下部ケース20内の流体の圧力(P)が前記上部ケース10内の流体の圧力(P)より小さくなって、このような圧力差により中間チェック弁23がオープンされる。
また、前記上部ケース内10の圧力(P)はポンプケース40の周りの圧力(P)より大きいので、このような圧力差により流入チェック弁13は閉鎖される。
従って、図4Aにおいて、上部ケース10に流入された空気のような流体は、前記ダイヤフラム25に形成された中間開口22を通じて前記下部ケース20に流入される。そして、前記下部ケース20内の流体の圧力(P)がポンプケース40の周りの圧力(P)より小さいので、周りの空気も一定部分は前記排出開口21を通じて下部ケース20に流入されることができる。
このような方式により、前記圧電素子11が上下に振動することによって、ダイヤフラム25も振動することになり、前記被冷却部品30に一定量の空気のような流体を供給して被冷却部品30を冷却するか、必要な所定空気を被冷却部品30に供給することができる。
前記ダイヤフラム25はポンプケース40に直接固定されたものでなく、前記圧電素子11に連結され、前記圧電素子11と前記ダイヤフラム25との間には一定間隔離隔した空間16が形成される。よって全体的にみると、ダイヤフラム25は前記ポンプケース40の内部において浮かんでいる形状となるので、前記上部ケース10及び下部ケース20内の流体の体積変化率が大きくなる(図3参照)。
これにより、ダイヤフラム25の振動による圧力差(|P1 - P2|)が大きくなるため、さらに小さい体積を有しながらも簡単な構造で、より高い効率のエアーポンプを具現することが可能である。
また、前記ダイヤフラム25において被冷却部品30や燃料電池の空気供給部(図示省略)に供給する空気の量は、印加電圧の周波数に応じて前記圧電素子11のA、C方向に振動する振動幅が異なることにより変化する。従って、被冷却部品30に必要な空気や流体の量によって印加電圧を変化させ、能動的に空気の量を調節することができる。
図5乃至図6は、それぞれ本発明の他の第2、3実施例である。
図5を参照すると、前記上部ケース10の両側面には側面開口17が形成される。そして、前記側面開口17には側面チェック弁18設置される。このような側面チェック弁18は、前記流入チェック弁13のように前記上部ケース10にのみ流体が流入されるように制御する。前記側面開口17に側面チェック弁18が設置された点を除いては、図1乃至図4A、4Bに示されたダイヤフラムエアーポンプの構成及び作用は同一である。
そして、前記側面チェック弁18及び流入チェック弁13が前記上部ケース10に形成されるので、図1乃至図4A、4Bに示されたダイヤフラムエアーポンプ50に比べてポンプケース40内に流入される流体の量がさらに大きくなる。
図6は、図5に示されたダイヤフラムエアーポンプの流入チェック弁13、側面チェック弁18及び排出開口21の代わりに、流入ディフューザー33、側面ディフューザー35及び排出ディフューザー37が設置される。このようなディフューザー33、35、37は、チェック弁と同様に、圧力差によって一方向にのみ流体が流れるようにする。例えば、流入ディフューザー33の場合は、ディフューザーの幅の狭い部分33aの圧力が幅の広い部分33bの圧力より大きい場合、前記上部ケース10内への流体の流入が相対的に容易である。結果的に、ポンプケース40の外部の流体は、前記流入ディフューザー33を通じて上部ケース10の内部に流入される量が相対的に流入ディフューザー33を通じて排出される量より大きいので、一種の一方向チェック弁の機能をすることになる。
このような実施例においては、前記ディフューザー33、35、37を用いる点を除いては、図1乃至図4A、4Bに示されたダイヤフラムエアーポンプの構成及び作用は同一である。
本発明によるこのようなダイヤフラムエアーポンプは、従来のファン方式の冷却装置や燃料電池に用いられる酸素供給のための空気ポンプに比べダイヤフラムを利用して空気を供給するか所定空間を冷却するので、騒音が減少することになり、且つ少ない電力が消費される。
また、既存の空気ポンプは大きさと体積が大きくて騒音が酷く、小型化のための携帯用機器には不適切であった。しかし、本発明のダイヤフラムエアーポンプは、空気流量を印加電圧によって能動的に調節することができ、騒音が少なく、また化学反応による酸素供給が必要な燃料電池の空気側燃料供給システムとしても使用が可能である。
以上、本発明を、本発明を説明するための望ましい実施例と関連して説明したが、本発明は、前述したように説明されたそのままの構成および作用に限定されるものではない。かえって、添付の特許請求範囲の思想及び範疇を逸脱することなく、本発明に対する多数の変更及び修正が可能であることを、当業者はよく理解できる。従って、そのような全ての適切な変更及び修正と均等物も本発明の範囲に属するものと見なすべきである。
本発明の第1実施例に係るダイヤフラムエアーポンプの断面図である。 図1に示されたダイヤフラムエアーポンプの斜視図である。 図1に示されたダイヤフラムの平面図である。 A及びBは、図1に示されたダイヤフラムエアーポンプの作動を示した図面である。 本発明の第2実施例に係るダイヤフラムエアーポンプの断面図である。 本発明の第3実施例に係るダイヤフラムエアーポンプの断面図である。
符号の説明
10:上部ケース
11:圧電素子
13:流入チェック弁
14:流入開口
20:下部ケース
21:排出開口
22:中間開口
23:中間チェック弁
25:ダイヤフラム
30:被冷却部品
40:ポンプケース
50:ダイヤフラムエアーポンプ

Claims (13)

  1. 内部に流体が流入されて排出されるポンプケースと、
    前記ポンプケース内に設けられ、少なくとも1つの中間開口が形成され、前記中間開口には、中間チェック弁が設置されたダイヤフラムと、
    前記ダイヤフラムの一側に連結され、電源が印加される少なくとも1つの圧電素子とを含み、
    前記圧電素子の振動により被冷却部品に流体が供給されることを特徴とするダイヤフラムエアーポンプ。
  2. 前記ポンプケースは、
    流体が流入される少なくとも1つの流入開口が形成された上部ケースと、
    前記上部ケースと結合し、前記上部ケースに流入された流体が、前記被冷却部品と接触して排出される少なくとも1つの排出開口が形成された下部ケースと、を含むことを特徴とする、請求項1に記載のダイヤフラムエアーポンプ。
  3. 前記流入開口には、外部の流体が前記上部ケースに流入されるように制御する流入チェック弁が設置されたことを特徴とする、請求項2に記載のダイヤフラムエアーポンプ。
  4. 前記ダイヤフラムは前記上部ケース及び前記下部ケースの間に設けられ、前記中間チェック弁は前記上部ケースの流体が下部ケースに流入されるように制御することを特徴とする、請求項3に記載のダイヤフラムエアーポンプ。
  5. 前記ダイヤフラムは、前記ポンプケースの下部ケースに固定されず、前記圧電素子の一部として結合されることを特徴とする、請求項4に記載のダイヤフラムエアーポンプ。
  6. 前記下部ケースには、前記圧電素子が設置されるスロットが設けられたことを特徴とする、請求項2に記載のダイヤフラムエアーポンプ。
  7. 前記圧電素子及び前記スロットは2つであることを特徴とする、請求項6に記載のダイヤフラムエアーポンプ。
  8. 前記2つの圧電素子の一側は、前記ポンプケースの下部ケースにそれぞれ固定されることを特徴とする請求項7に記載のダイヤフラムエアーポンプ。
  9. 前記2つの圧電素子は、バイモルフ(bimorphs)であることを特徴とする、請求項7に記載のダイヤフラムエアーポンプ。
  10. 前記流入開口は、前記上部ケースの上部に形成されたことを特徴とする、請求項2に記載のダイヤフラムエアーポンプ。
  11. 前記排出開口は、前記下部ケースの側面に形成されたことを特徴とする、請求項2に記載のダイヤフラムエアーポンプ。
  12. 前記上部ケースの側面には側面開口が形成され、前記側面開口には側面チェック弁が設置されたことを特徴とする、請求項2に記載のダイヤフラムエアーポンプ。
  13. 前記流入開口および前記排出開口は、ディフューザーで形成されたことを特徴とする、請求項2に記載のダイヤフラムエアーポンプ。
JP2004265262A 2003-09-12 2004-09-13 ダイヤフラムエアーポンプ Expired - Fee Related JP4057001B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CNB031570690A CN100427759C (zh) 2003-09-12 2003-09-12 双压电梁驱动的膜片气泵
KR1020040051674A KR100594802B1 (ko) 2003-09-12 2004-07-02 다이어프램 에어펌프

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2005090510A true JP2005090510A (ja) 2005-04-07
JP4057001B2 JP4057001B2 (ja) 2008-03-05

Family

ID=34137225

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2004265262A Expired - Fee Related JP4057001B2 (ja) 2003-09-12 2004-09-13 ダイヤフラムエアーポンプ

Country Status (4)

Country Link
US (1) US7553135B2 (ja)
EP (1) EP1515043B1 (ja)
JP (1) JP4057001B2 (ja)
DE (1) DE602004003316T2 (ja)

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2008126377A1 (ja) * 2007-03-30 2008-10-23 Daikin Industries, Ltd. 空気熱交換ユニット及び熱交換モジュール
WO2008129829A1 (ja) * 2007-03-30 2008-10-30 Daikin Industries, Ltd. 送風ファン
WO2009087714A1 (ja) * 2008-01-09 2009-07-16 Star Micronics Co., Ltd. ダイヤフラム式エアポンプ
WO2011040320A1 (ja) * 2009-10-01 2011-04-07 株式会社村田製作所 圧電マイクロブロア
WO2016035967A1 (ko) * 2014-09-02 2016-03-10 삼성전자 주식회사 전면 송풍방식 공기조화장치
WO2016199624A1 (ja) * 2015-06-11 2016-12-15 株式会社村田製作所 ポンプ
KR101704571B1 (ko) * 2015-09-21 2017-02-08 현대자동차주식회사 배터리 냉각 장치
JP2022534520A (ja) * 2019-12-06 2022-08-01 フロー・システムズ・インコーポレーテッド 中央を固定されているmemsベースのアクティブ冷却システム

Families Citing this family (69)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7553295B2 (en) 2002-06-17 2009-06-30 Iradimed Corporation Liquid infusion apparatus
US7637263B2 (en) 2004-05-07 2009-12-29 Ardica Technologies, Inc. Method of controlling body temperature with an electrochemical device while providing on-demand power to an electrical device
US7397164B1 (en) * 2004-08-06 2008-07-08 Apple Inc. Substantially noiseless cooling device for electronic devices
US20080304979A1 (en) * 2004-12-23 2008-12-11 Submachine Corp. Reaction Drive Energy Transfer Device
JP4887652B2 (ja) * 2005-04-21 2012-02-29 ソニー株式会社 噴流発生装置及び電子機器
EP1722412B1 (en) * 2005-05-02 2012-08-29 Sony Corporation Jet generator and electronic device
US20070036711A1 (en) * 2005-08-11 2007-02-15 Ardica Technologies Inc. Hydrogen generator
US8187758B2 (en) 2005-08-11 2012-05-29 Ardica Technologies Inc. Fuel cell apparatus with a split pump
US8308452B2 (en) * 2005-09-09 2012-11-13 The Board Of Trustees Of The University Of Illinois Dual chamber valveless MEMS micropump
EP1991786A2 (en) * 2006-03-07 2008-11-19 Influent Corp. Fluidic energy transfer devices
TW200839495A (en) * 2007-03-30 2008-10-01 Cooler Master Co Ltd Structure of water cooling head
JP2008274929A (ja) * 2007-03-30 2008-11-13 Sanyo Electric Co Ltd 流体移送装置及びこれを具えた燃料電池
TW200847901A (en) * 2007-05-18 2008-12-01 Cooler Master Co Ltd Water-cooling heat-dissipation system
US8105282B2 (en) 2007-07-13 2012-01-31 Iradimed Corporation System and method for communication with an infusion device
DE102008004147A1 (de) * 2008-01-14 2009-07-16 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Mikropumpe und Verfahren zum Pumpen eines Fluids
CA2713022A1 (en) * 2008-01-29 2009-08-06 Ardica Technologies, Inc. A system for purging non-fuel material from fuel cell anodes
US9034531B2 (en) * 2008-01-29 2015-05-19 Ardica Technologies, Inc. Controller for fuel cell operation
EP3073114B1 (en) * 2008-06-03 2018-07-25 Murata Manufacturing Co., Ltd. Piezoelectric micro-blower
DE102008038549A1 (de) * 2008-08-20 2010-03-04 Siemens Aktiengesellschaft Erzeugung eines Luftstroms mittels Ultraschall
US8808410B2 (en) 2009-07-23 2014-08-19 Intelligent Energy Limited Hydrogen generator and product conditioning method
US8741004B2 (en) * 2009-07-23 2014-06-03 Intelligent Energy Limited Cartridge for controlled production of hydrogen
WO2011097090A2 (en) * 2010-02-04 2011-08-11 Influent Corp. Energy transfer fluid diaphragm and device
US20120012286A1 (en) * 2010-07-13 2012-01-19 Alcatel-Lucent Usa Inc. Air jet active heat sink apparatus
US8940458B2 (en) 2010-10-20 2015-01-27 Intelligent Energy Limited Fuel supply for a fuel cell
WO2012058687A2 (en) 2010-10-29 2012-05-03 Ardica Technologies Pump assembly for a fuel cell system
US20120170216A1 (en) * 2011-01-04 2012-07-05 General Electric Company Synthetic jet packaging
KR101275361B1 (ko) * 2011-05-26 2013-06-17 삼성전기주식회사 압전 방식의 냉각 장치
JP5900155B2 (ja) * 2011-09-06 2016-04-06 株式会社村田製作所 流体制御装置
JP5682513B2 (ja) * 2011-09-06 2015-03-11 株式会社村田製作所 流体制御装置
JP5533823B2 (ja) * 2011-09-06 2014-06-25 株式会社村田製作所 流体制御装置
US9169976B2 (en) 2011-11-21 2015-10-27 Ardica Technologies, Inc. Method of manufacture of a metal hydride fuel supply
CA2862484A1 (en) * 2012-02-10 2013-08-15 Kci Licensing, Inc. Systems and methods for regulating the temperature of a disc pump system
JP5093543B1 (ja) 2012-02-15 2012-12-12 独立行政法人情報通信研究機構 嗅覚ディスプレイ
US9127665B2 (en) * 2012-03-07 2015-09-08 Kci Licensing, Inc. Disc pump with advanced actuator
TWI475180B (zh) 2012-05-31 2015-03-01 Ind Tech Res Inst 合成噴流裝置
DE102012210127B4 (de) * 2012-06-15 2014-02-06 Siemens Aktiengesellschaft Vorrichtung zum Erzeugen eines Luftstroms sowie Anordnung
WO2014159881A1 (en) 2013-03-14 2014-10-02 General Electric Company Low resonance acoustic synthetic jet structure
GB201322103D0 (en) * 2013-12-13 2014-01-29 The Technology Partnership Plc Fluid pump
US9645618B2 (en) * 2014-07-31 2017-05-09 Google Technology Holdings LLC Skin oscillation convective cooling
GB2544236B (en) 2014-08-27 2020-10-28 Ge Aviation Systems Llc Airflow generator
US10045461B1 (en) * 2014-09-30 2018-08-07 Apple Inc. Electronic device with diaphragm cooling
US10744295B2 (en) 2015-01-13 2020-08-18 ResMed Pty Ltd Respiratory therapy apparatus
US10119532B2 (en) * 2015-02-16 2018-11-06 Hamilton Sundstrand Corporation System and method for cooling electrical components using an electroactive polymer actuator
CN106733310B (zh) * 2015-11-20 2019-03-22 英业达科技有限公司 合成射流器
CN105508209B (zh) * 2016-03-04 2017-07-25 青岛农业大学 大流量阻流体无阀压电泵
US10438868B2 (en) * 2017-02-20 2019-10-08 Microjet Technology Co., Ltd. Air-cooling heat dissipation device
TWI652408B (zh) * 2017-09-15 2019-03-01 研能科技股份有限公司 氣體輸送裝置
CN109899327B (zh) * 2017-12-07 2021-09-21 昆山纬绩资通有限公司 气流产生装置
US11268506B2 (en) 2017-12-22 2022-03-08 Iradimed Corporation Fluid pumps for use in MRI environment
EP3751141B1 (en) * 2018-05-31 2023-09-20 Murata Manufacturing Co., Ltd. Pump
US11710678B2 (en) 2018-08-10 2023-07-25 Frore Systems Inc. Combined architecture for cooling devices
US10487817B1 (en) * 2018-11-02 2019-11-26 Baoxiang Shan Methods for creating an undulating structure
CN109772223B (zh) * 2019-03-01 2021-02-26 浙江师范大学 一种流体混合器
CN109772225B (zh) * 2019-03-01 2021-03-12 浙江师范大学 一种多级流体混合器
US11540417B2 (en) * 2019-08-14 2022-12-27 AAC Technologies Pte. Ltd. Sounding device and mobile terminal
WO2021086873A1 (en) * 2019-10-30 2021-05-06 Frore System Inc. Mems-based airflow system
US11796262B2 (en) 2019-12-06 2023-10-24 Frore Systems Inc. Top chamber cavities for center-pinned actuators
US11510341B2 (en) 2019-12-06 2022-11-22 Frore Systems Inc. Engineered actuators usable in MEMs active cooling devices
US20210183739A1 (en) * 2019-12-17 2021-06-17 Frore Systems Inc. Airflow control in active cooling systems
CN111779656B (zh) * 2020-06-17 2022-05-10 长春大学 一种双摆式压电风机
US11956921B1 (en) * 2020-08-28 2024-04-09 Frore Systems Inc. Support structure designs for MEMS-based active cooling
CN112177903A (zh) * 2020-09-29 2021-01-05 长春工业大学 一种矩形腔柔性膜双振子无阀压电泵
WO2022072286A1 (en) 2020-10-02 2022-04-07 Frore Systems Inc. Active heat sink
WO2022132976A1 (en) 2020-12-16 2022-06-23 Frore Systems Inc. Frequency lock in active mems cooling systems
CN112588221B (zh) * 2020-12-22 2022-03-01 哈尔滨工业大学 一种组合式隔膜驱动微流控反应系统
US11692776B2 (en) * 2021-03-02 2023-07-04 Frore Systems Inc. Mounting and use of piezoelectric cooling systems in devices
US11744038B2 (en) 2021-03-02 2023-08-29 Frore Systems Inc. Exhaust blending for piezoelectric cooling systems
WO2023283448A2 (en) 2021-07-09 2023-01-12 Frore Systems Inc. Anchor and cavity configuration for mems-based cooling systems
WO2023250109A1 (en) * 2022-06-24 2023-12-28 Frore Systems Inc. Mems-based flow systems in waterproof devices

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4648807A (en) * 1985-05-14 1987-03-10 The Garrett Corporation Compact piezoelectric fluidic air supply pump
US4708600A (en) * 1986-02-24 1987-11-24 Abujudom Ii David N Piezoelectric fluid pumping apparatus
JP3106264B2 (ja) 1992-04-20 2000-11-06 本田技研工業株式会社 マイクロポンプ
SE508435C2 (sv) * 1993-02-23 1998-10-05 Erik Stemme Förträngningspump av membranpumptyp
CH689836A5 (fr) * 1994-01-14 1999-12-15 Westonbridge Int Ltd Micropompe.
JPH0842457A (ja) * 1994-07-27 1996-02-13 Aisin Seiki Co Ltd マイクロポンプ
DE19546570C1 (de) * 1995-12-13 1997-03-27 Inst Mikro Und Informationstec Fluidpumpe
US5914856A (en) * 1997-07-23 1999-06-22 Litton Systems, Inc. Diaphragm pumped air cooled planar heat exchanger
US6368079B2 (en) * 1998-12-23 2002-04-09 Battelle Pulmonary Therapeutics, Inc. Piezoelectric micropump
JP2002322986A (ja) 2001-02-21 2002-11-08 Seiko Epson Corp ポンプ
TW558611B (en) * 2001-07-18 2003-10-21 Matsushita Electric Ind Co Ltd Small pump, cooling system and portable equipment
JP3928398B2 (ja) * 2001-10-10 2007-06-13 ミツミ電機株式会社 小型ポンプ

Cited By (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2008126377A1 (ja) * 2007-03-30 2008-10-23 Daikin Industries, Ltd. 空気熱交換ユニット及び熱交換モジュール
WO2008129829A1 (ja) * 2007-03-30 2008-10-30 Daikin Industries, Ltd. 送風ファン
WO2009087714A1 (ja) * 2008-01-09 2009-07-16 Star Micronics Co., Ltd. ダイヤフラム式エアポンプ
WO2011040320A1 (ja) * 2009-10-01 2011-04-07 株式会社村田製作所 圧電マイクロブロア
JPWO2011040320A1 (ja) * 2009-10-01 2013-02-28 株式会社村田製作所 圧電マイクロブロア
JP5316644B2 (ja) * 2009-10-01 2013-10-16 株式会社村田製作所 圧電マイクロブロア
US8721303B2 (en) 2009-10-01 2014-05-13 Murata Manufacturing Co., Ltd. Piezoelectric micro-blower
WO2016035967A1 (ko) * 2014-09-02 2016-03-10 삼성전자 주식회사 전면 송풍방식 공기조화장치
WO2016199624A1 (ja) * 2015-06-11 2016-12-15 株式会社村田製作所 ポンプ
JPWO2016199624A1 (ja) * 2015-06-11 2018-02-15 株式会社村田製作所 ポンプ
GB2554293A (en) * 2015-06-11 2018-03-28 Murata Manufacturing Co Pump
US10125760B2 (en) 2015-06-11 2018-11-13 Murata Manufacturing Co., Ltd. Pump
GB2554293B (en) * 2015-06-11 2020-08-19 Murata Manufacturing Co Pump
KR101704571B1 (ko) * 2015-09-21 2017-02-08 현대자동차주식회사 배터리 냉각 장치
JP2022534520A (ja) * 2019-12-06 2022-08-01 フロー・システムズ・インコーポレーテッド 中央を固定されているmemsベースのアクティブ冷却システム
JP7304436B2 (ja) 2019-12-06 2023-07-06 フロー・システムズ・インコーポレーテッド 中央を固定されているmemsベースのアクティブ冷却システム

Also Published As

Publication number Publication date
EP1515043A1 (en) 2005-03-16
JP4057001B2 (ja) 2008-03-05
DE602004003316D1 (de) 2007-01-04
US7553135B2 (en) 2009-06-30
DE602004003316T2 (de) 2007-03-15
US20050089415A1 (en) 2005-04-28
EP1515043B1 (en) 2006-11-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4057001B2 (ja) ダイヤフラムエアーポンプ
KR100594802B1 (ko) 다이어프램 에어펌프
JP4529915B2 (ja) 圧電ポンプおよびこれを用いた冷却装置
JP5012889B2 (ja) 圧電マイクロブロア
EP2090781B1 (en) Piezoelectric micro-blower
TWI747076B (zh) 行動裝置散熱組件
JP4629145B2 (ja) 冷却システム、及び携帯機器
KR101472627B1 (ko) 방열 모듈
WO2004017698A1 (ja) 電子機器の冷却装置
JP5333012B2 (ja) マイクロブロア
TW201526770A (zh) 散熱裝置及其控制方法
TWI679525B (zh) 熱管理系統及製造熱管理系統的方法
JP4661023B2 (ja) 燃料電池用セパレータ、燃料電池装置及び電子応用装置
JP2006083848A (ja) マイクロメンブレインポンプ
JP4020725B2 (ja) 省エネルギの冷却システムを有する電子機器
JP2001355574A (ja) 圧電ポンプ及び該圧電ポンプを用いた冷却装置
JP4778319B2 (ja) 圧電ファンおよびこれを用いた冷却装置、その駆動方法
JP4844236B2 (ja) ノズル、噴流発生装置、冷却装置及び電子機器
JP2002134975A (ja) 冷却ファン
JP2008297915A (ja) 揺動ファン
EP3933200B1 (en) Heat sink assembly and control method for heat sink assembly, and electronic device and manufacturing method for electronic device
JP2004146547A (ja) 電子機器の冷却装置
JP2006216032A (ja) 蒸発方式ポンプおよびこれを用いた冷却装置
JP2005016467A (ja) 液体循環装置および該液体循環装置を備えた電子機器
CN114980687A (zh) 散热组件、壳体组件和电子设备

Legal Events

Date Code Title Description
A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20070717

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20071011

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20071025

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20071113

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20071212

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101221

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101221

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111221

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111221

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121221

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121221

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131221

Year of fee payment: 6

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees